CN1056449C - 柔性基片上的电路迹线的测试装置和方法 - Google Patents

Abstract

一种测试沿一在一上板和一下板间沿纵向传送的柔性基片延伸的电路迹线的装置。上板包括许多上板隙和上板条。下板包括许多下板条和下板隙。在基片上、下分别移动上、下测试探针。当探针通过板隙与测试点接触时，沿基片两侧板隙延伸的板条提供了探针接触的支承表面。可用双探针法确定测试点间的电路迹线的电特性，或用单探针法确定电路迹线和板间的电容。逐步移动该基片在电路区域上按需要暴露出板隙中不同的点而完成测试。

Description

柔性基片上的电路迹线的测试装置和方法

由James Edward Boyette等在1994年1月3日提出的，题为“开放的框架台架探针系统”、编号为08/176,810的未决美国专利申请与本发明具有共同的受让人。该专利申请公开的内容在此作为参考。该专利描述一种沿被测试的一个印制电路的每个侧面移动两个测试探针、并在使探针处于所要求的位置时移动探针使之与该电路的相邻表面相接触的系统。该四个探针中的每一个可以在相互垂直的两个方向(X和Y)上移动(但是要平行于该印制电路的相邻表面)。

本发明涉及印制电路的测试，更详细地说，涉及测试沿一个柔性基片的两个侧面延伸的电路的短路和开路状态。

用于印制电路板的测试过程包括双探针法和单探针法。在双探针法中，把两个探针同时放置在一个印制电路板上的两个点或结点处以测试在这些点之间延伸的电路部分的电阻和连续性等电特性。在单探针法中，把一个探针放置在该电路板上的一个点处，以测试在从该点延伸的该电路的一部分和通过介电材料与该电路隔开的一个导电表面间的电容。该导电表面可以是被测试的电路板的一部分，例如在一个多层电路板中的一个接地面或电压面，也可以是在测试过程中支撑该电路的一个导电表面。

在典型情况下，对电路板的测试涉及检测电“短路”或“开路”是否存在。当两个应该被隔开的相邻电路由于偶然原因被电连接起来时，发生短路。当在两个点之间延伸的、应该被电连接起来的一条电路线中有一处断裂时，发生开路。双探针法和单探针法都可以用来探测短路和开路。但是，尽管双探针法适于通过对应该连接起来的二个点同时进行探针检测以发现是否开路，把该方法用于发现短路却相当复杂而且费时。如用双探针法来检验短路的话，当把第一个探针接触在第一个点上时，必须使第二个探针在所有与电路迹线连接的其它的测试点之中移动，这些迹线在某个点处邻近从该第一个点延伸的电路。单探针法用来检测在每个测试点与该导电面间的电容。如果该电容低于预期的最小值，则可确定已明显地发生了开路。如果该电容大于预期的最大值，则可确定显然发生了短路。因此，采用单探针法大大减少了采用双探针法充分地检验短路时所需的测试量。

这些类型的电路测试过程可以在刚性印制电路板上进行，也可以在柔性基片上进行。柔性基片包括几个单独的层(最终把这几层叠合在一起以形成刚性多层电路板)和各种类型的柔性电路(越来越多地把这种电路用于提供可形成不同形状的电路以及提供能在它们的工作期间改变形状的电路)。这些柔性材料中的许多是以一种从卷轴到卷轴的形式来提供和进行测试的。一般来说，必须在整个测试过程中把柔性材料支撑起来。在该材料与外加探针的那一侧相对的侧面上的背衬支撑是特别重要的，这是由于必须承受住由探针加到电路上的机械力。也希望在测试过程中把柔性材料撑平，或者用另一种方式控制其相对于探针位置的几何形状。此外，如果把单探针法用于一个没有导电面的柔性电路，那么背衬板必须提供测量电路电容所需的导电面。

在一些电路应用中，在柔性材料的两个侧面上提供电路迹线。在这些应用中，特别希望能同时测试该电路的两个侧面，以增加一次测试过程的处理量(如果不是同时测试的话就要测试两遍)，和尽可能减少对该电路的损伤(如果测试两遍的话对电路造成的损伤肯定比测试一遍对电路造成的损伤要大。经常把在电路板和柔性基片的相对两个侧面上的电路通过贯穿该绝缘基片材料的通孔连接起来，以使一个单独的电路线部分地沿着该绝缘材料的每个侧面延伸。

所需要的是提供一种采用双探针或单探针方法对一个刚性电路板或一个柔性基片的两个侧面上的电路进行同时测试的方法。该方法应该在不同的探针与测试点接触期间对该电路材料提供机械支撑，同时提供单探针法所需要的一个导电背衬层和提供使探针与不同的电路点相接触的移动余地。

上文中已引用过的、申请号为08/176,810的未决美国专利申请描述了一种特别适用于对一个电路板的两个侧面上的电路进行测试的开放的框架台架探针系统，但该系统中的固定装置只是为了托住一个刚性电路板而制作的。而所需要的是用于在该测试装置内支撑一个柔性基片并提供单探针法所需的导电背衬层的装置和方法。

一些美国专利描述了对于单独放置在被传送通过一个测试装置的一个长条状柔性带上的集成电路芯片进行支撑和测试的方法。为了测试的目的，使该带子上的电路迹线分别与每个电路芯片上的不同电路焊接区进行电连接。例如，Shreeve等的4,987,365号美国专利描述了当使在一个装置中的一些探针通过一个压板中的孔与该带相接触时、当使所有探针与该带相接触以进行该测试时和在其后把探针从该带处拔出时，采用该压板使该带子贴住一个支撑板。Breg-man等的5,189,363号美国专利描述了一种测试系统，其中把该带上的图形做成一种在测试过程中与该电路芯片的输入/输出端相接触的悬臂状接触引线的阵列。Honma等的5,237,268号美国专利描述一种叠加在载有电路芯片的长条状柔性带上的薄膜状的探针，该薄膜状的探针上的电路迹线把在该长条状柔性带上的电路与外电路连接起来。

虽然这些装置特别适用于对沿一个长条状柔性带延伸的电路进行探针测试，如，可让柔性带随着它从一个卷轴被拉到另一个卷轴时送到该测试装置上，但没有对该带子的两个相对侧面上的电路进行探针检测的措施。在由Shreeve，Bregman和Honma描述的电路芯片测试应用中，把在该柔性带上的电路迹线电连接到通常在电路芯片周围延伸的电路焊接区上，而在这种情况下没有必要在该柔性带的两个侧面上提供电路迹线。此外，在这些专利中描述的装置适合于用一种固定的探针点阵来接触在该长条状柔性带上的不同的测试位置。尽管这种途径很适合于测试具有相似的输入/输出接触图形的电路芯片(这种接触连接到该长条带的电路上)，仍然需要一种更灵活的、可使探针快速移动以形成一个更灵活的测试系统的途径(该测试系统可处理关于其电路导线沿该柔性基片的两个侧面延伸的柔性电路的各种不同应用)。

按照本发明的一个方面，提供一种用于测试沿一个柔性基片延伸的电路迹线的装置。该装置包括一个上板、一个下板和板固定构件。上板包括许多延伸横跨该柔性基片的宽度的上板隙。相邻的上板隙被上板的板条分隔开，上板条也延伸横跨该柔性基片的宽度。下板包括许多在上板隙下面延伸的下板条和许多在上板条下面延伸的下板隙。板固定构件使上板和下板保持分离状态，以形成可接纳该柔性基片的一个狭槽的上表面和下表面，同时使该柔性基片能在其长度方向上移动。

以下，在具体地参照下述附图的情况下描述本发明的一个较佳实施例，其中：

图1是按本发明制造的一个测试装置的中心部分的平面剖视图，穿过该装置拉出一个柔性基片；

图2是从上述一个台架部件看的立体视图，该部件用于移动伸过图1的测试装置的柔性基片的一部分之下的一个测试探针；

图3是表示把双探针测试过程应用于一个沿伸过图1测试装置的柔性基片的一个上表面延伸的电路迹线上的情况的正剖视图；

图4是表示把双探针测试应用于一个沿伸过图1测试装置的柔性基片的一个下表面延伸的电路迹线上的情况的正剖视图；

图5是表示把双探针测试应用于到一个部分地沿伸过图1测试装置的柔性基片的上表面、部分地沿该基片的下表面延伸的电路迹线上的情况的正剖视图；

图6是表示在该电路迹线和测试装置的一个板结构之间测量电容时，把单探针测试过程应用于一个沿伸过图1测试装置的柔性基片的上表面延伸的电路迹线上的情况的正剖视图；

图7是显示在该电路迹线和该柔性基片的一个电压面之间测量电容时，把单探针测试过程应用到一个沿伸过图1测试装置的柔性基片的上表面延伸的电路迹线上的情况的正剖视图；

图8是表示一个探针的尖端和图1所示测试装置的板边缘的正剖视图；

图9沿图1中线IX-IX所取的局部正剖图，它显示一个用于移动上板使其与伸过图1的测试装置的柔性基片咬合或脱离咬合的凸轮机构；

图10表示一个用于移动下板使其与伸过图1的测试装置的柔性基片咬合或脱离咬合的凸轮机构，为沿图1中X-X线所取的局部正剖视图；

图11是一个具有许多在图1的测试装置中进行测试的电路区域的柔性基片的局部平面图；

图12显示对柔性基片进行透射以确定基片上的电路迹线相对于图1的测试装置的位置，为由图1所示XII-XII线作出的局部正剖视图；

图13是一个具有横向配置的、被图1所示测试装置中的双探针法所测试的测试点的短的电路迹线的局部平面图；

图14的局部正剖图说明与把双探针测试方法用于在纵方向上隔开等于图1测试装置的板条宽度偶数倍的距离的测试点时出现的问题；

图15的局部正剖图说明如何通过提供不同宽度的板条来避免图14问题；

图16是按照本发明制造的、采用另一种支撑上、下板方法的一个测试装置的平面图；

图17为沿图16所示线XVII-XVII作出的局部正剖视图，说明用于移动上板使其与伸过图16测试装置的柔性基片咬合或脱离咬合的凸轮机构。

图1是按照本发明制造的一个电路测试装置中心部分的平面图，其中把一个柔性基片10沿箭头15的方向穿过一个电路测试装置16，从一个供给辊筒12拉到一个接收辊筒14。在电路测试装置16内，在上板17和下板18之间拉动柔性基片10。上板17包括多个在柔性基片10之上横向延伸的上板条20，而下板18包括多个在柔性基片10之下横向延伸的下板条22。在相邻的上板条20间横向延伸的每个上板隙23之下各有一个下板条22延伸，而在相邻的下板条22之间横向延伸的每个下板隙(未示出)之上各有一个上板条20横向延伸。在电路测试装置16内，使两个上探针24在柔性基片10和上板条20之上移动，而使两个下探针在柔性基片10和下板条22之下移动。使所有四个探针24和26各自独立地在柔性基片10的纵向(即沿箭头28的方向)和柔性基片10的横向(即沿箭头30的方向)移动。也使每个探针24向下移动使其与柔性基片10的相邻上表面接触和向上移动从而使探针24在上板条20之上通过。类似地，也使每个探针26向上移动使其与柔性基片10的相邻下表面接触和向下移动从而使探针26在下板条22之下通过。

为了便于进行各种类型的、可用于柔性基片10的测试，上板17和下板18由一种导电材料(例如金属)构成，并至少在与柔性基片10相邻的板面上附加一层介层涂层。因此，在沿基片10的表面延伸的不同电路和板17和18间实现电容性耦合，同时防止在这些电路和这些板之间产生电接触。

图1实际上是测试装置16的平面剖视图，其中未示出支撑和移动上探针24所需的、在上板17之上延伸的机构。尽管在图1中省略了这个机构(这是因为该机构的出现会遮蔽板17和18和相关的构件)，但现在将详细参照图2，讨论用于移动探针24和26的机构。

图2是支撑和移动一个下探针(在上文中已大体上作了描述)的机构的立体视图。把探针26安装在一个探针部件32内，该部件又通过一对空气支承36安装在一个探针载体34内，该空气支承36可以使探针部件32移向和离开基片10(在图1中示出)的相邻表面，也就是在箭头37所指的方向上移动。一个电磁传动器38(例如一个音圈)使探针部件32沿这些支承36滑动。再把探针载体34固定到一个滑动台39上，安装该滑动台使其在箭头41所示方向沿台架结构40滑动，它由线性马达绕组42发出的加速力推动，在一个带有极性可变的永久磁铁44的导槽43内的狭槽中滑动。滑动台39在箭头41的方向上的移动由连接在该滑动台上的编码器读出头(未示出)来跟踪(该读出头在一个编码尺(encoder scale)45的邻近处移动)，在线性马达绕组42上加一定的电流强度使滑动台39按所需方式移动。

通过轴承47把台架结构40安装在一对轨道46上，该结构在由箭头49所指示的方向上移动。在台架结构40的每一端，线性马达绕组50在带有极性交替的永久磁铁53的一个导槽52内移动。一个连接在台架结构40的一端附近的编码器读出头54，在编码尺56的邻近处移动，在加一定的电流强度到线性马达绕组50使台架结构40按所需方式移动时，它跟踪台架结构40沿箭头49的方向移动。

因此如分别由箭头37、41和49指示那样在三个相互垂直的方向上实现一个单独的探针尖端26的移动。正如根据图1所描述的那样，把两个探针尖端24加到柔性基片10的上侧面，把两个探针尖端26加到柔性基片10的下侧面。因此，在测试装置16中需要四个根据图2所描述的类型的探针移动机构。把两个台架结构40设置在柔性基片10的下面移动而探针26指向上方，同时把另外两个台架结构40从图2中所示的位置翻转过来，在柔性基片10的上面移动使探针24(在图1中示出)朝下对着基片10。在柔性基片10的每个侧面上，两个台架结构40通过耐磨轴承结构在一对共同的轨道46上滑动，与在柔性基片10的每个侧面上的两个台架结构40相关连的线性马达绕组50在共同的磁铁导槽52内移动。在于1994年1月3日是提出的编号为08/176,810、题为“开放的框架台架桥形探针系统”的、作为相互参照的合同未决美国专利申请中查到关于该台架结构和安装该结构并使之在其中移动的构架的详细描述。

现在将讨论可应用本发明的装置来进行各种测试的实例，在讨论中将详细参照图3-7，这些图都是显示把一种测试方法用于沿柔性基片10延伸的一个电路迹线的正剖视图。在每个图中，为清晰起见，把柔性基片10和沿该基片延伸的各个电路迹线的厚度放大了。

图3-5示出一种双探针测试法的应用，这种测试法是用于确定在放置探针的两个点或结点之间延伸的电路迹线的电特性。例如，可以用这个方法检验电连续性以发现“开路”(在该处本应具有连续性的一个电路在一些点处被断开)和“短路”(在该处本应互相电隔离的二个相邻电路被电连接起来)。用这个方法也可检验在两点间延伸的其它电路特性，例如电路阻抗。

先参照图3，在由两个上探针24接触的二个结点64之间检验沿柔性基片10的上表面62延伸的电路迹线60。在可以进行该测试之前，把基片10在箭头15的方向上传送到一个点，在该点处两个结点64在相邻的上板条20之间的上板隙23中被向上暴露出来。在每个结点64的下面，下板条22吸收一部分由一个探针24所加的力，这样就可以施加足够大的力以得到在探针24的尖端和邻近的结点64之间的可靠的电接触。一个用导线连接在两个探针24间的测试电路66提供一个测量所需的电路特性的手段。

虽然这个测试是作为用在向上暴露的两个上板隙内的、朝上的结点的情况来显示的(这两个上板隙由一个单独的上板条20分隔开)，但是被测试的电路迹线的长度选择是任意的。该电路迹线可以短到足以使两个测试探针24作用于在两个相邻的上板条20间的一个单独的向上暴露的上板隙内。该电路迹线也可以是足够长，以至需要测试探针作用于由几个上板条20分隔开的、向上暴露的上板隙内。

图4示出一个类似的情况，在该图中把双探针法用于测试沿基底10下表面70延伸的一个电路迹线68。这时，把测试电路72用导线连接在两个下探针26之间，使下探针26与电路迹线68相接触。

参照图5，电路74可以部分地沿基片10的上表面62延伸、部分地沿基片10的下表面70延伸，把该电路74两个分开的部分通过一个通孔76电连接，该通孔76是通过用一种导电材料(例如一种焊料)充填基片10上一个贯穿基底的孔78而形成的。在这种场合，把测试电路80用导线连接在一个上探针24和一个下探针26之间，并把这两个探针与该电路的二端相接触。这个测试方法是特别有效的，这是由于通孔76的电特性与迹线74沿上表面62和下表面70延伸的二部分的电特性一起被检验。

图6显示当把一个单探针24作用于一个电路结点84时采用单探针法进行测试的电路迹线82。把测试电路86连接在该探针24和包括板条20与22的板17与18之间。应用这个方法时，通过测量在电路结点84和板17与18间的电容来检验电路迹线82。可以方便地把这个单探针法用于沿柔性基片10下表面70延伸的电路迹线(如在图4中示出的那样)和沿上表面62和下表面70延伸的电路迹线(如在图5中示出的那样)。对于某些类型的测试，可能把上板17与下板18电隔离开来，因而可测量一个电路结点和这些板中之一之间的电容。

参照图7，在一些情况下，柔性基片10可以包括一些信号迹线(例如在一个侧面上的电路迹线88)和一个沿相对于该信号迹线的侧面延伸的电压面90。当遇到这样一个电路时，可方便地通过测量在电路迹线88上的一个结点92和该电压面90之间的电容来应用单探针测试法。可以用一个连接在与结点92接触的一个上探针24和与电压面90接触的下探针26之间的测试电路94来测量该电容。尽管在该方法中用了二个探针，但是这仍是一个应用单探针法的例子，这是由于只让一个探针与被测试的电路迹线88相接触。

图3-5的双探针法在确定是否存在一个由被测试电路中的断开引起的一个开路状态方面是特别有效的。这样一种发生在放置探针的二个结点间的任一点处的断开导致在探针间的一个开路状态，该状态可很容易地由该测试电路检测出来。如果一个电路迹线延伸到几个结点，可以在该迹线的不同结点间把这个方法使用几次。另一方面，双探针法不容易应用于短路的测试，当邻近的电路间发生因疏忽等引起电接触时可出现短路现象。应用双探针法对短路状态进行的一种无遗漏的测试过程要求在对一个特定的电路进行探针测试时必须检验所有与该特定电路相邻的电路。由于所需测试量很大，因此这种测试过程是很费时的、复杂的和成本高的。

图6-7的单探针方法在确定柔性基片10中是否存在短路是特别有效的。例如，参照图6，如通过一个短路使电路迹线82电连接到一个相邻的电路(未示出)，在典型情况下使在结点84处测量到的电容增加得很多，结果通过测试电路86可容易地识别出这个状态。采用单探针法测试柔性电路10中的短路状态比起采用双探针法来要快得多，这是由于采用单探针法时对于每个电路迹线至多只要用单探针测一次。另一方面，单探针法在发现开路状态方面可能不如双探针法那样快或准确。

由于一个单个的柔性基片10可能在每个侧面上包含要测试的电路以及典型的测试要求规定要对各种不同的电路测试其开路和短路状态，故电路测试装置应当能采用单探针法和双探针法对柔性基片的二个侧面进行测试这一点是特别有利的。为了尽可能增加测试过程的处理量和尽可能减少对柔性基片的实际操作(由于这种操作可能会导致在基片上的电路的损伤)，特别希望在柔性基片通过测试装置一次的过程中的柔性基片的二个侧面进行二种类型(即单探针法和双探针法)的测试。本发明的装置就具有这种能力，这种能力使本装置比起在背景技术中可购得的和在现有技术中所描述的各种类型的测试装置来有很多优点。

图8是显示探针24的尖端和上板条20和下板条22边缘的实际形状的剖视图。每个探针24或26包括一个直径为0.014英寸(0.36mm)的圆柱形部分100和具有一个以30度的内角形成表面的一个圆锥表部分102。把圆锥形部分102的尖端做成球形。每个板条20和22的厚度是0.013英寸(0.33mm)每个板条有一个斜切边104，该斜切边使一个探针尖端24或26可紧靠着板条20或22移动而不致在该尖端和该板间发生接触。沿每个板条20或22表面延伸的一个绝缘层106的厚度是0.002英寸(0.05mm)。柔性基片10的厚度例如也是0.002英寸(0.05mm)。

再参照图1，虽然可以在柔性基片10于箭头15的方向在板17和18之间一次通过，完成上述根据图3-7的各种类型的测试，但在典型情况下必须在该过程中使该柔性基片10“停下—移动—再停下—再移动”数次。为了便于进行这种方式的移动，驱动一对夹辊110来推进柔性基片10，为的是使该柔性基片10的上下表面的不同区域通过上下板隙暴露出来以便与探针24和26接触，以及使基片10的移动按所需的那样停下来以进行不同的测试。通过第一伺服电机112来精确地驱动夹辊110中的一个，而在相对于驱动夹辊110的柔性基片10的侧面上的另一个夹辊110是一个导辊，它于柔性基片10在这二个夹辊110之间通过时在基片10上施加一个夹紧力。因此，就可迫使柔性基片10按由第一伺服电机112提供的转动而移动，并使滑动量减到最小。最好用第二伺服电机113来提供阻滞柔性基片10按箭头15方向移动的转动力矩。这样一来就有张力作用在柔性基片10上以防止基片10松弛，这种松弛可能会使电路在移动时相对于各个表面垂下来和拖长。接收辊筒14由第三伺服电机114驱动，为的是在把柔性基片10传送通过在辊筒110和114之间形成的一个辊隙时把基片10绕在该辊筒14上。

众所周知可以方便地应用一些在细节方面稍有不同的技术在传送柔性基片10方面提供所需的结果。例如，伺服电机112和114中的一个或两者可由步进电机来代替，伺服电机113可由一种制动装置来代替以维持基片内的张力。可采用对于辊轴定位的手动或自动调整来完成对于基片10通过该装置时的适当的跟踪。可以从堪萨斯州的Lanexa的Preco工业公司购得传送柔性薄板条(例如柔性基片10)的自动化系统的各种零件。

也提供使上板17从下板18处分离开的装置，使柔性基片10可在该二板间自由地移动而不被夹住，否则的话会引起不必要的拖长。再参照图1，把上板17在每个角部固定到一个上板座120，把下板18在每个角部固定以一个下板座122。各有一个轴124平行于柔性基片10并靠近板17的二个纵向延伸的边125延伸，该轴通过在一端的一个齿轮箱128由一个马达126来驱动并以可转动的方式安装在在另一端的一个轴承座130上。

图9是沿图1所示的线IX-IX的局剖正剖视图，说明在上板17的每个角部用于移动上板17使其与柔性基片10咬合或脱离咬合的一个凸轮机构。一个连接到轴124上的上板驱动凸轮132在上板座120中的一个孔134内与该轴一起转动。

图10是沿图1所示的线X-X的局部正剖视图，说明在下板18的每个角部类似地用于移动下板18使其与柔性基片10咬合或脱离咬合的一个凸轮机构。连接到轴124上的下板驱动凸轮136在下板座140中的一个孔138内与该轴一起转动。

正如图9和10所示，通过凸轮132和136的偏心表面使上板17和下板18维持与柔性基片咬合。由于在轴124上把凸轮132和136安装成彼此有180度相移的关系，让这些凸轮表面的偏心度在轴124的径向相对的二侧进行调准，因此当下板18处于其最高位置时，上板17处于其最低位置。以这个方式使板17和18维持紧靠柔性基片10。每个轴124与所有相关连的板驱动凸轮132和136接着发生的转动驱使板17和18分离，把柔性基片10放开使其能自由移动。由于把二个凸轮132安装在各自轴上，使它们共轴地互相对准外表面，和由于把二个凸轮136也安装在各自轴上使它们共轴地互相对准外表面，故只要使二个轴124一起转动，就可使每个板17或18的四个角一起向上或向下驱动。

轴124的这种转动也产生板17和18的横向移动。例如，如让轴124在箭头142的方向转半圈以使板17和18与柔性基片10完全脱离咬合，那么上板17在箭头144的方向就可被移动，而下板18在箭头144的反方向被移动。为了在板17和18的各个角部产生相同的移动，要使二个轴124的转动同步。因此通过与凸轮132和136的咬合在水平和垂直方向上驱动和支撑板17和18，不需要附加的对板17和18的轴承支撑。这种装置也提供了一个特殊的优点，即由于没有一种轴承装置，故使在垂直于箭头144的方向上所需的间距减至最小。

虽然上述根据图1、9和10的描述指出了使上板17和下板18移动一个相等的和方向相反的距离以使柔性基片可移动，但是很显然在一些应用中为了达到这个目的只要移动板17或18中的一个。关于这一点，特别希望只移动下板18，而让上板17处于静止状态。在这个场合，可通过使柔性基片10在板17和18之间下垂来得到在上板17和柔性基片18之间的一个间隙。

图11是柔性基片10的一种较佳形式的局部平面图，该基片10包含多个按一种纵向延伸图形排列的电路区域150。每个电路区域150包含在一柔性电路10的区段内，将把这一片段做成一个形成一个单个产品的全部或部分的单独的区段。因而，在完成测试后在测试装置16(在图1中示出)内的某处把柔性基片10切成许多区段，每一片段包含一个区域150。在用这个方法把柔性基片10分离开之前，可完成一些附加的制造工序。例如，可把电子元件安装到基片10上，或可以用一个或多个其它柔性基片与基片10叠合在一起以形成一种多层印制电路板。

柔性基片10最好由一种半透明的绝缘基片组成，在该基片上形成一些不透光的导电迹线152。可以用一些熟知的工艺来形成一种合适的绝缘基片和在该基片单面或双面上形成导电迹线的图形。在每个区域150内的迹线152的图形最好是相同的，因此当移动柔性基片10使其在箭头15的方向通过测试装置16(在图1中示出)时可以对每个区域150应用一种相同的测试系列。

最好也采用形成各种导电迹线152的工艺在柔性基片10的一个表面上形成定位标记154，该标记与每个电路区域150的导电迹线有一种固定的相互关系。因而，举例来说，形成定位标记的两条印制线，每条印制线沿柔性基片10纵向延伸。第一印制线包括在一个相应于每个电路区域150的位置内的一个单个电路基准标记155，而第二印制线包括许多以固定的、比较小的距离互相分隔开的刻度标记156。

图12是在如图1所示的剖面线XII-XII作出的、显示确定每个电路区域150(在图11中示出)相对于测试装置16的位置的一个装置的一个局部正剖视图。把一个照明光源160放在下板18的下面，通过下板18的一个板条22内的缝隙162对柔性基片10的一个邻近部分进行背照明。调整第一光探测器164使其检测每个相继通过的基准标记155，同时调整第二光探测器166使其检测每个相继通过的刻度标记156。因此，第一光探测器164的输出通过在测试装置16中的一个已知点指示与电路区域150(在图12中示出)之一有一种已知相互关系的一个点的通过，而用第二光探测器166的输出产生的脉冲的累积指示柔性基片10移动通过的累计距离。例如，可把第二光探测器的输出传送到一个计数器内，该计数器由每个电路定位标记155通过时第一光探测器164的输出提供的一个输入来复位。可以采用这个技术来保持对柔性基片10的移动的跟踪，即使在使该电路的移动放慢和停下来以适应测试过程的需要时也是如此。

再参照图1和11，可以用一个电视摄象机作为光探测器164和166的替代物(关于光探测器的情况上文已根据图12描述过了)，或与这些光探测器一起作为获得位置信息的一种附加装置。这种被提供来确定电路区域150相对于测试装置16的位置的装置最好能确定在箭头28的纵方向上和箭头30的横方向上的位置。对于基准标记155关于一个相邻的电路区域150在横方向和纵方向进行精确定位的场合，可以用由电视摄象机167探测到的基准标记的图象来提供每个电路区域150在箭头30的横方向上的位置的信息。在另一种方式下，可以用电视摄象机167探测到的刻度标记156的图象在横方向上的位置在一种连续的基础上确定电路迹线152在横方向上的位置。由于定位标记154是用形成各种电路迹线152的制造工艺加到基片上的，故也可以用这些方法来补偿这些迹线152在柔性基片10上的位置变动  和基片10通过测试装置16的行程的变动(即，基片10在装置16内横方向上的位置的变动)。

可以如在根据图12讨论的那样通过背面照射提供电视摄象机167工作所需的光，也可以通过各种大家熟知的正面照射的技术，从安放电视摄象机167的柔性基片10的一侧提供光。例如，可以根据柔性基片10相对于光透射和光反射的特性来改变光照射技术的选择。

因此，可以用上面讨论的方法来确定每个电路区域150在横方向和纵方向上相对于固定在测试装置16内的一个基准坐标的位置。例如，可以把这样一种固定的基准坐标放在由电视摄象机观察的区域的中心。

再参照图2，通过一个在箭头49的方向上沿一个编码尺56移动的编码器读出头54和通过一个在箭头41的方向上沿一个编码尺45移动的、安装在滑动台39上的编码器读出头(未示出)来跟踪每个探针24(在图1中示出)或26的位置。在该测试过程中，需要把探针24和26移动到每个电路区域150上的不同的点。这一点是通过采用一个指示在每个电路区域150内必须访问的不同位置的数据文件、采用根据图11讨论的确定每个电路区域150相对于测试装置16的位置的方法和采用根据图2讨论的确定每个探针在测试装置16内的位置的方法来完成。

再参照图11，虽然一般来说可以把一个测试点放在一个电路区域150内的任一点处，但通常把电路配置成沿轴向延伸，即把在一个单独的电路迹线上相互间的测试点设置在由箭头28指示的纵方向上或由箭头30指示的横方向上。因此，在测试装置16的配置中对于在上述二个方向中的任何一个方向上分隔开的探针间进行的测量都给予特别的考虑。以下在详细参照图13-15的情况下将讨论影响测试装置16的配置的一些考虑。

图13是显示把双探针测试操作用于测试沿柔性基片10的两个侧面延伸的电路迹线170情况的平面图，这时，必须把电路探针加在柔性基片在箭头30的横方向上相对短的距离分隔开的相对的两个侧面上。以上已参照图5讨论了把这个测试过程用于沿柔性基片的两个侧面延伸的一个电路的一般情况。由于有必要同时使用在柔性基片10相对侧面上的两个测试点，故如果上板条20和下板条22的边缘也沿箭头30的方向上延伸的话，该测试就不可能用于任何长度在箭头30的方向上延伸的一个电路。由于这个原因，使各个板条22的边缘相对于箭头30所示的横方向倾斜一个θ角。这个角度可以根据L(即，沿箭头30的方向对准的点之间最短的中心到中心的距离)和R(即，探针和到板条20或22的一个相邻边的缝隙所允许的最小半径)来确定。对于由中点172、探针的中心点174和点176(在该点处上板条20的边178与中心在174、半径为R的圆相切)形成的三角形的分析指出： $\mathrm{Sin\θ}=\frac{R}{\frac{L}{2}}=\frac{2R}{L}$ 因此，倾角由下式给出： $\mathrm{\θ}=\mathrm{arcSin}\frac{2R}{L}$

再参照图1，一个上板条20的上边缘180之一和相应下板条的下边缘(未示出)以与角θ有所不同的一个角度倾斜，而其它板条20和22的边缘以角θ倾斜。这个差别使当测试点间的一条线以角θ倾斜时把双探针测试操作用于一个沿柔性基片10的二个侧面延伸的电路迹线(未示出)成为可能，但是这要以测试点间的距离足以提供根据图13讨论的缝隙为条件。

图14是显示当把双探针测试操作用于具有在柔性基片10的二个相对侧面上的测试点188的、并且该测试点间的距离是板条宽度的偶数倍的(这样一来测试点就落在不同的板条20和22的边缘上)一个电路迹线186上时一种类似的问题是怎样发生的一个正剖视图。如所有的板条的宽度是相同的，在上述状态下就不能应用这种测试。

图15是显示怎样通过提供一个宽度不同的(在本例中，是较窄的)中间板条190来避免这个问题的一个正剖视图。最好提供宽度较窄的一个下板条190和一个上板条192，这样一来不论最左边的测试点是在柔性基片10的上侧面或下侧面都可以避免这个问题。

现在，详细参照图16和17，讨论另一种以可移动方式支撑上板17和下板18的方法，图16是显示该方法的应用的一个局部平面图，图17是如图16所示的剖面线XVII-XVII作出的、显示为移动上板17的一个凸轮随动件座配置的一个局部正剖视图。

先参照图16，把上板17沿一个纵方向延伸的边缘200连接到一对上板凸轮随动件座204上(一对上板驱动凸轮208在其中转动)，把该随动件座204连接到由一个马达212驱动的一个轴210上。类似地，把下板18沿一个邻近于边缘200的边连接到一对下板凸轮随动件座214上(一对下板驱动凸轮216在其中转动)，把该随动件座214连接到轴210上。

参照图17，每个上板凸轮随动件座204包括一个在箭头218的水平方向开槽拉长的开口217，相关的凸轮208在该开口217中转动，把箭头219的方向的垂直移动传给该凸轮随动结构，但不把箭头218的方向的水平移动传给该结构。

再参照图16，每个下板凸轮随动件座214包括一个缝隙(未示出)，该开口也如根据图17描述的那样在水平方向被开槽的。把下板驱动凸轮216以与上板驱动凸轮208相移180度的方式安装在轴210上，结果随着轴210的转动，凸轮216驱动下板18向上移动使之与柔性基片10咬合，同时凸轮208驱动上板17向下移动使之也与基片10咬合。关于这一点，板17和18的垂直移动一般地说是如上面根据图1、9和10所描述的那样来完成的。

通过一对上板枢轴臂224把上板17以可移动的方式装在一个静止的框架杆222上，把每个上板枢轴臂224在一端以枢轴方式装在一个框架枢轴226上，在另一端装在一个从一个上板凸轮随动件座204延伸出来的枢轴228上。类似地，通过一对下板枢轴臂229把下板18以可移动的方式装在框架杆222上，每个下板枢轴臂229在一端以枢轴方式装在框架枢轴226上，在另一端装在一个从一个下板凸轮随动件座214延伸出来的枢轴230上。

在一个第二轴210上装有凸轮208和216以提供如上所描述的移动。该轴210沿上板17的一个边缘232延伸，它由一个第二马达212来驱动。该边缘232是在纵方向延伸的边缘200的对面。沿着该边缘232，上板凸轮随动件座234(凸轮208在其中转动)除了不提供为安装一个枢轴臂的一个枢轴外，与上板凸轮随动件座204类似。同样，下板凸轮随动件座236(凸轮216在其中转动)除了也不提供为安装一个枢轴臂的一个枢轴外，与下板凸轮随动件座214类似。驱动二个马达212以使凸轮208和210一起运动，例如，在一个第一位置(在该位置上板17和18把柔性基片10咬合住)和一个第二位置(在该位置上使板17和18间的距离增加以松开柔性基片10)之间移动。

因此，当通过二个轴210的转动驱使上板17向上移动时，该板17的所有四个角的垂直移动是相等的，这种相等的垂直移动是由四个相同的凸轮208来提供的。当这种垂直移动发生时，二个枢轴228中的每一个必须围绕框架枢轴226作一种弧形路线的移动(通过一个枢轴臂224把枢轴228连接到框架枢轴226上)。因此，在板17上的任一点都以一种类似弧形路线移动。虽然可使枢轴臂224随着由凸轮208提供的运动自由地作枢轴转动，但这些臂224中的每一个最好有足够的刚性以防止发生显著的挠曲和扭歪。在这些必要条件下，就不需要在沿边缘232的方向上提供附加的枢轴臂或其它导向手段。通过枢轴臂228的枢轴性移动，类似地控制下板18的向下移动。因此，尽管凸轮2 08和216提供板17和18的向上和向下的运动，但枢轴臂224和229在每个板向上和向下移动时限定其移动路线。

与根据图1、9和10描述的控制板17和18的移动的方法相比，图16和17的方法有一个缺点，即增加了复杂性。但是，图1、9和10的方法使板17和18以相切的方式与柔性基片10接触，而图16和17的方法使板17和18在接近垂直于基片表面的方向上与基片接触。因此，可把图16和17的方法用于一些对沿着基片表面或沿这些表面延伸的导电迹线表面的损伤特别敏感的应用方面。

再参照图1，一个待测试的典型电路区域150(在图11中示出)包括一些电路迹线，这些电路迹线的二端很容易在相邻的上板条20或下板条22之间的一个单个缝隙内暴露出来。其它的电路迹线，采用双探针测试法时在要被接触的测试点之间，可能会延伸经过几个板条20或22。一般说来，必须移动柔性基片10数次以利用所有的需要通过单探针法和双探针法的二者或其中之一来测试的点。在上板17和下板18间移动每个电路区域150时，最好通过在箭头15的方向以几个增量运动的方式来移动基片10。这些增量运动在长度方面不必是相等的，这是因为每个运动的长度是由电路迹线的几何形状和由必须使用以完成所需测试的电路点来决定的。在每个停顿点处，移动探针以使其在基片10的二个侧面上与可利用的测试点接触，采用单探针法和双探针法可完成任何测试的组合。当二个这种电路区域在板17和18间被停下来时，可对相邻的电路区域150进行测试。

在测试一个新定义的电路150之前，先研究它的几何形状以确定让该电路停下来进行测试操作的最佳位置和使用这些操作的最佳方法。

在完成测试过程后，在典型情况下把该柔性基片切割成许多片段，每段包括一个电路区域150。举例来说，每段可增加一些元件，如连接器，从而变成一个柔性电路板。可以把这种类型的一个电路板用作具有附加的逻辑功能的一个柔性电缆。在另一种方式下，可把柔性基片的一些不同的片段叠合起来以形成一个多层刚性电路板。

虽然本发明是以它的带有一定程度的特殊性的较佳形式或实施例来进行描述的，但应了解到这个描述只是以举例的方式来给出的以及在不偏离本发明的构思和范围的前提下可在结构、制造和应用的细节方面，包括零件的组合和配置，作许多变动。

Claims (32)

1.一种测试沿一个柔性基片延伸的电路迹线的装置，其中上述装置包括：

一个包括许多在横方向延伸的上板隙的上板，上板隙被上述上板上横方向延伸的上板条分隔开；

一个包括分别在上述上板隙下面延伸的下板条和在上述下板条间横向延伸的下板隙的下板；

以一种分隔开的相互关系固定上述上板和下板的板固定装置，以形成一个基片容纳狭孔的上表面和下表面、同时允许上述柔性基片沿一个纵向的传送方向通过上述基片容纳狭孔；

可在横方向和纵方向上、在上述上板隙当中和在上述上板隙内移动的至少一个上探针，上述上探针还可向下移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片相接触，以及可向上移动以使上述上探针在上述上板条上移动；以及

可在上述横方向和纵方向上、在上述下板隙当中和在上述下板隙内移动的至少一个下探针，上述下探针还可向上移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片相接触，以及可向下移动使上述下探针在上述下板条之下移动。

2.权利要求1所述的装置，其特征在于：

上述板固定装置包括一个使所述下板在下板关闭位置和下板松开位置间移动的下板移动装置，该装置在上述下板关闭位置处把下板举起以夹住在上述基片容纳狭孔内延伸的上述基片，在上述下板开放位置处使上述下板下降以松开上述基片使其在上述上下板间移动。

3.权利要求2所述的装置，其特征在于：

上述板固定装置还包括一个在上板关闭位置和上板松开位置间移动上述上板的上板移动装置，该装置在上述上板关闭位置处使上板保持向下，以夹住在上述基片容纳狭孔内延伸的上述基片，在上述上板开放位置处使上述上板被举起以放开上述基片使其在上述上下板间移动；

当上述下板从上述下板关闭位置向上述下板松开位置移动时，上述上板从上述上板关闭位置向上述上板松开位置移动；以及

当上述下板从上述下板松开位置向上述下板关闭位置移动时，上述上板从上述上板松开位置向上述上板关闭位置移动。

4.权利要求2所述的装置，其特征在于上述下板移动装置包括：

一个沿上述下板的各个纵向延伸边缘延伸的、以可转动的方式安装的轴；

两个以一种分隔开的相互关系固定在与其一起转动的每个所述轴上的下板移动凸轮，每个上述下板移动凸轮有一个与上述轴形成偏心关系的圆柱形外表面，上述上板移动凸轮的外表面是共轴的；

四个以一种分隔开的相互关系连接在上述下板上的下板移动座，每个上述下板移动座有一个圆柱形开口，上述下板移动凸轮的外表面在该开口内转动；

使上述轴一起转过在一个第一轴角位置和一个第二轴角位置之间的半圈的装置，在该第一轴角位置处使上述下板处于上述关闭位置，在该第二轴角位置处使上述下板处于上述松开位置。

5.权利要求4所述的装置，其特征在于上述板固定装置还包括：

两个以一种分隔开的相互关系固定在与其一起转动的每个所述轴上的上板移动凸轮，每个上述上板移动凸轮有一个与上述轴形成偏心关系的圆柱形外表面，上述上板移动凸轮的上述外表面是共轴的，其中上述上板移动凸轮的外表面的一条轴线沿每个与上述下板移动凸轮的外表面的一条轴线完全相反的轴延伸；以及

四个以一种分隔开的相互关系连接在上述上板上的上板移动座，每个上述上板移动座有一个圆柱形开口，上述上板移动凸轮的外表面在该开口中转动。

6.权利要求3所述的装置，其特征在于上述下板移动装置包括：

一个沿上述下板的每个纵向延伸的边缘延伸的、以可转动的方式安装的轴；

两个以一种分隔开的相互关系固定在与其一起转动的每个所述轴上的下板移动凸轮，其中每个上述下板移动凸轮的一个表面有一个低点和一个高点，上述表面在上述低点处最接近上述轴，而在上述高点处离上述轴最远，上述高点处于上述低点沿直径方向的对面，对上述下板移动凸轮的上述低点沿每个上述轴进行角向对准；

四个以一种分隔开的相互关系固定在上述下板上的下板凸轮随动件；每个上述下板凸轮随动件嵌入上述下板移动凸轮以使该随动件随凸轮而移动；

使上述轴一起在一个第一轴角位置和一个第二轴角位置之间转过半圈的装置，上述下板在该第一轴角位置处处于上述关闭位置，而在该第二轴角位置处处于上述松开位置；以及

限制上述下板使其沿一条限定的路线与在上述上板和下板间延伸的上述基片接触和脱离接触的下板导向装置。

7.权利要求6所述的装置，其特征在于上述板固定装置还包括：

两个以一种分隔开的相互关系固定在与其一起转动的每个上述轴上的上板移动凸轮，其中每个上板移动凸轮的一个表面有一个低点和一个高点，上述表面在上述低点处最接近上述轴，而在上述高点处离上述轴最远，上述高点处于上述低点沿直径方向的对面，上述上板移动凸轮的上述低点沿每个上述轴角向对准，上述上板移动凸轮的上述低点在每个上述轴上处于上述下板移动凸轮的上述低点沿直径方向的对面；

四个以一种分隔开的相互关系固定在上述上板上的上板凸轮随动件，每个上述上板凸轮随动件嵌入上述上板移动凸轮以使该随动件随凸轮而移动；

限制上述上板使其沿一条路线与在上述上板和下板间延伸的上述基片接触和脱离接触的上板导向装置。

8.权利要求1所述的装置，其特征在于：

第一组多个上述上板条在横方向延伸跨过上述基片容纳狭孔，该多个上板条在纵方向上的宽度等于第一共同宽度；

某个上述上板条在横方向延伸跨过上述基片接纳狭孔，该上板条在上述纵方向上的宽度与上述第一共同宽度基本不同；

第二组多个上述下板条在横方向延伸跨过上述基片容纳狭孔，该多个下板条在上述纵方向上的宽度等于上述第一共同宽度；

某个下板条在横方向延伸跨过上述基片容纳狭孔，该下板条在上述纵方向上的宽度与上述第一共同宽度基本不同。

9.权利要求1所述的装置，其特征在于：

第二组多个上述上板条的边缘和第三组多个上述下板条的边缘以一个第一共同斜角延伸跨过上述基片容纳狭孔。

10.权利要求9所述的装置，其特征在于：

某个上述上板条的一个边缘和某个上述下板条的一个相邻边缘按与上述第一共同斜角基本不同的第二共同斜角延伸跨过上述基片容纳狭孔。

11.权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述上板包括一个导电上层和一个绝缘下层；以及

所述下板包括一个导电下层和一个绝缘上层。

12.权利要求11所述的装置，其特征在于：

上述导电上层和下层由一种厚度为0.013英寸的金属组成；以及

上述绝缘上层和下层由一种厚度为0.002英寸的热塑性材料组成。

13.权利要求11所述的装置，其特征在于还包括：

一个可在纵方向和横方向上、在上述上板隙当中和在上述上板隙内移动的第一上探针，上述第一上探针还可向下移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片相接触，以及可向上移动以使上述第一上探针移动通过上述上板条；以及

一个可在上述横方向和纵方向上、在上述下板隙当中和在上述下板隙内移动的第一下探针，上述第一下探针还可向上移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片相接触，以及向下可使上述第一下探针移动通过上述下板条。

14.权利要求13所述的装置，其特征在于还包括：

一个可在上述横方向和纵方向上、在上述上板隙当中和在上述上板隙内移动的第二上探针，上述第二上探针还可向下移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片相接触，以及可向上移动以使上述第二上探针移动通过上述上板条；以及

一个可在上述横方向和纵方向上、在上述下板隙当中和在上述下板隙内移动的第二下探针，上述第二下探针还可向上移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片相接触，以及向下可移动以使上述第二下探针移动通过上述下板条。

15.权利要求14所述的装置，其特征在于还包括：

电路测试装置，用于确定与上述探针接触的各个上述电路迹线的电特性，上述电路测试装置可用不同方式连接在上述上探针和下探针之中。

16.权利要求15所述的装置，其特征在于还包括：

可以用不同方式连接在两个上述探针之间以及连接在一个上述探针和上述板间的电容测试装置。

17.权利要求13所述的装置，其特征在于还包括：

探针位置测量装置，用于确定上述第一上探针和上述第一下探针在上述装置内的位置；以及

电路位置测量装置，用于确定上述电路迹线在上述装置内的位置。

18.权利要求17所述的装置，其特征在于上述电路位置测量装置包括：

第一装置，用于测量放置在上述柔性基片上与一组上述电路迹线对准的第一种标记的位置；以及

第二装置，用于检测上述柔性基片上一系列有规则间隔开的刻度标记沿上述纵方向的通过。

19.权利要求18所述的装置，其特征在于还包括：

基片驱动装置，用于在上述纵方向上移动上述柔性基片使之通过上述基片容纳狭孔。

20.权利要求19所述的装置，其特征在于；

上述基片驱动装置以一系列的运动方式移动上述柔性基片，从而通过上述上板隙和下板隙暴露上述柔性基片的连贯的部分。

21.一种测试沿一个柔性基片延伸的电路迹线的装置，其中，该装置包括：

一个基片容纳狭孔，上述柔性基片被按纵向的传送方向传送通过上述狭孔，上述基片容纳狭孔由一个上板和一个下板形成，上述上板有许多被上述上板上横向延伸的上板条分隔开的横向延伸的上板隙，上述下板包括分别在上述上板隙之下延伸的下板条，上述下板条被在上述下板条间横向延伸的下板隙分隔开；

两个可在横方向和纵方向上、在上述上板隙之中和之内移动的上探针，上述上探针还可向下移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片接触，以及可向上移动以使上述上探针在上述上板条之上移动；

两个可在上述横方向和纵方向上、在上述下板隙之中和之内移动的下探针，上述下探针还可向上移动以与在上述上板和下板间延伸的上述柔性基片接触，以及可向下移动以使上述下探针在上述下板条之下移动；以及

基片驱动装置，用于朝上述纵向传送方向移动上述柔性基片使之通过上述基片容纳狭孔。

22.权利要求21所述的装置，其特征在于：

每个所述上板和下板由一个导电层组成，上述导电层通过一个绝缘层与上述基片容纳狭孔内的上述柔性基片分隔开。

23.权利要求22所述的装置，其特征在于还包括：

电路测试装置，用于确定与上述探针接触的各种上述电路迹线的电特性，上述电路测试装置可用不同方式与上述上探针和下探针之中的探针连接；以及

在两个上述探针间和在一个上述探针和上述基片间用不同方式连接的电容测试装置。

24.权利要求23所述的装置，其特征在于：

上述基片驱动装置以一种停止和前进的方式移动上述柔性基片使之通过上述基片容纳狭孔，从而在上述基片的移动位置之间通过上板隙和下板隙暴露出上述电路迹线的不同部分；以及

上述装置还包括一个板驱动装置和探针驱动装置，上述板驱动装置移动上板和下板使其分开从而便于通过上述基片驱动装置来移动上述柔性基片并在停止上述柔性基片的运动时关闭上述上板和下板以夹住上述柔性基片，上述探针驱动装置在上述基片的移动位置间于通过上述上板隙和下板隙暴露出来的上述电路迹线的测试点之中移动上述上探针和下探针。

25.权利要求24所述的装置，其特征在于：

上述装置还包括电路位置测量装置，用于测量上述柔性基片上的电路图形在上述装置内的位置；以及

上述探针驱动装置移动上述上探针和下探针以补偿电路图形在上述柔性基片上的上述位置的变动。

26.一种测试沿一个柔性基片延伸的电路迹线的方法，上述方法包括以下步骤：

在一个上板和一个下板间沿纵向传送上述柔性基底，其中，上述上板包括多个被上述上板横向延伸的板条分隔开的横向延伸的上板隙，上述下板包括各自在上述上板隙之下延伸的下板条和在上述下板条之间横向延伸的下板隙，其中每个上述上板和下板由一个导电层组成，上述导电层由一个绝缘层与上述柔性基片分隔开；

使上述柔性基片在一个位置上停止移动，从而通过上述板隙让上述电路迹线的不同部分暴露出来；

移动探针使之从上述柔性基片之上和之下通过不同的上述板隙与上述不同的电路迹线上的不同点接触；

通过与上述不同点接触的上述探针测量上述不同的电路迹线的电特性；

移动上述探针使之与上述电路迹线脱离接触；

移动上述探针使之从上述柔性基片之上和之下与通过不同的上述板隙暴露出来的上述不同的电路迹线的不同的点接触；

通过与上述各个不同的点接触的上述探针测量上述不同的电路迹线的电特性，以及

移动上述探针使之与上述电路迹线脱离接触。

27.权利要求26所述的方法，其特征在于：

多次重复上述步骤，藉助于上述柔性基片的反复移动通过上述上板隙和下板隙板把上述电路迹线的不同部分暴露出来。

28.权利要求26所述的方法，其特征在于：

移动上述探针中的两个使其从上述柔性基片的一个共同侧面与一个电路迹线上的不同点接触。

29.权利要求26所述的方法，其特征在于：

移动上述探针中的两个使其从上述柔性基片的相对侧面与在一个电路迹线上的不同点接触。

30.权利要求26所述的方法，其特征在于：

移动一个上述探针使其与某个上述电路迹线接触，以测量在上述某个电路迹线和上述上板以及下板间的电容。

31.权利要求26所述的方法，其特征在于：

移动上述第一探针使之从上述柔性基片的第一侧面与某个上述电路迹线接触，以及移动上述第二探针使之在与上述柔性基片的上述第一侧面相对的侧面上形成的一个电压面接触，以测量在上述某个电路迹线和上述电压面间的电容。

32.权利要求26所述的方法，其特征在于还包括以下步骤：

在沿上述纵方向移动上述柔性基片之前，使上述上板和下板分离，以松开上述柔性基片；以及

在停止上述柔性基片的运动之后，在上述柔性基片上合拢上述上板和下板。

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