CN105529378A - 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 - Google Patents

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孙从涛
赵桂梅
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Abstract

本发明公开了一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版,采用的技术解决方案是在电池片的正表面(即主栅线)上设置若干个镂空部分,并涂覆感光胶,使蜡不能透过网版,其特征在于所述的镂空部分程对称分布在正表面,设置在栅线上或不在栅线上,其数量为5~9个;所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形;所述镂空部分的尺寸为(5~15)mm*(5~15)mm。本发明的有益效果是通过在主栅线上设计若干个镂空部分,并涂覆感光胶使用后,能够更准确地测试刻蚀后的方阻。

Description

一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能电池片制备领域,具体地涉及一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版。
背景技术
在晶硅太阳能电池片的选择性发射极(SE)制备工艺中,在湿法刻蚀(SPH)工序后需要测试硅片的方阻。目前,测试SPH后方阻的方法主要有两种:一是用经过喷蜡的电池片进行SPH处理后测方阻,由于当电池片通过SPH后,蜡被洗掉而致使其印记也看不清楚,同时为了提高电池片效率,栅线数目越做越多,测试栅线间的方阻时,不能准确的将探针放在栅线之间而导致这样测出的方阻不准确;二是直接用扩散后的未喷蜡的硅片直接进行SPH处理,然后进行方阻测试,这样测试出来的方阻和喷过蜡的电池片的方阻是有差异的,不能够准确的测试出SPH后的方阻。
发明内容
本发明的目的提供一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版,能够准确地测试刻蚀后的方阻。
本发明采用的技术解决方案是:在电池片的正表面(即主栅线)上设置若干个镂空部分,并涂覆感光胶,使蜡不能透过网版,其特征在于所述的镂空部分程对称分布在正表面,设置在栅线上或不在栅线上,其数量为5~9个;所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形;所述镂空部分的尺寸为(5~15)mm*(5~15)mm。
本发明的有益效果是通过在主栅线上设计若干个镂空部分,并涂覆感光胶使用后,能够更准确地测试刻蚀后的方阻。
附图说明
图1本发明提供的用于测试湿法刻蚀后方阻的网版结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图1对本发明提供的技术方案作进一步详细说明。
在本具体实施方式中以三主栅为例,在主栅线上设置9个正方形的镂空部分,涂覆上感光胶,防止蜡透过网版;每条主栅线上设置3个正方形,且相邻两个正方形之间的距离相等,这样印刷出来的硅片上既有正电极图形,又有裸硅片可以准确地测试刻蚀后的方阻。

Claims (4)

1.一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版,其特征在于:在电池片的正表面(即主栅线)上设置若干个镂空部分,并涂覆感光胶,使蜡不能透过网版。
2.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版,其特征在于:所述的镂空部分程对称分布在正表面,设置在栅线上或不在栅线上,其数量为5~9个。
3.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版,其特征在于:所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形。
4.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版,其特征在于:所述镂空部分的尺寸为(5~15)mm*(5~15)mm。
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PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
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Application publication date: 20160427

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