CN105529378A - 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，采用的技术解决方案是在电池片的正表面（即主栅线）上设置若干个镂空部分，并涂覆感光胶，使蜡不能透过网版，其特征在于所述的镂空部分程对称分布在正表面，设置在栅线上或不在栅线上，其数量为5～9个；所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形；所述镂空部分的尺寸为（5～15）mm*（5～15）mm。本发明的有益效果是通过在主栅线上设计若干个镂空部分，并涂覆感光胶使用后，能够更准确地测试刻蚀后的方阻。
Description
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能电池片制备领域，具体地涉及一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版。
背景技术
在晶硅太阳能电池片的选择性发射极（SE）制备工艺中，在湿法刻蚀（SPH）工序后需要测试硅片的方阻。目前，测试SPH后方阻的方法主要有两种：一是用经过喷蜡的电池片进行SPH处理后测方阻，由于当电池片通过SPH后，蜡被洗掉而致使其印记也看不清楚，同时为了提高电池片效率，栅线数目越做越多，测试栅线间的方阻时，不能准确的将探针放在栅线之间而导致这样测出的方阻不准确；二是直接用扩散后的未喷蜡的硅片直接进行SPH处理，然后进行方阻测试，这样测试出来的方阻和喷过蜡的电池片的方阻是有差异的，不能够准确的测试出SPH后的方阻。
发明内容
本发明的目的提供一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，能够准确地测试刻蚀后的方阻。
本发明采用的技术解决方案是：在电池片的正表面（即主栅线）上设置若干个镂空部分，并涂覆感光胶，使蜡不能透过网版，其特征在于所述的镂空部分程对称分布在正表面，设置在栅线上或不在栅线上，其数量为5～9个；所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形；所述镂空部分的尺寸为（5～15）mm*（5～15）mm。
本发明的有益效果是通过在主栅线上设计若干个镂空部分，并涂覆感光胶使用后，能够更准确地测试刻蚀后的方阻。
附图说明
图1本发明提供的用于测试湿法刻蚀后方阻的网版结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图1对本发明提供的技术方案作进一步详细说明。
在本具体实施方式中以三主栅为例，在主栅线上设置9个正方形的镂空部分，涂覆上感光胶，防止蜡透过网版；每条主栅线上设置3个正方形，且相邻两个正方形之间的距离相等，这样印刷出来的硅片上既有正电极图形，又有裸硅片可以准确地测试刻蚀后的方阻。
Claims (4)
1.一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：在电池片的正表面（即主栅线）上设置若干个镂空部分，并涂覆感光胶，使蜡不能透过网版。
2.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：所述的镂空部分程对称分布在正表面，设置在栅线上或不在栅线上，其数量为5～9个。
3.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形。
4.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：所述镂空部分的尺寸为（5～15）mm*（5～15）mm。
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006076141A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置並びにスキージ |
| DE102009052647A1 (de) * | 2009-11-10 | 2011-05-12 | Manz Automation Ag | Druckformensystem für die Metallisierung von Solarzellen |
| CN103208539A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-17 | 江苏荣马新能源有限公司 | 一种Schmid石蜡掩膜细栅结构 |
| CN203192805U (zh) * | 2013-05-07 | 2013-09-11 | 天威新能源控股有限公司 | 分段式se刻蚀掩膜太阳能电池正面电极结构 |
| CN203225273U (zh) * | 2013-05-07 | 2013-10-02 | 天威新能源控股有限公司 | 分段式石蜡掩膜结构 |
| CN203752663U (zh) * | 2013-10-29 | 2014-08-06 | 宁夏银星能源股份有限公司 | 一种太阳能电池正面电极印刷网版 |
| CN204289488U (zh) * | 2014-10-01 | 2015-04-22 | 浙江鸿禧能源股份有限公司 | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 |
-
2014
- 2014-10-01 CN CN201410521712.8A patent/CN105529378A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006076141A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置並びにスキージ |
| DE102009052647A1 (de) * | 2009-11-10 | 2011-05-12 | Manz Automation Ag | Druckformensystem für die Metallisierung von Solarzellen |
| CN103208539A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-17 | 江苏荣马新能源有限公司 | 一种Schmid石蜡掩膜细栅结构 |
| CN203192805U (zh) * | 2013-05-07 | 2013-09-11 | 天威新能源控股有限公司 | 分段式se刻蚀掩膜太阳能电池正面电极结构 |
| CN203225273U (zh) * | 2013-05-07 | 2013-10-02 | 天威新能源控股有限公司 | 分段式石蜡掩膜结构 |
| CN203752663U (zh) * | 2013-10-29 | 2014-08-06 | 宁夏银星能源股份有限公司 | 一种太阳能电池正面电极印刷网版 |
| CN204289488U (zh) * | 2014-10-01 | 2015-04-22 | 浙江鸿禧能源股份有限公司 | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 |
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20160427 |
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |