CN105603510A - 一种单晶生长炉 - Google Patents

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孙曙光
张凤
郭维
陈浩
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Abstract

一种单晶生长炉,包括水冷提拉杆,所述水冷提拉杆内设有籽晶,水冷提拉杆下端设有坩埚,坩埚内设有晶体,坩埚底部设有干锅支撑,坩埚侧面及底部设有加热器,加热器四周设有保温屏,保温屏与坩埚顶部的坩埚口之间设有反射屏,保温屏底部设有底座,底座及保温屏外部设有壳体;本发明的优点是晶体生长炉结构简单,绝热层的绝热效果好,保温效果好,节约能源,晶体生长均匀。

Description

一种单晶生长炉
技术领域
本发明涉及机械设备技术领域,具体涉及一种单晶生长炉。
背景技术
晶体是在物相转变的情况下形成的。物相有三种,即气相、液相和固相。只有晶体才是真正的固体;由气相、液相转变成固相时形成晶体,固相之间也可以直接产生转变;晶体生成的一般过程是先生成晶核,而后再逐渐长大。一般认为晶体从液相或气相中的生长有三个阶段:①介质达到过饱和、过冷却阶段;②成核阶段;②生长阶段。在某种介质体系中,过饱和、过冷却状态的出现,并不意味着整个体系的同时结晶。体系内各处首先出现瞬时的微细结晶粒子。这时由于温度或浓度的局部变化,外部撞击,或一些杂质粒子的影响,都会导致体系中出现局部过饱和度、过冷却度较高的区域,使结晶粒子的大小达到临界值以上。这种形成结晶微粒子的作用称之为成核作用。
晶体生长需要用到晶体生长炉,目前的晶体生长炉结构复杂,保温效果差,效能能源多,晶体生长不均匀。
发明内容
为克服上述技术问题,本发明提供一种单晶生长炉,采用的技术方案如下:
一种单晶生长炉,包括水冷提拉杆,所述水冷提拉杆内设有籽晶,水冷提拉杆下端设有坩埚,坩埚内设有晶体,坩埚底部设有干锅支撑,坩埚侧面及底部设有加热器,加热器四周设有保温屏,保温屏与坩埚顶部的坩埚口之间设有反射屏,保温屏底部设有底座,底座及保温屏外部设有壳体。
所述坩埚支撑底部设有螺纹调节。
所述坩埚支撑材料为钼。
所述底座由保温材料制成。
本发明的优点是:晶体生长炉结构简单,绝热层的绝热效果好,保温效果好,节约能源,晶体生长均匀。
附图说明
图1为本发明的拆分结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,一种单晶生长炉,包括水冷提拉杆1,所述水冷提拉杆1内设有籽晶3,水冷提拉杆1下端设有坩埚7,坩埚7内设有晶体6,坩埚7底部设有干锅支撑9,坩埚7侧面及底部设有加热器5,加热器5四周设有保温屏2,保温屏2与坩埚7顶部的坩埚口之间设有反射屏4,保温屏2底部设有底座10,底座10及保温屏2外部设有壳体,保护产品内部结构,同时起防护作用。
所述坩埚支撑9底部设有螺纹调节,从而方便调节高低。
所述坩埚支撑9材料为钼,耐高温。
所述底座10由保温材料制成,保温效果好。

Claims (4)

1.一种单晶生长炉,包括水冷提拉杆(1),其特征在于:所述水冷提拉杆(1)内设有籽晶(3),水冷提拉杆(1)下端设有坩埚(7),坩埚(7)内设有晶体(6),坩埚(7)底部设有干锅支撑(9),坩埚(7)侧面及底部设有加热器(5),加热器(5)四周设有保温屏(2),保温屏(2)与坩埚(7)顶部的坩埚口之间设有反射屏(4),保温屏(2)底部设有底座(10),底座(10)及保温屏(2)外部设有壳体。
2.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉,其特征在于:所述坩埚支撑(9)底部设有螺纹调节。
3.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉,其特征在于:所述坩埚支撑(9)材料为钼。
4.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉,其特征在于:所述底座(10)由保温材料制成。
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Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102534779A (zh) * 2010-12-20 2012-07-04 江西同人电子材料有限公司 单一组分氧化物晶体的制备方法
CN102677158A (zh) * 2011-03-15 2012-09-19 上海晨安电炉制造有限公司 一种带副室结构的泡生法晶体生长炉
CN202558965U (zh) * 2012-04-10 2012-11-28 江苏双良新能源装备有限公司 泡生法生长炉炉体
CN102965726A (zh) * 2012-12-19 2013-03-13 苏州巍迩光电科技有限公司 一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构
CN202936511U (zh) * 2012-08-31 2013-05-15 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 蓝宝石晶体生长用可调节保温系统
CN103147121A (zh) * 2013-04-03 2013-06-12 中国科学院上海硅酸盐研究所 提拉泡生法生长晶体的装置
CN203007477U (zh) * 2012-12-13 2013-06-19 无锡鼎晶光电科技有限公司 用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构
CN103451724A (zh) * 2013-08-28 2013-12-18 苏州巍迩光电科技有限公司 一种冷心可调的泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构
CN203440499U (zh) * 2013-08-14 2014-02-19 上海森松压力容器有限公司 一种节能蓝宝石晶体炉
CN104178813A (zh) * 2014-09-15 2014-12-03 同方国芯电子股份有限公司 泡生法蓝宝石单晶生长炉保温侧屏
CN104805501A (zh) * 2014-01-26 2015-07-29 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 一种方形蓝宝石单晶炉热场结构
CN204849118U (zh) * 2015-06-15 2015-12-09 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 改进的泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统结构

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102534779A (zh) * 2010-12-20 2012-07-04 江西同人电子材料有限公司 单一组分氧化物晶体的制备方法
CN102677158A (zh) * 2011-03-15 2012-09-19 上海晨安电炉制造有限公司 一种带副室结构的泡生法晶体生长炉
CN202558965U (zh) * 2012-04-10 2012-11-28 江苏双良新能源装备有限公司 泡生法生长炉炉体
CN202936511U (zh) * 2012-08-31 2013-05-15 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 蓝宝石晶体生长用可调节保温系统
CN203007477U (zh) * 2012-12-13 2013-06-19 无锡鼎晶光电科技有限公司 用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构
CN102965726A (zh) * 2012-12-19 2013-03-13 苏州巍迩光电科技有限公司 一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构
CN103147121A (zh) * 2013-04-03 2013-06-12 中国科学院上海硅酸盐研究所 提拉泡生法生长晶体的装置
CN203440499U (zh) * 2013-08-14 2014-02-19 上海森松压力容器有限公司 一种节能蓝宝石晶体炉
CN103451724A (zh) * 2013-08-28 2013-12-18 苏州巍迩光电科技有限公司 一种冷心可调的泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构
CN104805501A (zh) * 2014-01-26 2015-07-29 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 一种方形蓝宝石单晶炉热场结构
CN104178813A (zh) * 2014-09-15 2014-12-03 同方国芯电子股份有限公司 泡生法蓝宝石单晶生长炉保温侧屏
CN204849118U (zh) * 2015-06-15 2015-12-09 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 改进的泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统结构

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