CN105731527B - 纳米级氧化铟锡粉体的共沉淀制备方法 - Google Patents
纳米级氧化铟锡粉体的共沉淀制备方法 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及一种共沉淀法制备纳米级氧化铟锡粉体(ITO)的方法。采用本发明的方法制得的ITO粉体适用于制备高品质的ITO靶材。本发明的共沉淀制备方法,采用缓冲溶液作为前躯体的生长环境,在反应过程中,溶液pH值基本不变,前躯体生长环境稳定,粉体分散效果更好,制得的粉体呈单相,颗粒度均匀,电阻率低。
Description
技术领域:
本发明涉及一种化学共沉淀法制备纳米级氧化铟锡(简称ITO)粉体的方法。采用本发明方法制得的ITO粉体适用于制备高品质的ITO靶材。
背景技术:
ITO薄膜由于具有良好的导电性、透光性和高的红外反射性,而被广泛应用于大屏幕液晶显示器、彩色等离子体显示器、触摸屏等高科技领域。目前工业上一般采用高品质ITO靶材作为原料,通过磁控溅射等途径制备ITO薄膜,欲得到高品质ITO靶材,则需要制备出颗粒粒径小、分布范围窄、分散性良好的单相ITO粉体。
目前制备ITO粉体方法较多,包括化学共沉淀法、溶剂热法、溶胶凝胶法、喷雾热解法等。
申请号200610163856.6,发明名称:一种液相共沉淀生产超细氧化铟锡粉体的方法。实施方案如下:以NH4Cl-NH3.H2O,(NH4)2SO4-NH3.H2O为反应底液,加入无水乙醇,反应过程中pH值在7-9保持不变,采用共沉淀制备前躯体,煅烧得到粒径为20-60nm的浅绿色ITO粉体,此方案由于采用NH4Cl-NH3.H2O,(NH4)2SO4-NH3.H2O为反应底液,得到比较规则的球形粉体,但是颗粒尺寸不均匀,分布范围较广,同时引入无水乙醇为溶剂,成本高。
申请号201510436950.3,发明名称:混合颗粒形貌ITO粉体的制备方法。具体实施方案如下:根据In2O3:SnO2重量比为8.5:1,量取InCl3溶液和SnCl4溶液并混合,用氨水溶液和碳酸铵溶液联合作为沉淀剂,在油浴锅中进行反应,前期以氨水溶液为沉淀剂,当温度升至65℃时保温并开始滴加碳酸铵溶液,反应完全后,陈化得到金属氢氧化物,在700℃煅烧,得到球形和针尖形共存的混合颗粒形貌ITO粉体。该方法在压制成型过程中,由于有两种形貌的颗粒,粉体流动性好,素坯密度高,但是该方法采用油浴锅进行反应,不容易操作,成本高,且安全性不够高。
申请号201410035408.2,发明名称:一种蓝色纳米氧化铟锡粉体的制备方法。采用碳酸氢铵作为沉淀剂滴定铟和锡化合物水溶液,控制反应温度为60℃,pH=7.1,将ITO前驱体水洗、醇洗,干燥后500℃煅烧得到黄色ITO粉体,将粉体加入乙二醇中乳化,然后加入高压反应釜中,270℃下反应,得到蓝色沉淀物,醇洗、干燥,得到蓝色ITO粉体,平均粒径75nm。该方法用到高压反应釜,操作的成本增大,同时粒径大,不利于后期烧结。
发明内容:
本发明的目的是为了克服现有制备方法中存在的团聚、粒径不均一、形貌不规则、颗粒过大等问题,实验中采用NaHCO3-Na2CO3溶液或NH4AC溶液作为缓冲溶液,在反应过程中,溶液pH值基本不变,前躯体生长环境稳定,粉体分散效果更好,制得的粉体呈单相,颗粒尺寸均匀且较小。
本发明的技术方案纳米级氧化铟锡粉体的共沉淀制备方法:以金属In和SnCl4·5H2O为原料,制备混合盐溶液,配制NaHCO3-Na2CO3溶液或NH4AC溶液作为缓冲溶液,在缓冲溶液中加入分散剂,将In、Sn混合盐溶液和沉淀剂加入缓冲溶液中,进行共沉淀反应,沉淀经过滤、洗涤、干燥、煅烧,制得纳米级氧化铟锡粉体。制得纳米级氧化铟锡粉体。
上述混合盐溶液的制备是指将金属In加入到65-68wt%HNO3或36-37wt%HCl溶液中完全溶解,按照In2O3/SnO2质量比9:1(In/SnCl4·5H2O质量比为10:3.1273),称取相应量的SnCl4·5H2O加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为0.5-2mol/L的混合盐溶液。
上述的共沉淀反应是指将NaHCO3-Na2CO3溶液或NH4AC溶液作为缓冲溶液,将混合盐溶液和沉淀剂加入缓冲溶液中,保持反应过程中,溶液的pH值基本不变,前驱体生长环境稳定,产生均匀的白色沉淀。
上述反应所用的沉淀剂为氨水或尿素溶液或NaOH溶液。
上述反应所用的分散剂为聚乙烯醇吡咯烷酮(PVP)或十二烷基磺酸钠(SDS)或可溶性淀粉(soluble starches)。
上述的分散剂加入量为原料In质量的1%-4%。
上述前躯体的洗涤过程包括水洗及无水乙醇洗。
上述的煅烧是在600-800℃下,保温4-8个小时,制备出黄色的ITO粉体。
本发明的技术效果:本发明的共沉淀法由于采用所选择的缓冲溶液,使反应过程中pH值基本不变,前驱体生长环境稳定,且加入分散剂,制备出的粉体为单相ITO粉体,粒径范围在10-20nm,颗粒粒径均匀,形貌为立方体,这种性能良好的粉体能够用于制备高品质ITO靶材。
附图说明:
图1中(a)为实施例1(对比例)制备的粉体的XRD图片,(b)为实施例3制备的粉体的XRD图片,(c)为实施例4制备的粉体的XRD图片,(d)为实施例10制备的粉体的XRD图片。
图2为实施例2制备的ITO粉体的透射电镜照片。
图3为实施例3制备的ITO粉体的透射电镜照片。
从图1可以看出,加入缓冲溶液后,形成单一相,而不加缓冲溶液有In2SnO5的产生。从图2、图3可以看出,采用缓冲溶液制备的粉体形貌规则,同时颗粒粒径均匀,为10-20nm。
具体实施方式:
本发明的方法具体实施步骤:
(1)称取一定量的金属In加入到65-68wt%HNO3或36-37wt%HCl溶液中完全溶解,按照In2O3/SnO2质量比9:1(In/SnCl4·5H2O质量比为10:3.1273),称取相应量SnCl4·5H2O白色晶体加入到铟盐溶液中,搅拌制备成In3+浓度为0.5-2mol/L的混合盐溶液。
(2)制备不同pH值的NaHCO3-Na2CO3溶液或NH4AC溶液作为缓冲溶液,加入PVP或SDS或可溶性淀粉等作为分散剂。
(3)在反应过程中,将氨水或尿素溶液或NaOH溶液等作为沉淀剂,与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色铟锡氢氧化物沉淀。
(4)反应完全后,将沉淀陈化3-6个小时,真空抽滤,用去离子水洗涤,然后用无水乙醇洗涤,把所得的前驱体在室温下放置,自然晾干得到白色粉末。
(5)将白色前驱体粉末在600-800℃下,煅烧4-8h,得到黄色ITO粉末。
下面通过实施例对本发明作更为详细的描述。
实施例1(对比例):称取10g In溶解在65-68wt%硝酸中,称取3.1273g SnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,加入0.4gPVP作为分散剂,将25-28wt%氨水作为沉淀剂,滴加入混合盐溶液中,直至pH值为6.5,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化3h,进行水洗、无水乙醇洗、自然干燥,再在670℃下煅烧6h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径20-50nm,为近球形,用四探针电阻仪测试压片后粉体的电阻,结果显示,电阻率为15.58Ω·cm。
实施例2:称取10g In溶解在65-68wt%硝酸中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为9.0的NaHCO3-Na2CO3缓冲溶液,加入0.2g水溶性淀粉作为分散剂,在反应过程中,将25-28wt%氨水与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,保持溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化3h,进行水洗、无水乙醇洗、自然干燥,再在780℃下煅烧4h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒度较均匀,为15-20nm,立方形与球形共存,电阻率为4.32Ω·cm。
实施例3:称取10g In溶解在65-68wt%硝酸中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为6.5的NH4AC缓冲溶液,加入0.4gPVP作为分散剂,将25-28wt%氨水与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化3h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在670℃下煅烧6h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径较均匀,10nm左右,立方体形状,电阻率为2.35Ω·cm。
实施例4:称取10g In溶解在36-37wt%HCl中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为10.5的NaHCO3-Na2CO3缓冲溶液,加入0.4gPVP作为分散剂,将2mol/L的尿素溶液与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化3.5h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在730℃下煅烧4h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径30-40nm,为不规则近球形,电阻率为11.13Ω·cm。
实施例5:称取10g In溶解在65-68wt%硝酸中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为7.5的NH4AC缓冲溶液,加入0.35g PVP作为分散剂,将1mol/L的NaOH溶液与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化5h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在680℃下煅烧4h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径20-25nm,立方形与球形共存,电阻率为5.88Ω·cm。
实施例6:称取10g In溶解在36-37wt%HCl中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为9.3的NaHCO3-Na2CO3缓冲溶液,加入0.2g水溶性淀粉作为分散剂,将3mol/L尿素溶液与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化4h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在780℃下煅烧4h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径均匀,25nm左右,为近球形,电阻率为6.55Ω·cm,。
实施例7:称取10g In溶解在65-68wt%硝酸中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为6的NH4AC缓冲溶液,加入0.2g水溶性淀粉作为分散剂,将2mol/L的NaOH溶液与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化6h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在730℃下煅烧6h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径15nm左右,为立方体形,电阻率为3.58Ω·cm。
实施例8:称取10g In溶解在65-68wt%硝酸中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为10.1的NaHCO3-Na2CO3缓冲溶液,加入0.4gSDS作为分散剂,将2mol/L NaOH溶液与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化4h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在780℃下煅烧5h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径不均匀,30-40nm,形貌不规则,为近球形,电阻率为10.21Ω·cm。
实施例9:称取10g In溶解在65-68wt%硝酸中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为7.0的NH4AC缓冲溶液,加入0.3gPVP作为分散剂,将25-28wt%氨水与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化3h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在750℃下煅烧6h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径25nm左右,形貌规则,为立方体形,电阻率为3.97Ω·cm。
实施例10:称取10In溶解在36-37wt%HCl中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为9.8的NaHCO3-Na2CO3缓冲溶液,加入0.2gPVP作为分散剂,将2mol/L尿素溶液与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化4h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在790℃下煅烧8h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径30-40nm,为近球形,电阻率为8.93Ω·cm。
实施例11:称取10g In溶解在36-37wt%HCl中,称取3.1273gSnCl4·5H2O白色晶体,加入到铟盐溶液中制备成In3+浓度为1mol/L的混合盐溶液,配制pH为8的NH4AC缓冲溶液,加入0.2gSDS作为分散剂,将25-28wt%氨水与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中,使溶液pH值基本不变,产生白色氢氧化物前驱体,将沉淀陈化5h,进行水洗、醇洗、自然干燥,再在650℃下煅烧4h,得到黄色ITO粉末。所得粉体粒径30nm左右,形貌不规则,近球形,电阻率为7.54Ω·cm。
Claims (2)
1.一种纳米级氧化铟锡粉体的共沉淀制备方法:在缓冲溶液中加入分散剂,将铟、锡混合盐溶液和沉淀剂同时加入缓冲溶液中,进行共沉淀反应,沉淀经分离、洗涤、干燥、煅烧,制得纳米级氧化铟锡粉体;
具体步骤和条件为:
(1)按照In2O3/SnO2质量比9:1,称取一定量的金属铟加入到65-68wt%HNO3或36-37wt%HCl溶液中完全溶解,配制成铟盐溶液,称取相应量SnCl4·5H2O白色晶体加入到铟盐溶液中,搅拌配制成In3+浓度为0.5-2mol/L的混合盐溶液;
(2)制备NaHCO3-Na2CO3溶液或NH4AC溶液作为缓冲溶液,加入聚乙烯醇吡咯烷酮、十二烷基磺酸钠或可溶性淀粉作为分散剂;
(3)将氨水、尿素溶液或NaOH溶液作为沉淀剂,与混合盐溶液同时滴加入缓冲溶液中;
(4)反应结束后,陈化3-6个小时,沉淀经分离、洗涤、干燥得到白色前驱体;
(5)将前驱体在600-800℃下,煅烧4-8h,得到纳米级氧化铟锡粉体。
2.根据权利要求1的制备方法,其特征是:分散剂的加入量为铟质量的1%-4%。
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |