CN202936511U - 蓝宝石晶体生长用可调节保温系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及蓝宝石晶体生长炉领域,尤其涉及一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统。一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,所述保温筒安装在底板上,所述侧部隔热屏竖直设置在底板上包住保温筒,所述上部隔热屏安装在外桶体顶部,下部隔热屏安装在底板的上表面,上部隔热屏、保温筒和下部隔热屏一起包住坩埚,所述外桶体底部安装有氧化锆底座,所述底板通过井字架安装在氧化锆底座上,所述底盘中圈和底盘外圈支撑井字架,底盘内圈活动安装。本实用通过可灵活调节的上部隔热屏、钨桶、氧化锆底座、下隔热屏,使该保温系统能够满足泡生法及其改良方法生长蓝宝石晶体的实际生产中,因工艺改动、炉台差别所需要的保温系统易调整的要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石晶体生长炉领域,尤其涉及一种生长炉保温系统。
背景技术
使用泡生法或泡生法改良方法,如冷心放肩微提拉法生长大尺寸蓝宝石晶体时,保证了大尺寸晶体生长,整个过程结晶遗传特性良好 ,材料品质优良.通过高精度的能量控制配台微量提拉,使得在整个晶体生长过程中明显的热扰动,缺陷萌生的几率较其他方法明显降低.热场更均匀,从而保证单品生长成功率。
由于冷心放肩微提拉法生长工艺的调整、改进,晶体不被提出坩埚,在晶体仍处于热态时.可精确控制它的冷却速度,减少热应力;但是现有的生长炉无法满足此类要求,以及各炉台之间的不可控差别等因素,生产过程中对于热场的调节是必须的。然而通常所使用的保温系统在加工完成后无法再进行较大的改动,不能满足实际生产要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,通过可灵活调节的上部隔热屏、钨桶、氧化锆底座、下隔热屏,使该保温系统能够满足保温系统易调整的要求。
本实用新型是这样实现的:一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,包括上部隔热屏、保温筒、侧部隔热屏、坩埚隔热屏、下部隔热屏、底板和外桶体,所述底板设置在外桶体内,所述坩埚托盘安装在锅位调节托盘上,所述锅位调节托盘通过支柱安装在底板上,坩埚托盘上设置坩埚,坩埚隔热屏设置在坩埚的顶部;所述保温筒安装在底板上,所述侧部隔热屏竖直设置在底板上包住保温筒,所述上部隔热屏安装在外桶体顶部,下部隔热屏安装在底板的上表面,上部隔热屏、保温筒和下部隔热屏一起包住坩埚,所述外桶体底部安装有氧化锆底座,所述底板通过井字架安装在氧化锆底座上,所述氧化锆底座由底盘内圈、底盘中圈和底盘外圈三圈构成,所述底盘中圈和底盘外圈支撑井字架,底盘内圈活动安装。
所述的保温筒为钨筒。
所述的保温筒由上筒、中筒和下筒三部分活动拼装而成。
所述上部隔热屏包括上屏钼盘、隔热片组和连接柱,所述连接柱顶端通过固定螺母安装在上屏钼盘上,隔热片组设置在连接柱的下部,上屏钼盘与隔热片组之间的连接柱外套装有套筒。
所述下部隔热屏由钨隔热片和钼隔热片组合而成,所述钨隔热片设置在下部隔热屏的顶面和底面,钼隔热片设置在下部隔热屏的中间,钨隔热片的厚度大于钼隔热片的厚度。
本实用新型蓝宝石晶体生长用可调节保温系统通过可灵活调节的上部隔热屏、钨桶、氧化锆底座、下隔热屏,使该保温系统能够满足泡生法及其改良方法生长蓝宝石晶体的实际生产中,因工艺改动、炉台差别所需要的保温系统易调整的要求。
附图说明
图1为本实用新型蓝宝石晶体生长用可调节保温系统结构示意图;
图2为上部隔热屏立体结构示意图;
图3为上部隔热屏截面示意图;
图4为保温筒结构示意图;
图5为氧化锆底座结构示意图。
图中:1上部隔热屏、2保温筒、3氧化锆底座、4侧部隔热屏、5坩埚隔热屏、6下部隔热屏、7底板、8井字架、9外桶体、10锅位调节托盘、11支柱、12坩埚托盘、13坩埚、21上筒、22中筒、23下筒、31底盘内圈、32底盘中圈、33底盘外圈、41固定螺母、42上屏钼盘、43隔热片、44套筒、45连接柱。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型表述的内容之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
如图1、5所示,一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,包括上部隔热屏1、保温筒2、侧部隔热屏4、坩埚隔热屏5、下部隔热屏6、底板7和外桶体9,所述底板7设置在外桶体9内,所述坩埚托盘12安装在锅位调节托盘10上,所述锅位调节托盘10通过支柱11安装在底板7上,坩埚托盘12上设置坩埚13,坩埚隔热屏5设置在坩埚13的顶部;所述保温筒2安装在底板7上,所述侧部隔热屏4竖直设置在底板7上包住保温筒2,所述上部隔热屏1安装在外桶体9顶部,下部隔热屏6安装在底板7的上表面,上部隔热屏1、保温筒2和下部隔热屏6一起包住坩埚13,所述外桶体9底部安装有氧化锆底座3,所述底板7通过井字架8安装在氧化锆底座3上,所述氧化锆底座3由底盘内圈31、底盘中圈32和底盘外圈33三圈构成,所述底盘中圈32和底盘外圈33支撑井字架8,底盘内圈31活动安装,底盘内圈31可以根据使用者的实际需要安装或去除。
如图4所示,在本实用新型中,所述的保温筒2为钨筒,所述的保温筒2由上筒21、中筒22和下筒23三部分活动拼装而成,上筒21和中筒22可以根据实际使用的需要安装或去除,实现调节保温要求的目的。
如图2、3所示,所述上部隔热屏1包括上屏钼盘42、隔热片组43和连接柱45,所述连接柱45顶端通过固定螺母41安装在上屏钼盘42上,隔热片组43设置在连接柱45的下部,上屏钼盘42与隔热片组43之间的连接柱45外套装有套筒44;隔热片组43中的隔热片数量可以自由调节,实现调节保温要求的目的。
在本实施例中,所述下部隔热屏6由钨隔热片和钼隔热片组合而成,所述钨隔热片设置在下部隔热屏6的顶面和底面,钼隔热片设置在下部隔热屏6的中间,钨隔热片的厚度大于钼隔热片的厚度,生产中可通过对钼隔热片数量的调节,实现对热场的调节。
Claims (5)
1.一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,包括上部隔热屏(1)、保温筒(2)、侧部隔热屏(4)、坩埚隔热屏(5)、下部隔热屏(6)、底板(7)、外桶体(9)、锅位调节托盘(10)和坩埚托盘(12),所述底板(7)设置在外桶体(9)内,所述坩埚托盘(12)安装在锅位调节托盘(10)上,所述锅位调节托盘(10)通过支柱(11)安装在底板(7)上,坩埚托盘(12)上设置坩埚(13) ,坩埚隔热屏(5)设置在坩埚(13)的顶部;所述保温筒(2)安装在底板(7)上,所述侧部隔热屏(4)竖直设置在底板(7)上包住保温筒(2),所述上部隔热屏(1)安装在外桶体(9)顶部,下部隔热屏(6)安装在底板(7)的上表面,上部隔热屏(1)、保温筒(2)和下部隔热屏(6)一起包住坩埚(13),其特征是:所述外桶体(9)底部安装有氧化锆底座(3),所述底板(7)通过井字架(8)安装在氧化锆底座(3)上,所述氧化锆底座(3)由底盘内圈(31)、底盘中圈(32)和底盘外圈(33)三圈构成,所述底盘中圈(32)和底盘外圈(33)支撑井字架(8),底盘内圈(31)活动安装。
2.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,其特征是:所述的保温筒(2)为钨筒。
3.如权利要求2所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,其特征是:所述的保温筒(2)由上筒(21)、中筒(22)和下筒(23)三部分活动拼装而成。
4.如权利要求1~3中任意一权利要求所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,其特征是:所述上部隔热屏(1)包括上屏钼盘(42)、隔热片组(43)和连接柱(45),所述连接柱(45)顶端通过固定螺母(41)安装在上屏钼盘(42)上,隔热片组(43)设置在连接柱(45)的下部,上屏钼盘(42)与隔热片组(43)之间的连接柱(45)外套装有套筒(44)。
5.如权利要求1~3中任意一权利要求所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,其特征是:所述下部隔热屏(6)由钨隔热片和钼隔热片组合而成,所述钨隔热片设置在下部隔热屏(6)的顶面和底面,钼隔热片设置在下部隔热屏(6)的中间,钨隔热片的厚度大于钼隔热片的厚度。
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CN2012204400137U CN202936511U (zh) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 蓝宝石晶体生长用可调节保温系统 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104499045A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-08 | 华中科技大学 | 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉 |
CN105603510A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-05-25 | 江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司 | 一种单晶生长炉 |
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