CN105764584A - 脱气装置以及脱气方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种脱气装置以及脱气方法，其结构简单，且无论所适用的装置、工厂为如何，均能够以高的精度将气体从液体脱气。本发明通过上述脱气装置以及使用了该脱气装置的脱气方法来解决上述课题，上述脱气装置具有：腔室10，该腔室10将要脱气的液体蓄积于内部；注入部20，该注入部20将液体从腔室10的上部注入于腔室10；以及排出机构30，该排出机构30将蓄积于腔室10内的液体从腔室10的下侧排出，在密闭了腔室10的内部的状态下，通过将流量比注入于腔室10内的液体的流量多的液体从腔室10内排出，从而对腔室10内进行减压。

Description

脱气装置以及脱气方法

技术领域

本发明涉及脱气装置以及脱气方法，更具体涉及将溶解存在于液体的气体从液体中去除的脱气装置以及脱气方法。

背景技术

溶解存在于液体中的气体有时会导致各种不良情况，例如，使液体出现劣化，在使用液体作为洗涤液而洗涤电子部件等的情况下将电子部件等损伤，等等。脱气装置通过将溶解存在于液体的气体从液体中去除，从而防止了这样的不良情况发生。这样的脱气装置利用各种各样的原理。在脱气装置中通常知晓的是利用了真空泵的脱气装置。

关于专利文献1～3中提出的脱气装置，任一个都是从用于洗涤电子部件等的洗涤液中将溶解存在于洗涤液的气体去除的脱气装置。这些脱气装置通过对注入了洗涤液的容器内部进行减压从而去除了溶解存在于洗涤液的气体。这样的脱气装置的减压技术是通过利用真空泵将存在于容器的内部的气体进行抽吸从而对容器的内部进行减压的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-187603号公报

专利文献2：日本特开平11-319407号公报

专利文献3：日本特开2000-288307号公报

发明内容

发明想要解决的课题

但是，在专利文献1～3中提出的脱气装置中，除了洗涤液的循环路径之外，还必须设置用于对容器的内部进行减压的真空泵。因此，在这些脱气装置中，脱气装置的结构变得复杂。另外，需要根据适用脱气装置的洗涤装置和/或要脱气的洗涤液的种类而适当地选定真空泵。

本发明为了解决上述课题而完成，其目的在于提供一种结构简单，且不管组入脱气装置的系统、脱气的液体的种类为如何，都能够以高的精度将气体从液体脱气的脱气装置以及脱气方法。

用于解决问题的方案

用于解决上述课题的本发明的脱气装置的特征在于，其具备：腔室，该腔室具有可密闭的结构，蓄积要脱气的液体；注入部，该注入部一边保持前述腔室的内部的密闭状态，一边将前述液体从前述腔室的上部注入于前述腔室内；以及排出机构，该排出机构将蓄积于前述腔室内的前述液体从前述腔室的下部排出；前述排出机构在密闭了前述腔室的内部的状态下，将流量比注入于前述腔室内的前述液体的流量多的前述液体从前述腔室内排出，对前述腔室内进行减压。

根据本发明，具备向腔室内从该腔室的上部注入液体的注入部以及将蓄积于腔室内的液体从腔室的下部排出的排出机构，在密闭了腔室内的状态下，将流量比注入于腔室内的液体的流量多的液体从腔室内排出，从而对腔室内进行了减压。因此，可将溶解存在于液体的气体以气泡的方式产生，可将气体从液体进行脱气。另外，由于通过将流量比注入于腔室内的液体的流量多的液体从腔室排出而对腔室内进行减压，因而不需要另行地设置真空泵。其结果，可将脱气装置的结构简化。另外，由于不设置真空泵而进行脱气，因而可不受真空泵的性能的左右而将溶解存在于液体的气体从液体中进行脱气。

本发明的脱气装置的特征在于，其进一步具备排气部，该排气部将从蓄积于前述腔室内的液体中脱出来的气体排气；开闭机构，该开闭机构将前述排气部开闭；注入量调整机构，该注入量调整机构对注入于前述腔室内的前述液体的流量进行调整；以及控制器，该控制器对前述开闭机构的动作以及前述注入量调整机构的动作进行控制，前述控制器按照如下的方式进行控制：在对前述注入量调整机构进行控制而将流量比从前述腔室内排出的前述液体的流量少的前述液体注入于前述腔室内的期间，利用前述开闭机构关闭前述排气部将前述腔室内设为密闭状态，在对前述注入量调整机构进行控制而将比从前述腔室内排出的前述液体的流量多的前述液体注入于前述腔室内的期间，利用前述开闭机构打开前述排气部而解除前述腔室内的密闭状态。

根据本发明，由于控制器按照如下的方式进行控制，即，在将流量比从腔室内排出的液体的流量少的液体注入于腔室内的期间利用开闭机构关闭排气部，在将比从腔室内排出的液体的流量多的液体注入于腔室的期间利用开闭机构打开排气部，因而可确实地对腔室内进行减压而将溶解存在于液体的气体从液体进行脱气，并且可将脱气了的气体从腔室确实地排出。

本发明的脱气装置的特征在于，前述排出机构连接于前述排气部，在打开了前述开闭机构时，对从前述腔室内排出的气体进行抽吸。

根据本发明，由于排出机构在打开了开闭机构时对从腔室内排出的气体进行抽吸，因而可将从液体中脱出来的气体从腔室内强制性地进行排气。

本发明的脱气装置的特征在于，其进一步具备：下限传感器，该下限传感器对前述腔室内所蓄积的前述液体的液面是否到达了预先设定的前述腔室的下限位置的情况进行检测；计时器，该计时器基于来自前述下限传感器的信号而运转的计时器，在前述下限传感器检测出前述液体的液面到达了前述下限位置的情况之时，前述控制器按照如下的方式进行控制，该方式为，对前述注入量调整机构的动作进行控制，将流量比从前述腔室排出的前述液体的流量多的前述液体注入于前述腔室；在前述计时器运转之后经过了直到前述液体的液面到达前述腔室的预先设定的上限位置为止所需要的规定时间之时，前述控制器按照如下的方式进行控制：对前述注入量调整机构的动作进行控制而将流量比从前述腔室排出的前述液体的流量少的前述液体注入于前述腔室。

根据本发明，具备上述的下限传感器，在下限传感器检测出液体的液面到达了腔室内的下限位置的情况之时，上述的控制器按照如下的方式进行控制，即，对注入量调整机构的动作进行控制而将流量比从腔室内排出的液体的流量多的液体注入于腔室内，因而可事先蓄积对于在腔室内进行脱气而言恰当的量的液体。另外，具备基于来自下限传感器的信号而运转的计时器，计时器基于来自下限传感器的信号而开始运转，在经过了直到液面到达腔室内的预先设定的上限位置为止所需要的规定时间之时，由于控制器按照如下的方式进行控制，即，对注入量调整机构的动作进行控制而将流量比从腔室排出的液体的流量少的液体注入于腔室，因而可确实地对腔室内进行减压。

本发明的脱气装置的特征在于，其具有冷却装置，该冷却装置对相对于前述腔室内的预先设定了的规定位置而言的上侧进行冷却。

根据本发明，由于具有对相对于腔室内的预先设定了的规定位置而言的上侧进行冷却的冷却装置，因而通过使冷却装置将相对于腔室内的规定位置而言的上侧冷却，从而可容易进行腔室内的减压。另外，即使液体发生蒸发，也可通过再次进行液化而有效地进行脱气。予以说明，冷却装置可通过具备如下构件而构成：配置在相对于腔室内的预先设定的规定位置而言的上侧的配管以及使制冷剂循环于配管的冷却器。

用于解决上述课题的本发明的脱气方法的特征在于，通过注入部将液体从该腔室的上部注入于密闭了的腔室的内部，满足了规定的条件，并且将液体注入于前述密闭了的腔室内时，将流量比注入于前述腔室内的液体的流量多的前述液体从前述腔室的下部排出，对前述腔室内进行减压。

根据本发明，在密闭了腔室的内部的状态下，将流量比注入于腔室内的液体的流量多的液体从腔室内排出，从而对腔室内进行减压，因而可使溶解存在于液体的气体以气泡的方式产生，可将气体从液体中脱气。另外，由于通过将流量比注入于腔室内的液体的流量多的液体从腔室内排出而对腔室内进行减压，因而不需要另行地设置真空泵。

本发明的脱气方法的特征在于，在前述液体的液面到达了预先设定的前述腔室内的下限位置时，按照将流量比从前述腔室内排出的前述液体的流量多的前述液体注入于前述腔室内的方式进行控制；在前述液体的液面到达了前述腔室内的预先设定的上限位置时，按照将流量比从前述腔室内排出的前述液体的流量少的前述液体注入于前述腔室内的方式进行控制。

根据本发明，在液体的液面到达了预先设定的腔室内的下限位置时，按照将流量比从腔室内排出的液体的流量多的液体注入于腔室内的方式进行控制，因而可确保有为了在腔室内进行脱气所必需的量的液体。另一方面，在液体的液面到达了腔室内的预先设定的上限位置时，按照将流量比从腔室内排出的液体的流量少的液体注入于腔室内的方式进行控制，因而可确实地对腔室内进行减压。

本发明的脱气方法的特征在于，对相对于腔室内的预先设定的规定位置而言的上侧进行冷却。

根据本发明，由于对相对于腔室内的预先设定的规定位置而言的上侧进行冷却，因而可容易进行腔室内的减压。另外，即使液体发生蒸发，也可通过再次进行液化而有效地进行脱气。

发明的效果

根据本发明，可将脱气装置的结构简单化。另外，不管适用脱气装置的装置、要脱气的液体的种类为如何，都能够以高的精度将气体从液体脱气。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的脱气装置的系统之概要的系统图。

图2是表示图1所示的脱气装置所具备的腔室的内部结构之概要的部分剖视图。

图3是模式地表示脱气装置的作用的说明图，图3(A)表示液体的液面正在升高的状态，图3(B)表示液体的液面到达了腔室的上端的状态，图3(C)表示液体的液面正在下降的状态，图3(D)表示液体的液面到达了腔室内的下限位置的状态，图3(E)表示液体的液面正在升高的状态，图3(F)表示液体的液面到达了腔室的上端的状态。

图4是表示脱气装置的作用之概要的流程图。

具体实施方式

以下，一边参照附图一边说明本发明的实施方式。予以说明，本发明的技术范围不仅仅限定于以下的记载、附图，可在本发明的主旨的范围内进行各种变形。

[基本构成]

如图1以及图2所示那样，本发明的脱气装置1具有：腔室10，该腔室10将要脱气的液体100于内部蓄积；注入部20，该注入部20将液体100从腔室10的上部注入到腔室10内；排出机构30，该排出机构30将于腔室10内蓄积的液体100从腔室10的下部排出。关于该脱气装置1，在密闭了腔室10的内部的状态下，通过将流量比注入于腔室10的液体100的流量多的液体100从腔室10内排出而对腔室10内减压，从而从液体100进行着脱气。

予以说明，在本说明书中，关于腔室10的上部，并不限于构成了腔室10的顶面的盖15的位置，表示包含构成了腔室10的侧面的主体11的相对上侧的区域的部位。例如，在图2所示的腔室10的情况下，腔室10的上部表示：盖15、相对于主体11的规定位置201而言的上侧的区域。另外，腔室10的下部并不限于腔室10的最低的部位，表示包含腔室10的相对的下侧的区域的部位。例如，在图2所示的腔室10的情况下，腔室10的下部表示：相对于下限位置202而言的底面12的下侧的区域。

该脱气装置1起到可将脱气装置1的结构简化这样的特有效果。另外，不管适用脱气装置1的装置、脱气的液体的种类为如何，都能够起到以高的精度将气体从液体100脱气这样的效果。

予以说明，关于本发明的脱气装置1以及脱气方法，可通过组入于利用超声波洗涤电子部件、晶圆等、或者剥离表面的杂质的洗涤系统从而提高其效果，因而称为“SurfaceUltrasonicFlatFixSystem”，简略地称为“SuffixSystem”。并且，本发明的脱气装置1以及脱气方法可在如下的情况下使用：组入于除了利用了超声波的洗涤系统以外的洗涤装置，用于将气体从洗涤电子部件、晶圆等的洗涤液进行脱气从而利用。另外，本发明的脱气装置1以及脱气方法，还可用于防止液体100受到溶解存在的气体的影响而发生劣化，从而利用。特别是在溶解存在的气体为氧气的情况下，可用于防止液体发生氧化从而利用。

[整体结构的概要]

脱气装置1具有：将要脱气的液体100于内部蓄积的腔室10；将液体100从腔室10的上部注入于腔室10内的注入部20；作为排出机构的泵30(以下简称为泵30)，该泵30将于腔室10内蓄积的液体100从腔室10的下部排出。予以说明，泵30并非现有的脱气装置所具有的仅仅用于将腔室10内的气体进行排气而设置的真空泵。另外，脱气装置1具有：将腔室10内的气体排出的排气部40；检测腔室10内的液体100的液面101的位置的液面传感器80；测量腔室10的内压的压力传感器90。

注入部20具有将液体100从腔室10的上部注入于腔室10内的结构，由主配管21与副配管25构成，可改变注入于腔室10内的液体100的流量。泵30由腔室10的下部和配管31连接，通过抽吸于腔室10内蓄积的液体100从而从腔室10内排出。排气部40通过具备配管41以及开闭阀42而构成。配管41的一端连接于腔室10，另一端连接于配管31。另外，开闭阀42设置于配管41的中途。

此外，脱气装置1具有由配管35构成的旁路路径，该配管35将配管31与事先蓄积的供给于腔室10内的液体100的未图示的蓄液部连接。由配管35构成的旁路路径，按照即使在不从腔室10内抽吸液体100的期间也可使得泵30抽吸液体100的方式设定。

脱气装置1进一步具有对脱气装置1的动作进行控制的控制器60；使压缩空气流动的先导管路70。控制器60控制脱气装置1的动作，并根据计时器65、源自液面传感器80的信号、源自压力传感器90的信号进行了控制。予以说明，计时器65内置于控制器60。先导管路70由连接于注入部20的管路、连接于排气部40的管路以及连接于泵30的管路等构成。该先导管路70接受源自控制器60的指令，向控制所必需的管路供给压缩空气。

予以说明，脱气装置1根据需要而设置有冷却装置50。冷却装置50是以冷却腔室10的内部、降低气体的温度为主要目的的装置。予以说明，冷却装置50是根据脱气的液体的种类而设置的装置，不是必需的结构。

以下，一边适当地参照附图一边说明脱气装置1具有的各构成。

(腔室)

如图2所示那样构成了腔室。该腔室10是在其内部蓄积液体100的部位，由主体11与盖15构成。主体11的上部开放着，下部通过底面12而关闭着。盖15相对于主体11可装卸地构成，按照安装于开放的腔室10的主体11的上部而关闭主体11的上部、或者通过取出而打开主体11的上部的方式而构成。主体11和盖15在盖15关闭了主体11的上部时通过设置在两者之间的密封材料等而密闭。主体11的底面12具有将于该腔室10内蓄积的液体100排出的排出口13，在图示的例子中，该排出口13设置于底面12的最低的位置。腔室10按照将液体100从注入部20注入、从排出口13排出的方式而构成，将液体100暂时性地滞留。

予以说明，关于腔室10的容量，根据注入的液体100的流量和从腔室10内排出的液体100的流量而适当地设定。另外，关于注入于腔室10内的液体100的流量以及从腔室10内排出的液体100的流量，根据要脱气的液体100的种类、适用该脱气装置1的对象而恰当地设定。

(注入部)

注入部20是用于将要脱气的液体100注入于腔室10内的手段。在图1以及图2所示的实施方式的脱气装置1中，注入部20由两根配管21、25构成。两根配管21、25分别将腔室10的盖15贯通，它们的前端侧插入于腔室10的内部。两根配管21、25之中的一根配管是主配管21，另一根配管是副配管25。

主配管21设置于盖15的任意位置。例如，按照在腔室10的大致中央的位置将盖15进行贯通的方式设置。主配管21在其前端具有喷嘴22，将液体100雾化而注入于腔室10。该主配管21在脱气装置1运转运行的期间，不断地将液体100注入于腔室10的内部。予以说明，关于喷嘴22，也可在其内部设置防止杂质浸入腔室10的内部的过滤器。

副配管25也设置于盖15的任意位置。例如，关于副配管25，按照与主配管21相比而言在腔室10的半径方向的外侧的位置将盖15进行贯通的方式设置。副配管25是在于腔室10的内部蓄积的液体100的量变少，向腔室10的内部补给液体100时使用的配管。副配管25具有利用后述的先导管路70对开闭进行控制的开闭阀27。液体100通过打开开闭阀27而从副配管25注入于腔室10内，通过关闭开闭阀27而停止液体100向腔室10内的注入。副配管25也在其前端具有喷嘴26，将液体100雾化而注入于腔室10。予以说明，该副配管25也可在其内部设置防止杂质浸入于腔室10的内部的过滤器。

关于具有开闭阀27的副配管25，通过打开开闭阀27，从而将比关闭了开闭阀27时多的液体100注入于腔室10内，通过关闭开闭阀27而将比打开了开闭阀27时少的液体100注入于腔室10内，作为注入量调整机构而发挥着功能。

(作为排出机构的泵)

泵30通过配管31连接于腔室10。该泵30将于腔室10内蓄积的液体100从腔室10内排出。予以说明，液体100的排出通过泵30而强制性地进行。泵30将比由注入部20的主配管21独自地注入于腔室10的液体100的流量多的液体100从腔室10内排出。另一方面，泵30将比由主配管21以及副配管25这两者注入于腔室10内的液体100的流量少的液体100从腔室10内排出。另外，该泵30由先导管路70控制着运转的开始和停止。

(排气部)

排气部40是将从于腔室10内蓄积的液体100脱出来的气体进行排气的部位。排气部40具有：从盖15朝向腔室10的外侧延伸并且连接于配管31的配管41；以及利用先导管路70进行开闭动作的作为开闭机构的开闭阀42(以下简称为开闭阀42)。在泵30排出流量比注入的液体100的流量多的液体100的期间，通过使开闭阀42关闭而密闭腔室10的内部。另一方面，在为了使得腔室10内的液体100的液面101到达腔室10的预先设定的上限位置203而将液体100补充于腔室10的期间，开闭阀42打开着。在开闭阀42打开的期间，泵30通过配管40、41而抽吸腔室10内的气体从而将从液体100脱出来的气体排出到腔室10之外。予以说明，从腔室10排出的气体通过设置于泵30的下游侧的配管43而释放到外部。

(液面传感器)

液面传感器80由按照在上下方向上延伸的方式配置的轴81、分别设置在轴81的上侧与下侧这两个部位的浮子82、83构成。设置于两个部位的浮子82、83分别可在轴81的一定范围在上下方向上移动地构成，利用液体100的浮力向上侧移动。构成了液面传感器80的下侧的浮子83检测的是于腔室10的内部蓄积的液体100的液面101到达了腔室10的预先设定的位置的情况。予以说明，关于下侧的浮子83，如在后述的脱气装置1的作用这一栏中说明的那样，也检测液面101升高并且通过下限位置202的情况。另外，构成了液面传感器80的上侧的浮子82检测的是于腔室10的内部蓄积的液体100的液面101通过腔室10的预先设定的位置的情况。

设置于下侧的浮子83是用于检知液体100的液面101是否到达了腔室内的预先设定的下限位置202的下限传感器。在液体100的液面101到达了下限位置202时，利用液体100的浮力而推高了的浮子83发生下降。通过下降，根据浮子83检知了液体100的液面101到达了下限位置202。另外，浮子83伴随着液面101的升高而被推高时，开始了计时器65的运转。

设置于上侧的浮子82是在设置了后述的冷却装置50的情况下而设置的传感器。浮子82是检知液体100的液面101通过了腔室10内的预先设定的规定位置201的情况的传感器，作为进行冷却装置50的运转的开始以及停止的开关而发挥着功能。液体100的液面101升高而通过规定位置201时，浮子82利用液体100的浮力而被推高。根据浮子82被推高，检知液体100的液面101升高至规定位置201。另一方面，当液体100的液面101下降而通过规定位置201时，利用浮力而推高了的浮子82发生下降。根据浮子82发生下降，检知液体100的液面101下降至规定位置201。

以上，以由浮子82、83构成了液面传感器的情况为例子对液面传感器进行了说明。然而，液面传感器不限于浮子82、83。液面传感器可使用光学地检测液面101的位置的光传感器、利用超声波来检测液面101的位置的超声波传感器以及通过考虑电容的变化来检测液面101的位置的电容式液面传感器等各种传感器。

(计时器)

计时器65设置于控制器60，按照以下方式设定，根据源自作为下限传感器的浮子83的信号而开始计数。该计时器65预先设定液体100的液面101从下限位置202到达腔室10内的预先设定的上限位置203为止的时间。预先设定浮子83所设置的下限位置202与腔室10的上限位置203之间的容积。另外，也预先设定注入部20将液体100注入于腔室10的流量。因此，关于液面101的位置的控制，可通过利用计时器65设定时间，控制关闭开闭阀27的时机而进行。

予以说明，关于上述的腔室10内的预先设定的上限位置203，可设定于腔室10的盖15所在的腔室10的上端。但是，上限位置203并不限于设定于腔室10的上端，也可设定于规定位置201与腔室10的上端之间的任意位置。

(压力传感器)

压力传感器90测量腔室10的内压，将对应于压力的信号发送到控制器60。该压力传感器90按照以下方式应用，通过测量腔室10的内压，从而判断是否将腔室10的内压减压至适于将气体从液体100进行脱气的压力。

(先导管路)

先导管路70是使压缩空气流动的管路，进行注入部20所具有的开闭阀27的开闭；泵30的运转的开始以及停止；以及排气部40所具有的开闭阀42的开闭。予以说明，先导管路70也进行设置于冷却装置50的开闭阀54的开闭。

图1所示的先导管路70所示的符号27、30、42、54分别对应于注入部20的开闭阀27、泵30、排气部40的开闭阀42以及冷却装置50的开闭阀54。该先导管路70根据源自控制器60的指令，进行如下控制：使压缩空气在连接于开闭阀27的管路、连接于开闭阀42的管路以及连接于开闭阀54的管路进行流动或停止；以及使压缩空气在连接于泵30的管路进行流动或者使得压缩空气的流动停止。

例如，打开注入部20的开闭阀27的情况下，使得压缩空气在连接于开闭阀27的先导管路70流动，开闭阀27的未图示的阀芯在流动的压缩空气的作用下移动。相反地，在关闭注入部20的开闭阀27的情况下，停止在连接于开闭阀27的先导管路70中流动的压缩空气，开闭阀27的未图示的阀芯返回到原处。

予以说明，关于图1所示的先导管路70，可按照使压缩空气在连接于开闭阀27的管路、连接于开闭阀42的管路以及连接于开闭阀54的管路中同时地流动或者停止的方式构成，或者也可按照使压缩空气分别地在从连接于开闭阀27的管路、连接于开闭阀42的管路、以及连接于开闭阀54的管路之中任意地选定出的管路流动或停止的方式构成。

(控制器)

控制器60通过选择使压缩空气在先导管路70之中的某个管路流动，从而进行以下控制：(1)注入部20所具有的开闭阀27的开闭、(2)泵30的运转的开始以及停止、(3)排气部40所具有的开闭阀42的开闭、以及(4)冷却装置50的开闭阀54的开闭。

此时，控制器60根据源自液面传感器80的浮子83以及计时器65的信号来选择使压缩空气流动的先导管路70，并且停止了在该先导管路70中流动的压缩空气。

该控制器60的主要的控制内容如下所述。即，在作为下限传感器的浮子83检测出液体100的液面101到达了下限位置202的情况时，控制器60按照打开注入部20的开闭阀27的方式发出指令，将比从腔室10内排出的液体100的流量更多流量的液体100注入于腔室10内。另外，在此时，浮子83送出的信号使得计时器65进行运转。如上述那样，该计时器65被设定了液体100到达腔室10内的预先设定的上限位置203为止的时间。另一方面，在计时器65运转之后，经过了直到液体100的液面101到达腔室10内的预先设定的上限位置203为止所需要的规定时间时，控制器60按照以下方式进行控制，即，发出关闭开闭阀27的指令，将流量比从腔室10内排出的液体100的流量少的液体100注入于腔室10内。

控制器60也进行如下的控制，即，按照根据源自压力传感器90的信号而重新设定脱气装置1的动作的方式，对脱气装置1的动作进行控制。在气体混入于液体100的情况下，液体100的液面101即使经过计时器65中设置的时间，也会受到气体的影响，使得液面101没有到达腔室10内的预先设定的上限位置203。特别是，将上限位置203设定于腔室10的上端的情况下，在液面101与腔室10的上端之间会形成空间。在这样的状态下进行了脱气的情况下，存在腔室10的内压无法减压至可有效地进行脱气的压力的可能。为了不产生该现象，控制器60按照根据源自压力传感器90的信号来重新设定脱气装置1的动作的方式，控制脱气装置1的动作。

控制器65具有存储部(未图示)，该存储部存储着可有效地进行脱气的最高内压。控制器65对从压力传感器90发送出的压力信号与存储于存储部的最高内压进行比较，在一定时间内从压力传感器90连续发送高于最高内压的压力信号的情况下，重新设定上述的脱气装置1的动作。即，将腔室10内排空，接着，将液体100注入于腔室10内来升高液面101，使得浮子83进行运转，并且根据源自浮子83的信号而使得计时器65进行运转。重新设定脱气装置1的动作，这可使得液体100的液面101到达腔室10内的预先设定的上限位置203。

(冷却装置)

冷却装置50如上述那样根据需要而设置。冷却装置50具有：配管52，该配管52配置于腔室10的内部中的相对于液体100而言的上侧；以及冷却器51，该冷却器51使制冷剂于配管52循环。配管52呈螺旋状地形成于腔室10的内部，高效地冷却着腔室10的上部。配管52与冷却器51通过配管53而连接。

螺旋状的配管52配置于如下的位置，即，在相对于设置有浮子82的规定位置201而言的上侧，并且是从腔室10的侧壁面以仅仅一定的距离向内侧分离的位置。配管53具有开闭阀54。开闭阀54将从冷却器51供给的制冷剂供给于螺旋状的配管52，或者停止供给。

具体而言，浮子82在液体100的液面101升高而通过规定位置时利用液体100的浮力而被推高。浮子82被推高时，浮子82发送信号。控制器60通过接受从浮子82发来的信号，按照停止供给于开闭阀54的压缩空气的方式对先导管路70发出指令。开闭阀54因由先导管路70供给的压缩空气被停止，从而使得未图示的阀芯移动、关闭。通过关闭开闭阀54，使得冷却装置50停止将制冷剂供给于螺旋状的配管52。

另一方面，浮子82在液体100的液面101下降而通过于规定位置201时，从因浮力而推高了的状态下降。浮子82下降时，浮子82停止信号。控制器60根据从浮子82送来的信号停止，按照将压缩空气供给至开闭阀54的方式对先导管路70发出指令。利用由先导管路70供给的压缩空气，使得未图示的阀芯发生移动，打开开闭阀54。通过打开开闭阀54，使得冷却装置50将制冷剂供给于螺旋状的配管52。

该冷却装置50也具有如下的功能：通过冷却相对于设置有浮子82的规定位置201而言的腔室10内的上侧，从而收缩滞留于腔室10内的上侧的气体的体积，容易地对腔室10内进行减压。在腔室10内被减压的情况下，使得溶解存在于液体100的气体容易以气泡的方式显现。冷却装置50通过利用这样的原理，容易地将溶解存在于液体100的气体从液体100中去除。

另外，通过使冷却装置50如以上那样运转，从而将腔室10内的上侧冷却。在液体100发生蒸发而进行了气化的情况下，将腔室10内的上侧冷却的操作可以使得从气化了的状态再次返回到液体的状态。通过返回到液体100而使腔室10内被减压，因而冷却装置50可有效地将气体从液体100脱气。这样的冷却装置50在将沸点低的液体进行脱气的情况下特别有效。

以上对于脱气装置1具备先导管路70，利用先导压力来控制开闭阀27、47以及泵30的运转的情况进行了说明。然而，脱气装置1也可以电磁方式控制开闭阀27、42以及泵30。

具有以上的结构的脱气装置1可仅通过将该脱气装置1连接于现有的洗涤装置等的配管，从而组入于现有的洗涤装置中。

[脱气装置的作用]

具有以上的结构的脱气装置1通过将液体100从上部注入于密闭了的腔室10内，并且将流量比注入于腔室10内的液体100的流量多的液体100从腔室10的下部排出，从而对腔室10内进行了减压。关于这样的脱气装置1的具体性的作用以及根据液面传感器80的动作而进行的控制的内容，一边参照图3以及图4一边说明。予以说明，以下，以将液面101所到达的上限位置203设为腔室10的上端(盖11所在的位置。但是，盖11未示于图3。)的情况为例，进行说明。

关于该脱气装置1，一边将蓄积于腔室10内的液体100反复进行增量与减量，一边将溶解存在于液体100的气体从液体100进行脱气。即，反复进行如下的工序：蓄积于腔室10内的液体100的液量增加，液体100的液面101到达腔室10的上端的工序；以及蓄积于腔室10内的液体100的液量减少，液体100的液面101到达下限位置202的工序。溶解存在于液体100的气体在反复进行这样的工序的期间从液体100进行脱气。

(液面的升高工序)

一旦向脱气装置1通电(图4的S1)，则控制器60按照以下方式发出指令：使压缩空气在连接于注入部20的先导管路70流动以及在连接于排气部40的先导管路70流动。由此打开注入部20的开闭阀27。如图3(A)所示那样，液体100从注入部20的主配管21以及副配管25这两者注入于腔室10内(图4的S2)。另外，通过通电，从而开始泵30的运转。那时，液体100在由配管35构成的旁路路径流动，泵30供给在由配管35构成的旁路路径流动的液体100。另外，打开排气部40的开闭阀42(图4的S3)。泵30通过配管41以及配管31将滞留在腔室10内的气体进行抽吸，将滞留在腔室10内的气体排出到腔室10之外。排出到腔室10之外的气体通过配管41以及排气管43而排出到外面。

将液体100注入于腔室10内，在液面101升高而通过了下限位置202时(图4的S5)，浮子83利用液体100的浮力而被推高。根据浮子83被推高，从而浮子83将信号发送到控制器60。内置于控制器60的计时器65接受到该信号时，则使得计时器65运转(图4的S6)。计时器65设定了液面101通过了下限位置202而到达腔室10的上端为止的时间；直到液面101到达腔室10的上端为止，控制器60按照事先打开开闭阀27的方式进行控制。

予以说明，如上述那样冷却装置50是根据需要而设置的装置。在脱气装置1具有冷却装置50的情况下，冷却装置50所具备的冷却器51根据源自浮子82的指令而使得制冷剂在螺旋状的配管52流动，或者停止制冷剂。首先，在投入了电源时，冷却器51使制冷剂循环于螺旋状的配管52(图4的S4)。液面101升高，在通过了规定位置201时(图4的S7)，浮子82利用液体100的浮力而被推高。根据浮子82被推高，浮子82将信号输送至控制器60。控制器60通过接受源自浮子82的信号，按照使制冷剂停止在螺旋状的配管52内流动的操作的方式对冷却器51发出指令，从而停止冷却(图4的S8)。

(从液面的升高工序向下降工序的切换)

如图3(B)所示那样，经过了计时器65的设定时间之时(图4的S9)，液面101到达腔室10的上端。控制器60在经过了计时器65的设定时间之时，发出以下指令，即，使得在连接于注入部20的开闭阀27的先导管路70中流动以及连接于排气部40的开闭阀42的先导管路70中流动的压缩空气停止。其结果为：注入部20的开闭阀27关闭，液体100仅从主配管21注入于腔室10内。另外，关闭排气部40的开闭阀42(图4的S10)，并且将腔室10的内部密闭。

(液面的下降工序)

在关闭注入部20的开闭阀27时，由于液体100仅从注入部20的主配管21注入至腔室10内，由此，仅从主配管21注入于腔室10内的液体100的流量相对于利用泵30从腔室10内排出的液体100的流量变少。因此，如图3(C)所示那样，于腔室10内蓄积的液体100以注入量与排出量之差的量而缓慢地减少(图4的S11)。另外，在该工序中，排气部40的开闭阀42关闭着，因而腔室10的内部是密闭着的。因此，利用泵30将于腔室10内蓄积的液体100强制性地从腔室10排出时，腔室10内被减压。关于溶解存在于液体100的气体，在腔室10内进行减压时，以气泡的方式从液体100的内部显现出来而从液体100去除。以气泡的方式而显现出的气体在液面下降的工序中滞留于腔室10的上部。

予以说明，在脱气装置1具有冷却装置50的情况下，冷却装置50如以下那样操作而对运转的开始进行控制。即，液面下降并且通过规定位置201时(图4的S12)，利用浮力而推高了的浮子82下降。根据浮子82的下降，使得浮子82停止信号。控制器60在浮子82停止发送信号时，按照使制冷剂在螺旋状的配管52中循环的方式对冷却器51发出指令来冷却，由此进行控制(图4的S13)。冷却装置50按照这种方式开始运转时，腔室10的内部的相对于规定位置201而言的上侧的区域被冷却。其结果，即使液体蒸发而滞留于腔室10的上部，也通过冷却而将蒸发了的物质再次进行液化。冷却装置50通过将蒸发了的物质再次进行液化，从而提高了液体100的脱气效果。

(从液面的下降工序向升高工序的切换)

在蓄积于腔室10内的液体100减少，液面101到达了下限位置202时(图4的S14)，如图3(D)所示那样，因液体100的浮力的作用而推高了的浮子83发生下降。一旦浮子83下降，则液面传感器80停止发送信号。在液面传感器80停止发送信号时，控制器60发出使压缩空气在连接于注入部20的先导管路70中流动的指令。由此打开注入部20的开闭阀27。另外，控制器60发出使压缩空气在连接于排气部40的先导管路70中流动的指令。由此，打开排气部40的开闭阀42(图4的S15)。

(第2次及其后的液面的升高工序以及下降工序)

打开了注入部20的开闭阀27时，液体100从主配管21以及副配管25这两者注入于腔室10内。从主配管21以及副配管25这两者注入于腔室10内的液体100的流量比利用泵30从腔室10内排出的液体100的流量多。因此，以注入的液体100的流量与排出的液体100的流量之差的份量，使得于腔室10内蓄积的液体100的流量增加，从而使液面101上升(图4的S16)。浮子83伴随着液面101的升高而在液体100的浮力的作用下被推高。在浮子83被推高时，浮子83向控制器60输送信号。内置于控制器60的计时器65通过接受源自浮子83的信号而开始运转(图4的S17)。

控制器60按照经过计时器65的设定时间为止维持开闭阀27的打开状态的方式进行控制，因而如图3(E)所示那样，于腔室10内蓄积的液体100的液面101升高。另外，由于打开了开闭阀42，因而泵30通过配管31以及配管41将滞留在腔室10的气体进行抽吸，排出到腔室10之外。

如图3(F)所示那样，经过计时器65的设定时间(图4的S20)，在液面101到达了腔室10的上端时，控制器60按照关闭排气部40的开闭阀42的方式进行控制(图4的S21)。另外，关闭注入部20的开闭阀27，从而使得注入于腔室10内的液体100的流量比从腔室10内排出的液体100的流量少(图4的S22)。

予以说明，在脱气装置1具有冷却装置50的情况下，在液面101通过规定位置201时(图4的S18)，控制器60根据源自浮子82的信号，与上述的情况同样地控制冷却装置50的运转，从而停止冷却(图4的S19)。

关闭了注入部20的开闭阀27后，由于相对于注入到腔室10内的流量而言排出的流量变多，因而于腔室10内蓄积的液体100的液面101下降。在液面101下降而通过了规定位置201时(图4的S23)，再次开始进行冷却(图4的S24)。液面101进一步下降，到达腔室内的下限位置202。

脱气装置1通过反复进行这样的工序(图4的S15至S25)，从而将溶解存在于液体100的气体从液体100去除。在脱气装置1反复进行着这样的工序的期间，压力传感器90不间断地测量着腔室10的内压。予以说明，关于脱气装置1进行这样的工序的一个周期的时间，根据腔室10的容量和/或注入部20注入于腔室10内的液体100的流量以及泵30从腔室10内排出的液体100的流量，适当地进行设定。

予以说明，在脱气装置1反复地进行着这样的工序的期间，存在有因气体混入于液体100而无法将腔室10内减压至所希望的压力的可能。在该情况下，控制器60按照源自压力传感器90的压力信号以重新设定脱气装置1的动作的方式对脱气装置1的动作进行控制。具体而言，控制器65在以下情况下重新设定脱气装置1的动作，该情况为：控制器65对从压力传感器90发来的压力信号与存储于存储部的最高内压进行比较，在一定时间内压力传感器90连续发送高于最高内压的压力信号。即，将腔室10排空，接着，将液体100加入至腔室10而使液面101升高，使浮子83进行运转，并且根据源自浮子83的信号而使计时器65进行运转。

予以说明，对于液体100的液面101，也可按照到达设置了浮子82的规定位置201与腔室100的上端之间的任意位置的方式进行控制。在该情况下，通过液面101到达所希望的位置的方式设定计时器的时间，从而控制开闭阀27的运转。

这样的脱气装置1以及脱气方法如在以下列举的那样起到各种效果。

关于脱气装置1以及脱气方法，可通过组入利用超声波来洗涤电子部件、晶圆等、或者剥离表面的杂质的洗涤系统，从而提高其效果。并且，也可通过组入除了利用了超声波的洗涤系统以外的通常使用的洗涤装置，将气体从洗涤电子部件、晶圆等的洗涤液脱气从而利用。

脱气装置1以及脱气方法可从液体中去除超声波障碍物，可提高气穴效果。

脱气装置1以及脱气方法可利用挥发性的溶剂。例如，作为剥离液，可使用NMP(N-甲基-2-吡咯烷酮)、光致抗蚀剥离液等。

脱气装置1以及脱气方法可防止液体100受到溶解存在的气体的影响而劣化。特别是，在溶解存在的气体为氧气的情况下，脱气装置1以及脱气方法可防止液体发生氧化。

脱气装置1以及脱气方法可缩短洗涤、剥离等的时间。

此外，脱气装置1发挥如下的效果，即，可仅仅通过连接于现有的洗涤装置等所具备的配管，从而容易地组入于洗涤装置等中，并且不需要进行定期性维护。

符号的说明

1脱气装置

10腔室

11主体

12底面

13排出部

15盖

20注入部

21主配管

22过滤器

25副配管(流量调整手段)

26过滤器

27开闭阀(流量调整手段)

30泵(排出机构)

31配管

35配管

40排气部

41配管

42开闭阀(开闭机构)

50冷却装置

51冷却器

52螺旋状的配管

53配管

60控制器

65计时器

70先导管路

80液面传感器

81轴

82浮子

83浮子(下限传感器)

90压力传感器

100液体

101液面

201规定位置

202下限位置

203上限位置。

Claims (8)

1.一种脱气装置，其特征在于，其具备：

腔室，该腔室具有能密闭的结构，蓄积要脱气的液体；

注入部，该注入部一边保持所述腔室的内部的密闭状态，一边将所述液体从所述腔室的上部注入于所述腔室内；以及

排出机构，该排出机构将蓄积于所述腔室内的所述液体从所述腔室的下部排出，

所述排出机构在密闭了所述腔室的内部的状态下，将流量比注入于所述腔室内的所述液体的流量多的所述液体从所述腔室内排出，对所述腔室内进行减压。

2.根据权利要求1所述的脱气装置，其特征在于，其进一步具备：

排气部，该排气部将从于所述腔室内蓄积的液体中脱出来的气体排气；

开闭机构，该开闭机构将所述排气部开闭；

注入量调整机构，该注入量调整机构对注入于所述腔室内的所述液体的流量进行调整；以及

控制器，该控制器对所述开闭机构的动作以及所述注入量调整机构的动作进行控制，

所述控制器按照如下的方式进行控制：

在对所述注入量调整机构进行控制而将流量比从所述腔室内排出的所述液体的流量少的所述液体注入于所述腔室内的期间，利用所述开闭机构关闭所述排气部将所述腔室内设为密闭状态，

在对所述注入量调整机构进行控制而将比从所述腔室内排出的所述液体的流量多的所述液体注入于所述腔室内的期间，利用所述开闭机构打开所述排气部而解除所述腔室内的密闭状态。

3.根据权利要求2所述的脱气装置，其特征在于，所述排出机构连接于所述排气部，在打开了所述开闭机构时，对从所述腔室内排出的气体进行抽吸。

4.根据权利要求2或3所述的脱气装置，其特征在于，

其进一步具备：

下限传感器，该下限传感器对所述腔室内所蓄积的所述液体的液面是否到达了预先设定的所述腔室的下限位置的情况进行检测；

计时器，该计时器基于来自所述下限传感器的信号而运转，

在所述下限传感器检测出所述液体的液面到达了所述下限位置的情况时，所述控制器按照如下的方式进行控制，该方式为，对所述注入量调整机构的动作进行控制，将流量比从所述腔室排出的所述液体的流量多的所述液体注入于所述腔室，

在所述计时器运转之后经过了直到所述液体的液面到达所述腔室的预先设定的上限位置为止所需要的规定时间时，所述控制器按照如下的方式进行控制，该方式为，对所述注入量调整机构的动作进行控制，将流量比从所述腔室排出的所述液体的流量少的所述液体注入于所述腔室。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的脱气装置，其特征在于，其具有冷却装置，该冷却装置对相对于所述腔室内的预先设定的规定位置而言的上侧进行冷却。

6.一种脱气方法，其特征在于，

通过注入部将液体从该腔室的上部注入于密闭了的腔室的内部，

在满足了规定的条件，并且将液体注入于所述密闭了的腔室内时，将流量比注入于所述腔室内的液体的流量多的所述液体从所述腔室的下部排出，对所述腔室内进行减压。

7.根据权利要求6所述的脱气方法，其特征在于，其中，

在所述液体的液面到达了预先设定的所述腔室内的下限位置时，按照将流量比从所述腔室内排出的所述液体的流量多的所述液体注入于所述腔室内的方式进行控制，

在所述液体的液面到达了所述腔室内的预先设定的上限位置时，按照将流量比从所述腔室内排出的所述液体的流量少的所述液体注入于所述腔室内的方式进行控制。

8.根据权利要求6或7所述的脱气方法，其特征在于，其中，对相对于所述腔室内的预先设定的规定位置而言的上侧进行冷却。