CN106227002B - 一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法，其特征在于：包括Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准、X、Y方向倍率大小调整、Y方向错位调整及X方向的拼接调整，而目前软件中绝大部分参数是需手动计算补偿，存在效率低、易出错等问题。此算法实现后，大部分参数的获得完全可以实现软件自动化，这将大大提高软件调试效率，缩短调试时间，提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种光刻机，特别是一种提高光刻机拼接和倍率大小的效率的方法。
背景技术
光刻工艺指是在表面匀胶硅片上，通过曝光显影等工艺将图形转移到光刻胶上的过程，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。一般的图形都不是一次曝光完成，而且分解成多个小面积的图形依次曝光拼成，因而在拼接的过程中就会存在X方向上的拼接、Y方向的错位及图形大小上的误差，因而在出厂使用前必须经过调校来弥补上述误差。
以前补偿图形在X方向拼接和Y方向错位的误差是通过在一块基板上曝光图案、显影，再使用显微镜测量出图形的尺寸数据与电脑中设计的标准的图形的尺寸数据进行比对，然后计算出相应的补偿数据；倍率大小的调整则是：通过曝光基板上的圆点图案，显影后再对位曝光另一基板上的圆环图案，通过前一次算得的补偿数据使得作为标记的圆点和环套好，然后再继续做对位曝光，测量出其他标记点的偏移量数据与标准的图形的尺寸进行比对，然后计算出图形的倍率大小加以校正。以上方法测量困难、步骤多、耗时长、误差大，浪费大量人力和资源。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供一种补偿图形X方向拼接和Y方向的错位以及倍率大小的调整的方法，改为自动补偿及调整，省时省力。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法，其特征在于：包括Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准、X、Y方向倍率大小调整、Y方向错位调整及X方向的拼接调整：
Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准具体在于：在电脑里面画好一个标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，安装好基板，启动光刻机使一个引擎曝光该标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别该曝光标记点并测得该曝光标记点的实际坐标值，然后与输入的坐标值比对后自动计算坐标差值后储存，以后CCD视像系统测得的基板上的曝光标记点的实际坐标值后都会自动加上这个差值进行校正，
Y方向错位调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后与输入的坐标值比对后自动计算错位差值后传输错位差值到服务器配置文件修改相应的参数；
X、Y方向倍率大小调整具体在于：在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，保证每个引擎在X和Y方向各有两个标记点曝光，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点，在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出X方向上两个曝光标记点的实际距离及Y方向上两个曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后自动计算出X方向及Y方向上距离的倍率大小比值后传输比值到服务器配置文件修改相应的参数；
X方向的拼接调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出两相邻曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后自动计算拼接差值，并将该拼接差值传输到服务器配置文件修改相应的参数。
本发明的有益效果是：目前软件中绝大部分参数是需手动计算补偿，存在效率低、易出错等问题。此算法实现后，大部分参数的获得完全可以实现软件自动化，这将大大提高软件调试效率，缩短调试时间，提高生产效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明Y方向错位调整的标记点构成的图案的示意图；
图2是本发明X、Y方向倍率大小调整的标记点构成的图案的示意图。
具体实施方式
本发明公开了一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法，包括第一步的Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准以及后续的X、Y方向倍率大小调整、Y方向错位调整及X方向的拼接调整：
Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准具体在于：在电脑里面画好由一个标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，安装好基板，启动光刻机使一个引擎曝光该标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别该曝光标记点并测得该曝光标记点的实际坐标值，然后与输入的坐标值比对后自动计算坐标差值后储存，以后CCD视像系统测得的基板上的曝光标记点的实际坐标值后都会自动加上这个差值进行校正，上述保证了两个坐标系的重合，从而为后续的对比校正提供基准。
Y方向错位调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，如图1所示，图案由三个标记点构成，标记点的数量引擎的数量是一致的，标记点的间距和引擎的理论间距是一致的，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后实际坐标值的Y值与输入的坐标值中的Y值比对后自动计算两者的错位差值，并传输错位差值到服务器配置文件修改相应的参数，从而可以防止分别多次扫描曝光的图形在Y方向的上下错位；
X、Y方向倍率大小调整具体在于：在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，保证每个引擎在X和Y方向各有两个标记点曝光，如图2所示，图案由三组，每组有三个标记点，其中一个标记点是X和Y方向的公共点，实际从X和Y方向看还是均保证每个方向上有两个点，因而实际测试中可以减少一个标记点的曝光，有利于提高效率，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点，在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出X方向上两个曝光标记点的实际距离及Y方向上两个曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后，自动计算出X方向及Y方向上距离与X方向及Y方向上的实际距离的比值后传输比值到服务器配置文件修改相应的参数，从而可以防止分别多次扫描曝光的图形的大小与理论图形的大小有差别；
X方向的拼接调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出两相邻曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后自动计算拼接差值，并将该拼接差值传输到服务器配置文件修改相应的参数，从而可以防止分别多次扫描曝光的图形在X方向的拼接误差，避免前后两部分图形的连接处出现间隙或是部分重叠。
上述中，引擎的间距和数量实际代表激光发生系统所发出用于图形曝光的激光的间距和数量。
以上是本发明所提供的一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (1)
1.一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法，其特征在于：包括以下几个过程：Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准、X、Y方向倍率大小调整、Y方向错位调整及X方向的拼接调整；
Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准具体在于：在电脑里面画好一个由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，安装好基板，启动光刻机使一个引擎曝光该标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别该曝光标记点并测得该曝光标记点的实际坐标值，然后与输入的坐标值比对后自动计算坐标差值后储存，以后CCD视像系统测得的基板上的曝光标记点的实际坐标值后都会自动加上这个差值进行校正，
Y方向错位调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后与输入的坐标值比对后自动计算错位差值后传输错位差值到服务器配置文件修改相应的参数；
X、Y方向倍率大小调整具体在于：在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，保证每个引擎在X和Y方向各有两个标记点曝光，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点，在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出X方向上两个曝光标记点的实际距离及Y方向上两个曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后自动计算出X方向及Y方向上距离的倍率大小比值后传输比值到服务器配置文件修改相应的参数；
X方向的拼接调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出两相邻曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后自动计算拼接差值，并将该拼接差值传输到服务器配置文件修改相应的参数。
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