CN203179859U - 标识对位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种标识对位装置，涉及半导体对位设备技术领域，能够缩短标识对位过程所需的时间，提高标识对位的工作效率。所述标识对位装置，包括基座、设置在所述基座上的基台、设置在所述基台两侧的Y向滑轨，设置在所述Y向滑轨上的X向导轨，所述X向导轨上设置有多个识别系统，每个所述识别系统包括CCD镜头、CCD驱动单元以及CCD移动滑块。

Description

标识对位装置

技术领域

本实用新型涉及半导体对位设备技术领域，尤其涉及一种标识对位装置。

背景技术

随着科学技术的不断发展与进步，电脑、电视等家用电器与人们的联系越来越多，其中TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)显示装置基于其显示效果好、低能耗、低污染的性能特点，占据了很大的市场份额。

作为TFT-LCD显示装置制备过程中的一道重要工艺，光刻工艺用于曝光显影在基板上形成各结构单元的图形，从而完成阵列基板以及彩膜基板的制备。然而，若生成的各结构单元与设计值产生偏差，势必直接影响到显示装置的品质，例如产生诸如漏光、灰阶偏移等一系列品质不良问题。因此在曝光显影完成后，为测试结构单元的对位精度，通常来说，需要利用标识对位装置进行测试，以使最终生成的显示装置得到坚固的机械连接结构以及良好的电气联接性能，使得生产出的显示装置具有长期可靠、高效、优质的工作特性。

在实现上述标识对位的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：现有技术的标识对位装置中只设置有单一的CCD(电荷耦合器件)镜头，因此，在标识对位的过程中，CCD镜头需要在各个标记位置之间进行移动，造成标识对位的过程冗长；另一方面，由于现有技术的标识对位装置中只设置有单一的CCD镜头，因此，当待检基板上的标记出现问题需要进行复检工作时，正常的标识对位测试工作只能停止，而无法同时进行，降低了整个标识对位装置的工作效率。

发明内容

本实用新型的实施例提供一种标识对位装置，能够缩短标识对位过程所需的时间，提高标识对位的工作效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种标识对位装置，包括基座、设置在所述基座上的基台、设置在所述基台两侧的Y向滑轨，设置在所述Y向滑轨上的X向导轨，其特征在于，所述X向导轨上设置有多个识别系统，每个所述识别系统包括CCD镜头、CCD驱动单元以及CCD移动滑块。

优选的，所述识别系统还包括距离传感器，用于当所述识别系统之间距离过小时发出警报。

进一步的，所述识别系统的数量为4～6个。

进一步的，所述CCD驱动单元包括线性马达或者丝杆变频马达，用于驱动所述CCD移动滑块，调整所述CCD镜头所在位置。

本实用新型实施例提供的一种标识对位装置，其中设置有多个识别系统且识别系统中包括CCD镜头、CCD驱动单元以及CCD移动滑块，通过多个识别系统的协同工作，缩短标识对比所需的工作时间，提高标识对位的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型标识对位装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种标识对位装置，如图1所示，所述标识对位装置包括：基座1、设置在所述基座1上的基台2、设置在所述基台2两侧的Y向滑轨3，设置在所述Y向滑轨3上的X向导轨4，所述X向导轨上4设置有多个识别系统。其中，基台2设置在基座1上，用于放置并固定待测试阵列基板或者彩膜基板。基台2为高平整精度的平板结构，通常使用大理石材质或者高强度的陶瓷材质，其表面设置有真空槽以及真空气孔，当待测试基板在基台2的位置摆放好之后，抽取真空用以保证待测试基板在基台2的位置固定。Y向滑轨3设置在基台2的两侧，X向导轨4设置在Y向滑轨3上，通过连接件X向导轨4可在Y向滑轨3上进行单方向自由度的滑动，多个识别系统设置在X向导轨4上。

另外，每个识别系统还包括有CCD镜头51、CCD驱动单元(图中未示出)以及CCD移动滑块52。其中，CCD镜头51为高分辨率的电荷耦合器件，用于捕捉待测试基板上的标识。CCD移动滑块52与CCD镜头51相连接，用于调整CCD镜头51的位置。CCD驱动单元，具体的，包括线性马达或者丝杆变频马达，用于驱动CCD移动滑块52从而调整CCD镜头51的位置。一方面，CCD驱动单元可驱动CCD移动滑块52沿X向导轨4的X向方面进行移动，从而确定待测试基板上标识的X向位置信息(需要说明的是，待测试基板上标识的Y向位置信息由X向导轨4在Y向滑轨的移动来确定)；另一方面，CCD驱动单元可驱动CCD移动滑块52沿垂直于X向以及Y向的平面的方向移动，从而调整CCD镜头51与待测试基板之间距离，使得CCD镜头51以最佳的对焦效果读取待测试基板的标识。

需要说明的是，CCD镜头所在位置包括两部分位置信息。其中一部分为CCD镜头在X向以及Y向的位置，该位置信息用于确定CCD镜头识别的待测试基板上标识的X向以及Y向的位置信息；另一部分为CCD镜头在垂直于X向以及Y向的平面方向上的位置，该位置信息用于确定CCD镜头与待测试基板之间的距离，便于通过调整CCD镜头与待测试基板之间的距离来达到最佳的对焦效果。事实上，本实施例的标识对位装置中设置有多个识别系统，每个识别系统中均有CCD镜头，因此，可根据每个CCD镜头所在位置信息进行控制调制以完成标识对位工作或者复检工作，在此本文不再赘述。

优选的，识别系统还包括距离传感器，用于当识别系统之间距离过小时发出警报，防止识别系统相撞造成危险。

进一步的，识别系统的数量为4～6个。需要说明的是，由于X向导轨上设置有多个识别系统，当识别系统数量过少时，会使得读取待测试基板标记的时间过长；而当识别系统数量过多，会使得X向导轨过于拥挤，产生浪费。举例来说，以第五代TFT-LCD生产线生产的阵列基板为例，该阵列基板中每一行位置上均设置有6个标识，因此，可在标识对位装置中设置有6个识别系统，令这6个识别系统同时工作，一次性可读取阵列基板同一行中的6个标识位置信息。但本领域技术人员应该明白，识别系统数量为4～6个仅为一种较优的选择而并不是对本实用新型的限定，事实上，识别系统还可为其他数量，在此不做限制。

进一步的，CCD驱动单元为线性马达或者丝杆变频马达，用于驱动CCD移动滑块，调整CCD镜头所在位置。

需要说明的是，本实用新型实施例的标识对位装置中设置有多个识别系统，因此，本实施例的标识对位装置可存在多种工作模式。举例来说，在正常读取待测试基板标识的过程中，可令本实施例的标识对位装置中的全部识别系统同时进行识别工作，从而缩短标识对位待测试基板的时间；或者令部分识别系统工作而令剩余的识别系统处于待机状态，从而达到即保证标识对位装置工作效率，同时降低标识对位装置的工作强度，延长标识对位装置的使用寿命的目的。另外，当标识测试过程出现问题，需要对待测试基板进行复检时，由于本实施例的标识对位装置中设置有多个识别系统，可调整部分识别系统的工作状态，令该部分识别系统完成对待测试基板的复检工作，而剩余识别系统继续进行原有的识别测试工作，避免了停机复检带来了工作效率低下的问题。此外，在驱动本实施例的标识对位装置的识别系统时，既可同步驱动多个识别系统也可独立驱动每一个识别系统，从而达到控制调制所述标识对位装置工作状态的目的，在此不做赘述。

另外，在本实用新型的标识对位装置将待测试基板的标识全部识别完成后，可将读取到的坐标信息上传到上位机中，与预设的坐标信息进行比对，当比对误差在允许范围内，本实用新型的标识对位装置可将待测试基板导出并继续其他测试工作；而当比对误差超出允许的范围时，本实用新型的标识对位装置可发出警示并停止测试工作，令现场技术人员查找问题所在。

事实上，本实用新型实施例的标识对位装置的控制方式存在也多种可能。举例来说，该标识对位装置作为一种独立测试装置，可与光刻流程中的曝光显影设备相连配合，从而将完成曝光显影工艺后的基板直接运送到本实施例的标识对位装置中，进行标识对位测试工作。具体检测过程可依据事先设定好的检测模式进行，同时规定对位测试完成后所要进行的后续操作。例如：当待测基板测试符合要求后，可将基板放行并继续测试其它待测基板；而当待测基板检测出现问题时，则对问题基板进行复检，当复检也出现问题时则进行报警并提示现场工程人员进行处理，从而减少显示装置制备过程中的停机时间，提高整个显示装置生产流水线的工作效率。

本实用新型实施例提供的一种标识对位装置，其中设置有多个识别系统且识别系统中包括CCD镜头、CCD驱动单元以及CCD移动滑块，通过多个识别系统的协同工作，缩短标识对比所需的工作时间，提高标识对位的工作效率。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (4)

1.一种标识对位装置，包括基座、设置在所述基座上的基台、设置在所述基台两侧的Y向滑轨，设置在所述Y向滑轨上的X向导轨，其特征在于，所述X向导轨上设置有多个识别系统，每个所述识别系统包括CCD镜头、CCD驱动单元以及CCD移动滑块。

2.根据权利要求1所述的标识对位装置，其特征在于，所述识别系统还包括距离传感器，用于当所述识别系统之间距离过小时发出警报。

3.根据权利要求1所述的标识对位装置，其特征在于，所述识别系统的数量为4～6个。

4.根据权利要求1所述的标识对位装置，其特征在于，所述CCD驱动单元包括线性马达或者丝杆变频马达，用于驱动所述CCD移动滑块，调整所述CCD镜头所在位置。