CN109019023A - 基板传送装置及系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种基板传送装置及系统，该基板传送装置包括，磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种在传送过程中以下方支撑的方式不会对基板膜面造成损伤，因此更具安全可靠的特性。

Description

基板传送装置及系统

技术领域

本申请涉及显示面板加工领域，特别是涉及一种对基板进行传送的基板传送装置及系统。

背景技术

在显示器件的制造工业中，会使用到基板，在现有平板显示装置的制作过程中，一般需要利用基板移送装置传送平板显示装置的基板，以进行不同制程之间的转换。

目前基板的传送采用捞抓的方式，由于捞抓上的吸嘴利用的是真空吸附容易造成玻璃面板变形而形成亮度不均匀，而且基板在传送过程中采用捞抓的方式不可避免的直接与基板的表面接触，使得基板极易被传送磨损，从而影响平板显示装置的显示。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种基板传送装置及系统，能够避免传送机构直接作用于玻璃面板的表面，减少玻璃面板亮度不均匀、破片等风险。

为解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是：提供一种基板传送装置，该基板传送装置包括：磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，改变磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。

为解决上述技术问题，本申请采用的第二个技术方案是：提供一种基板传送系统，该基板传送系统包括上述任一项的基板传送装置。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供的基板传送装置包括：磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种方式避免基板移送过程中直接作用于基板表面，从而减少玻璃面板亮度不均匀、破片等风险，提高产品的良率。另外本基板传送装置并不需要利用吸嘴真空吸附，因此，与现有技术相比，本申请还可以减少厂务真空的使用量，减少能源消耗，降低生产成本。

附图说明

图1是本申请提供的基板传送装置一实施例的结构示意图；

图2是本申请提供的基板传送装置另一实施例的俯视结构示意图；

图3是本申请提供的基板传送装置另一实施例的侧视结构示意图；

图4是本申请提供的基板传送装置另一实施例中的磁感线圈不倾斜时磁性基座结构示意图；

图5是本申请提供的基板传送装置另一实施例中的磁感线圈倾斜时磁性基座结构示意图；

图6是本申请提供的基板传送系统一实施例结构示意图。

具体实施方式

本申请提供一种基板传送装置及系统，为使本申请的目的、技术方案和技术效果更加明确、清楚，以下对本申请进一步详细说明，应当理解此处所描述的具体实施条例仅用于解释本申请，并不用于限定本申请。

本申请提供了一种基板传送装置，请参阅图1，图1是本申请提供的基板传送装置一实施例的结构示意图，该基板传送装置包括磁性基座1，磁性基座1包括电磁单元11和倾斜装置12，电磁单元11用于产生磁场，倾斜装置12连接电磁单元11，并带动电磁单元11沿预定角度进行倾斜，以用于改变磁场的方向。

具体的，该基板传送装置还包括磁性承接盘2，磁性承接盘2位于电磁单元11一侧的磁场中，磁性承接盘2用于放置待传送基板3，并在电磁单元11产生磁场时相对磁性基座1悬浮，当倾斜装置12带动电磁单元11沿预定角度进行倾斜，改变磁场方向，以使磁性承接盘2相对于磁性基座1沿预定方向运动，其中，该预定方向优选水平方向，该预定角度的角度范围为以水平面为基准，上下45度的角度范围，因此，电磁单元11的运动的预定的角度范围为大于0度且不大于90度。

区别于现有技术的情况，本申请提供的基板传送装置包括：磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种方式避免基板移送过程中直接作用于基板表面，从而减少玻璃面板亮度不均匀、破片等风险，提高产品的良率。另外本基板传送装置并不需要利用吸嘴真空吸附，因此，与现有技术相比，本申请还可以减少厂务真空的使用量，减少能源消耗，降低生产成本。

请参阅图2与图3，其中，图2是本申请提供的基板传送装置另一实施例的俯视结构示意图，图3是本申请提供的基板传送装置另一实施例的侧视结构示意图。该基板传送装置包括有磁性基座1、磁性承接盘2，磁性承接盘2用于放置待传送基板3。

具体的，请再参阅图4，图4是基板传送装置中的磁感线圈112不倾斜时磁性基座1的结构示意图。磁性基座1包括有用于产生磁场的电磁单元11以及连接电磁单元11的倾斜装置12，在磁性基座1中，电磁单元11包括有基座本体111和磁感线圈112。磁感线圈112环绕在基座本体111的外围，磁感线圈112的匝数可根据实际情况具体选择。基座本体111为能够被磁化的物质，可以是铁、钴、镍等金属，也可以是能够被磁化的金属化合物，在此不做具体限定。

其中，磁感线圈112与外部电源连接，当磁感线圈112通电时，即有电流通过时，基座本体111被磁化，使得电磁单元11变成一电磁体，因而能够产生一定的磁场。当磁感线圈112不发生倾斜时，即处于如图4所示的位置时，磁性基座1能产生竖直方向的磁场。且该磁场在朝向磁性承接盘2的一侧与磁性承接盘2朝向基座本体111的一侧为同极，从而使得磁性承接盘2由于同极相斥而受到磁力F的作用，以使磁性承接盘2能相对于磁性基座1悬浮。

磁性承接盘2位于电磁单元11一侧的磁场中，待传送基板3放置在磁性承接盘2上，当磁感线圈112不发生倾斜时，此时，磁性基座1的结构示意图如图4所示，电磁单元11通电时产生磁场。磁性承接盘2在电磁单元11的磁场中受到磁力F的作用相对磁性基座1悬浮。倾斜装置12带动磁感线圈112沿预定角度进行倾斜以改变磁场方向，以使磁性承接盘2相对于磁性基座1沿预定方向运动。当磁感线圈112在倾斜装置12的驱动下发生倾斜时，则此时的磁场方向也会发生变化，此时磁性基座1的结构示意图如图5所示。当磁感线圈112倾斜到如图5所示的位置时，磁性承接盘2受到的磁力F的作用，磁力F在竖直方向的分力F1与磁性承接盘2与待传送基板3的重力之和相等，以使放置有待传送基板3的磁性承接盘2悬浮，磁力F在水平方向的分力F2带动放置有待传送基板3的磁性承接盘2在水平方向移动。

优选的，倾斜装置12为伺服电机，伺服电机的输出端为连接杆121，连接杆121与磁感线圈112转动连接，且能带动磁感线圈112沿预定角度进行运动。在一个优选的实施方式中，该预定角度的角度范围为以水平面为基准，上下45度的角度范围，因此，磁感线圈112的运动的预定的角度范围为大于0度且不大于90度。

其中，伺服电机的数量和设置的位置可以根据具体情况进行选择设置，在本实施例中，伺服电机的数量为2个，分别设置于基座本体111相对的两个侧面，即伺服电机的连接杆121与基座本体111相对的两个侧面转动连接。在其他实施例中，伺服电机的数量也可以为1个、3个、4个等，设置的具体数量和具体位置可以根据实际情况进行确定，只要能够带动磁感线圈112沿预定角度进行转动即可。

具体的，伺服电机带动磁感线圈112进行转动时，为了使磁感线圈112到达预定角度，比如要使磁感线圈112从图4所示的角度，运动到图5所示的角度，则可以让伺服电机带动磁感线圈112的一侧运动，磁感线圈112的另一侧不动，而到达预定的角度。或者，磁感线圈112的两侧同时运动，即，让伺服电机分别带着磁感线圈112的两侧朝着相反的方向运动，来使得磁感线圈112到达预定角度，也就是说在本实施例中，伺服电机连接磁感线圈112只要能使磁感线圈112倾斜到预定的角度即可，至于具体的驱动方式在此不做具体限定。在上述实施方式中，伺服电机的连接杆121与磁感线圈112转动连接。或者，在其他实施方式中，伺服电机的连接杆121与磁感线圈112固定连接，伺服电机控制连接杆112倾斜，以使磁感线圈112达到倾斜运动的目的。

在本实施例中，为了能够改变通电过程中磁性基座1产生磁场的磁力的大小，该基板传送装置还包括电流控制器，电流控制器连通磁感线圈112与外部电源，用于控制磁感线圈112中电流的大小。当磁感线圈112匝数一定时，通电电流越大，其产生的磁场越强，磁力F就越大。通过控制电流的大小能控制磁感线圈112产生磁场的强弱，进而能控制磁力F的大小。在移送待传送基板3时，通过倾斜装置12调整磁感线圈112的角度，控制磁力F的方向，通过电流控制器控制调整磁感线圈112中电流的大小以控制产生的磁力F的大小，通过此种方式来灵活控制F的大小和方向，以保证磁性承接盘2沿着预定的方向运动。

在一个具体的实施例中，为了能使磁性承接盘2带着待传送基板3沿着X方向移动，如图5所示，则通过倾斜装置12改变电感线圈112的角度及通过电流控制器控制电感线圈112中电流的大小，以使得电磁单元11产生的磁力F在竖直方向的分力F1等于磁性承接盘2与待传送基板3的重力之和，磁力F在X方向的分力F2带动磁性承接盘2与待传送基板3沿着水平方向进行运动，以完成待传送基板3的移送，可以通过控制电流的大小和磁感线圈112的角度来控制待传送基板3移送的速度，可以使待传送基板3加速、减速、或者匀速运动。优选的，磁性基座1的铺设长度不小于待传送基板3移送的长度。

区别于现有技术的情况，本申请提供的基板传送装置包括：磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种方式避免基板移送过程中直接作用于基板表面，从而减少玻璃面板亮度不均匀、破片等风险，提高产品的良率。另外本基板传送装置并不需要利用吸嘴真空吸附，因此，与现有技术相比，本申请还可以减少厂务真空的使用量，减少能源消耗，降低生产成本。

本申请还提供一种基板传送系统，请参阅图6，图6是本申请提供的基板传送系统一实施方式结构示意图，如图6所示，基板传送系统60包括基板传送装置601，基板传送装置601为上述任一实施方式所述的基板传送装置。

关于基板传送装置601的具体结构，结合图1～图6以及相关的文字说明，已详尽描述，在此不再赘述。

区别于现有技术的情况，本申请提供的基板传送系统包括有基板传送装置，该基板传送装置包括：磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种方式该基板传送系统能够避免基板移送过程中直接作用于基板表面，从而减少玻璃面板亮度不均匀、破片等风险，提高产品的良率。另外本基板传送系统并不需要利用吸嘴真空吸附，因此，与现有技术相比，本申请还可以减少厂务真空的使用量，减少能源消耗，降低生产成本。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利保护范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置包括：

磁性基座，所述磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接所述电磁单元的倾斜装置；

磁性承接盘，所述磁性承接盘位于所述电磁单元一侧的所述磁场中，所述磁性承接盘用于放置待传送基板，并在所述电磁单元产生所述磁场时相对所述磁性基座悬浮；

所述倾斜装置带动所述电磁单元沿预定角度进行倾斜，改变所述磁场方向，以使所述磁性承接盘相对于所述磁性基座沿预定方向运动。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述电磁单元包括基座本体以及环绕在所述基座本体外围的磁感线圈，所述磁感线圈接通外部电源，以使所述电磁单元为一电磁体。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述基座本体的顶面朝向所述磁性承接盘，其侧面的外围环绕有所述磁感线圈。

4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括电流控制器，所述电流控制器连通所述磁感线圈与所述外部电源，用于控制所述磁感线圈中电流的大小。

5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述电磁单元的铺设长度不小于所述待传送基板移送的长度。

6.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述预定角度的范围为大于0度且不大于90度。

7.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述倾斜装置为伺服电机，所述伺服电机的输出端为连接杆，所述连接杆连接所述磁感线圈，且带动所述磁感线圈沿所述预定角度进行运动。

8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，所述伺服电机设置有两个，分别设置于所述基座本体的相对两侧。

9.根据权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，所述连接杆与所述磁感线圈转动连接。

10.一种基板传送系统，其特征在于，所述基板传送系统包括权利要求1～9任一项所述的基板传送装置。