CN105731487B - 一种对多晶硅生产废气碱洗废渣资源化利用的方法 - Google Patents
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- 239000002699 waste material Substances 0.000 title claims abstract description 42
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000003513 alkali Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 8
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M sodium hydroxide Substances [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 99
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 37
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 19
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000012065 filter cake Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N Na2O Inorganic materials [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims abstract description 14
- 229910001388 sodium aluminate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 10
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 12
- 238000001879 gelation Methods 0.000 claims description 7
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 239000002893 slag Substances 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 6
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000002910 solid waste Substances 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 4
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N heavy water Substances [2H]O[2H] XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 3
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 2
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 2
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 2
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 2
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000025254 Cannabis sativa Species 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003910 SiCl4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003818 SiH2Cl2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003822 SiHCl3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020453 SiO2+2NaOH Inorganic materials 0.000 description 1
- ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N aluminum;sodium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Na+].[Al+3] ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 125000003963 dichloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 235000013312 flour Nutrition 0.000 description 1
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 1
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 description 1
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B39/00—Compounds having molecular sieve and base-exchange properties, e.g. crystalline zeolites; Their preparation; After-treatment, e.g. ion-exchange or dealumination
- C01B39/02—Crystalline aluminosilicate zeolites; Isomorphous compounds thereof; Direct preparation thereof; Preparation thereof starting from a reaction mixture containing a crystalline zeolite of another type, or from preformed reactants; After-treatment thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B39/00—Compounds having molecular sieve and base-exchange properties, e.g. crystalline zeolites; Their preparation; After-treatment, e.g. ion-exchange or dealumination
- C01B39/02—Crystalline aluminosilicate zeolites; Isomorphous compounds thereof; Direct preparation thereof; Preparation thereof starting from a reaction mixture containing a crystalline zeolite of another type, or from preformed reactants; After-treatment thereof
- C01B39/14—Type A
- C01B39/16—Type A from aqueous solutions of an alkali metal aluminate and an alkali metal silicate excluding any other source of alumina or silica but seeds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B39/00—Compounds having molecular sieve and base-exchange properties, e.g. crystalline zeolites; Their preparation; After-treatment, e.g. ion-exchange or dealumination
- C01B39/02—Crystalline aluminosilicate zeolites; Isomorphous compounds thereof; Direct preparation thereof; Preparation thereof starting from a reaction mixture containing a crystalline zeolite of another type, or from preformed reactants; After-treatment thereof
- C01B39/20—Faujasite type, e.g. type X or Y
- C01B39/22—Type X
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B39/00—Compounds having molecular sieve and base-exchange properties, e.g. crystalline zeolites; Their preparation; After-treatment, e.g. ion-exchange or dealumination
- C01B39/02—Crystalline aluminosilicate zeolites; Isomorphous compounds thereof; Direct preparation thereof; Preparation thereof starting from a reaction mixture containing a crystalline zeolite of another type, or from preformed reactants; After-treatment thereof
- C01B39/20—Faujasite type, e.g. type X or Y
- C01B39/24—Type Y
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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- Processing Of Solid Wastes (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本发明公开了一种对多晶硅生产废气碱洗废渣资源化利用的方法,将废渣中硅折算为SiO2,将NaAlO2中铝折算为Al2O3,并按SiO2/Al2O3=1.5~11.0确定废渣和NaAlO2用量关系;将NaOH中碱折算为Na2O并按Na2O/SiO2=0.2~2.0确定NaOH的用量;最后根据NaOH用量,确定水的用量;将废渣、NaOH、NaAlO2和水进行凝胶反应,得到凝胶;再将凝胶晶化,并过滤分离得到滤饼和滤液,滤饼经洗涤干燥即得分子筛原粉。本方法利用该废渣作为原料生产分子筛,变废为宝,既解决了污染问题,又实现了资源再利用。
Description
技术领域
本发明涉及多晶硅生产废气碱洗废渣的再利用,具体指对多晶硅生产得到的废气碱洗废渣资源化利用以制备分子筛的方法,属于固废处理及资源化利用技术领域。
背景技术
多晶硅是太阳能产业发展所需的重要工业原料。目前多晶硅的生产工艺主要是改良西门子法,即以氯化氢和工业硅为原料,一定温度下氯化氢与硅粉反应生成三氯氢硅,三氯氢硅经化学精制提纯和多级精馏处理后,其纯度达到99.9999%。将精制后的三氯氢硅在还原炉内1050℃硅芯上与高纯氢气反应,最终还原生成高纯多晶硅棒。在生产过程中会产生大量易燃、易爆、有毒的废气,其主要成份为三氯氢硅、二氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氢气和少量金属氯化物,故必须对这些废气进行处理。
目前国内多晶硅厂几乎全都采用碱液淋洗工艺处理废气,涉及的反应主要有:
SiHCl3+2H2O→SiO2+3HCl+H2;
SiH2Cl2 +2H2O→SiO2 +2HCl+2H2;
SiCl4 +2H2O→SiO2 +4HCl;
HCl+NaOH→NaCl+H2O;
SiO2+2NaOH→Na2SiO3+H2O。
碱液淋洗过程中会产生大量含Na2SiO3和SiO2的沉渣,经压滤后外运,形成废渣。废渣现在的处理手段主要是填埋和堆放。多晶硅废渣的堆放不仅造成大量的资源浪费,也带来严重的环境污染问题,堆放的地方几乎寸草不生。如何对这些废渣进行更科学有效的处理一直是本领域技术人员思考的问题。
发明内容
针对现有技术存在的上述不足,本发明的目的是提供一种对多晶硅生产废气碱洗废渣资源化利用的方法,本方法利用该废渣作为原料生产分子筛,变废为宝,既解决了污染问题,又实现了资源再利用。
本发明的技术方案是这样实现的:
一种对多晶硅生产废气碱洗废渣资源化利用的方法,其特征在于:按如下步骤用废渣生产分子筛,
1)测定废渣的组成,以确定废渣中硅的含量,便于后续配料;
2)配料:将废渣中硅的含量折算为SiO2,将NaAlO2中铝的含量折算为Al2O3,并按摩尔比SiO2/Al2O3 =1.5~11.0确定废渣和NaAlO2的用量关系;同时将NaOH中碱的含量折算为Na2O并按摩尔比Na2O/SiO2 =0.2~2.0确定NaOH的用量;最后根据NaOH用量,再按照摩尔比H2O/Na2O =40~80确定水的用量;
3)凝胶化:将步骤2)用量确定的废渣、NaOH、NaAlO2和水加入到装有搅拌的反应器中,凝胶化温度20-60℃,搅拌速率50~500RPM,凝胶化时间0.5~4h,得到凝胶;
4)晶化:将步骤3)得到的凝胶在85~120℃下晶化3~72h,搅拌以使晶化体系的温度分布均匀;
5)洗涤:将步骤4)反应完成的混合液过滤分离后得到滤饼和滤液,滤饼经洗涤干燥即得分子筛原粉。
测量第5)步过滤分离得到的滤液中NaOH的含量,然后将滤液直接进入第3)步循环使用;滤液中NaOH和水作为配料中的水和NaOH,如果滤液中水和NaOH欠量,在第2)步配料时补足即可。
本发明利用分子筛合成技术,将多晶硅生产废气处理产生的固废作为原料,加入氢氧化钠和铝酸钠,经配料、凝胶化、晶化、洗涤等过程,制备具备较高附加值的分子筛产品,实现了多晶硅生产废气处理产生的固废的资源化利用,同时解决了传统填埋和堆放带来的环境污染问题,变废为宝,对资源循环利用和环境保护具有重要意义。
附图说明
图1-本发明工艺流程图。
具体实施方式
目前多晶硅生产废气处理产生的沉渣均以固废的形式处置,基本上都采用外运堆放或填埋方式进行处理,这一方面造成了资源浪费,另一方面也形成了环境隐患。如何消纳淋洗废渣是摆在多晶硅生产企业面前的一个重要课题。本发明将淋流废渣作为原料,利用分子筛合成技术,将废渣转化为附加值较高的分子筛,不仅实现了该种固废的高附加值利用,也为该种固废的资源化利用提供一种有效的途径。
下面结合附图对本发明的技术方案进行详细说明。
本发明对多晶硅生产所得废渣资源化利用的方法如下,其工艺流程见图1。
1)测定废渣的组成,以确定废渣中硅的含量,作为后续配料的基础;
2)配料:将废渣中硅的含量折算为SiO2,将NaAlO2中铝的含量折算为Al2O3,并按摩尔比SiO2/Al2O3 =1.5~11.0确定废渣和NaAlO2的用量关系;同时将NaOH中碱的含量折算为Na2O并按摩尔比Na2O/SiO2 =0.2~2.0确定NaOH的用量;最后根据NaOH用量,再按照摩尔比H2O/Na2O =40~80确定水的用量;
3)凝胶化:将步骤2)用量确定的废渣、NaOH、NaAlO2和水加入到装有搅拌的反应器中,反应温度20-60℃,搅拌速率50~500RPM,凝胶化时间0.5~4h,得到凝胶;
4)晶化:将步骤3)得到的凝胶在85~120℃下晶化3~72h,同时进行搅拌,搅拌速率不超过100RPM,以使晶化体系的温度分布均匀即可;
5)洗涤:将步骤4)反应完成的混合液过滤分离后得到滤饼和滤液,滤液循环使用,滤饼经洗涤干燥即得分子筛原粉。
其中滤液按如下方法循环使用:测量第5)步过滤分离得到的滤液中NaOH的含量,然后作为配料中的水和NaOH直接进入第3)步循环使用;如果水和NaOH欠量,在第2)步配料时补足即可,即在第2)步配料时减除滤液中水和NaOH的量即可。
以下通过具体实施例进一步阐述本发明。
实施例1:
(1) 按SiO2/Al2O3=2.0,Na2O/SiO2=1.4,H2O/Na2O=60。将废渣,NaOH,NaAlO2,水加入反应器中,在60℃,搅拌速率为400RPM,混合2h形成凝胶;
(2) 将步骤(1)得到的凝胶在100℃下晶化5h;
(3) 过滤得到滤饼,将滤饼洗涤至洗水pH值为10,将滤饼在100℃干燥得到4A分子筛粉体。
经检测,实施例1所得4A分子筛相对结晶度98%。
实施例2:
(1) 按SiO2/Al2O3=4.0,Na2O/SiO2=1.3,H2O/Na2O=45。将废渣,NaOH,NaAlO2,水加入反应器中,在60℃,搅拌速率为400RPM,混合2.5h形成凝胶;
(2) 将步骤(1)得到的凝胶在100℃下晶化5h;
(3) 过滤得到滤饼,将滤饼洗涤至洗水pH值为10;将滤饼在100℃干燥得到X型分子筛粉体。
经检测,实施例2所得分子筛相对结晶度95%。
实施例3:
(1) 按SiO2/Al2O3=10,Na2O/SiO2=0.5,H2O/Na2O=40。将废渣,NaOH,NaAlO2,水加入反应器中,在60℃,搅拌速率为400RPM,混合3h形成凝胶;
(2) 将步骤(1)得到的凝胶在110℃下晶化6h;
(3) 过滤得到滤饼,将滤饼洗涤至洗水pH值为10;将滤饼在100℃干燥得到Y型分子筛粉体。
经检测,实施例3所得分子筛相对结晶度95%。
本发明的上述实施例仅是为说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化和变动,这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本发明的技术方案所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。
Claims (1)
1.一种对多晶硅生产废气碱洗废渣资源化利用的方法,其特征在于:按如下步骤用废渣生产分子筛,
1)测定废渣的组成,以确定废渣中硅的含量,便于后续配料;
2)配料:将废渣中硅的含量折算为SiO2,将NaAlO2中铝的含量折算为Al2O3,并按摩尔比SiO2/Al2O3 =2确定废渣和NaAlO2的用量关系;同时将NaOH中碱的含量折算为Na2O并按摩尔比Na2O/SiO2 =1.4确定NaOH的用量;最后根据NaOH用量,再按照摩尔比H2O/Na2O =60确定水的用量;
3)凝胶化:将步骤2)用量确定的废渣、NaOH、NaAlO2和水加入到装有搅拌的反应器中,凝胶化温度60℃,搅拌速率400rpm,凝胶化时间2h,得到凝胶;
4)晶化:将步骤3)得到的凝胶在100℃下晶化5h,搅拌以使晶化体系的温度分布均匀;
5)洗涤:将步骤4)反应完成的混合液过滤分离后得到滤饼和滤液,滤饼经洗涤干燥即得分子筛原粉;测量过滤分离得到的滤液中NaOH的含量,然后将滤液直接进入第3)步循环使用;滤液中NaOH和水作为配料中的水和NaOH,如果滤液中水和NaOH欠量,在第2)步配料时补足即可。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610126670.7A CN105731487B (zh) | 2016-03-07 | 2016-03-07 | 一种对多晶硅生产废气碱洗废渣资源化利用的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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CN105731487A CN105731487A (zh) | 2016-07-06 |
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ID=56249267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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