CN105807574A - 掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩模传输装置，包括：取放版机械手，用于从版盒中取出掩模，并承载所述掩模移动；定位对准装置，用于将所述掩模与掩模台对准；双重制动装置，用于异常情况时对所述取放版机械手制动。本发明还公开了曝光装置及掩模传输方法。本发明所提供的掩模传输装置，在发生异常情况时，双重制动装置对所述取放版机械手制动，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模以及所述取放版机械手的安全；并且由于所述定位对准装置的设置，提高了所述掩模传输的精确性。

Description

掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法

技术领域

本发明涉及掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法。

背景技术

随着信息化程度的提高，显示技术也在不断的进步。目前，CRT(CathodeRayTube，阴极射线管)技术正在逐渐被LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶显示器)、LED(lightemittingdiode，发光二极管)技术替代。OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)因其具有超薄、主动发光、高亮度、高对比度、宽视角、宽工作温度范围、低功耗、低成本、全固态等优点，被广泛的应用于显示技术中。

随着OLED的广泛应用，显示器的分辨率不断提高，尺寸也在不断增大，促进了TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)光刻设备的不断升级换代；随着TFT光刻设备的不断更新换代，用于存储曝光图形信息的掩模的尺寸逐渐增大、重量逐渐增加。掩模传输装置通过传动装置与电源连接，用于将版盒和掩模搬运至光刻设备中，并将掩模传输至掩模台上进行曝光，由于掩模的尺寸增大、重量增加，对掩模的传输装置的安全性以及传输的精确性要求也越来越高。

请参考图1，现有技术中的掩模传输装置，包括承载架21、承载架引导部21A、装载臂22、装载臂Z轴引导部22A、卸载臂23、收容部65、版盒C、版库LB、搬送车V、投影光学系统PL、掩模M、感光基板P、基板载台PST、曝光部S、掩模载台MST、曝光所用的光EL、照明光学系统IL、控制装置CONT、曝光装置EX、曝光室CH、第一搬送装置H1、第二搬送装置H2；承载架21在第一位置CA1接收到掩模M后，将掩模M搬送到第二位置CA2。该掩模传输装置通过设置万向滚珠等结构减少搬运过程中的摩擦，增加了搬送过程中的方便性。但是，当出现断电、供气中断以及传动装置异常等情况时，掩模传输装置会突然停止运转，承载架21会因自重而跌落，所述掩模M容易从掩模传输装置上滑落下来，导致物料和设备受损，并且操作环境不安全。而且掩模M的尺寸增大、重量增加时，无法保证掩模M传输的精确性。

发明内容

为了提高掩模传输过程中的安全性，提高掩模传输的精确性，本发明提供一种掩模传输装置。

为了解决以上技术问题，本发明的技术方案是：一种掩模传输装置，包括：取放版机械手，用于从版盒中取出掩模，并承载所述掩模移动；定位对准装置，用于将所述掩模与掩模台对准；双重制动装置，用于异常情况时对所述取放版机械手制动。

作为优选，所述定位对准装置包括：机械定位装置，用于将所述掩模初步定位；光学预定位对准装置，用于计算对准结果，将所述掩模与所述掩模台光学对准；交换版机械手，用于携带所述掩模移动，将所述掩模与所述掩模台对准。

作为优选，所述交换版机械手上设有版叉。

作为优选，取放版机械手包括升降轴，所述双重制动装置包括电机电磁制动装置和导轨气动制动装置，所述电机电磁制动装置和所述导轨气动制动装置均与所述升降轴连接。

作为优选，所述电机电磁制动装置包括第一电磁式制动器和第二电磁式制动器；所述第一电磁式制动器通过电机与所述升降轴连接，所述第二电磁式制动器通过丝杠与所述升降轴连接。

作为优选，所述导轨气动制动装置包括控制器、失效检测传感器和气动式制动器，所述失效检测传感器和所述气动式制动器均与所述控制器信号连接；所述气动式制动器通过导向装置与所述升降轴连接；所述失效检测传感器外部设有传感器挡片，所述传感器挡片用于挡住所述失效检测传感器；所述传感器挡片与传动装置接触连接。

作为优选，所述导向装置是导轨或者导向杆。

作为优选，所述传动装置包括主动轮和从动轮，所述主动轮与所述从动轮之间连接有同步带，所述传感器挡片通过弹簧与所述同步带接触连接。

作为优选，所述掩模传输装置包括掩模颗粒检测装置，所述掩模颗粒检测装置用于检测所述掩模的颗粒污染。

作为优选，所述掩模传输装置包括缓存台，所述缓存台用于放置已曝光的所述掩模。

作为优选，所述掩模传输装置包括版库和版盒搬运装置，所述版库用于储存所述版盒；所述版盒搬运装置用于将所述版盒搬送至所述版库内。

作为优选，所述版库内设有用于装载所述版盒的版槽，所述版槽内设有缓冲器。

作为优选，所述版盒通过定位件在所述版槽内定位。

作为优选，所述版库上设有版盒异常检测装置，所述版盒异常检测装置与所述取放版机械手信号连接。

作为优选，所述版盒异常检测装置包括：版盒存在检测传感器，用于检测所述版盒是否存在；掩模存在检测传感器，用于检测所述掩模是否存在；版盒到位检测传感器，用于检测所述版盒是否到位；版盒前盖突出检测传感器，用于检测所述版盒的前盖是否突出。

作为优选，所述版盒搬运装置是版盒加高车，所述版盒加高车用于将所述版盒从不同高度处搬送至所述版库内。

作为优选，所述版盒加高车是手动版盒加高车或者自动版盒加高车。

本发明所提供的掩模传输装置，通过取放版机械手从版盒中取出掩模，并承载所述掩模移动；通过定位对准装置将所述掩模与掩模台对准，提高了所述掩模传输的精确性；对准后采用曝光镜头对所述掩模进行曝光，然后将已曝光的所述掩模从所述掩模台上移开，完成所述掩模的传输。当出现异常情况时，双重制动装置对所述取放版机械手制动，确保在发生异常情况时，例如断电情况、传动装置异常情况，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模以及所述取放版机械手的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。

为了解决以上技术问题，本发明还公开了一种曝光装置，用于将形成于所述掩模的图案曝光于感光基板上，包括上述的掩模传输装置。

本发明所提供的曝光装置，由于设置了上述掩模传输装置，在发生异常情况时，双重制动装置对所述取放版机械手制动，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，确保在发生异常情况时，例如断电情况、传动装置异常情况，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模以及所述取放版机械手的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。并且由于所述定位对准装置的设置，提高了所述掩模传输的精确性。

为了解决以上技术问题，本发明还公开了一种掩模传输方法，采用上述的掩模传输装置进行，包括以下步骤：

步骤一：所述取放版机械手从所述版盒中取出所述掩模，并承载所述掩模移动；

步骤二：所述定位对准装置将所述掩模与所述掩模台对准；

步骤三：对准后，对所述掩模曝光，然后将已曝光的掩模移开，完成所述掩模的传输。

作为优选，步骤一和步骤二之间包括对所述掩模进行颗粒检测的步骤。

本发明所提供的掩模传输方法，在发生异常情况时，双重制动装置对所述取放版机械手制动，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，确保在发生异常情况时，例如断电情况、传动装置异常情况，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模以及所述取放版机械手的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。并且由于所述定位对准装置的设置，提高了所述掩模传输的精确性。

附图说明

图1是现有技术中掩模传输装置的结构示意图；

图2是本发明所提供的掩模传输装置的结构示意图；

图3a是定位对准装置的结构示意图；

图3b是机械定位装置的结构示意图；

图4a是双重制动装置的结构示意图；

图4b是双重制动装置与传动装置的连接关系示意图；

图5a是版库的结构示意图；

图5b是定位件和掩模存在检测传感器的结构示意图；

图5c是版盒到位检测传感器和版盒前盖突出检测传感器的结构示意图；

图5d是版盒异常检测装置的工作流程图。

现有技术图示：21、承载架，21A、承载架引导部，22、装载臂，22A、装载臂Z轴引导部，23、卸载臂，65、收容部，C、版盒，LB、版库，V、搬送车，H1、第一搬送装置，H2、第二搬送装置，PL、投影光学系统，M、掩模，P、感光基板，PST、基板载台，S、曝光部，MST、掩模载台，EL、曝光所用的光，IL、照明光学系统，CA1、第一位置，CA2、第二位置，CONT、控制装置，EX、曝光装置，CH、曝光室。

本发明图示：1、版盒，2、掩模，3、取放版机械手，3-1、升降轴，4、定位对准装置，4-1、机械定位装置，4-2、光学预对准装置，4-3、交换版机械手，4-4、版叉，5、掩模台，6、曝光镜头，7、双重制动装置，7-1、第一电磁式制动器，7-2、第二电磁式制动器，7-3、电机，7-4、丝杠，7-5、失效检测传感器，7-6、气动式制动器，7-7、导向装置，7-8、传感器挡片，7-9、弹簧，8、掩模颗粒检测装置，9、缓存台，10、版库，10-1、版槽，10-2、缓冲器，10-3、定位件，10-4、版盒存在检测传感器，10-5、掩模存在检测传感器，10-6、版盒到位检测传感器，10-7、版盒前盖突出检测传感器，11、版盒搬运装置，12、传动装置，12-1、主动轮，12-2、从动轮，12-3、同步带。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作详细描述。图中箭头所指方向代表运动方向。在以下说明中，将水平面内给定方向设为X轴方向，将水平面内与X轴方向垂直的方向设为Y轴方向，将与X轴及Y轴方向垂直的方向即铅垂方向设为Z轴方向。

请参考图2、图3a和图4a，一种掩模传输装置，包括：取放版机械手3，用于从版盒1中取出掩模2，并承载所述掩模2移动；定位对准装置4，用于将所述掩模2与掩模台5对准；双重制动装置7，用于异常情况时对所述取放版机械手3制动。

请参考图3a和图3b，并结合图2，所述定位对准装置4包括：机械定位装置4-1，用于将所述掩模2初步定位；光学预定位对准装置4-2，用于计算对准结果，将所述掩模2与所述掩模台5光学对准，提高对准精度；交换版机械手4-3，用于携带所述掩模2移动，将所述掩模2与所述掩模台5对准。所述交换版机械手4-3携带所述掩模2与所述掩模台5精确对准，对准过程分步完成，提高了所述掩模2传输的精确性，提高了所述掩模2与所述掩模台5的对准精度，提高了所述掩模传输装置的传输精度，提高了所述掩模2传输的精确性。

请参考图3a，并结合图2，所述交换版机械手4-3上设有版叉4-4。所述版叉4-4能够在所述交换版机械手4-3上沿着X轴方向移动，所述版叉4-4用于承载并移动所述掩模2。所述交换版机械手4-3体积大，运动不便，但是由于设置了所述版叉4-4，所述版叉4-4携带所述掩模2移动，增大了所述掩模2在X轴方向上的行程；所述掩模台5行程小，但是X轴方向、Y轴方向、Rz轴方向运动自如，将带有版叉4-4的交换版机械手4-3与所述掩模台5互相结合使用，提高了对准效率以及对准精度。

请参考图2、图4a和图4b，取放版机械手3包括升降轴3-1，升降轴3-1升降，带动所述取放版机械手3上下移动，使所述取放版机械手3承载所述掩模2移动。所述双重制动装置7包括电机电磁制动装置和导轨气动制动装置，所述电机电磁制动装置和所述导轨气动制动装置均与所述升降轴3-1连接。所述双重制动装置7通过对所述升降轴3-1制动，使所述取放版机械手3及时停止，不会因自重而落下。

所述电机电磁制动装置包括第一电磁式制动器7-1和第二电磁式制动器7-2；所述第一电磁式制动器7-1通过电机7-3与所述升降轴3-1连接，所述第二电磁式制动器7-2通过丝杠7-4与所述升降轴3-1连接。

当断电时，所述电机电磁制动装置制动，其中，所述第一电磁式制动器7-1通过电机7-3对所述升降轴3-1制动，所述第二电磁式制动器7-2通过丝杠7-4对所述取放版机械手3制动。从而确保在发生异常情况时，例如断电情况、传动装置12异常情况时，所述取放版机械手3不会因自重而跌落，所述取放版机械手3上的所述掩模2不会掉下，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模2和所述取放版机械手3的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。

所述导轨气动制动装置包括控制器(图未示出)、失效检测传感器7-5和气动式制动器7-6，所述失效检测传感器7-5和所述气动式制动器7-6均与所述控制器信号连接；所述气动式制动器7-6通过导向装置7-7与所述升降轴3-1连接；所述失效检测传感器7-5外部设有传感器挡片7-8，所述传感器挡片7-8用于挡住所述失效检测传感器7-5；所述传感器挡片7-8与传动装置12接触连接。

当供气中断、所述传动装置12发生异常或者所述电机电磁制动装置失效时，所述传感器挡片7-8被弹开，所述失效检测传感器7-5被触发，所述失效检测传感器7-5发射信号给所述控制器，所述控制器控制所述气动式制动器7-6制动，所述气动式制动器7-6通过导向装置7-7对所述升降轴3-1制动，从而确保在供气中断、所述传动装置12发生异常或者所述电机电磁制动装置失效时，所述取放版机械手3不会因自重而跌落，所述掩模2不会从所述取放版机械手3上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模2和所述取放版机械手3的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。

所述导向装置7-7是导轨或者导向杆。

作为一种优选的方式所述传动装置12包括主动轮12-1和从动轮12-2，所述主动轮12-1与所述从动轮12-2之间连接有同步带12-3，所述传感器挡片7-8通过弹簧7-9与所述同步带12-3接触连接。

当所述同步带12-3松弛或断开时，所述弹簧7-9弹开所述传感器挡片7-8，所述失效检测传感器7-5被触发，所述失效检测传感器7-5发射信号给所述控制器，所述控制器控制所述气动式制动器7-6制动，所述气动式制动器7-6通过导向装置7-7带动所述取放版机械手3运转。从而确保在发生异常情况时，例如断电情况、传动装置12异常情况，所述取放版机械手3不会因自重而跌落，所述掩模2不会从所述取放版机械手3上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模2以及所述取放版机械手3的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。

请参考图2，所述掩模传输装置包括掩模颗粒检测装置8，所述掩模颗粒检测装置8用于检测所述掩模2的颗粒污染。

所述掩模2的颗粒污染检测可以与所述掩模2的曝光作业同时进行，减少所述掩模2的颗粒污染检测所用的时间，减少更换受污染的所述掩模2所用的时间，提高了所述掩模2的曝光效率。

请参考图2，所述掩模传输装置包括缓存台9，所述缓存台9用于放置已曝光的所述掩模2。

所述交换版机械手4-3将已曝光的所述掩模2放置在所述缓存台9上，便于将交换版机械手4-3及时空出，然后所述交换版机械手4-3将已完成颗粒度检测的所述掩模2传送至所述定位对准装置4及时对准；所以设置所述缓存台9有助于提高所述掩模2的传输效率，提高了所述掩模2的曝光效率。

请参考图2，所述掩模传输装置包括版库10和版盒搬运装置11，所述版库10用于储存所述版盒1，设置所述版库10便于同时储存大量所述掩模2；所述版盒搬运装置11用于将所述版盒1搬送至所述版库10内。

请参考图5a，结合图2，所述版库10内设有用于装载所述版盒1的版槽10-1，所述版槽10-1内设有缓冲器10-2。所述缓冲器10-2用于缓解所述版盒1装入所述版库10过程中对所述版槽10-1的冲击，防止所述版盒1过快落入所述版库10中破坏所述版槽10-1。

请参考图5a和图5b，结合图2，所述版盒1通过定位件10-3在所述版槽10-1内定位，提高所述版盒1以及装载在所述版盒1内的所述掩模2在所述版库10中的稳定性。

请参考图5a、图5b和图5c，并结合图2，所述版库10上设有版盒异常检测装置，所述版盒异常检测装置与所述取放版机械手3信号连接。用于检测所述取放版机械手3将所述版盒1和所述掩模2放入所述版库10过程中的异常情况。通过所述版盒异常检测装置对异常情况的检测，提高了所述版盒1和所述掩模2的安全性。所述版盒异常检测装置包括：

版盒存在检测传感器10-4，用于检测所述版盒1是否存在；当所述版盒1存在时，所述版盒存在检测传感器10-4有信号发出，当所述版盒1不存在时，所述版盒存在检测传感器10-4无信号发出；

掩模存在检测传感器10-5，用于检测所述掩模2是否存在；当所述掩模2存在时，所述掩模存在检测传感器10-5有信号发出，当所述掩模2不存在时，所述掩模存在检测传感器10-5无信号发出；

版盒到位检测传感器10-6，用于检测所述版盒1是否到位；当所述版盒1到位时，所述版盒到位检测传感器10-6有信号发出，当所述版盒1没有到位时，所述版盒到位检测传感器10-6无信号发出；

版盒前盖突出检测传感器10-7，用于检测版盒1前盖是否突出；当所述版盒1前盖突出时，所述版盒前盖突出检测传感器10-7有信号发出，此时需要调整所述版盒1前盖的位置；当所述版盒1前盖不突出时，版盒前盖突出检测传感器10-7无信号发出。

所述版盒存在检测传感器10-4、掩模存在检测传感器10-5、版盒到位检测传感器10-6以及版盒前盖突出检测传感器10-7依次信号连接。

请参考图5a、图5b、图5c和5d，并结合图2，上述版盒异常检测装置进行异常检测的方法，包括以下步骤：

步骤a，开始；

步骤b，判断所述版盒存在检测传感器10-4是否发出信号；

当所述版盒存在检测传感器10-4发出信号时，执行步骤c；

当所述版盒存在检测传感器10-4无信号发出时，重新执行步骤b；

步骤c，判断所述掩模存在检测传感器10-5是否发出信号；

当所述掩模存在检测传感器10-5发出信号时，执行步骤d；

当所述掩模存在检测传感器10-5无信号发出时，重新执行步骤b；

步骤d，判断所述版盒到位检测传感器10-6是否发出信号；

当所述版盒到位检测传感器10-6发出信号时，执行步骤e；

当所述版盒到位检测传感器10-6无信号发出时，重新执行步骤b；

步骤e，判断所述版盒前盖突出检测传感器10-7是否发出信号；

当所述版盒前盖突出检测传感器10-7发出信号时，重新执行步骤b；

当所述版盒前盖突出检测传感器10-7无信号发出时，执行步骤f；

步骤f，版盒异常检测装置发射信号给所述取放版机械手3，所述取放版机械手3将所述版盒1和所述掩模2放入所述版库10中。

请参考图2，所述版盒搬运装置11是版盒加高车，所述版盒加高车用于将所述版盒1从不同高度处搬送至所述版库10内。

所述版盒加高车是手动版盒加高车或者自动版盒加高车，其中，自动版盒加高车能够自动搬运版盒1，有助于提高所述版盒1的搬运效率，并且节省人力。

一种曝光装置，用于将形成于所述掩模2的图案曝光于感光基板上，包括上述的掩模传输装置。

该曝光装置由于设置了上述掩模传输装置，发生异常情况时，双重制动装置7对所述取放版机械手3的机械轴制动，所述取放版机械手3不会因自重而跌落，所述掩模2不会从所述取放版机械手3上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模2以及所述取放版机械手3的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。并且由于所述定位对准装置的设置，提高了所述掩模2传输的精确性。

一种掩模传输方法，采用上述的掩模传输装置进行，包括以下步骤：

步骤一：所述取放版机械手3从所述版盒1中取出所述掩模2，并承载所述掩模2移动；

步骤二：所述定位对准装置4将所述掩模2与所述掩模台5对准；

步骤三：对准后，对所述掩模2曝光，然后将已曝光的掩模2移开，完成所述掩模2的传输。

作为优选，步骤一和步骤二之间包括对所述掩模2进行颗粒检测的步骤。

本发明提供的掩模传输方法，能够确保在发生异常情况时，发生异常情况时，双重制动装置7通过所述升降轴3-1对所述取放版机械手3制动，所述取放版机械手3不会因自重而跌落，所述掩模2不会从所述取放版机械手3上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模2以及所述取放版机械手3的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。并且由于所述定位对准装置的设置，提高了所述掩模2传输的精确性。

本发明所提供的掩模传输装置具体工作过程如下：所述取放版机械手3将所述掩模2从所述版盒1中取出，将所述掩模2传送至所述掩模颗粒检测装置8上进行颗粒检测，检测完成后，所述交换版机械手4-3上的版叉4-4携带所述掩模2运动，将其在所述机械定位装置4-1上初步定位，然后通过光学预定位对准装置4-2计算出精确的对准结果，根据对准结果，所述版叉4-4在X轴方向移动，在X轴方向对所述掩模2位置补偿；所述掩模台5执行在X轴方向、Y轴方向及Rz轴方向运动，在X轴方向、Y轴方向及Rz轴方向对所述掩模2位置补偿将所述掩模2与所述掩模台5对准，采用这样的对准方式，提高了对准精度，提高了所述掩模的传输装置的传输精度；对准后将所述掩模2放置在所述掩模台5上，采用曝光镜头6对所述掩模2进行曝光，所述交换版机械手4-3将已曝光的所述掩模2放置在所述缓存台9上，完成所述掩模2的传输。

当出现异常情况时，发生异常情况时，双重制动装置7对所述升降轴3-1制动，使所述取放版机械手3不会因自重而跌落，所述掩模2不会从所述取放版机械手3上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模2、所述版盒1以及设备的安全，提高了所述掩模传输装置的安全性。

本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (20)

1.一种掩模传输装置，其特征在于，包括：

取放版机械手(3)，用于从版盒(1)中取出掩模(2)，并承载所述掩模(2)移动；

定位对准装置(4)，用于将所述掩模(2)与掩模台(5)对准；

双重制动装置(7)，用于异常情况时对所述取放版机械手(3)制动。

2.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述定位对准装置(4)包括：

机械定位装置(4-1)，用于将所述掩模(2)初步定位；

光学预定位对准装置(4-2)，用于计算对准结果，将所述掩模(2)与所述掩模台(5)光学对准；

交换版机械手(4-3)，用于携带所述掩模(2)移动，将所述掩模(2)与所述掩模台(5)对准。

3.根据权利要求2所述的掩模传输装置，其特征在于，所述交换版机械手(4-3)上设有版叉(4-4)。

4.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，取放版机械手(3)包括升降轴(3-1)，所述双重制动装置(7)包括电机电磁制动装置和导轨气动制动装置，所述电机电磁制动装置和所述导轨气动制动装置均与所述升降轴(3-1)连接。

5.根据权利要求4所述的掩模传输装置，其特征在于，所述电机电磁制动装置包括第一电磁式制动器(7-1)和第二电磁式制动器(7-2)；所述第一电磁式制动器(7-1)通过电机(7-3)与所述升降轴(3-1)连接，所述第二电磁式制动器(7-2)通过丝杠(7-4)与所述升降轴(3-1)连接。

6.根据权利要求4所述的掩模传输装置，其特征在于，所述导轨气动制动装置包括控制器、失效检测传感器(7-5)和气动式制动器(7-6)，所述失效检测传感器(7-5)和所述气动式制动器(7-6)均与所述控制器信号连接；所述气动式制动器(7-6)通过导向装置(7-7)与所述升降轴(3-1)连接；所述失效检测传感器(7-5)外部设有传感器挡片(7-8)，所述传感器挡片(7-8)用于挡住所述失效检测传感器(7-5)；所述传感器挡片(7-8)与传动装置(12)接触连接。

7.根据权利要求6所述的掩模传输装置，其特征在于，所述导向装置(7-7)是导轨或者导向杆。

8.根据权利要求6所述的掩模传输装置，其特征在于，所述传动装置(12)包括主动轮(12-1)和从动轮(12-2)，所述主动轮(12-1)与所述从动轮(12-2)之间连接有同步带(12-3)，所述传感器挡片(7-8)通过弹簧(7-9)与所述同步带(12-3)接触连接。

9.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述掩模传输装置包括掩模颗粒检测装置(8)，所述掩模颗粒检测装置(8)用于检测所述掩模(2)的颗粒污染。

10.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述掩模传输装置包括缓存台(9)，所述缓存台(9)用于放置已曝光的所述掩模(2)。

11.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述掩模传输装置包括版库(10)和版盒搬运装置(11)，所述版库(10)用于储存所述版盒(1)；所述版盒搬运装置(11)用于将所述版盒(1)搬送至所述版库(10)内。

12.根据权利要求11所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版库(10)内设有用于装载所述版盒(1)的版槽(10-1)，所述版槽(10-1)内设有缓冲器(10-2)。

13.根据权利要求12所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版盒(1)通过定位件(10-3)在所述版槽(10-1)内定位。

14.根据权利要求11所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版库(10)上设有版盒异常检测装置，所述版盒异常检测装置与所述取放版机械手(3)信号连接。

15.根据权利要求14所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版盒异常检测装置包括：

版盒存在检测传感器(10-4)，用于检测所述版盒(1)是否存在；

掩模存在检测传感器(10-5)，用于检测所述掩模(2)是否存在；

版盒到位检测传感器(10-6)，用于检测所述版盒(1)是否到位；

版盒前盖突出检测传感器(10-7)，用于检测所述版盒(1)的前盖是否突出。

16.根据权利要求11所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版盒搬运装置(11)是版盒加高车，所述版盒加高车用于将所述版盒(1)从不同高度处搬送至所述版库(10)内。

17.根据权利要求16所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版盒加高车是手动版盒加高车或者自动版盒加高车。

18.一种曝光装置，用于将形成于所述掩模(2)的图案曝光于感光基板上，其特征在于，包括权利要求1至17任意一项所述的掩模传输装置。

19.一种掩模传输方法，其特征在于，采用权利要求1至17任意一项所述的掩模传输装置进行，包括以下步骤：

步骤一：所述取放版机械手(3)从所述版盒(1)中取出所述掩模(2)，并承载所述掩模(2)移动；

步骤二：所述定位对准装置(4)将所述掩模(2)与所述掩模台(5)对准；

步骤三：对准后，对所述掩模(2)曝光，然后将已曝光的掩模(2)移开，完成所述掩模(2)的传输。

20.根据权利要求19所述的掩模传输方法，其特征在于，步骤一和步骤二之间包括对所述掩模(2)进行颗粒检测的步骤。