CN204289488U - 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 - Google Patents
一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204289488U CN204289488U CN201420577629.8U CN201420577629U CN204289488U CN 204289488 U CN204289488 U CN 204289488U CN 201420577629 U CN201420577629 U CN 201420577629U CN 204289488 U CN204289488 U CN 204289488U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sheet resistance
- half tone
- wet etching
- grid line
- front surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，采用的技术解决方案是在电池片的正表面上设置若干个镂空部分，并涂覆感光胶，使蜡不能透过网版，其特征在于所述的镂空部分呈对称分布在正表面，设置在栅线上或不在栅线上，其数量为5～9个；所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形；所述镂空部分的尺寸为(5～15)mm*(5～15)mm。本实用新型的有益效果是通过在主栅线上设计若干个镂空部分，并涂覆感光胶使用后，能够更准确地测试刻蚀后的方阻。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶硅太阳能电池片制备领域，具体地涉及一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版。
背景技术
在晶硅太阳能电池片的选择性发射极(SE)制备工艺中，在湿法刻蚀(SPH)工序后需要测试硅片的方阻。目前，测试SPH后方阻的方法主要有两种：一是用经过喷蜡的电池片进行SPH处理后测方阻，由于当电池片通过SPH后，蜡被洗掉而致使其印记也看不清楚，同时为了提高电池片效率，栅线数目越做越多，测试栅线间的方阻时，不能准确的将探针放在栅线之间而导致这样测出的方阻不准确；二是直接用扩散后的未喷蜡的硅片直接进行SPH处理，然后进行方阻测试，这样测试出来的方阻和喷过蜡的电池片的方阻是有差异的，不能够准确的测试出SPH后的方阻。
发明内容
本实用新型的目的提供一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，能够准确地测试刻蚀后的方阻。
本实用新型采用的技术解决方案是：在电池片的正表面(即主栅线)上设置若干个镂空部分，并涂覆感光胶，使蜡不能透过网版，其特征在于所述的镂空部分呈对称分布在正表面，设置在栅线上或不在栅线上，其数量为5～9个；所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形；所述镂空部分的尺寸为(5～15)mm*(5～15)mm。
本实用新型的有益效果是通过在主栅线上设计若干个镂空部分，并涂覆感光胶使用后，能够更准确地测试刻蚀后的方阻。
附图说明
图1本实用新型提供的用于测试湿法刻蚀后方阻的网版结构示意图
具体实施方式
下面结合附图1对本实用新型提供的技术方案作进一步详细说明。
在本具体实施方式中以三主栅为例，在主栅线上设置9个正方形的镂空部分，涂覆上感光胶，防止蜡透过网版；每条主栅线上设置3个正方形，且相邻两个正方形之间的距离相等，这样印刷出来的硅片上既有正电极图形，又有裸硅片可以准确地测试刻蚀后的方阻。
Claims (4)
1.一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：在电池片的正表面上设置若干个镂空部分，并涂覆感光胶，使蜡不能透过网版。
2.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：所述的镂空部分呈对称分布在正表面，设置在栅线上或不在栅线上，其数量为5～9个。
3.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：所述的镂空部分形状为圆形、四边形或椭圆形。
4.根据权利要求1所述的一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版，其特征在于：所述镂空部分的尺寸为(5～15)mm*(5～15)mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420577629.8U CN204289488U (zh) | 2014-10-01 | 2014-10-01 | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420577629.8U CN204289488U (zh) | 2014-10-01 | 2014-10-01 | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204289488U true CN204289488U (zh) | 2015-04-22 |
Family
ID=52872620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420577629.8U Active CN204289488U (zh) | 2014-10-01 | 2014-10-01 | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204289488U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105529378A (zh) * | 2014-10-01 | 2016-04-27 | 浙江鸿禧能源股份有限公司 | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 |
-
2014
- 2014-10-01 CN CN201420577629.8U patent/CN204289488U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105529378A (zh) * | 2014-10-01 | 2016-04-27 | 浙江鸿禧能源股份有限公司 | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103346142B (zh) | 测试键结构及监测刻蚀工艺中接触孔刻蚀量的方法 | |
| CN204289488U (zh) | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 | |
| CN104014968A (zh) | 夹持和安装led灯的专用工装及显示屏单元板制作方法 | |
| CN207338337U (zh) | 提高舟内方阻均匀性的石英舟 | |
| CN204065398U (zh) | 智能电表高低温老化检验装置 | |
| CN204349918U (zh) | 一种mwt太阳能电池iv测试系统 | |
| CN204877767U (zh) | 水轮机固定导叶连接结构 | |
| CN105529378A (zh) | 一种用于测试湿法刻蚀后方阻的网版 | |
| CN203875545U (zh) | 夹持和安装led灯的专用工装 | |
| CN103529247B (zh) | 一种用于测量贴片晶体电参数的治具 | |
| CN203376402U (zh) | 一种边缘电阻测试台 | |
| CN204027661U (zh) | 一种立式水表模拟走字测试工装 | |
| CN103018564B (zh) | 一种测试成品电池片扩散层电阻的方法 | |
| CN204509457U (zh) | 一种排阻端面阻挡溅射夹具 | |
| CN206270384U (zh) | 一种便于测试的高效太阳电池及其测试装置 | |
| CN204007807U (zh) | 一种卧式水表模拟走字测试工装 | |
| CN204649564U (zh) | 一种毛皮毛被密度测量装置 | |
| CN207573312U (zh) | 一种改进的晶硅电池密栅测试装置 | |
| CN207347656U (zh) | 一种光伏电池片板式pecvd镀膜石墨框专用挡片 | |
| CN202421389U (zh) | 清针片 | |
| CN204202527U (zh) | 一种自行车刚性突出物组合式测量检具 | |
| CN204445827U (zh) | 打点速度测试板 | |
| CN204086328U (zh) | 一种针模装置 | |
| CN204389643U (zh) | 高精度电路板线针检测模组 | |
| CN204346474U (zh) | 一种校验力检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant |