CN105586567A - 真空镀膜前处理加工方法 - Google Patents

真空镀膜前处理加工方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种真空镀膜前处理加工方法，包括：a、高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；b、对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；c、对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；d、对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；e、对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；f、对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；g、对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；h、对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理；该能够有效去除精抛后产生的纳米氧化膜，工序简单，有利于后续物理气相沉积处理。

Description

真空镀膜前处理加工方法
技术领域
本发明涉及抛光技术领域，尤其涉及一种真空镀膜前处理加工方法。
背景技术
在金属表面处理高亮镜面精抛后会存在纳米氧化膜，如运用在物理气相沉积技术中，这种纳米氧化膜会给物理气相沉积的膜层结合力造成很大的影响，甚至会直接导致脱落，存在极大的弊端。
发明内容
本发明的目的在于提出一种真空镀膜前处理加工方法，能够有效去除精抛后产生的纳米氧化膜，工序简单，有利于后续物理气相沉积处理。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
真空镀膜前处理加工方法，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。
作为一种优选，在步骤a和步骤b之间、步骤b与步骤c之间、步骤c与步骤d之间、步骤d与步骤e之间、步骤e与步骤f之间、步骤f与步骤g之间均包括：
喷淋：对前一步骤中处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min。
作为一种优选，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3.5L/24H；温度为30±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，药水浓度可以为8％、8.5％、9％、9.5％、10％；温度可以为28℃、29℃、30℃、31℃、32℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
20～35份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、10～20份的烷基酚聚氧乙烯醚、5～10份的2甲基2氨基丙醇、25～35份的丙二醇单乙醚。
其中，2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇可以为20份、21份、22份、23份、24份、25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份；烷基酚聚氧乙烯醚可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份20份；2甲基2氨基丙醇可以为5份、6份、7份、8份、9份、10份；丙二醇单乙醚可以为25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份。
作为一种优选，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3L/24H；温度为75±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，药水浓度为8％、8.5％、9％、9.5％、10％；温度可以为73℃、74℃、75℃、76℃、77℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：
20～30份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、10～20份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、25～30份的椰油酸二乙醇酰胺、10～15份的有机分散剂。
其中，脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚可以为20份、21份、22份、23份、24份、25份、26份、27份、28份、29份、30份；嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份、20份；椰油酸二乙醇酰胺可以为25份、26份、27份、28份、29份、30份；有机分散剂可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份。
作为一种优选，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100±10g/L、20±5g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为50±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，KMnO4的浓度可以为90g/L、91g/L、92g/L、93g/L、94g/L、95g/L、96g/L、97g/L、98g/L、99g/L、100g/L、101g/L、102g/L、103g/L、104g/L、105g/L、106g/L、107g/L、108g/L、109g/L、110g/L；NaOH的浓度可以为15g/L、16g/L、17g/L、18g/L、19g/L、20g/L、21g/L、22g/L、23g/L、24g/L、25g/L；温度可以为48℃、49℃、50℃、51℃、52℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S。
作为一种优选，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50±10g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，药水浓度可以为40g/L、41g/L、42g/L、43g/L、44g/L、45g/L、46g/L、47g/L、48g/L、49g/L、50g/L、51g/L、52g/L、53g/L、54g/L、55g/L、56g/L、57g/L、58g/L、59g/L、60g/L；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S。
作为一种优选，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24H；温度为55±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；药水浓度可以为4％、4.1％、4.2％、4.3％、4.4％、4.5％、4.6％、4.7％、4.8％、4.9％、5.0％；温度可以为53℃、54℃、55℃、56℃、57℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：
10～35份的烷基酚聚氧乙烯醚、10～20份的椰油酸醇胺、3～5份的助洗剂。
其中，烷基酚聚氧乙烯醚可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份、20份、21份、22份、23份、24份、25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份；椰油酸醇胺可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份、20份；助洗剂可以为3份、4份、5份。
作为一种优选，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间240±10S；药水更换周期14天；药水浓度可以为4％、4.1％、4.2％、4.3％、4.4％、4.5％、4.6％、4.7％、4.8％、4.9％、5.0％；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：
12～18份的柠檬酸、6～14份的缓冲剂、8～10份的草酸。
其中，柠檬酸可以为12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份；缓冲剂可以为6份、7份、8份、9份、10份、11份、12份、13份、14份；草酸可以为8份、9份、10份。
作为一种优选，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
作为一种优选，鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为55±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为53℃、54℃、55℃、56℃、57℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为58℃、59℃、60℃、61℃、62℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为58℃、59℃、60℃、61℃、62℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为70±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；温度可以为68℃、69℃、70℃、71℃、72℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为80±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为78℃、79℃、80℃、81℃、82℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S。
作为一种优选，步骤h中采用的环境参数如下：
温度为85±2℃；时间为1200±10S；优选的，温度可以为83℃、84℃、85℃、86℃、87℃；时间可以为1190S、1191S、1192S、1193S、1194S、1195S、1196S、1197S、1198S、1199S、1200S、1201S、1202S、1203S、1204S、1205S、1206S、1207S、1208S、1209S、1210S。
本发明的有益效果为：
本发明的真空镀膜前处理加工方法，通过除胶超声——除腊超声——表面活化——调和超声——除油超声——中和超声——纯水漂洗——烘干的工序步骤，能够有效去除高亮度镜面精抛后产生的纳米氧化膜，工序简单，有利于后续物理气相沉积处理。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
如无具体说明，本发明的各种原料均可市售购得，或根据本领域的常规方法制备得到。
实施例一
真空镀膜前处理加工方法，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。
其中，步骤a中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为8％；药水补水量为3.5L/24H；温度为30℃；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：20份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、10份的烷基酚聚氧乙烯醚、5份的2甲基2氨基丙醇、25份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为8％；药水补水量为3L/24H；温度为75℃；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：20份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、10份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、25份的椰油酸二乙醇酰胺、10份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100g/L、20g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为50℃；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4％；药水补水量为3L/24H；温度为55℃；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：10份的烷基酚聚氧乙烯醚、10份的椰油酸醇胺、3份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：12份的柠檬酸、6份的缓冲剂、8份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为55℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为70℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为80℃；时间240S；DI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为85℃；时间可以为1200S。
实施例二
本实施例不同于实施例一之处在于，在本实施例中，具体参数如下：
其中，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为10％；药水补水量为3.5L/24H；温度为30℃；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
35份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、20份的烷基酚聚氧乙烯醚、10份的2甲基2氨基丙醇、35份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为10％；药水补水量为3L/24H；温度为75℃；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：30份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、20份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、30份的椰油酸二乙醇酰胺、15份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100g/L、20g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为50℃；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为5％；药水补水量为3L/24H；温度为55℃；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：35份的烷基酚聚氧乙烯醚、20份的椰油酸醇胺、5份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：18份的柠檬酸、14份的缓冲剂、10份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为55℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为70℃；时间240S；DI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为80℃；时间240S；DI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为86℃；时间可以为1205S。
实施例三
真空镀膜前处理加工方法，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
a’、喷淋：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
b’、喷淋：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
c’、喷淋：对步骤c中活化处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
d’、喷淋：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
e’、喷淋：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
f’、喷淋：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。
在本实施例中，具体参数如下：
其中，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为9％；药水补水量为3.5L/24H；温度为32℃；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
25份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、15份的烷基酚聚氧乙烯醚、8份的2甲基2氨基丙醇、30份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为9％；药水补水量为3L/24H；温度为77℃；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：25份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、15份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、28份的椰油酸二乙醇酰胺、13份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为110g/L、25g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为52℃；时间250S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为60g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间250S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为57℃；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：25份的烷基酚聚氧乙烯醚、15份的椰油酸醇胺、4份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：15份的柠檬酸、10份的缓冲剂、9份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为57℃；时间250S；DI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为62℃；时间250S；DI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为62℃；时间250S；DI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为72℃；时间250S；DI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为82℃；时间250S；DI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为87℃；时间可以为1210S。
实施例四
本实施例不同于实施例三之处在于，在本实施例中，具体参数如下：
其中，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为9.5％；药水补水量为3.5L/24H；温度为28℃；时间230S；周期14天。
优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
33份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、13份的烷基酚聚氧乙烯醚、7份的2甲基2氨基丙醇、31份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为9.5％；药水补水量为3L/24H；温度为73℃；时间230S；周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：
27份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、18份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、26份的椰油酸二乙醇酰胺、13份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为90g/L、15g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为48℃；时间230S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为40g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间230S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为53℃；时间230S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：28份的烷基酚聚氧乙烯醚、18份的椰油酸醇胺、4份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间230S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：16份的柠檬酸、10份的缓冲剂、9份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为53℃；时间230S；DI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为58℃；时间230S；DI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为58℃；时间230S；DI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为68℃；时间230S；DI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为78℃；时间230S；DI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为84℃；时间可以为1195S。
综上所述，通过本发明的加工方法加工后的高亮度镜面，去除了其表面的纳米氧化膜，在后续的气相沉积处理过程中，可以使得沉积膜较好地与高亮度镜面粘附，从而保证后续工序的加工质量。
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺流程，但本发明并不局限于上述详细工艺流程，即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，在步骤a和步骤b之间、步骤b与步骤c之间、步骤c与步骤d之间、步骤d与步骤e之间、步骤e与步骤f之间、步骤f与步骤g之间均包括：
喷淋：对前一步骤中处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3.5L/24H；温度为30±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；
优选的，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
20～35份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、10～20份的烷基酚聚氧乙烯醚、5～10份的2甲基2氨基丙醇、25～35份的丙二醇单乙醚。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3L/24H；温度为75±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；
优选的，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：
20～30份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、10～20份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、25～30份的椰油酸二乙醇酰胺、10～15份的有机分散剂。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100±10g/L、20±5g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为50±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50±10g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间240±10S；药水更换周期14天。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24H；温度为55±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；
优选的，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：
10～35份的烷基酚聚氧乙烯醚、10～20份的椰油酸醇胺、3～5份的助洗剂。
8.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间240±10S；药水更换周期14天；
优选的，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：
12～18份的柠檬酸、6～14份的缓冲剂、8～10份的草酸。
9.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
10.根据权利要求9所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为55±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为70±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为80±2℃；时间240±10S；DI纯水更换周期1天。
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