CN105451939A - 研磨装置以及研磨方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供研磨装置以及研磨方法。研磨装置(1)具备：装入被加工物的加工容器(10)；使被加工物在加工容器内流动的流动化单元；将研磨材料朝向被加工物投入的研磨材料投入单元(30)；以及产生朝向研磨材料通过加工容器(10)的方向的气流，并且吸引回收研磨材料的吸引单元(40)。从研磨材料投入单元(30)投入的研磨材料借助从吸引单元(40)产生的气流，一边与被加工物接触一边通过装入加工容器(10)内的被加工物之间。由此，研磨被加工物。

Description

研磨装置以及研磨方法

技术领域

本发明涉及进行被加工物的研磨加工的研磨装置以及研磨方法。本发明涉及能够用于小型的被加工物的研磨装置以及研磨方法。

背景技术

被加工物的研磨被广泛应用于喷气装置所进行的加工。喷气装置是利用喷嘴将研磨材料与压缩空气一同喷射，与被加工物碰撞，由此进行被加工物的表面的去毛刺、表面粗糙度的调整、圆化(R角加工)、表面层的除去等的研磨加工的装置。

在喷射加工装置所进行的研磨中，对于被加工物的大小并无特别限定，但近来研磨小型的被加工物的需求增在不断增加。例如，在被加工物为电子零件的情况下，因智能手机或者平板终端的普及而小型的被加工物的研磨需求进一步不断增加。

喷气装置所进行的加工一次能够研磨大量的被加工物，因此加工性良好。但是，由于将研磨材料与压缩空气一同作为气固二相流喷附至被加工物，因此，因被加工物的尺寸、重量而导致被加工物飞散。在专利文献1中公开了研磨小型的被加工物的装置以及研磨方法。在专利文献1中，如图11所示，在研磨加工时，将装入有被加工物的辅助滚筒装入通用地市售的滚筒型喷射加工装置的滚筒并进行喷射加工，由此能够高效地进行研磨加工。但是，由于使用辅助滚筒，相对于滚筒的容积而能够处理的被加工物的量少。因此，谋求生产性更高的研磨装置。

此外，存在被加工物非常小的情况、扁平形状的情况、具有槽的情况等因被加工物的形状而无法通过以往所知的研磨方法中良好地研磨的情况。例如，在通过滚筒研磨对具有窄槽的被加工物进行研磨的情况下，由于研磨介质难以进入该槽中，所以无法良好地进行研磨。

【专利文献1】日本特开2002-301664号公报

发明内容

即，在本技术领域中，期望使用替代使用了喷气装置的加工的新工艺的研磨装置以及研磨方法。

本发明的一方面的研磨装置对被加工物的表面进行研磨，其特征在于，上述研磨装置具备：加工容器，该加工容器具有可供研磨材料通过的底面部，并且使上述被加工物滞留在上述底面部上；流动化单元，该流动化单元使上述被加工物在上述加工容器内流动；研磨材料投入单元，该研磨材料投入单元将上述研磨材料朝向上述加工容器内的上述被加工物投入；以及吸引单元，该吸引单元产生朝向上述研磨材料通过上述加工容器的方向的气流，并且吸引回收上述研磨材料。

借助吸引单元所产生的吸引力，在加工容器附近以及加工容器的内部产生朝向吸引单元的气流。在加工容器内装入有多个被加工物，从研磨材料投入单元朝向装入加工容器内的被加工物投入的研磨材料借助该气流而朝向吸引单元。借助该研磨材料的流动对被加工物的表面进行研磨。此时，装入加工容器内的被加工物借助流动化单元在加工容器内流动而被搅拌。因此，装入加工容器内的被加工物的面朝向任意的方向，因此，能够均匀地研磨全部的被加工物的表面整体。为了在加工容器附近以及加工容器的内部高效地产生这样的气流，吸引单元也可以具备在与加工容器之间设置间隙地配置的吸引部件。

另外，此处所说的“研磨材料的投入”意味着仅将研磨材料投入至被加工物而并未像喷气装置那样将研磨材料喷附至位于加工容器内的被加工物。例如，在研磨材料投入单元配置于加工容器的上方的情况下，可以使研磨材料朝向加工容器自然落下。此外，也可以通过利用吸引单元吸引研磨材料来朝加工容器内供给。进而，也可以以不使研磨材料朝周围分散的程度的较弱的风力将研磨材料朝向加工容器供给。

在一个方式中，也可以构成为，上述流动化单元是使上述加工容器振动的振动单元、或者是使上述加工容器以该加工容器的底面部的中心为轴心旋转的旋转单元。根据本方式，能够以简单的构造使被加工物高效地流动化。

在一个方式中，也可以构成为，上述流动化单元还具备使流动状态变化的流动控制单元。根据本方式，能够结合被加工物的形状、质量等变更被加工物的流动状态。因此，能够研磨各种被加工物。

在一个方式中，也可以构成为，上述流动化单元是上述旋转单元，上述加工容器以相对于水平面倾斜的方式支承于上述旋转单元。根据本方式，通过结合被加工物的性状适当地选择加工容器的转速以及倾斜角度，能够使被加工物良好地流动化。此外，如果加工容器的倾斜角度选自相对于水平面为30°以上且70°以下的范围，则能够使被加工物更均匀地流动化。

在一个方式中，也可以构成为，在上述加工容器的底面部设置有开口部。在本方式中，开口部利用吸引单元的吸引力仅使研磨材料通过加工容器的底面部。即，能够利用吸引单元仅选择性地吸引加工容器内的研磨材料。

在一个方式中，也可以构成为，上述开口部呈网状地构成，该开口部的网眼为70μm以上且1100μm以下。在本方式中，网状的开口部的开口率高，因此，能够在加工容器附近以及加工容器内高效地产生朝向吸引单元的气流。此外，通过将该开口部的网眼设为上述的范围，能够不使被加工物通过而使研磨材料通过。

在一个方式中，也可以构成为，在利用上述吸引单元进行吸引时，在上述加工容器的底面部的一部分形成将上述研磨材料通过该加工容器吸引至上述吸引单元的研磨材料吸引部。如果在加工容器的整个面形成研磨材料吸引部，则存在被加工物的流动受到阻碍的情况。通过将研磨材料吸引部形成于加工容器的一部分，能够防止因吸引而阻碍被加工物的流动。在一个方式中，为了促进被加工物的均匀的流动化，能够将该研磨材料吸引部的面积设为底面部的面积的1/8以上且1/4以下。此外，在一个方式中，也可以将通过研磨材料吸引部的吸引速度设为5m/sec以上且不足100m/sec。进而，在一个方式中，也可以构成为，上述研磨材料吸引部的中心位于从上述加工容器的底面部中心相对于周缘部下端的方向朝该加工容器的旋转方向侧分离预定的角度的位置。

此外，在一个方式中，也可以构成为，在上述加工容器的底面部中心配置有气流控制部件，该气流控制部件对用于使上述研磨材料通过该加工容器的气流的流动进行控制。如果吸引加工容器的底面部中心的附近，则存在被加工物的流动受到阻碍的情况。在本方式中，通过将气流控制部件配置于加工容器的底面部中心，能够防止因吸引而阻碍被加工物的流动。

在一个方式中，也可以构成为，上述研磨材料投入单元具备：贮存箱，该贮存箱贮存上述研磨材料；研磨材料排出口，该研磨材料排出口将上述研磨材料朝向上述被加工物投入；以及输送单元，该输送单元将从上述贮存箱供给的上述研磨材料朝向上述研磨材料排出口输送。根据该结构，能够将研磨材料连续地投入至被加工物。

也可以构成为，上述输送单元具备：输送螺杆，该输送螺杆在旋转轴设置有螺旋状的叶片；以及凹槽，该凹槽内置上述输送螺杆，在前端的下部(下方)开设有上述研磨材料排出口，在后部位的上表面(后方)开设有与上述贮存箱连结的研磨材料供给口，上述凹槽内的空间被分割成由上述输送螺杆以及上述凹槽形成的空间、以及位于上述输送螺杆的前方且包括上述研磨材料排出口的空间，在上述输送螺杆的前端(前方端)与上述研磨材料排出口之间配置有限制板，在该限制板设置有(开设有)上述研磨材料能够通过的压碎部。研磨材料投入部能够将由研磨材料输送部输送的研磨材料压紧进行除气。此时，研磨材料彼此凝固。凝固了的研磨材料进而继续前进，通过限制板。在通过设置于限制板的压碎部时被压碎，且朝向供给口被定量地输送。因此，不再产生因在输送单元内混入气体导致的研磨材料的松比重的变动。此外，不再产生因输送单元的输送不均导致的研磨材料的供给精度的降低。因此，能够定量地供给至被加工物。

此外，在一个方式中，也可以构成为，被加工物由硬脆材料形成。上述的研磨装置就被加工物而言能够用于以铸造件、锻造件、切削加工品为主的金属制品、以及以橡胶、塑料为主的非金属制品。其中，尤其能够用于对由陶瓷、硅、铁氧体、结晶材料等的具有硬且脆的性质的硬脆材料形成的被加工物的研磨加工。此外，在由硬脆材料形成的被加工物的情况下，例如亦可用于作为层叠陶瓷电容器、电感器的零件之类的小型的电子零件使用的零件的研磨。

另一方面的研磨方法提供一种使用研磨装置的研磨方法，上述研磨装置具备：加工容器，该加工容器具有使研磨材料通过而使被加工物滞留于其上的底面部；流动化单元，该流动化单元用于使该被加工物流动化；研磨材料投入单元，该研磨材料投入单元将上述研磨材料投入至上述加工容器内的该被加工物；以及吸引单元，该吸引单元吸引回收上述研磨材料。也可以构成为，上述研磨方法包括如下工序：被加工物装入工序，将上述被加工物装入上述加工容器；气流产生工序，利用上述吸引单元产生朝向上述研磨材料通过上述加工容器的方向的气流；流动化工序，利用上述流动化单元使装入上述加工容器内的上述被加工物流动化；研磨材料投入工序，将上述研磨材料从上述研磨材料投入单元朝向上述加工容器内的上述被加工物投入；研磨工序，使上述研磨材料通过装入上述加工容器内的上述被加工物彼此之间，从而研磨上述被加工物；以及研磨材料回收工序，利用上述吸引单元回收上述研磨材料。在上述方法中，不像喷气加工装置所进行加工那样将研磨材料喷附于被加工物，因此，能够防止研磨材料或被加工物朝周围飞散。另外，在上述的研磨方法中，既可按顺序地实施各工序，亦可同时实施两个以上的工序。

另一方面的研磨方法是使用研磨装置的研磨方法，上述研磨装置具备：加工容器，该加工容器具有使研磨材料通过而使被加工物滞留于其上的底面部、以及将被加工物朝外部排出的排出部；流动化单元，该流动化单元用于使上述被加工物流动化；研磨材料投入单元，该研磨材料投入单元将上述研磨材料投入至上述加工容器内的该被加工物；以及吸引单元，该吸引单元吸引回收上述研磨材料，其中，上述研磨方法包括如下工序：被加工物装入工序，将上述被加工物连续或者断续地装入上述加工容器；气流产生工序，利用上述吸引单元产生朝向上述研磨材料通过上述加工容器的方向的气流；流动化前进工序，利用上述流动化单元使上述加工容器内的上述被加工物流动化，并且使在上述被加工物装入工序中装入的上述被加工物朝向上述排出部前进；研磨材料投入工序，将上述研磨材料从上述研磨材料投入单元朝向上述加工容器内的上述被加工物投入；研磨工序，使上述研磨材料通过上述加工容器内的上述被加工物彼此之间，从而研磨上述被加工物；研磨材料回收工序，利用上述吸引单元回收上述研磨材料；以及被加工物回收工序，回收从上述排出部排出的上述被加工物。另外，在上述的研磨方法中，既可按顺序地实施各工序，亦可同时实施两个以上的工序。

在一个方式中，能够将上述研磨材料通过装入上述加工容器内的上述被加工物彼此之间的通过速度设为5m/sec以上且不足100m/sec。

在一个方式中，也可以构成为，上述流动化单元是使上述加工容器以该加工容器的底面部的中心为轴心旋转的旋转单元，在上述流动化工序中，利用上述旋转单元使上述加工容器以临界转速的5％以上且50％以下旋转。在本方式中，当研磨时，能够使被加工物高效地流动化，因此，能够在每个被加工物的完成精度中不存在不均地实现均匀的研磨。

根据本发明的各个方面以及各个方式，能够提供替代使用喷气装置的研磨的新工艺的、小型零件的研磨装置及研磨方法以及利用该研磨装置加工的被加工物。在这些方面以及方式中，不将研磨材料与压缩空气一同作为气固二相流朝向被加工物喷射，因此，被加工物不会因气固二相流而朝加工容器外飞散。因此，不存在因被加工物的飞散而导致的制品成品率的降低。此外，由于研磨材料不会朝周围飞散，所以不存在因研磨材料的飞散而导致的作业环境的恶化。

附图说明

图1是第一实施方式的研磨装置的结构的示意图。

图2是示出第一实施方式的加工容器的方式的说明图。图2(A)是示出从侧面观察的剖面的示意图，图2(B)是示出来自图2(A)中的A-A方向的箭头的示意图。

图3是示出第一实施方式的加工容器的变更例的示意图。图3(A)是示出侧壁由球形状的一部分形成的情况的侧视图。图3(B)是示出底面部为多边形的情况的仰视图。图3(C)是示出在上端部设置有凸缘部的情况的剖视图。

图4是示出第一实施方式的加工容器内的被加工物的流动的示意图。

图5是示出第一实施方式的研磨材料投入单元的结构的示意图。

图6是用于对第一实施方式的研磨材料吸引部的位置进行说明的说明图。

图7是示出第二实施方式的研磨装置的结构的示意图。图7(A)是示出研磨装置的整体的示意图，图7(B)是用于对第一重物以及第二重物的位置关系进行说明的示意图。

图8是示出第二实施方式的加工容器内的被加工物的流动的示意图。图8(A)是从平面观察的示意图，图8(B)是纵剖面的示意图。

图9是示意性地示出第三实施方式的研磨装置的结构的俯视图。

图10是沿着图9的X-X线剖切而得的剖视图。

图11是用于说明以往的研磨装置的示意图。

具体实施方式

参照附图对研磨装置的实施方式的一例进行说明。在以下的说明中，上下左右方向如无特别要求则表示图中的方向。另外，本发明并不限定于本实施方式的结构，能够根据需要适当地变更。

(第一实施方式)

如图1所示，本实施方式的研磨装置1具备加工容器10、流动化单元、研磨材料投入单元30以及吸引单元40。在本实施方式中，作为流动化单元具备旋转单元20。

如图2(A)所示，加工容器10具备壁部11以及底面部12。壁部11具有例如圆筒形状，从底面部12的缘在相对于底面部12交叉的方向上延伸。即，壁部11从侧方划分底面部12上的空间。在底面部12设置有开口部13。开口部13既可如冲孔金属那样局部地开口的结构，亦可如网状那样整体开口的结构。在本实施方式中，如图2(B)所示，将底面部12形成为使用网状的部件设置开口部13的结构。

开口部13需要设为研磨材料可以通过可能但被加工物无法通过的大小。开口部13的直径或者将开口部13设为网状的情况下的网眼的大小既可设为70μm以上且1100μm以下的范围内，亦可设为70μm以上且500μm以下的范围内。这样，通过在底面部12设置具有比被加工物小且比研磨材料的粒径大的直径的开口部13，能够使研磨材料通过，并且能够使被加工物滞留在底面部12上。

加工容器10的形状可以如图2那样纵剖面为四边形。例如，也可以如图3(A)所示由球形状的一部分构成。此处所说的球形状不仅是单纯的球形状，也包括椭圆体。此外，也可以如图3(B)所示将底面部12形成为具有多边形的平面形状的箱形状。

此外，也可以如图3(C)所示在上端部设置凸缘部14，以免被加工物W掉落到加工容器10外。凸缘部14以相比壁部11的延伸方向朝加工容器10的内侧倾斜的方式从壁部11的上端部延伸。能够将壁部11与凸缘部14所成的角度设为90度以上且150度以下的范围，更详细来说，能够设为90度以上且120度以下的范围。如果壁部11与凸缘部14所成的角度过小，则存在在由壁部11和凸缘部14形成的空间夹住被加工物W的顾虑，如果角度过大，则无法获得设置凸缘部14的效果。

如图1所示，旋转单元20具备保持架21、马达22以及旋转传递部件23。保持架21具有例如圆筒形状，以从外侧同心地包围加工容器10的壁部11的方式固定加工容器10。马达22具备通过该马达22的驱动而旋转的旋转轴。旋转传递部件23形成为例如圆筒或者圆柱形状，以使得其中心轴方向与马达22的旋转轴方向一致的方式固定于马达22的旋转轴的前端。作为旋转传递部件23，能够利用橡胶等的摩擦系数大的圆筒形状的部件。旋转传递部件23的外周面与保持架21接触，将马达22的旋转力传递至保持架21。此外，保持架21由未图示的架台支承为能够以与圆形剖面的中心正交的旋转轴线T为中心旋转。在将加工容器10固定于保持架21之后，如果使马达22工作，则马达22的旋转经由旋转传递部件23传递至保持架21。保持架21由架台支承为能够旋转，因此，保持架21以及固定于保持架21的加工容器10以旋转轴线T、即底面部12的中心为轴心旋转。另外，使加工容器10旋转的方法并不限定于上述结构。例如，作为其他的结构，既可在保持架21的外周面设置人字齿，将能够与该人字齿啮合的齿轮固定于马达22的旋转轴，亦可在保持架21的外周面以及马达22的旋转轴固定带轮，利用皮带将该带轮彼此连结，能够适当地使用其他公知的结构。

在一实施方式中，能够将保持架21、即加工容器10以相对于水平面倾斜预定的角度θ的方式支承于旋转单元20。由此，能够借助加工容器10的旋转以及重力的作用促进被加工物W的流动化。具体而言，如图4所示，装入到加工容器10的被加工物W借助离心力沿着加工容器10的壁部11移动，但到达预定的位置后，与离心力相比重力的影响变大，因此，被加工物W会朝下方落下。在一实施方式中，为了形成为这样的流动状态，能够将加工容器10相对于水平面的倾斜角度θ设为30°以上且70°以下，更详细来说，能够设为40°以上且60°以下。如果倾斜角度θ过小，则重力所带来的流动化的促进的效果小，如果过大，则相对于离心力而言重力变得过大，因此，必须使加工容器10的旋转速度变得更快。

此外，在一实施方式中，可以将加工容器10的旋转速度设为临界转速的5％以上且50％以下，更详细来说，可以设为10％以上且30％以下。临界转速是指在使加工容器10的旋转速度上升方面，装入到加工容器10的被加工物W所受到的离心力超过重力，被加工物W不再从加工容器10的壁部11落下时的旋转速度。在旋转速度过慢的情况下，相对于离心力而言重力的影响变得过大，因此，被加工物W无法沿着加工容器10的壁部11充分地移动，结果，无法充分地进行落下所引起的流动。在旋转速度过快的情况下，相对于离心力而言重力变得过小，因此，存在被按压于加工容器10的壁部11而未落下的被加工物W，无法充分地进行流动。

被加工物W在落下时通过底面部12的中央附近。由于利用落下进行被加工物W的流动、即搅拌，因此，该落下的流动紊乱是不优选的。当因在此处产生后述的吸引力而导致该落下的流动紊乱从而阻碍搅拌的情况下，也可以设置气流控制部件50。在本实施方式中，形成为将圆盘状的部件贴附于底面部12的背面来作为气流控制部件50，以使得在加工容器10的底面部12的中央附近不产生吸引力的结构。能够将该气流控制部件50的直径设为相对于底面部12的直径为10％以上且40％以下的范围。

如图5所示，研磨材料投入单元30具备贮存箱31以及输送单元32。输送单元32具备两端面被闭合的圆筒形状的凹槽32a、内置于凹槽32a的输送螺杆32f、以及与输送螺杆32f连结的输送马达32i。输送螺杆32f由输送轴32g以及输送叶片32h构成。输送叶片32h以邻接的叶片彼此以预定间隔排列的方式呈螺旋状地固定于输送轴32g的外周面。

凹槽32a在后部位(同图左侧)的上表面开设有研磨材料供给口32b，在前端(同图右侧)的下部开设有研磨材料排出口32e。进而，凹槽32a的内部的空间被分割成由凹槽32a以及输送螺杆32f形成的研磨材料输送部32c、以及位于输送螺杆32f的前方且包括研磨材料排出口32e的研磨材料排出部32d。

贮存箱31是用于暂时贮存研磨材料的容器，且具备朝向下方具有相同的横剖面形状的直体部、以及与上述直体部的下端连结且随着趋向下方而横剖面的面积缩小的缩小部。直体部的横剖面的形状既可为圆形亦可为多边形。在本实施方式中设为四边形。上述缩小部的下端与输送单元32的露出基部的上述研磨材料供给口32b连结。

输送轴32g的后方端贯通凹槽32a的后方端，与能够以任意的速度旋转的输送马达32i连结。通过使输送马达32i以任意的速度工作，使输送螺杆32f旋转。从研磨材料供给口32b装入到凹槽32a的内部的研磨材料伴随着输送螺杆32f的旋转而朝图5的右方向以固定速度前进。即，能够使设为目标的量的研磨材料以固定速度前进。

通过研磨材料输送部32c后的研磨材料进入研磨材料排出部32d且进而继续前进。在输送螺杆32f的前端配置有限制板32j。该限制板32j既可固定于输送轴32g的前端，亦可将限制板32j的周缘部固定于凹槽32a的内壁。此外，在限制板32j设置有供研磨材料通过的压碎部(未图示)。利用该限制板32j压缩研磨材料，因此，研磨材料彼此之间的空气被除气，从而松比重提高。此外，由于在限制板32j使压碎部开口，所以在限制板32j之前达到预定密度而成为较大的块的研磨材料在通过压碎部时被压碎，且继续前进。然后，从研磨材料排出口32e排出到研磨材料投入单元30的外部。如上所述，利用限制板32j的作用，不会受到贮存箱31内的研磨材料间的气体的混入所造成的松比重的变动的影响，并且，不会受到输送螺杆32f的输送速度的不均的影响，能够将研磨材料每次以固定量输送至研磨材料排出口32e。“压碎部”只要使成为较大的块的研磨材料压碎后通过即可，例如既可在限制板32j的表面设置任意形状的孔，亦可在限制板32j的周缘部设置槽。

此外，可以将压碎部设为由固定于输送轴32g前端的限制板32j和凹槽32a的内壁形成的间隙。在限制板32j之前达到预定密度而成为较大的块的研磨材料在通过作为压碎部的上述间隙时被压碎，且继续前进。然后，从研磨材料排出口32e排出到研磨材料投入单元30的外部。此外，压碎部也可以通过组合设置于上述的限制板32j的表面的孔、周缘部的槽、以及限制板32j与凹槽32a的内壁的间隙而形成。

从研磨材料排出口32e排出的研磨材料朝向装入到加工容器10的被加工物W落下。此时，为了将研磨材料以不飞散地朝向被加工物W落下的方式进行引导，也可以将两端开口的中空构造的研磨材料投入部件33连接于研磨材料排出口32e。

另外，在本实施方式中形成为通过输送螺杆32f的旋转使研磨材料前进的结构，但可以取而代之，构成为例如通过前后架设的皮带的旋转使研磨材料前进，也可以构成为通过振动使研磨材料前进。

吸引单元40由以一端面与加工容器10的底面部12设置间隙的方式配置的吸引部件41、产生吸引力的集尘装置42、连结吸引部件41和集尘装置42的软管43构成。吸引部件41具备：圆筒形状的整流部41a，两端开口，且连续地具有相同的横剖面；以及圆锥形状的吸引部41b，与上述整流部41a的一端面连结，随着远离整流部41a而横剖面的面积缩小。在吸引部41b的缩径端连接有软管43，软管43的另一端连接于能够吸引回收研磨材料的集尘装置42。由此，形成为吸引部件41与集尘装置42连结的结构。

吸引单元40产生朝向研磨材料通过加工容器10的底面部12的方向、即从研磨材料投入部件33朝向吸引部件41的气流。吸引部件41的整流部41a发挥如下作用：以使得吸引时产生的气流不朝向外部倒流而朝向集尘装置42流动的方式对气流进行整流。此外，吸引部41b发挥如下作用：使气流加速，以使得通过整流部41a后的气流高效地流向集尘装置42。另外，如果能够仅利用吸引部41b吸引研磨材料使之不朝吸引部件41的外部飞散，则也可以不设置整流部41a。

吸引部件41可以构成为使开口端(上述缩径端的另一端侧)的大小比加工容器10的底面部12稍大且能够从底面部12的整个面吸引，也可以构成为比底面部12小且能够从底面部12的一部分吸引。此外，也可以将吸引部件41的开口端配置成在与加工容器10的底面部12之间设置间隙。在本实施方式中，构成为使吸引部件41的开口端的大小比加工容器的底面部12小且能够从底面部12的一部分吸引，并且以能够朝开口端所对置的位置投入研磨材料的方式配置研磨材料投入单元30。另外，如果仅利用软管43吸引研磨材料使之不朝外部飞散，则也可以不设置吸引部件41。

如果使集尘装置42工作，则在底面部12中的与吸引部件41的开口端对置的位置如图6所示形成研磨材料通过底面部12被吸引至吸引部件41的研磨材料吸引部B。即，研磨材料吸引部B是底面部12中研磨材料所通过的区域。也可以将研磨材料吸引部B的面积设为加工容器10的底面部12的面积的10％以上且40％以下。此外，在一实施方式中，也可以将研磨材料吸引部B的面积设为底面部12的面积的1/8以上且1/4以下。如果研磨材料吸引部B的面积过大，则超出需要的被加工物W被固定于底面部12，因此，被加工物W的搅拌变得不充分，如果过小，则无法充分地进行研磨材料的吸引。另外，在图6所示的例子中，研磨材料吸引部B的形状为圆形，但研磨材料吸引部B的形状并不限定于圆形。例如，也可以将研磨材料吸引部B的形状形成为多边形状、沿着底面部12的缘部的带状、外周的一部分沿着底面部12的缘部的扇形状。通过变更吸引部件41的开口端的平面形状，能够将研磨材料吸引部B的形状变更为所期望的形状。

在一实施方式中，可以将通过研磨材料吸引部B的吸引速度设为5m/sec以上且不足100m/sec，可以设为5m/sec以上且不足50m/sec，也可以设为5m/sec以上且不足30m/sec。如果吸引速度过慢，则将从研磨材料投入单元30投入的研磨材料吸引至吸引单元40的力较弱，因此，无法充分地吸引研磨材料。如果吸引速度过快，则装入到加工容器10内的被加工物W因集尘装置42所产生的吸引力而被固定于底面部12，因此将阻碍被加工物W的流动。

进而，需要将研磨材料通过装入到加工容器10内的被加工物W彼此之间的通过速度调整为5m/sec以上且不足100m/sec。也可以将该通过速度设为5m/sec以上且不足50m/sec，更详细来说，可以设为5m/sec以上且不足30m/sec。如果通过速度过慢，则研磨材料与被加工物W碰撞·接触的力较弱，因此，无法进行被加工物W的研磨。如果通过速度过快，则研磨材料与被加工物W碰撞·接触的力较强，因此，研磨时容易在被加工物W产生裂纹或碎片。调整通过速度的方法可以通过调节研磨材料投入单元30与加工容器10的距离来进行调整，也可以通过调节集尘装置42的吸引力来进行调整。

并且，可以将研磨材料吸引部B的位置设定为如图6中的“×”记号所示，研磨材料吸引部B的中心位于相对于加工容器10的底面部12的周缘部下端方向(同图的朝向下端方向的假想线、即从底面部12的中心沿着底面部12所倾斜的方向延伸的假想线L)朝该加工容器10的旋转方向侧分离预定的角度α的部位。其原因在于：如果加工容器10旋转，则被加工物W如同图的虚线所示从动于该旋转朝旋转方向移动。角度α亦可选自超过0°且45°以下。如果角度α过大，则无法高效地进行被加工物W的搅拌。

作为将研磨材料吸引部B仅形成于加工容器10的底面部12的一部分的其他的方式，也可以构成为将设置有狭缝等的开口部的板材与底面部12设置间隙地配置于底面部12的背面侧。在该情况下，能够构成为使吸引部件41的开口端的大小比加工容器10的底面部12稍大。利用该结构，能够从加工容器10的整个面吸引，因此，能够进一步防止研磨材料的飞散。结果，能够进一步减少作业环境的恶化。

如果使集尘装置42工作，则经由软管43对吸引部件41的内部进行吸引，因此，通过加工容器10后的研磨材料被朝向吸引部件41吸引。此时，在吸引部件41的开口端附近，产生从外侧朝向内侧的气流，因此，通过加工容器10后的研磨材料不会朝吸引部件41的外侧飞散。但是，如果加工容器10与吸引部件41的开口端之间的间隙过小，则无法充分地吸引外部大气，因此，不产生从吸引部件41外朝向内侧的气流。此外，如果上述间隙过大，则因压力损失而不产生从吸引部件41外朝向内侧的气流。因而，不论上述间隙是过大还是过小，都存在通过加工容器10后的研磨材料朝吸引部件41的外侧飞散的顾虑。也可以将加工容器10最接近吸引部件41时的加工容器10与吸引部件41的间隙设为1mm以上且25mm以下的范围，更详细来说，可以设为5mm以上且15mm以下。

在由集尘装置42回收的研磨材料，除了可再次利用的研磨材料的之外，还包含因与被加工物W的接触导致产生破裂或缺口而变小的研磨材料、被加工物W的研磨屑之类的微粒子。为了从研磨材料和微粒子回收可再次利用的研磨材料，也可以进一步设置分级单元。利用分级单元对可再次利用的研磨材料和微粒子进行分类，能够将可再次利用的研磨材料返回到贮存箱31。分级单元可以设置于从吸引部件41朝向集尘装置42的路径的中途，亦可以其他路径设置。分级单元能够包括气流分级装置、筛等的公知的装置。

还可以使用用于对加工容器10内的被加工物W的流动状态进行控制(使之变化)的流动控制单元(未图示)。作为流动控制单元，例如可举出用于任意地变更加工容器10的倾斜角度θ的单元、任意地变更马达22的旋转速度的单元。能够通过与研磨的进展相匹配地变更该角度或该速度来变更被加工物W的流动状态。由此，能够在符合各种被加工物W的性状等的条件下进行流动。进而，在被加工物W容易产生碎片或裂纹的情况下，能够防止流动开始时的被加工物W的碎片、裂纹。

其次，参照附图对本实施方式的研磨装置的研磨方法的一例进行说明。此处，作为被加工物W，对由SiC和Al₂O₃的混合物构成的陶瓷(尺寸；0.5mm×0.5mm×1.0mm)的角部实施圆化时的研磨方法进行说明。

(工序1：准备工序)

预先在图1所示的贮存箱31装入研磨材料。此时装入的研磨材料的大小小于加工容器10的开口部13的直径，或者在开口部13为网状的情况下小于网眼。其原因在于：在研磨时，研磨材料能够从加工容器10所具备的开口部13通过。此外，预先对设置于研磨装置1的任意的位置且对马达22、输送马达32i、集尘装置42进行控制的控制部(未图示)输入研磨条件。另外，此处所说的“研磨条件”是指研磨时间、马达22的运转条件、研磨材料的投入速度(每单位时间的投入量)、运转参数等。

研磨材料能够从金属或者非金属的钢丸、磨粒、钢丝、陶瓷系粒子、植物系粒子、树脂系粒子等的各种粒子中结合被加工物的材质、形状以及加工目适当地选择。例如，在对被加工物进行较大的圆化或者出除去牢固的毛刺的情况下，能够选择作为高硬度的粒子的氧化铝系粒子、碳化硅系粒子、氧化锆系粒子等。此外，在不期望源自研磨的异物附着于被加工物的情况下，也可以将与被加工物相同材质的粒子作为研磨材料。在该情况下，例如在进行由磁性材料形成的电子零件的研磨的情况下，作为研磨材料使用与被加工物相同材质的磁性材料，由此不会在研磨后的被加工物的表面附着异物。由此，能够防止因异物而引起的电子零件的性能的降低。

研磨材料的形状并不特别限定于球形、圆柱形状、长方体、各向异性形状等，能够结合被加工物的材质、形状以及研磨目的适当地选择。

研磨材料的粒子径也能够同样地结合被加工物的材质、形状以及研磨目的适当地选择。例如，在陶瓷系粒子作为研磨材料的情况下，能够从以JIS(JapaneseIndustrialStandards)B6001规定的粒度为F220或者#240以上且#1000以下的范围适当地选择。

本实施方式的研磨材料使用粒度为#800的各向异性形状的氧化铝系的粒子。

(工序2：被加工物装入工序)

其次，将被加工物W装入加工容器10内。之后，利用螺栓等将加工容器10固定于保持架21。

(工序3：气流产生工序)

其次，如果按下控制部所具备的工作开关(未图示)，则集尘装置42工作，在研磨材料吸引部B附近产生朝向吸引部件41吸引的气流。此处，集尘装置42能够调整集尘装置42所产生的吸引力，以使得研磨材料通过装入加工容器10内的被加工物W彼此的通过速度在上述范围内。并且，能够调整加工容器10与研磨材料投入单元30的距离。

(工序4：流动化工序)

此外，马达22工作而保持架21、即加工容器10旋转，由此加工容器10内的被加工物W如图4所示那样流动从而被搅拌。此处，加工容器10的旋转速度如上所述能够设为临界转速的5％以上且50％以下，更详细来说，能够设为10％以上且30％以下。

(工序5：研磨材料投入工序)

接着，研磨材料投入单元30的输送马达32i工作，研磨材料以固定速度从研磨材料排出口32e朝向装入加工容器10内的被加工物W投入(落下)。

(工序6：研磨工序)

在加工容器10内，在正在流动的被加工物W彼此的间隙也产生朝向吸引部件41吸引的气流。朝向加工容器10投入的研磨材料借助该气流通过被加工物W彼此的间隙，从而朝向吸引部件41。此时，研磨材料与被加工物W相互刮擦，因此，被加工物W被研磨。此外，被加工物W在加工容器10内如图4那样流动，因此，能够在所有的每一被加工物W的完成精度不存在不均地将任一被加工物W均匀地研磨。本实施方式的研磨装置不像喷气装置那样将研磨材料与压缩空气一同作为气固二相流喷附于被加工物W，因此，即便被加工物W小型轻量，也能够不从加工容器飞散地进行研磨。

(工序7：研磨材料回收工序)

通过加工容器10后的研磨材料借助朝向集尘装置42吸引的气流朝向吸引部件41。由于在加工容器10与吸引部件41之间形成有较小的间隙，所以吸引外部大气而产生从吸引部件41外朝向内侧的气流。因此，通过加工容器10后的研磨材料不会朝外部飞散而全部朝向吸引部件41。

吸引部件41内的研磨材料通过软管43回收到集尘装置42。

能够利用以上的工序研磨被加工物W。

在输入至控制部的研磨时间结束后，研磨材料投入单元30自动地停止，研磨材料的投入停止。此时，马达22以及集尘装置42持续工作，因此，残留在加工容器10内的研磨材料被回收到集尘装置42。在经过预定时间后，马达22停止，接着，集尘装置42停止。

将加工容器10从保持架21取下，回收被加工物W，从而完成研磨。

通过使用以上的研磨方法，能够实施被加工物W的圆化(R角加工)。

其次，对使用第一实施方式的研磨装置研磨被加工物的结果进行说明。此处，以被加工物的角部的圆化为目的进行研磨，进行流动化(流动状态)的评价、研磨后的被加工物的评价、研磨后的环境的评价。

(流动化的评价)

首先，揭示流动化的评价。将被加工物W设为由SiC和Al₂O₃的混合物构成的陶瓷的生材(烧结前的物品)。将该被加工物W的尺寸设为0.5mm×0.5mm×1.0mm。将该被加工物W的一半用油性涂料涂装成黑色。

其次，以达到加工容器10的容积的1/5程度的方式将被加工物W装入加工容器10。被加工物W以未涂装品与涂装品达到1：1的方式装入。

接着，在使集尘装置42工作后，使加工容器10旋转30分钟而使被加工物W流动化。另外，该流动化(搅拌)的条件如表1所示。表1中的各评价条件表示下述的内容。

倾斜角度(deg.)；加工容器10相对于水平面的倾斜角度θ

转速(％)；加工容器10的转速/临界转速×100

面积；研磨材料吸引部B的面积/加工容器10的底面部12的面积

吸引速度(mm/s)；研磨材料吸引部B的吸引的风速

位置(deg.)；以从底面部12中心朝向底面部12的周缘部下端的假想线为基准，从该假想线起加工容器10对于旋转方向的相位角度α

气流控制部件50的有无；在加工容器10的底面部12背面是否配置了该底面部的直径的1/3的气流控制部件50

在经过30分钟后，停止加工容器10以及集尘装置42的工作。在停止工作后，在上述的相位角度为0°、-10°、10°的位置将被加工物W分别采集100个，且计数未涂装品个数。进行三次该作业，算出该3处×3次的平均值，由此评价被加工物W的流动状态。评价基准如下所述。

◎……未涂装品的个数为45～55个

○……未涂装品的个数为40～44个或者56～60个

Δ……未涂装品的个数为30～39个或者61～70个

×…...未涂装品的个数为29个以下或者71个以上

【表1】

将流动化的评价汇总于表1。在实施例1-1～实施例1-20中，不配置气流控制部件50地进行被加工物W的搅拌。结果，在任一条件下评价均为“Δ”或者“○”。“Δ”的评价是当实际进行研磨时虽然产生不均但作为实际制品并未产生问题的等级，通过实验确认在实用方面没有问题的评价。此外，通过将其他的条件最佳化而成为“○”评价的等级。因此，确认了在表1的条件下能够良好地搅拌被加工物W。另外，实施例1-4是定性评价为“○”评价，但定量评价略微劣于实施例1-3。同样地，实施例1-9与实施例1-10相比定量评价略微劣。

此外，在加工容器10的底面部12背面配置有气流控制部件50的情况(实施例1-20)下，评价为“◎”，确认能够更均匀地进行搅拌。

(研磨后的被加工物的评价、研磨后的环境的评价)

其次，揭示研磨后的被加工物的评价以及研磨后的环境的评价。对将氧化铝质的研磨粒(WA#800；新东工业株式会社制)从研磨材料投入单元30以20g/分钟的投入速度投入，将被加工物研磨研磨时间30分钟所得的结果进行说明。在本实施评价中，以6个种类的被加工物进行了评价。以下示出被加工物的详细情况。

被加工物A；由SiC和Al₂O₃的混合物构成的陶瓷的生材(尺寸；0.5mm×0.5mm×1.0mm)

被加工物B；由SiC和Al₂O₃的混合物构成的陶瓷的生材(尺寸；0.15mm×0.15mm×0.20mm)

被加工物C；由SiC和Al₂O₃的混合物构成的陶瓷的生材(尺寸；1.0mm×1.0mm×1.5mm)

被加工物D；铁氧体(尺寸；0.5mm×0.5mm×1.0mm)

被加工物E；玻璃(尺寸；0.5mm×0.5mm×1.0mm)

被加工物F；铜(尺寸；0.5mm×0.5mm×1.0mm)

以达到加工容器10的容积的1/5程度的方式将被加工物装入加工容器10。然后，在使集尘装置42工作后，使加工容器10旋转30分钟从而使被加工物流动化。另外，该流动化(搅拌)的条件如表2所示。对于表2中的各评价条件，倾斜角度·转速·面积·位置·气流控制部件的有无与流动化的评价中揭示的评价条件的内容相同。以下揭示与流动化的评价不同的评价条件亦即通过速度。

通过速度(mm/s)；研磨材料通过装入加工容器10内的被加工物彼此之间的速度。

通过利用流速计测系统(FlowtechResearch股份有限公司；PIV系统)测定研磨材料的流体速度来评价通过速度。具体而言，测定从研磨材料投入单元30投入的研磨材料即将与被加工物W接触之前的部分的速度，将该值作为通过速度。

其次，将氧化铝质的研磨粒(WA#800；新东工业株式会社制)装入贮存箱31，以该研磨材料的投入速度为20g/min装入的方式使输送马达32i工作。使加工容器10以及集尘装置42工作，进行30分钟的研磨。

对研磨后的被加工物进行了评价。具体而言，进行了“加工精度”、“表面状态”、“研磨材料的残留”的评价。各个评价方法以及评价基准如下所述。

＜加工精度＞

将在各个条件下进行了研磨的被加工物各采集10个，利用显微镜(基恩士制造VHX-2000)进行观察，评价角部的圆化加工。加工精度的评价基准如下所述。

○……在全部的被加工物中，均已进行了圆化加工。

Δ......未进行圆化加工的被加工物为1个～3个。

×......未进行圆化加工的被加工物为4个以上。

＜表面状态＞

将在各个条件下进行了研磨的被加工物W分别各采集10个，利用显微镜(基恩士制造VHX-2000)进行观察，评价被加工物的表面状态(裂纹·碎片·划痕的有无)。表面状态的评价基准如下所述。

○......在全部的被加工物中，均未观察到裂纹或者碎片。

Δ......存在裂纹或者碎片的被加工物为1个～3个。

×......存在裂纹或者碎片的被加工物为4个以上。

＜研磨材料的残留＞

对于在各个条件下进行了研磨的研磨后的被加工物，使用超声波振动筛，通过筛分将研磨后的被加工物和附着于被加工物的附着物进行分类。将筛分所使用的筛的网眼(筛网直径)设定为不使研磨后的被加工物通过而仅使附着物通过。之后，分别测定附着物除去后的被加工物和附着物的重量。然后，以“(附着物的重量)/(附着物除去后的被加工物的重量)×100(％)”算出研磨材料的残留率，评价研磨材料的残留。“研磨材料的残留”的评价基准如下所述。

○......研磨材料的残留率不足1％。

Δ……研磨材料的残留率为1％以上且不足3％。

×……研磨材料的残留率为3％以上。

一同地对研磨后的环境进行了评价。具体而言，进行了“研磨材料的飞散”的评价。评价方法以及评价基准如下所述。

＜研磨材料的飞散＞

在各个条件下进行研磨之后，为了对结束研磨的研磨装置1周边分析研磨工序时飞散的研磨材料的程度，而进行了“研磨材料的飞散”的评价。“研磨材料的飞散”的评价基准如下所述。

○……在进行研磨之后，通过目视确认在加工容器10外未能观察到研磨材料。

×……在进行研磨之后，通过目视确认在加工容器10外观察到研磨材料。

将研磨后的被加工物的评价以及研磨后的环境的评价汇总于表2。在实施例2-1～实施例2-21中，进行了被加工物A的研磨。结果，在任一条件下评价均为“Δ”或者“○”。评价为“Δ”的被加工物的品质是作为制品不存在的程度的品质。此外，该品质是通过使其他的条件最佳化而成为“○”评价的程度的品质。在每个实施例中，能够确认在与加工精度、表面状态、研磨材料的残留相关的结果产生了差异。但是，虽然在结果产生差异，但被加工物的品质在实施例2-1～实施例2-21的任一条件下都不存在问题。因此，能够确认被加工物A在表2的实施例中都能够良好地进行研磨。

进而，在实施例2-22和实施例2-23中，改变被加工物的尺寸，以与实施例2-21相同的评价条件进行了被加工物的评价。该评价的结果，能够确认能够与被加工物的尺寸的大小关系无关地良好地进行研磨。并且，在实施例2-24～实施例2-26中，改变被加工物的材质，以与实施例2-21相同的评价条件进行了被加工物的评价。该评价的结果，能够确认对于铁氧体、玻璃、金属(铜)的任一材质都能够良好地进行研磨。

此外，在实施例2-1～实施例2-26中，将对于研磨材料的飞散的评价与被加工物的评价同时进行。未能够确认到显著的研磨材料的飞散，因此，从研磨材料投入单元30投入的研磨材料在任一实施例中，在进行加工容器10内的被加工物的研磨之后，都能够确认到不朝加工容器10外飞散而回收到集尘装置42。

(第二实施方式)

其次，作为其他方式的研磨装置的一例，将具备振动单元作为流动化单元的研磨装置作为第二实施方式进行说明。另外，在以下的说明中仅对与第一实施方式不同的变更点进行说明。

如图7(A)所示，本实施方式的研磨装置101具备加工容器110、作为流动化单元的振动单元120、研磨材料投入单元130以及吸引单元140。

加工容器110使用与在第一实施方式中说明的加工容器10相同的结构。

振动单元120由保持加工容器110的保持架121、振动力产生单元122以及架台123构成。保持架121形成为底面闭合且在底部设置有凸缘部的圆筒形状。在底部设置有能够装入后述的吸引部件141的开口部。

振动力产生单元122由旋转自如地保持于保持架121的底部中央的旋转轴122a、由旋转轴122a保持的第一重物122b以及第二重物122c、固定于架台123的马达122d、将马达122d的旋转传递至旋转轴122a的旋转传递部件122e、以及将保持架121可振动地连结于架台123的连结部件122f构成。

第一重物122b以及第二重物122c是矩形或者扇形的部件，在一端侧附近形成有能够供旋转轴122a嵌合的开口，在该开口插入旋转轴122a的状态下利用螺栓等固定。旋转轴122a因第一重物122b以及第二重物122c而偏心，因此，当旋转轴122a旋转时，对保持架121即加工容器110赋予振动。此时，通过图7(B)所示的第二重物122c相对于第一重物122b的相位差β，能够调整被加工物W的流动状态。如果利用振动单元120使被加工物W流动化，则如图8所示成为朝向圆周方向的流动Y、沿着圆周移动的流动X、在垂直方向上移动的流动Z组合而成的流动。如果相位差β较小，则朝向圆周方向的流动Y直线性地朝向圆周方向。如果相位差β过大，则朝向圆周方向的流动Y成为朝向底部中央的流动。为了更均匀地搅拌被加工物，例如将相位差β设为30°以上且75°以下，优选设为45°以上且60°以下。

旋转传递部件122e由分别固定于旋转轴122a以及马达122d的旋转轴的带轮、以及架设于该带轮彼此的皮带构成。根据该结构，能够将马达122d的旋转传递至旋转轴122a。

连结有振动力产生单元122的保持架121经由连结部件122f连结于架台123的上方。连结部件122f只要可振动地连结保持架121即可，例如能够使用弹簧、橡胶等。在本实施方式中使用弹簧。在保持架121的凸缘部以及架台123的分别对置的位置，等间隔地设置有多个(本实施方式中为8个)能够固定弹簧的一端的突起，利用该弹簧将保持架121可振动地连结于架台123。

另外，为了促进图8中的在垂直方向上移动的流动Z方向的流动，也可以将搅拌促进部件(未图示)装入加工容器110的底面部112与保持架121之间。例如，通过作为搅拌促进部件装入多个由橡胶构成的球体，当保持架121振动时，搅拌促进部件撞击加工容器110的底面部112的背面，由此促进在垂直方向上移动的流动Z方向的流动。

研磨材料投入单元130使用与在第一实施方式中说明的研磨材料投入单元30相同的结构。

吸引单元140由以一端面在与加工容器110的底面部112之间设置间隙的方式配置的吸引部件141、产生吸引力的集尘装置142、以及将吸引部件141与集尘装置142连结的软管143构成。吸引部件141具备：圆筒形状的整流部141a，两端开口，连续地具有相同的横剖面；以及圆锥形状的吸引部141b，与上述整流部141a的一端面连结，随着远离整流部141a而横剖面的面积缩小。在吸引部141b的缩径端连接有软管143，软管143的另一端连接于能够吸引回收研磨材料的集尘装置142。由此，形成为吸引部件141和集尘装置142连结的结构。

吸引部件141的整流部141a发挥如下作用：以使得吸引时产生的气流不朝向整流部141a的开口端倒流而朝向集尘装置142流动的方式对气流进行整流。此外，吸引部141b发挥如下作用：使气流加速，以使得通过整流部141a后的气流高效地流向集尘装置142。另外，如果仅利用吸引部141b吸引研磨材料使之不朝吸引部件141的外部飞散，则也可以不设置整流部141a。

吸引部件141可以构成为开口端(上述缩径端的另一端侧)的大小比加工容器110的底面部112稍大且能够从底面部112的整个面吸引，也可以构成为比底面部112小且能够从底面部112的一部分吸引。此外，也可以将吸引部件141的开口端配置成在与加工容器110的底面部112之间设置间隙。在本实施方式中，构成为使开口端的大小比加工容器的底面部112小且能够从底面部112的一部分吸引，并且以能够朝开口端所对置的位置投入研磨材料的方式配置研磨材料投入单元130。另外，如果仅利用软管143吸引研磨材料使之不朝外部飞散，则也可以不设置吸引部件141。

如果使集尘装置142工作，则在底面部112的与吸引部件141的开口端对置的位置形成研磨材料通过并被吸引的研磨材料吸引部B。能够将研磨材料吸引部B的大小设为加工容器110的底面部112的面积的10％以上且40％以下。如果研磨材料吸引部B的面积过大，则超出需要的被加工物W被固定于底面部12，因此，被加工物W的搅拌变得不充分，如果过小，则无法充分地进行研磨材料的吸引。

如果使集尘装置142工作，则产生从吸引部件141朝向集尘装置142的气流，因此，通过加工容器110后的研磨材料被朝向吸引部件141吸引。此时，由于在吸引部件141的开口端附近产生从外侧朝向内侧的气流，因此，能够防止通过加工容器110后的研磨材料朝吸引部件141的外侧飞散。但是，如果加工容器110与吸引部件141的开口端之间的间隙过小，则无法充分地吸引外部大气，因此不产生从吸引部件141的外朝向内侧的气流。此外，如果上述间隙过大，则因压力损失而不产生从吸引部件141外朝向内侧的气流。因而，不论上述间隙是过大还是过小，都存在通过加工容器110后的研磨材料朝吸引部件141的外侧飞散的顾虑。能够将加工容器110最接近吸引部件141时的加工容器110与吸引部件141的间隙设为1mm以上且25mm以下的范围，更详细来说，能够设为5mm以上且15mm以下。

在由集尘装置142回收的研磨材料，除了可再次利用的研磨材料之外，还包含因与被加工物W的接触导致产生破裂或缺口而变小的研磨材料、被加工物W的研磨屑之类的微粒子。为了从研磨材料和微粒子回收可再次利用的研磨材料，也可以进一步设置分级单元。利用分级单元对可再次利用的研磨材料和微粒子进行分类，能够将可再次利用的研磨材料返回到贮存箱131。分级单元可以设置在从吸引部件141朝向集尘装置142的路径的中途，亦可以其他路径设置。分级单元能够包括气流分级装置、筛等的公知的装置。

还可以使用用于对加工容器110内的被加工物W的流动状态进行控制的流动控制单元(未图示)。作为流动控制单元，例如可举出任意地变更马达122d的旋转速度的单元。也可以与研磨的进展相匹配地变更该角度或该速度，由此能够变更被加工物W的流动状态。由此，能够在符合各种被加工物W的性状等的条件下进行流动。进而，在被加工物W容易产生碎片或裂纹的情况下，能够防止流动开始时的被加工物W的碎片、裂纹。

(第三实施方式)

其次，对第三实施方式所涉及的研磨装置以及研磨方法进行说明。本实施方式所涉及的研磨装置以及研磨方法连续地研磨被加工物。另外，在以下的说明中主要说明相对于第一实施方式的研磨装置以及研磨方法的变更点。

将第三实施方式所涉及的研磨装置201示于图9以及图10。图9是研磨装置201的俯视图，图10是沿着图9所示的研磨装置201的X-X线剖切而得的剖视图。另外，在以下的说明中，将加工容器210的宽度方向设为x方向，将加工容器210的长度方向设为y方向，将与x方向以及y方向正交的方向设为z方向来进行记述。研磨装置201具备加工容器210、振动前进单元220、连结部件222以及架台223。

如图9所示，加工容器210具有平面形状形成为与x方向相比在y方向上长条的大致长方形的大致箱形状。加工容器210具有底面部212以及壁部211。在图9所示的例子中，底面部212包括呈网状配置的金属丝，由金属丝包围的区域构成开口部213。该开口部213的宽度构成为比研磨材料的粒径大且比被加工物W的宽度小。由此，底面部212能够使研磨材料通过而使被加工物滞留于其上。壁部211沿着底面部212的缘部立起设置，从侧方划分底面部212上的空间。在加工容器210的y方向侧的一端侧(图9的右侧缘部)形成未设置壁部211的排出部214。排出部214用于将加工容器210内的被加工物W朝外部排出。

如图10所示，加工容器210经由连结部件222可振动地支承于架台223。连结部件222例如能够由弹簧、橡胶等构成。

振动前进单元220设置于底面部212的背面、即下方。振动前进单元220对加工容器210赋予振动，由此使加工容器210内的被加工物W流动化，并且使装入加工容器210内的被加工物W朝向排出部214前进。作为振动前进单元220，例如能够利用偏心马达。

在加工容器210的y方向侧的另一端侧(图9的左侧)的上方设置有被加工物装入单元260。被加工物装入单元260将被加工物W连续或者断续地装入加工容器210内。此处将被加工物W连续地装入意味着将预定量的被加工物W连续地装入加工容器210内。另一方面，断续地装入意味着将预定量的被加工物W隔开间隔地装入加工容器210内。作为被加工物装入单元260，例如能够使用振动进料器、皮带输送机、斗式输送机等的公知的机构。

研磨装置201还具备研磨材料投入单元以及吸引单元。在图9以及10中，为了便于说明而省略研磨材料投入单元以及吸引单元的图示。作为研磨材料投入单元以及吸引单元，能够使用与图1所示的研磨材料投入单元30以及吸引单元40相同的结构。该吸引单元的吸引部件配置于底面部212的背面侧、即下方。此外，研磨材料投入单元配置于底面部212的表面侧、即上方。

其次，对第三实施方式所涉及的研磨方法进行说明。在该研磨方法中，首先，使振动前进单元220、吸引单元以及研磨材料投入单元工作。接着，利用被加工物装入单元260将被加工物W连续或者断续地装入加工容器210内(被加工物装入工序)。装入加工容器210的被加工物W借助加工容器210的振动而在加工容器210内流动。与此同时，加工容器210内的被加工物W从加工容器210的y方向侧的另一端侧朝向排出部214移动、即前进(流动化前进工序)。

此外，在本实施方式的研磨方法中，从研磨材料投入单元朝向加工容器210内的被加工物W投入研磨材料(研磨材料投入工序)。此外，利用吸引单元产生朝向通过加工容器210的方向、即从底面部212的表面侧朝向背面侧的气流(气流产生工序)。由此，在底面部212的表面形成图6所示的研磨材料吸引部B。加工容器210内的被加工物W在朝向排出部214前进的过程中在研磨材料吸引部B上通过。此时，从研磨材料投入单元投入的研磨材料夹卷于该气流中通过被加工物W彼此之间，与被加工物W相互刮擦，由此被加工物W被研磨(研磨工序)。通过调整振动前进单元220所赋予的振动的大小，并且变更被加工物W通过研磨材料吸引部B的速度，能够调整被加工物W的研磨量。通过研磨材料吸引部B后的研磨完毕的被加工物W进而持续前进，从排出部214排出至加工容器210的外部而被回收(被加工物回收工序)。另一方面，通过底面部212后的研磨材料由吸引单元回收(研磨材料回收工序)。根据这样的第三实施方式所涉及的研磨方法，能够连续地研磨被加工物W。

【产业上的利用可能性】

在实施方式中，以进行长方体的陶瓷的角部的圆化加工的情况为例进行了说明，但被加工物的种类以及被加工物的加工目的并不限定于此。不仅被加工物、陶瓷、硅、铁氧体、结晶材料等的具有硬且脆的性质的硬脆材料能够良好地研磨，而且树脂等的各种复合材料也能够良好地研磨。此外，就加工目的而言，能够进行被加工物的表面粗糙度的调整、去毛刺、表面层的除去等。例如，在将上述研磨方法应用于陶瓷的表面层的除去加工的情况下，当通过除去表面层而在后续工序中形成镀金等的皮膜时，能够提高与皮膜的密接力。

本发明的一方面所涉及的研磨装置能够较好地应用于小型零件的研磨。例如，在被加工物为层叠陶瓷电容器、电感器等的零件的情况下，不但能够对一边为800μm以上且1600μm以下程度的零件良好地进行研磨，而且即便一边为100μm以上且200μm以下程度的非常小的尺寸的情况下也能够良好地进行研磨。

此外，只要被加工物能够在加工容器内流动，则不仅能够研磨小型被加工物，而且能够研磨大小超过上述小型被加工物的被加工物。例如也能够良好地研磨一边为10mm以上且30mm以下程度的大小的被加工物。

其中，附图标记说明如下：

1、101：研磨装置；10、110、210：加工容器；11：壁部；12、112、212：底面部；13、213：开口部；14：凸缘部；20：旋转单元；21、121：保持架；22：马达；23：旋转传递部件；30、130：研磨材料投入单元；31、131：贮存箱；32：输送单元；32a：凹槽；32b：研磨材料供给口；32c：研磨材料输送部；32d：研磨材料排出部；32e：研磨材料排出口；32f：输送螺杆；32g：输送轴；32h：输送叶片；32i：输送马达；32j：限制板；33：研磨材料投入部件；40、140：吸引单元；41、141：吸引部件；41a、141a：整流部；41b、141b：吸引部；42、142：集尘装置；43、143：软管；50：气流控制部件；120：振动单元；122：振动力产生单元；122a：旋转轴；122b：第一重物；122c：第二重物；122d：马达；122e：旋转传递部件；122f、222：连结部件；123、223：架台；214：排出部；220：振动前进单元；260：被加工物装入单元；B：研磨材料吸引部；L：假想线；T：旋转轴线；W：被加工物。

Claims (19)

1.一种研磨装置，对被加工物的表面进行研磨，其特征在于，

所述研磨装置具备：

加工容器，该加工容器具有可供研磨材料通过的底面部，并且使所述被加工物滞留在所述底面部上；

流动化单元，该流动化单元使所述被加工物在所述加工容器内流动；

研磨材料投入单元，该研磨材料投入单元将所述研磨材料朝向所述加工容器内的所述被加工物投入；以及

吸引单元，该吸引单元产生朝向所述研磨材料通过所述加工容器的方向的气流，并且吸引回收所述研磨材料。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

所述流动化单元是使所述加工容器振动的振动单元、或者是使所述加工容器以该加工容器的底面部的中心为轴心旋转的旋转单元。

3.根据权利要求2所述的研磨装置，其中，

所述流动化单元还具备使流动状态变化的流动控制单元。

4.根据权利要求2所述的研磨装置，其中，

所述流动化单元是所述旋转单元，

所述加工容器以相对于水平面倾斜的方式支承于所述旋转单元。

5.根据权利要求4所述的研磨装置，其中，

所述加工容器的倾斜角度相对于水平面为30°以上且70°以下。

6.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

在所述加工容器的底面部设置有开口部。

7.根据权利要求6所述的研磨装置，其中，

所述开口部呈网状地构成，该开口部的网眼为70μm以上且1100μm以下。

8.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

在所述加工容器的底面部的一部分形成在利用所述吸引单元进行吸引时将所述研磨材料通过该加工容器吸引至所述吸引单元的研磨材料吸引部。

9.根据权利要求8所述的研磨装置，其中，

所述研磨材料吸引部的面积为所述加工容器的底面部的面积的1/8以上且1/4以下。

10.根据权利要求8所述的研磨装置，其中，

通过所述研磨材料吸引部的吸引速度为5m/sec以上且不足100m/sec。

11.根据权利要求10所述的研磨装置，其中，

所述研磨材料吸引部的中心位于从所述加工容器的底面部中心相对于周缘部下端的方向朝该加工容器的旋转方向侧分离预定的角度的位置。

12.根据权利要求2所述的研磨装置，其中，

在所述加工容器的底面部中心配置有气流控制部件，该气流控制部件对用于使所述研磨材料通过该加工容器的气流的流动进行控制。

13.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

所述研磨材料投入单元具备：

贮存箱，该贮存箱贮存所述研磨材料；

研磨材料排出口，该研磨材料排出口将所述研磨材料朝向所述被加工物投入；以及

输送单元，该输送单元将从所述贮存箱供给的所述研磨材料朝向所述研磨材料排出口输送，

所述输送单元具备：输送螺杆，该输送螺杆在旋转轴设置有螺旋状的叶片；以及凹槽，该凹槽内置所述输送螺杆，在前端的下部开设有所述研磨材料排出口，在后部位的上表面开设有与所述贮存箱连结的研磨材料供给口，

所述凹槽内的空间被分割成由所述输送螺杆以及所述凹槽形成的空间、以及位于所述输送螺杆的前方且包括所述研磨材料排出口的空间，

在所述输送螺杆的前端与所述研磨材料排出口之间配置有限制板，在该限制板设置有所述研磨材料能够通过的压碎部。

14.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

所述被加工物由硬脆材料形成。

15.根据权利要求14所述的研磨装置，其中，

所述被加工物是层叠陶瓷电容器或者电感器的零件。

16.一种研磨方法，是使用研磨装置的研磨方法，

所述研磨装置具备：加工容器，该加工容器具有使研磨材料通过而使被加工物滞留于其上的底面部；流动化单元，该流动化单元用于使该被加工物流动化；研磨材料投入单元，该研磨材料投入单元将所述研磨材料投入至所述加工容器内的该被加工物；以及吸引单元，该吸引单元吸引回收所述研磨材料，

所述研磨方法的特征在于，

所述研磨方法包括如下工序：

被加工物装入工序，将所述被加工物装入所述加工容器；

气流产生工序，利用所述吸引单元产生朝向所述研磨材料通过所述加工容器的方向的气流；

流动化工序，利用所述流动化单元使装入所述加工容器内的所述被加工物流动化；

研磨材料投入工序，将所述研磨材料从所述研磨材料投入单元朝向所述加工容器内的所述被加工物投入；

研磨工序，使所述研磨材料通过装入所述加工容器内的所述被加工物彼此之间，从而研磨所述被加工物；以及

研磨材料回收工序，利用所述吸引单元回收所述研磨材料。

17.一种研磨方法，是使用研磨装置的研磨方法，

所述研磨装置具备：加工容器，该加工容器具有使研磨材料通过而使被加工物滞留于其上的底面部、以及将被加工物朝外部排出的排出部；流动化单元，该流动化单元用于使所述被加工物流动化；研磨材料投入单元，该研磨材料投入单元将所述研磨材料投入至所述加工容器内的该被加工物；以及吸引单元，该吸引单元吸引回收所述研磨材料，

所述研磨方法的特征在于，

所述研磨方法包括如下工序：

被加工物装入工序，将所述被加工物连续或者断续地装入所述加工容器；

气流产生工序，利用所述吸引单元产生朝向所述研磨材料通过所述加工容器的方向的气流；

流动化前进工序，利用所述流动化单元使所述加工容器内的所述被加工物流动化，并且使在所述被加工物装入工序中装入的所述被加工物朝向所述排出部前进；

研磨材料投入工序，将所述研磨材料从所述研磨材料投入单元朝向所述加工容器内的所述被加工物投入；

研磨工序，使所述研磨材料通过所述加工容器内的所述被加工物彼此之间，从而研磨所述被加工物；

研磨材料回收工序，利用所述吸引单元回收所述研磨材料；以及

被加工物回收工序，回收从所述排出部排出的所述被加工物。

18.根据权利要求16或17所述的研磨方法，其中，

所述研磨材料通过装入所述加工容器内的所述被加工物彼此之间的通过速度为5m/sec以上且不足100m/sec。

19.根据权利要求16所述的研磨方法，其中，

所述流动化单元是使所述加工容器以该加工容器的底面部的中心为轴心旋转的旋转单元，

在所述流动化工序中，利用所述旋转单元使所述加工容器以临界转速的5％以上且50％以下旋转。