CN105586567B - 真空镀膜前处理加工方法 - Google Patents

真空镀膜前处理加工方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105586567B
CN105586567B CN201610003478.9A CN201610003478A CN105586567B CN 105586567 B CN105586567 B CN 105586567B CN 201610003478 A CN201610003478 A CN 201610003478A CN 105586567 B CN105586567 B CN 105586567B
Authority
CN
China
Prior art keywords
parts
liquid medicine
temperature
ultrasonic wave
mirror surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201610003478.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105586567A (zh
Inventor
徐金根
郝立鹏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kersen Technology Dongtai Co Ltd
Original Assignee
Kersen Technology Dongtai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kersen Technology Dongtai Co Ltd filed Critical Kersen Technology Dongtai Co Ltd
Priority to CN201610003478.9A priority Critical patent/CN105586567B/zh
Publication of CN105586567A publication Critical patent/CN105586567A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105586567B publication Critical patent/CN105586567B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021—Cleaning or etching treatments
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜前处理加工方法，包括：a、高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；b、对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；c、对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；d、对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；e、对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；f、对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；g、对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；h、对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理；该能够有效去除精抛后产生的纳米氧化膜，工序简单，有利于后续物理气相沉积处理。

Description

真空镀膜前处理加工方法
技术领域
本发明涉及抛光技术领域，尤其涉及一种真空镀膜前处理加工方法。
背景技术
在金属表面处理高亮镜面精抛后会存在纳米氧化膜，如运用在物理气相沉积技术中，这种纳米氧化膜会给物理气相沉积的膜层结合力造成很大的影响，甚至会直接导致脱落，存在极大的弊端。
发明内容
本发明的目的在于提出一种真空镀膜前处理加工方法，能够有效去除精抛后产生的纳米氧化膜，工序简单，有利于后续物理气相沉积处理。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
真空镀膜前处理加工方法，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。
作为一种优选，在步骤a和步骤b之间、步骤b与步骤c之间、步骤c与步骤d之间、步骤d与步骤e之间、步骤e与步骤f之间、步骤f与步骤g之间均包括：
喷淋：对前一步骤中处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min。
作为一种优选，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3.5L/24H；温度为30±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，药水浓度可以为8％、8.5％、9％、9.5％、10％；温度可以为28℃、29℃、30℃、31℃、32℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
20～35份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、10～20份的烷基酚聚氧乙烯醚、5～10份的2甲基2氨基丙醇、25～35份的丙二醇单乙醚。
其中，2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇可以为20份、21份、22份、23份、24份、25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份；烷基酚聚氧乙烯醚可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份20份；2甲基2氨基丙醇可以为5份、6份、7份、8份、9份、10份；丙二醇单乙醚可以为25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份。
作为一种优选，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3L/24H；温度为75±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，药水浓度为8％、8.5％、9％、9.5％、10％；温度可以为73℃、74℃、75℃、76℃、77℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：
20～30份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、10～20份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、25～30份的椰油酸二乙醇酰胺、10～15份的有机分散剂。
其中，脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚可以为20份、21份、22份、23份、24份、25份、26份、27份、28份、29份、30份；嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份、20份；椰油酸二乙醇酰胺可以为25份、26份、27份、28份、29份、30份；有机分散剂可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份。
作为一种优选，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100±10g/L、20±5g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为50±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，KMnO4的浓度可以为90g/L、91g/L、92g/L、93g/L、94g/L、95g/L、96g/L、97g/L、98g/L、99g/L、100g/L、101g/L、102g/L、103g/L、104g/L、105g/L、106g/L、107g/L、108g/L、109g/L、110g/L；NaOH的浓度可以为15g/L、16g/L、17g/L、18g/L、19g/L、20g/L、21g/L、22g/L、23g/L、24g/L、25g/L；温度可以为48℃、49℃、50℃、51℃、52℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S。
作为一种优选，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50±10g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间240±10S；药水更换周期14天；优选的，药水浓度可以为40g/L、41g/L、42g/L、43g/L、44g/L、45g/L、46g/L、47g/L、48g/L、49g/L、50g/L、51g/L、52g/L、53g/L、54g/L、55g/L、56g/L、57g/L、58g/L、59g/L、60g/L；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S。
作为一种优选，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24H；温度为55±2℃；时间240±10S；药水更换周期14天；药水浓度可以为4％、4.1％、4.2％、4.3％、4.4％、4.5％、4.6％、4.7％、4.8％、4.9％、5.0％；温度可以为53℃、54℃、55℃、56℃、57℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：
10～35份的烷基酚聚氧乙烯醚、10～20份的椰油酸醇胺、3～5份的助洗剂。
其中，烷基酚聚氧乙烯醚可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份、20份、21份、22份、23份、24份、25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份；椰油酸醇胺可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份、20份；助洗剂可以为3份、4份、5份。
作为一种优选，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间240±10S；药水更换周期14天；药水浓度可以为4％、4.1％、4.2％、4.3％、4.4％、4.5％、4.6％、4.7％、4.8％、4.9％、5.0％；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
优选的，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：
12～18份的柠檬酸、6～14份的缓冲剂、8～10份的草酸。
其中，柠檬酸可以为12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份；缓冲剂可以为6份、7份、8份、9份、10份、11份、12份、13份、14份；草酸可以为8份、9份、10份。
作为一种优选，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
作为一种优选，鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为55±2℃；时间240±10S；EDI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为53℃、54℃、55℃、56℃、57℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10S；EDI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为58℃、59℃、60℃、61℃、62℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10S；EDI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为58℃、59℃、60℃、61℃、62℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为70±2℃；时间240±10S；EDI纯水更换周期1天；温度可以为68℃、69℃、70℃、71℃、72℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为80±2℃；时间240±10S；EDI纯水更换周期1天；优选的，温度可以为78℃、79℃、80℃、81℃、82℃；时间可以为230S、235S、240S、245S、250S。
作为一种优选，步骤h中采用的环境参数如下：
温度为85±2℃；时间为1200±10S；优选的，温度可以为83℃、84℃、85℃、86℃、87℃；时间可以为1190S、1191S、1192S、1193S、1194S、1195S、1196S、1197S、1198S、1199S、1200S、1201S、1202S、1203S、1204S、1205S、1206S、1207S、1208S、1209S、1210S。
本发明的有益效果为：
本发明的真空镀膜前处理加工方法，通过除胶超声——除腊超声——表面活化——调和超声——除油超声——中和超声——纯水漂洗——烘干的工序步骤，能够有效去除高亮度镜面精抛后产生的纳米氧化膜，工序简单，有利于后续物理气相沉积处理。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
如无具体说明，本发明的各种原料均可市售购得，或根据本领域的常规方法制备得到。
实施例一
真空镀膜前处理加工方法，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。
其中，步骤a中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为8％；药水补水量为3.5L/24H；温度为30℃；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：20份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、10份的烷基酚聚氧乙烯醚、5份的2甲基2氨基丙醇、25份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为8％；药水补水量为3L/24H；温度为75℃；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：20份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、10份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、25份的椰油酸二乙醇酰胺、10份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100g/L、20g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为50℃；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4％；药水补水量为3L/24H；温度为55℃；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：10份的烷基酚聚氧乙烯醚、10份的椰油酸醇胺、3份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：12份的柠檬酸、6份的缓冲剂、8份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为55℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为70℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：补水量为10L/min；温度为80℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为85℃；时间可以为1200S。
实施例二
本实施例不同于实施例一之处在于，在本实施例中，具体参数如下：
其中，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为10％；药水补水量为3.5L/24H；温度为30℃；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
35份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、20份的烷基酚聚氧乙烯醚、10份的2甲基2氨基丙醇、35份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为10％；药水补水量为3L/24H；温度为75℃；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：30份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、20份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、30份的椰油酸二乙醇酰胺、15份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100g/L、20g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为50℃；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为5％；药水补水量为3L/24H；温度为55℃；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：35份的烷基酚聚氧乙烯醚、20份的椰油酸醇胺、5份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间240S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：18份的柠檬酸、14份的缓冲剂、10份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为55℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为60℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为70℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为80℃；时间240S；EDI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为86℃；时间可以为1205S。
实施例三
真空镀膜前处理加工方法，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
a’、喷淋：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
b’、喷淋：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
c’、喷淋：对步骤c中活化处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
d’、喷淋：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
e’、喷淋：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
f’、喷淋：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。
在本实施例中，具体参数如下：
其中，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为9％；药水补水量为3.5L/24H；温度为32℃；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
25份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、15份的烷基酚聚氧乙烯醚、8份的2甲基2氨基丙醇、30份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为9％；药水补水量为3L/24H；温度为77℃；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：25份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、15份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、28份的椰油酸二乙醇酰胺、13份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为110g/L、25g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为52℃；时间250S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为60g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间250S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为57℃；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：25份的烷基酚聚氧乙烯醚、15份的椰油酸醇胺、4份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间250S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：15份的柠檬酸、10份的缓冲剂、9份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为57℃；时间250S；EDI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为62℃；时间250S；EDI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为62℃；时间250S；EDI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为72℃；时间250S；EDI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为82℃；时间250S；EDI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为87℃；时间可以为1210S。
实施例四
本实施例不同于实施例三之处在于，在本实施例中，具体参数如下：
其中，步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为9.5％；药水补水量为3.5L/24H；温度为28℃；时间230S；周期14天。
优选的，在本实施例中，所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
33份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、13份的烷基酚聚氧乙烯醚、7份的2甲基2氨基丙醇、31份的丙二醇单乙醚。
其中，步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为9.5％；药水补水量为3L/24H；温度为73℃；时间230S；周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：
27份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、18份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、26份的椰油酸二乙醇酰胺、13份的有机分散剂。
其中，步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为90g/L、15g/L；药水补水量分别为2KG/24H、0.6KG/24H；温度为48℃；时间230S；药水更换周期14天。
其中，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为40g/L；药水补水量为0.3KG/H；温度为常温；时间230S；药水更换周期14天。
其中，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为53℃；时间230S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：28份的烷基酚聚氧乙烯醚、18份的椰油酸醇胺、4份的助洗剂。
其中，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4.5％；药水补水量为3L/24H；温度为常温；时间230S；药水更换周期14天。
优选的，在本实施例中，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：16份的柠檬酸、10份的缓冲剂、9份的草酸。
其中，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为53℃；时间230S；EDI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为58℃；时间230S；EDI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为58℃；时间230S；EDI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为68℃；时间230S；EDI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为78℃；时间230S；EDI纯水更换周期1天。
其中，步骤h中采用的环境参数如下：采用隧道烘干，且温度为84℃；时间可以为1195S。
综上所述，通过本发明的加工方法加工后的高亮度镜面，去除了其表面的纳米氧化膜，在后续的气相沉积处理过程中，可以使得沉积膜较好地与高亮度镜面粘附，从而保证后续工序的加工质量。
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺流程，但本发明并不局限于上述详细工艺流程，即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (9)

1.真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，包括如下步骤：
a、除胶超声：高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理；
b、除腊超声：对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理；
c、表面活化：对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理；
d、调和超声：对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理；
e、除油超声：对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理；
f、中和超声：对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理；
g、纯水漂洗：对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗；
h、烘干：对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理；
步骤c中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水分别为KMnO4、NaOH；浓度分别为100±10g/L、20±5g/L；药水补水量分别为2kg /24h 、0.6kg /24h ；温度为50±2℃；时间240±10s ；药水更换周期14天；
步骤a中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为中性除胶剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3.5L/24h ；温度为30±2℃；时间240±10s ；药水更换周期14天；
所述中性除胶剂，按重量份计，包含以下原料：
20～35份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、10～20份的烷基酚聚氧乙烯醚、5～10份的2甲基2氨基丙醇、25～35份的丙二醇单乙醚；
步骤b中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱碱性除蜡剂；药水浓度为8％～10％；药水补水量为3L/24h ；温度为75±2℃；时间240±10s ；药水更换周期14天；
所述弱碱性除蜡剂，按重量份计，包含以下原料：
20～30份的脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚、10～20份的嵌段聚氧乙烯聚氧丙烯醚、25～30份的椰油酸二乙醇酰胺、10～15份的有机分散剂。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，在步骤a和步骤b之间、步骤b与步骤c之间、步骤c与步骤d之间、步骤d与步骤e之间、步骤e与步骤f之间、步骤f与步骤g之间均包括：
喷淋：对前一步骤中处理后的高亮度镜面进行喷淋处理，喷淋的补水量为5L/min。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤d中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为H2C2O4；药水浓度为50±10g/L；药水补水量为0.3kg /h ；温度为常温；时间240±10s ；药水更换周期14天。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤e中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为碱性除油剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24h ；温度为55±2℃；时间240±10s ；药水更换周期14天。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，所述碱性除油剂，按重量份计，包含以下原料：
10～35份的烷基酚聚氧乙烯醚、10～20份的椰油酸醇胺、3～5份的助洗剂。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤f中采用的环境参数如下：
超声波为4A；药水为弱酸性中和剂；药水浓度为4％～5％；药水补水量为3L/24h ；温度为常温；时间240±10s ；药水更换周期14天。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，所述弱酸性中和剂，按重量份计，包含以下原料：
12～18份的柠檬酸、6～14份的缓冲剂、8～10份的草酸。
8.根据权利要求1所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，步骤g中的漂洗包括两次鼓泡漂洗、两次超声波漂洗、两次漂洗和一次慢拉漂洗。
9.根据权利要求8所述的真空镀膜前处理加工方法，其特征在于，
鼓泡漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为55±2℃；时间240±10s ；EDI纯水更换周期1天；
超声波漂洗采用的环境参数如下：
超声波为4A；补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10s ；EDI纯水更换周期1天；
第一次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为60±2℃；时间240±10s ；EDI纯水更换周期1天；
第二次漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为70±2℃；时间240±10s ；EDI纯水更换周期1天；
慢拉漂洗采用的环境参数如下：
补水量为10L/min；温度为80±2℃；时间240±10s ；EDI纯水更换周期1天。
CN201610003478.9A 2016-01-04 2016-01-04 真空镀膜前处理加工方法 Expired - Fee Related CN105586567B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610003478.9A CN105586567B (zh) 2016-01-04 2016-01-04 真空镀膜前处理加工方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610003478.9A CN105586567B (zh) 2016-01-04 2016-01-04 真空镀膜前处理加工方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105586567A CN105586567A (zh) 2016-05-18
CN105586567B true CN105586567B (zh) 2019-05-14

Family

ID=55926462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610003478.9A Expired - Fee Related CN105586567B (zh) 2016-01-04 2016-01-04 真空镀膜前处理加工方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105586567B (zh)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100462479C (zh) * 2005-09-05 2009-02-18 李克清 镁及其合金的化学镀方法
CN100560706C (zh) * 2007-11-09 2009-11-18 大连工业大学 一种脱胶剂及其脱除塑料表面底胶的方法
CN102260892B (zh) * 2010-05-31 2014-10-08 比亚迪股份有限公司 一种钛及钛合金预镀液和电镀方法
CN102010806B (zh) * 2010-11-11 2012-02-29 彭美东 快速除蜡剂
CN104131284B (zh) * 2014-07-24 2016-07-13 浙江凯文磁业有限公司 一种钕铁硼永磁材料表面电镀镍的清除方法
CN104233450B (zh) * 2014-09-30 2017-11-03 东莞市新球清洗科技有限公司 一种物件电镀前的清洗方法
CN105463483B (zh) * 2015-11-27 2017-11-21 广东长盈精密技术有限公司 铝制品表面处理方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN105586567A (zh) 2016-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106229426B (zh) 一种胶链量子点薄膜的方法与量子点薄膜
TW201204875A (en) Etching solution composition for metal layer comprising copper and titanium
CN105219349B (zh) 一种液体防雾剂及其制备方法
CN105586567B (zh) 真空镀膜前处理加工方法
CN104130713B (zh) 一种添加多种磨料的混合金属抛光液及其制备方法
CN104131291A (zh) 一种新型复合金属抛光液及其制备方法
CN106076131A (zh) 高效抗污染聚合物分离膜及其制备方法
JP2005054238A (ja) マグネシウム材またはマグネシウム合金材の表面処理方法
CN103882445B (zh) 一种可覆层除锈防锈液及其制备方法
CN101386979A (zh) 利用自组装单分子膜的金属抗变色方法
WO1987006927A1 (en) Method for the application of a polytetrafluoroethylene coating to glass
CN101445924B (zh) 镁及镁合金的表面处理方法
JP4069783B2 (ja) スズ酸化物薄膜形成用塗布液
JP3616198B2 (ja) ビヒクル及びその用途
TW201026847A (en) Composition for removing a cyanoacrylate group adhesive agent, and a method for removing such adhesive agent
De Wit et al. The influence of pre‐treatments of aluminium alloys on bonding of PET coatings
JP2019137860A (ja) 水易解体性接着剤組成物
CN110205612A (zh) 一种铝合金材料表面防腐处理工艺
CN105969554B (zh) 光分解性聚酰亚胺取向膜清洗用组合物
TW201938718A (zh) 水易分解性接著劑組成物
JP6359276B2 (ja) 剥離剤及び塗膜の剥離方法
KR100435873B1 (ko) 페인트 제거를 용이하게 하는 방법
CN111410760B (zh) 一种利用盐溶液制备自支持膜的方法
JPS6092489A (ja) 電解コンデンサ−用アルミニウム箔の製造方法
CN109957805A (zh) 一种五金表面防腐处理工艺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190514

Termination date: 20200104