CN101470266A - 一种超宽光谱分色镜的制备方法 - Google Patents

一种超宽光谱分色镜的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101470266A
CN101470266A CNA2007103046401A CN200710304640A CN101470266A CN 101470266 A CN101470266 A CN 101470266A CN A2007103046401 A CNA2007103046401 A CN A2007103046401A CN 200710304640 A CN200710304640 A CN 200710304640A CN 101470266 A CN101470266 A CN 101470266A
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
ion beam
vacuum chamber
films
ethyl alcohol
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2007103046401A
Other languages
English (en)
Inventor
陈焘
熊玉卿
刘宏开
马勉军
王多书
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
510 Research Institute of 5th Academy of CASC
Original Assignee
510 Research Institute of 5th Academy of CASC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 510 Research Institute of 5th Academy of CASC filed Critical 510 Research Institute of 5th Academy of CASC
Priority to CNA2007103046401A priority Critical patent/CN101470266A/zh
Publication of CN101470266A publication Critical patent/CN101470266A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种超宽光谱分色镜的制备方法，它包括清洁真空室、超声波清洗基底、加热基底、离子束清洗基底、离子束辅助多层薄膜沉积和基底降温六个步骤；离子束辅助沉积是将离子轰击与镀膜结合在一起，即在镀膜的同时，使具有一定能量的轰击离子不断地射到膜与基材的界面，借助于级联碰撞导致界面原子混合，在初始界面附近形成原子混合区，再在离子束参与下继续生长出所要求厚度和特性的薄膜。离子束辅助沉积技术可以增加薄膜的附着力，提高薄膜的堆积密度和在外界环境下的稳定性。

Description

一种超宽光谱分色镜的制备方法
技术领域
本发明涉及一种光学薄膜分色器件，具体涉及一种超宽光谱分色镜的制备方法，属于表面覆镀领域。
背景技术
普通的分色镜由于反射区和透射区的光谱宽度很窄，在一些要求具有更宽反射区和透射区的情况下，普通的分色镜就很难达到分色的要求。
另外随着光学薄膜器件使用条件变得更为苛刻，传统的分色镜在恶劣的环境下具有性能不稳定，易受环境影响的缺点，这也限制了普通分色镜的使用范围。
研制一种既具有在反射区反射率高和在透射区透射率高的特点，而且还具有优良的光谱性能和环境稳定性的超宽光谱分色镜是当务之急。
发明内容
本发明的目的是提供的一种超宽光谱分色镜的制备方法，改善了薄膜结构，使薄膜更加致密，提高了薄膜强度，从而增强了薄膜的力学性能和环境稳定性。
该超宽光谱分色镜的设计膜系为：
BaF2/1.2(0.5HL0.5H)5(0.5HL0.5H)50.8(0.5HL0.5H)52L/Air
其中H、L分别为高低折射率材料的1/4波长光学厚度，中心波长550nm。
本发明的目的是这样实现的：
具体包括清洁真空室、超声波清洗基底、加热基底、离子束清洗基底、离子束辅助多层薄膜沉积和基底降温六个步骤，
具体为
(1)清洁真空室：用吸尘器清除真空室内脱落的膜层，然后用无水乙醇擦拭干净真空室内壁。
(2)超声波清洗基底：将基片放入玻璃器皿，用分析纯丙酮将基片超声波清洗10min，再用分析纯无水乙醇超声波清洗10min，最后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用专用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹。
(3)加热基底：当本底真空度为5.0×10-3Pa时，加热基底到沉积温度323～353K，并保温30Min～60Min。
(4)离子束清洗基底：基底加温完成后，用能量为80eV～130eV的离子束轰击清洗基底5Min～25Min，工作气体为氧气，气体流量20～30sccm。
(5)离子束辅助多层薄膜沉积：离子束轰击清洗完基底后，立即采用离子束辅助技术交替沉积二氧化钛和冰晶石薄膜至镀完整个膜系。工作气体为氧气，气体流量20～30sccm。
(6)基底降温：薄膜沉积完成后，让基底自然冷却至室温。
本发明与现有技术相比的有益效果是：
(1)本发明整个过程自动化控制，工艺稳定，重复性好，操作简便，产品合格率高。
(2)本发明由于采用离子束辅助镀膜工艺，增加了薄膜的附着力，提高薄膜的堆积密度和在外界环境下的稳定性。
具体实施方式
本发明采用全自动离子束辅助光学薄膜镀膜设备进行，沉积室内主要有电子束蒸发源和电阻蒸发源、宽束冷阴极离子源等。
实例1
(1)清洁真空室：用吸尘器清除真空室内脱落的膜层，然后用脱脂纱布蘸无水乙醇擦拭干净真空室内壁。
(2)超声波清洗基底：将基片放入玻璃器皿，用分析纯丙酮将基片超声波清洗10min，再用分析纯无水乙醇超声波清洗10min，最后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用专用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹。
(3)加热基底：当本底真空度为5.0×10-3Pa时，加热基底到沉积温度323K，并保温60Min。
(4)离子束清洗基底：基底加温完成后，用能量为80eV的离子束轰击清洗基底5Min，工作气体为氧气，气体流量20sccm。
(5)离子束辅助多层薄膜沉积：离子束轰击清洗完基底后，立即采用离子束辅助技术交替沉积二氧化钛和冰晶石薄膜至镀完整个膜系。工作气体为氧气，气体流量20sccm。
(6)基底降温：薄膜沉积完成后，让基底自然冷却至室温。
实例2
(1)清洁真空室：用吸尘器清除真空室内脱落的膜层，然后用脱脂纱布蘸无水乙醇擦拭干净真空室内壁。
(2)超声波清洗基底：将基片放入玻璃器皿，用分析纯丙酮将基片超声波清洗10min，再用分析纯无水乙醇超声波清洗10min，最后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用专用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹。
(3)加热基底：当本底真空度为5.0×10-3Pa时，加热基底到沉积温度353K，并保温30Min。
(4)离子束清洗基底：基底加温完成后，用能量为130eV的离子束轰击清洗基底25Min，工作气体为氧气，气体流量30sccm。
(5)离子束辅助多层薄膜沉积：离子束轰击清洗完基底后，立即采用离子束辅助技术交替沉积二氧化钛和冰晶石薄膜至镀完整个膜系。工作气体为氧气，气体流量30sccm。
(6)基底降温：薄膜沉积完成后，让基底自然冷却至室温。

Claims (1)

1、一种超宽光谱分色镜的制备方法，其特征在于包括下列步骤：
(1)清洁真空室：用吸尘器清除真空室内脱落的膜层，然后用无水乙醇擦拭干净真空室内壁；
(2)超声波清洗基底：将基片放入玻璃器皿，用分析纯丙酮将基片超声波清洗10min，再用分析纯无水乙醇超声波清洗10min，最后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用专用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹；
(3)加热基底：当本底真空度为5.0×10-3Pa时，加热基底到沉积温度323～353K，并保温30Min～60Min；
(4)离子束清洗基底：基底加温完成后，用能量为80eV～130eV的离子束轰击清洗基底5Min～25Min，工作气体为氧气，气体流量20～30sccm；
(5)离子束辅助多层薄膜沉积：离子束轰击清洗完基底后，立即采用离子束辅助技术交替沉积二氧化钛和冰晶石薄膜至镀完整个膜系；工作气体为氧气，气体流量20～30sccm；
(6)基底降温：薄膜沉积完成后，让基底自然冷却至室温。
CNA2007103046401A 2007-12-28 2007-12-28 一种超宽光谱分色镜的制备方法 Pending CN101470266A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007103046401A CN101470266A (zh) 2007-12-28 2007-12-28 一种超宽光谱分色镜的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007103046401A CN101470266A (zh) 2007-12-28 2007-12-28 一种超宽光谱分色镜的制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101470266A true CN101470266A (zh) 2009-07-01

Family

ID=40827888

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2007103046401A Pending CN101470266A (zh) 2007-12-28 2007-12-28 一种超宽光谱分色镜的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101470266A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102115873A (zh) * 2010-12-23 2011-07-06 福建福晶科技股份有限公司 一种超低损耗腔镜的镀膜工艺
CN112379472A (zh) * 2020-11-13 2021-02-19 上海卫星装备研究所 一种低吸辐比的光学太阳反射镜及其制备方法
CN114920465A (zh) * 2022-06-08 2022-08-19 安徽光智科技有限公司 光学硫系玻璃镜片清洗后表面印迹的处理方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102115873A (zh) * 2010-12-23 2011-07-06 福建福晶科技股份有限公司 一种超低损耗腔镜的镀膜工艺
CN112379472A (zh) * 2020-11-13 2021-02-19 上海卫星装备研究所 一种低吸辐比的光学太阳反射镜及其制备方法
CN114920465A (zh) * 2022-06-08 2022-08-19 安徽光智科技有限公司 光学硫系玻璃镜片清洗后表面印迹的处理方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9459379B2 (en) Optical member and method for producing same
CN103376489B (zh) 蓝玻璃红外截止滤光片制备方法
JP3808917B2 (ja) 薄膜の製造方法及び薄膜
TWI272314B (en) Optical antireflection film and process for forming the same
TWI425244B (zh) 抗反射膜及其製成方法
TW200830369A (en) Method for producing smooth, dense optical films
JP2008225210A (ja) 反射防止膜及びこれを有する光学部品
CN101470266A (zh) 一种超宽光谱分色镜的制备方法
CN108441837A (zh) 一种减反射镀膜结构
CN110196466A (zh) 一种低翘曲度红外截止滤光片及其镀膜方法
CN104369440B (zh) 用于激光器的全介质反射膜及其制备方法
CN109136840A (zh) 一种真空紫外铝反射镜的制备方法
CN101692132A (zh) 0.4-1.1微米线性渐变滤光片及其制备方法
CN107099779B (zh) 一种提高光学器件激光损伤阈值和面形的iad镀制方法
CN107746187B (zh) 一种镀dlc膜的红外硫系玻璃镜片及其制备方法
CN110007377A (zh) 一种皮秒激光高功率增透膜及其制备方法
CN104330845A (zh) 一种四波长激光反射镜的制备方法
JP2008114444A (ja) 透明複層フィルムの製造方法及びその方法で製造したガスバリア性透明複層フィルム並びに封止フィルム
CN209602384U (zh) 建筑用夹层玻璃
CN203818661U (zh) 多层膜减反射玻璃
CN112553585A (zh) 一种聚甲基丙烯酸甲酯基底介质增透膜及其制备方法
US20170320772A1 (en) 3d diffraction coating process
TWI615494B (zh) 鍍製光學硬膜之封閉式高能磁控濺鍍裝置及其製造方法
JP2000075104A (ja) 防曇光学物品およびその製造方法
CN102888585B (zh) 增透膜制备工艺方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20090701