CN105842990B - 感光性树脂组合物、光固化图案、及图像显示装置 - Google Patents

感光性树脂组合物、光固化图案、及图像显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的光固化图案、及具备该光固化图案的图像显示装置。本发明涉及感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的光固化图案、及具备该光固化图案的图像显示装置，所述感光性树脂组合物通过含有粘合剂树脂、聚合性单体、聚合引发剂、具有特定结构的重复单元的聚硅氧烷系的第1表面活性剂、在分子内以5～10重量％含有氟的聚硅氧烷系的第2表面活性剂、及溶剂，在形成膜时，可以得到中心部与前端部的高度差小而平坦、并且不产生干燥不均的固化膜。

Description

感光性树脂组合物、光固化图案、及图像显示装置
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的光固化图案、及具备该光固化图案的图像显示装置。
背景技术
在显示器领域中，感光性树脂组合物为了形成光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑底、柱状间隔物等各种各样的光固化图案而使用。具体而言，将感光性树脂组合物通过光刻工序选择性地曝光及显影而形成所期望的光固化图案，但在该过程中，为了提高工序上的收率、提高应用对象的物性，寻求高感度的感光性树脂组合物。
要求在由感光性树脂组合物形成光致抗蚀剂图案的过程中所生成的涂膜是平坦的。但是，在实际的工序中，在抗蚀剂涂膜的形成过程中在溶剂蒸发的同时表面张力增加，溶剂的蒸发因前端部的表面积的增加而进一步变快，表面张力的增加速度也比中心部变快。因此，由于涂膜的中心部与前端部的表面张力之差，表面张力大的前端部牵拉表面张力小的中心部，由此产生高度差，在涂膜生成时，存在膜的前端部变厚的问题。
韩国专利第1302508号公开了感光性树脂组合物，其通过包含使用丙烯酸环己烯酯系单体聚合而成的共聚物，耐热性及耐光性优异，并且可提高感度，但并未提示针对上述问题的对策。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：韩国专利第1302508号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的目的在于提供感光性树脂组合物，其在膜形成时可得到中心部与前端部的高度差小而平坦、并且不产生干燥不均的固化膜。
另外，本发明的目的在于提供由所述感光性树脂组合物形成的光固化图案及具备所述光固化图案的图像显示装置。
用于解决课题的手段
1.感光性树脂组合物，其含有粘合剂树脂、聚合性单体、聚合引发剂、具有下述化学式1的重复单元的聚硅氧烷系的第1表面活性剂、在分子内以5～10重量％含有氟的聚硅氧烷系的第2表面活性剂、及溶剂。
Figure BDA0000921519470000021
(式中，R1为氢原子或碳数1～5的烷基，R2为碳数1～10的烷基，a 及b表示摩尔比，a：b＝1：1～1：9，n表示聚合度，相对于表面活性剂分子内的硅氧烷重复单元的总聚合度为10～40％。)
2.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物，其中，所述第2表面活性剂为具有下述化学式2所示的重复单元的聚硅氧烷系的表面活性剂。
Figure BDA0000921519470000022
(式中，o及p表示聚合度，o：p＝7：3～9：1，c为2～6的整数。)
3.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物，其中，所述第1表面活性剂的重均分子量为10000～17000。
4.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物，其中，所述第2表面活性剂的重均分子量为4000～10000。
5.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物，其中，所述第1表面活性剂与所述第2表面活性剂的混合比为1.5～10：1。
6.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物，其中，相对于感光性树脂组合物中的固体成分100重量份，含有所述第1表面活性剂0.01～2.5 重量份及所述第2表面活性剂0.01～1.5重量份。
7.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物，其中，所述第1及第 2表面活性剂相互独立，防止干燥不均的极限浓度以感光性树脂组合物中的固体成分基准计为700～950ppm。
8.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物，其中，所述粘合剂树脂为下述的化学式3或化学式4的粘合剂树脂。
Figure BDA0000921519470000031
(式中，R5～R16为氢原子或甲基，e＝30～60摩尔％、f＝5～30摩尔％、 g＝15～45摩尔％、h＝5～30摩尔％。)
Figure BDA0000921519470000032
(式中，R17～R22为氢原子或甲基，i＝60～90摩尔％、j＝10～40摩尔％。)
9.光固化图案，其由上述项目1～8所述的感光性树脂组合物形成。
10.图像显示装置，其包含上述项目9所述的光固化图案。
发明的效果
本发明的感光性树脂组合物在使用其形成膜时，可得到中心部与前端部的高度差小而平坦、并且不产生干燥不均的固化膜，特别是在形成为负型的光致抗蚀剂图案时非常有用。
附图说明
图1为在用实施例及比较例的感光性树脂组合物形成涂膜时概略地表示膜的中心部与前端部的高度差的图。
图2为概略地表示涂膜的中心部及前端部中的膜厚的测定方法的图。
图3为在干燥不均的观察中未产生不均时的照片。
图4为在干燥不均的观察中产生小尺寸的不均时的照片。
图5为在干燥不均的观察中产生大量的不均时的照片。
具体实施方式
本发明涉及感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的光固化图案、及具备该光固化图案的图像显示装置，所述感光性树脂组合物通过含有粘合剂树脂、聚合性单体、聚合引发剂、具有特定结构的重复单元的聚硅氧烷系的第1表面活性剂、在分子内以5～10重量％含有氟的聚硅氧烷系的第2表面活性剂、及溶剂，在形成膜时，可以得到中心部与前端部的高度差小而平坦、并且不产生干燥不均的固化膜。
以下，对本发明进行详细说明。
<感光性树脂组合物>
表面活性剂
第1表面活性剂
本发明的感光性树脂组合物含有第1表面活性剂，上述第1表面活性剂含有下述化学式1的重复单元而形成。
Figure BDA0000921519470000041
(式中，R1为氢原子或碳数1～5的烷基，R2为碳数1～10的烷基，a 及b表示摩尔比，a：b＝1：1～1：9，n表示聚合度，相对于表面活性剂分子内的硅氧烷重复单元的总聚合度为10～40％。)
上述第1表面活性剂在从硅原子出来的侧链含有环氧乙烷单元体及环氧丙烷单元体，上述环氧丙烷单元体的含量(摩尔比)比上述环氧乙烷的含量(摩尔比)高或相等。
在使用感光性树脂组合物形成涂膜的过程中，在溶剂蒸发的同时涂膜的表面张力逐渐增加，与膜的中心部相比，前端部中的溶剂的蒸发速度快，因此前端部的表面张力的增加速度也变快。若在涂膜的中心部与前端部产生表面张力之差，则表面张力大的前端部牵拉表面张力小的中心部，由此涂膜的前端部变得比中心部更厚，因此无法得到平坦的固化膜。
与此相对，本发明通过含有具有上述特定结构的第1表面活性剂，有效地降低动态表面张力(Dynamic Surface Tension)，并且在与后述的第 2表面活性剂混合的情况下，在使用感光性树脂组合物形成涂膜时，可缓和膜的中心部与前端部的表面张力之差而减少膜厚之差。另外，上述第1表面活性剂防止干燥不均的发生。
上述第1表面活性剂的重均分子量只要在不脱离本发明的目的的范围内就没有特别限制，优选可以为10000～17000。若在上述范围，则减少固化膜中的中心部与前端部的膜厚差的效果最大化，故有利。若考虑一般的硅系表面活性剂的重均分子量为20000～30000，则上述范围内的上述第1表面活性剂的重均分子量相当于较小的值，表面活性剂分子的扩散速度相对较高，因此表面活性剂向界面的接近速度增加。由此，认为可以促进表面作用，减少中心部与前端部的膜厚差的效果最大化。
上述第1表面活性剂只要为具有上述化学式1的重复单元的聚硅氧烷就没有特别限制，作为具体例，可以举出下述化学式1-1所示的聚硅氧烷。
Figure BDA0000921519470000051
(式中，a及b表示摩尔比，a：b＝1：1～1：9，m及n表示聚合度， m为60～90的整数，n为10～40的整数。)
作为上述第1表面活性剂的市售品，可以举出L7210(Momentive公司制造)，但并不限定于此。
上述第1表面活性剂只要在可发挥其功能的范围内，其含量就没有特别限定，例如可以相对于感光性树脂组合物中的固体成分100重量份以0.01～2.5重量份含有。若在上述范围内，则含有上述第1表面活性剂所带来的效果最大化，故优选。
第2表面活性剂
本发明的感光性树脂组合物含有以5～10重量％含有取代于分子内的碳链的氟的聚硅氧烷系的第2表面活性剂。
在单独使用第1表面活性剂的情况下，虽然在用树脂组合物形成涂膜时可减少中心部与前端部的高度差，但其平坦性稍不充分。
另一方面，在形成涂膜时，氟系表面活性剂相对于在进一步高效地吸附于涂膜的表面(气体/液体的界面)并流动的膜表面新形成的面积，可显示有效的流平效果。因此，本发明通过含有以5～10重量％含有取代于分子内的碳链的氟的聚硅氧烷系的第2表面活性剂，缓和中心部与前端部的表面张力之差而减少膜厚差，由此可得到更进一步平坦的固化膜。
在基于本发明的第2表面活性剂中，氟可以取代于聚硅氧烷中所含的碳链，更具体而言，上述第2表面活性剂可以由下述化学式2表示。
Figure BDA0000921519470000061
(式中，o及p表示聚合度，o相对于表面活性剂分子全体内的硅氧烷重复单元为70～90％，p相对于表面活性剂分子全体内的硅氧烷重复单元为10～30％，c为2～6的整数。)
作为上述第2表面活性剂的市售品，可以举出Fluorosil 2110(Siltech 公司制造)，但并不限定于此。
上述第2表面活性剂的重均分子量只要在不脱离本发明的目的的范围内就没有特别限制，优选可以为4000～10000。若在上述范围，则可进一步改善减少固化膜中的中心部与前端部的膜厚差的效果。若上述第 2表面活性剂的重均分子量在上述范围内，则如上所述由于具有较小的重均分子量的值，因此认为由于表面活性剂分子的扩散速度的增加，膜厚差的减少效果最大化。
上述第2表面活性剂只要在可发挥其功能的范围内，其含量就没有特别限定，例如可以相对于感光性树脂组合物中的固体成分100重量份以0.01～1.5重量份含有。若在上述范围内，则含有上述第2表面活性剂所带来的效果最大化，故优选。
基于本发明的第1表面活性剂与上述第2表面活性剂的混合比只要在不脱离本发明的目的的范围内就没有特别限制，优选可以为1.5～10： 1，更优选可以为1.5～7：1。这种情况下，在形成膜时，通过使中心部与前端部的表面张力之差显著减少，可进一步减少高度差，因此容易得到平坦的固化膜。
基于本发明的第1表面活性剂及上述第2表面活性剂的HLB (Hydrophilic-Lypophilic Balance)的值只要在不脱离本发明的目的的范围内就没有特别限制，优选HLB的值分别独立地可以为0～5。这种情况下，可显著改善减少涂膜中的中心部与前端部的高度差的效果，故有利。
在本发明的其它方面中，上述第1表面活性剂及第2表面活性剂的防止干燥不均的极限浓度优选以感光性树脂组合物中的固体成分基准计为700～950ppm。
干燥不均(橘皮型不均、云状不均)是指在涂布感光性树脂组合物后，在干燥时产生的不均。另外，防止干燥不均的极限浓度是指将上述干燥不均完全除去的表面活性剂的添加量的下限。基于本发明的表面活性剂若具有上述范围内的防止干燥不均的极限浓度值，则在形成涂膜时，可进一步提高缓和膜的中心部与前端部的高度差的效果。
粘合剂树脂
本发明的感光性树脂组合物含有粘合剂树脂，上述粘合剂树脂为对图案形成时的显影处理工序中所使用的碱显影液赋予可溶性的成分。
上述粘合剂树脂的种类为该领域中通常所使用的种类，只要在不脱离本发明的目的的范围内就没有特别限制，可以为本领域中通常所使用的单体的聚合物或2个以上单体的共聚物，单体的聚合顺序及排列没有特别限定。
上述粘合剂树脂的聚合中所使用的单体的种类没有特别限定，具体而言，可以举出：下述化学式5及化学式6所示的单体。
Figure BDA0000921519470000081
(式中，R22为氢原子或甲基，
R23为氢原子；或者被碳数1～6的烷氧基、碳数1～6的烷基、碳数 4～8的环烷基、四氢呋喃基、四氢吡喃基、环氧乙烷基、氧杂环丁烷基、碳数1～6的环氧乙基烷氧基、碳数4～12的双环烷基或碳数6～18的三环烷基取代或者未取代的碳数1～6的烷氧基、碳数1～6的烷基、碳数4～8 的环烷基、四氢呋喃基、四氢吡喃基、环氧乙烷基、氧杂环丁烷基、碳数4～12的双环烷基、四氢吡喃基或碳数6～18的三环烷基。)
Figure BDA0000921519470000082
(式中，R24为氢原子；或者被碳数1～6的烷氧基、碳数1～6的烷基、碳数4～8的环烷基、四氢呋喃基、四氢吡喃基、环氧乙烷基、氧杂环丁烷基、碳数4～12的双环烷基或碳数6～18的三环烷基取代或者未取代的碳数1～6的烷氧基、碳数1～6的烷基、碳数4～8的环烷基、四氢呋喃基、四氢吡喃基、环氧乙烷基、氧杂环丁烷基、碳数4～12的双环烷基或碳数6～18的三环烷基。)
基于本发明的粘合剂树脂除上述单体以外，可以进一步含有本领域中公知并通常使用的丙烯酸酯系单体进行聚合。
作为上述粘合剂树脂的更具体的例子，从对碱显影液赋予可溶性的方面考虑，优选下述化学式3或化学式4的粘合剂树脂。
Figure BDA0000921519470000091
(式中，R5～R16为氢原子或甲基，e＝30～60摩尔％、f＝5～30摩尔％、 g＝15～45摩尔％、h＝5～30摩尔％。)
Figure BDA0000921519470000092
(式中，R17～R22为氢原子或甲基，i＝60～90摩尔％、j＝10～40摩尔％。)
从在图案形成时维持优异的分辨率、图案直进性等方面考虑，基于本发明的粘合剂树脂的重均分子量优选为5,000～35,000。
粘合剂树脂只要在可发挥其功能的范围内，其含量就没有特别限定，例如可以相对于感光性树脂组合物中的固体成分100重量份以 20～50重量份含有。若在上述范围内，则含有粘合剂树脂所带来的效果最大化，故优选。
聚合性单体
本发明的感光性树脂组合物中所含有的聚合性单体为可通过后述的聚合引发剂的作用而聚合的化合物，在制造工序中使交联密度增加，并且可增强光固化图案的机械特性。
聚合性单体可没有特别限制地使用该领域中所使用的聚合性单体，例如为单官能单体、二官能单体及其它的多官能单体，其种类没有特别限定，可以举出下述的化合物。
为了改良感光性树脂组合物的显影性、感度、密合性、表面问题等，本发明中所使用的聚合性单体可以混合使用官能团的结构、官能团数不同的2个或其以上的聚合性单体，其范围没有限制。
作为单官能单体的具体例，可以举出：壬基苯基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸2- 羟基乙酯、N-乙烯基吡咯烷酮等。
作为二官能单体的具体例，可以举出：1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基) 丙烯酸酯、双酚A的双(丙烯酰氧基乙基)醚、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作为其它的多官能单体的具体例，可以举出：三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。其中，优选使用二官能以上的多官能单体。
作为市售品的例子，可以举出：KAYARAD DPHA(日本化药(株)制造)等，但并不限定于此。
上述聚合性单体的含量没有特别限定，例如可以相对于感光性树脂组合物中的固体成分100重量份以40～75重量份含有。若在上述范围内，则可以改善图案的强度、平滑性。
聚合引发剂
基于本发明的聚合引发剂为该领域中通常所使用的聚合引发剂，只要在不脱离本发明的目的的范围内就可以没有限制地使用，但从高感度、及由本发明的感光性树脂组合物形成的光固化图案的强度、表面平滑性的方面考虑，优选三嗪系化合物、苯乙酮系化合物、联咪唑系化合物、肟化合物等。这些可以单独使用或混合使用2种以上。
另外，只要为不损害本发明的效果的程度，则也可以进一步并用该领域中通常使用的其它的光聚合引发剂等。作为其它的光聚合引发剂，例如可以举出：苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、噻吨酮系化合物、及蒽系化合物等，但并不限定于这些。这些可以分别单独使用或组合使用2种以上。
进而，作为聚合引发剂，也可以使用具有可引起链转移的基团的聚合引发剂。作为这样的聚合引发剂，例如可以举出日本特表2002-544205 号公报中记载的聚合引发剂。
作为上述聚合引发剂的市售品的例子，可以举出：B-CIM(保土谷化学工业(株)制造)等，但并不限定于此。
上述聚合引发剂也可以组合使用聚合引发助剂。若并用上述聚合引发剂和聚合引发助剂，则含有它们的感光性树脂组合物进一步变为高感度，可谋求光固化图案形成时的生产率的提高，故优选。
上述聚合引发助剂为该领域中通常所使用的聚合引发助剂，只要在不脱离本发明的目的的范围内，其种类就没有特别限制，具体而言，可优选使用胺化合物、羧酸化合物。
上述聚合引发剂的含量没有特别限制，例如可以相对于感光性树脂组合物中的固体成分100重量份以0.1～10重量份含有。若在上述范围内，则感光性树脂组合物可高感度化而缩短曝光时间，因此生产率提高，可维持高分辨率，形成的像素部的强度及像素部的表面中的平滑性变得良好，故优选。
溶剂
基于本发明的溶剂只要为该领域中通常所使用的溶剂，就可以没有任何限制地使用。
作为上述溶剂的具体例，可以举出：乙二醇单烷基醚类；二甘醇二烷基醚类；乙二醇烷基醚乙酸酯类；亚烷基二醇烷基醚乙酸酯类；烷氧基丁基乙酸酯类；丙二醇单烷基醚类；丙二醇二烷基醚类；丙二醇烷基醚丙酸酯类；丁二醇单烷基醚类；丁二醇单烷基醚乙酸酯类；丁二醇单烷基醚丙酸酯类；烷氧基乙基丙酸酯类；二丙二醇二烷基醚类；芳香族烃类；酮类；醇类；酯类；烷氧基链烷醇类；环状酯类等。若考虑涂布性及干燥性，则优选甲基乙基二甘醇、丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇等，这些可以分别单独使用或混合使用2种以上。
上述溶剂的含量没有特别限制，例如可以相对于感光性树脂组合物的总重量以40～90重量％含有。若满足上述范围，则在用旋涂机、狭缝旋转涂布机、狭缝涂布机(有时也称为“模压涂布机”、“帘式流涂机”)、喷墨等涂布装置进行涂布时，涂布性变得良好，故优选。
添加剂
基于本发明的感光性树脂组合物也可以根据需要进一步含有填充剂、其它的高分子化合物、固化剂、密合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、防凝聚剂、链转移剂等添加剂。
<光固化图案及图像显示装置>
本发明的目的在于提供用上述感光性树脂组合物制造的光固化图案及具有上述光固化图案的图像显示装置。
用上述感光性树脂组合物制造的光固化图案不仅低温固化性及耐化学性等优异，而且平坦且不会产生干燥不均。
由此，可用于图像显示装置中的各种图案，例如粘接剂层、阵列平坦化膜、保护膜、绝缘膜图案等，也可用于光致抗蚀剂、黑底、柱状间隔物图案等，但并不限定于这些，特别适于柱状间隔物图案。
作为具备这些光固化图案或在制造过程中使用上述图案的图像显示装置，可以举出：液晶显示装置、OLED、柔性显示器等，但并不限定于这些，可例示可应用的该领域中已知的所有图像显示装置，从本发明的效果方面考虑，特别优选应用于触摸面板。
光固化图案可以通过将上述的本发明的感光性树脂组合物涂布于基材上，(根据需要经过显影工序后)形成光固化图案来制造。
以下，为了帮助理解本发明而提示优选的实施例，这些实施例仅例示本发明，但并不限制所附的专利权利要求书。针对这些实施例，对本领域技术人员而言，显而易见的是在本发明的范畴及技术思想的范围内可加以各种变更及修正，这些变形及修正当然也属于所附的专利权利要求书。
实施例及比较例
以下述表1那样的成分及含量制备感光性树脂组合物。
防止干燥不均的极限浓度通过一边在除去了表面活性剂的实施例1 的感光性树脂组合物中添加上述的各表面活性剂一边测定。
[表1]
Figure BDA0000921519470000131
Figure BDA0000921519470000132
Figure BDA0000921519470000141
实验例1：涂膜中的中心部及前端部的高度的测定
在由感光性树脂组合物形成的涂膜中，为了测定中心部与前端部的高度的波动，将上述表1中所制备的感光性树脂组合物通过旋涂法涂布于4英寸的硅晶片后，进行预烘焙及曝光，测定膜厚。
在硅晶片上的33个地点中，使用光学式(非接触式)膜厚测定器(Lambda Ace VM-1210、Dainippon Screen MFG公司制造)测定膜厚后，取平均值，确认中心部与到前端部为止的高度差。图2概略地表示膜厚的测定方法。具体而言，在通过硅晶片的中心的直线上等间隔地确定9 个点，如图2所示，从一端到另一端依次指定膜厚的测定点后，测定各点中的膜厚。将该结果示于图1。
中心部与前端部的高度差的值通过[前端部的膜厚测定值的平均-中心部的膜厚]而求得，上述值越小，判定为越有效果。
实验例2：干燥不均的观察
将实施例及比较例的组合物涂布于硅晶片，曝光后，在110℃下进行热处理，目视观察有无干燥不均的发生及程度。
图3为未产生干燥不均时的照片，图4为产生小尺寸的干燥不均时的照片，图5为产生大量干燥不均时的照片。
在混合2种以上表面活性剂的情况下，因具体的混合比而存在差异，但若所混合的表面活性剂的防止干燥不均的极限浓度值比所混合的各表面活性剂中的最小的防止干燥不均的极限浓度值大，则观察到可以缓和干燥不均。
<评价基准>
○：未产生不均
△：产生小尺寸的不均
Ⅹ：遍及整体产生显著的不均
[表2]
Figure BDA0000921519470000151
由上述表2可以确认，基于本发明的实施例与比较例相比，在由组合物形成的涂膜中，中心部与前端部的高度差小，可形成平坦的涂膜。
另外，可知即使为基于本发明的表面活性剂，在单独使用的情况下，也无法发挥本发明的效果。
另一方面，由实施例1～3的比较可知，在第1表面活性剂与第2表面活性剂的混合比为3：1的情况下，本发明的效果最大化，另外，由比较例5可知，即使第1表面活性剂与含有氟的表面活性剂的混合比为 3：1，若氟的含量少，发明的效果也会降低。
另外，由比较例可以确认，在未混合使用第1表面活性剂及第2表面活性剂的情况下，无法发挥本发明的效果。

Claims (8)

1.负型感光性树脂组合物，其含有粘合剂树脂、聚合性单体、聚合引发剂、具有下述化学式1的重复单元的聚硅氧烷系的第1表面活性剂、在分子内以5～10重量％含有氟的聚硅氧烷系的第2表面活性剂、及溶剂，
其中，所述第1表面活性剂及所述第2表面活性剂相互独立地具有基于所述负型感光性树脂组合物中的固体成分计为700～950ppm的防止干燥不均的极限浓度，
Figure FDA0002916955760000011
其中，R1为氢原子或碳数1～5的烷基，R2为碳数1～10的烷基，a及b表示摩尔比，a：b＝1：1～1：9，n表示聚合度，相对于表面活性剂分子内的硅氧烷重复单元的总聚合度为10～40％，
其中，所述粘合剂树脂为下述的化学式3或化学式4，
Figure FDA0002916955760000012
其中，R5～R16分别为氢原子或甲基，e＝30～60摩尔％、f＝5～30摩尔％、g＝15～45摩尔％、h＝5～30摩尔％，
Figure FDA0002916955760000013
其中，R17～R22分别为氢原子或甲基，i＝60～90摩尔％、j＝10～40摩尔％。
2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述第2表面活性剂为具有下述化学式2所示的重复单元的聚硅氧烷系的表面活性剂，
Figure FDA0002916955760000021
式中，o及p表示聚合度，o：p＝7：3～9：1，c为2～6的整数。
3.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述第1表面活性剂的重均分子量为10000～17000。
4.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述第2表面活性剂的重均分子量为4000～10000。
5.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述第1表面活性剂与所述第2表面活性剂的混合比为1.5～10：1。
6.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，相对于负型感光性树脂组合物中的固体成分100重量份，含有所述第1表面活性剂0.01～2.5重量份及所述第2表面活性剂0.01～1.5重量份。
7.光固化图案，其由权利要求1～6中任一项所述的负型感光性树脂组合物形成。
8.图像显示装置，其包含权利要求7所述的光固化图案。
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