CN105428286A - 一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,升降式装配机构包括底座,底座的顶面上对称设置有支撑立柱,支撑立柱上设置有升降导槽,升降导槽内移动连接有升降机构,升降导槽内设置有螺杆和辅助导杆,螺杆的底部设置有同步电机,底座的顶面上设置有定位卡槽,定位卡槽的顶面侧边上设置有移动滑槽,移动滑槽内设置有支撑导块,移动滑槽的两侧均设置有助推器,助推器通过第一助推块连接支撑导块,支撑导块上转动连接有装配机构,底座的底部设置有减振装置。本发明结构简单,实用性强,不仅可以满足不同形状大小的石墨舟装卸片的装配,而且可以提高装卸片的装配精度和质量,简化了生产工艺,提高了装配效率。
Description
技术领域
本发明涉及石墨舟加工生产技术领域,尤其涉及一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构。
背景技术
人们对太阳能电池需求的不断增长,驱动着太阳能电池制造工艺的不断进步。为了获得高品质的太阳能电池,研究人员对其生产过程的各个步骤和使用材料都进行了大力研发。石墨舟是用于生产硅片必不可少的工具,而石墨舟质量的好坏直接影响着硅片的加工质量。
现有技术中石墨舟装卸片的装配机构的装配精度不高,而且生产效率较低,使用寿命较短。
发明内容
本发明目的在于针对现有技术所存在的不足而提供一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构的技术方案,不仅可以满足不同形状大小的石墨舟装卸片的装配,而且可以提高装卸片的装配精度和质量,简化了生产工艺,提高了装配效率,同时延长了升降式装配机构的使用寿命。
为了解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:升降式装配机构包括底座,底座的顶面上对称设置有至少四个支撑立柱,支撑立柱与底座垂直连接,支撑立柱上设置有升降导槽,升降导槽内移动连接有升降机构,升降导槽内设置有一个螺杆和两个辅助导杆,辅助导杆位于螺杆的两侧,螺杆的底部设置有同步电机,同步电机位于底座的内部,底座的顶面上设置有定位卡槽,定位卡槽上对称设置有至少四个限位槽,限位槽与定位卡槽相互垂直,限位槽与升降导槽相匹配,定位卡槽的进口端和出口端上均设置有侧门板,定位卡槽的顶面侧边上设置有移动滑槽,移动滑槽内设置有支撑导块,移动滑槽的两侧均设置有助推器,助推器通过第一助推块连接支撑导块,支撑导块上转动连接有装配机构,底座的底部设置有减振装置;将石墨舟装卸片通过升降机构从存放的位置运送至底座上,不仅提高了装卸片的安装精度,减小定位误差,而且可以有效地提高石墨舟的装配效率,提高生产效率,升降机构可以根据装卸片的重量控制下降的速度,减小对底座的冲击,螺杆可以通过同步电机的作用为升降机构的上升和下降提供动力,使螺杆保持统一的转速,辅助导杆则可以使升降机构在上下移动时保持稳定,防止出现摇晃,提高了安全性,定位卡槽可以用于放置石墨舟外壳,方便装卸片直接可以装入外壳内,减少了装配工序,降低了人工操作的难度,限位槽可以方便升降机构的位置调整,以满足不同厚度大小的装卸片的装配,侧门板在石墨舟外壳进入定位卡槽后关闭,直至石墨舟装卸片装配完毕后打开,使石墨舟进入下一工序,支撑导块在助推器的作用下可以实现往复移动,进而带动装配机构移动,提高了石墨舟装卸片的装配质量。
进一步,升降导槽的两侧分别设置有红外发射器和红外接收器,红外发射器与红外接收器位于同一水平直线上,当红外发射器与红外接收器之间的直线通路被升降板隔断时,升降板将减速移动,直至停止,当红外发射器与红外接收器之间的直线通路接通时,升降板将作匀速运动,保证装卸片在运输时地的稳定性,防止由于升降板的移动速度过快而造成较大的冲击,提高了安全性,延长了升降式装配机构的使用寿命。
进一步,升降机构包括升降板和水平面板,升降板与升降导槽相匹配,升降板上设置有第一通孔和第二通孔,第一通孔与螺杆相匹配,第二通孔与辅助导杆相匹配,升降板通过悬臂连接水平面板,升降板上设置有第一凹槽,水平面板上设置有第二凹槽,悬臂的两端分别转动连接在第一凹槽和第二凹槽内,水平面板可以根据装卸片的实际尺寸大小,通过悬臂可以调节水平面板的高度位置,进而调节相对的两个水平面板之间的距离,以保证装卸片在运输过程中保持水平固定。
进一步,水平面板上设置有U型卡槽,U型卡槽内设置有伸缩挡板,伸缩挡板的两端均设置有第二助推块,水平面板的顶面上设置有固定挡板,第二凹槽位于固定挡板的一侧,固定挡板的另一侧均匀设置有防滑槽,当质量要求较高的装卸片需要装配时,可以通过U型卡槽进行装夹运输,并通过第二助推块带动伸缩挡板将装卸片进行夹紧固定,防滑槽可以有效地提高装卸片与水平面板之间的摩擦力,以保证装卸片在运输过程中更安全、稳定。
进一步,第二助推块的长度大于U型卡槽的宽度,可以使伸缩挡板的移动更精确,防止出现左右伸缩移动而影响装卸片的夹紧效果。
进一步,定位卡槽上设置有独立托辊,独立托辊不仅可以减小与石墨舟外壳的接触面积,而且使石墨舟的移动定位更方便快捷,能满足不同大小的石墨舟装卸片的装配。
进一步,装配机构包括上压板、下压板和气动旋转头,上压板通过连接立柱固定连接下压板,下压板通过转动杆转动连接在支撑导块的顶面上,连接立柱上设置有固定杆,固定杆通过伸缩杆连接气动旋转头,装配机构用于装卸片与石墨舟外壳的固定连接,通过转动杆可以实现上压板与下压板的转动,进而带动气动旋转头的转动,并且在支撑导块的作用下可以靠近或远离石墨舟外壳,实现装卸片与石墨舟外壳的稳定装配。
进一步,上压板内设置有储存槽,储存槽内均匀排列有螺钉,通过将螺钉存放在储存槽中,可以使螺钉实现连续的供应,提高升降式装配机构工作的连续性。
进一步,减振装置包括减振面板和缓冲层,减振面板位于缓冲层的上方,缓冲层内设置有弹簧阵列,当升降板移动至升降导槽的底部时,通过减振面板将冲击力传递给弹簧阵列,可以有效地降低支撑立柱与底座之间的冲击,提高升降式装配机构的稳定性。
本发明由于采用了上述技术方案,具有以下有益效果:
1、将石墨舟装卸片通过升降机构从存放的位置运送至底座上,不仅提高了装卸片的安装精度,减小定位误差,而且可以有效地提高石墨舟的装配效率,提高生产效率,升降机构可以根据装卸片的重量控制下降的速度,减小对底座的冲击,螺杆可以通过同步电机的作用为升降机构的上升和下降提供动力,使螺杆保持统一的转速,辅助导杆则可以使升降机构在上下移动时保持稳定,防止出现摇晃,提高了安全性;
2、定位卡槽可以用于放置石墨舟外壳,方便装卸片直接可以装入外壳内,减少了装配工序,降低了人工操作的难度,限位槽可以方便升降机构的位置调整,以满足不同厚度大小的装卸片的装配;
3、侧门板在石墨舟外壳进入定位卡槽后关闭,直至石墨舟装卸片装配完毕后打开,使石墨舟进入下一工序,支撑导块在助推器的作用下可以实现往复移动,进而带动装配机构移动,提高了石墨舟装卸片的装配质量;
4、水平面板可以根据装卸片的实际尺寸大小,通过悬臂可以调节水平面板的高度位置,进而调节相对的两个水平面板之间的距离,以保证装卸片在运输过程中保持水平固定;
5、当质量要求较高的装卸片需要装配时,可以通过U型卡槽进行装夹运输,并通过第二助推块带动伸缩挡板将装卸片进行夹紧固定,防滑槽可以有效地提高装卸片与水平面板之间的摩擦力,以保证装卸片在运输过程中更安全、稳定;
6、装配机构用于装卸片与石墨舟外壳的固定连接,通过转动杆可以实现上压板与下压板的转动,进而带动气动旋转头的转动,并且在支撑导块的作用下可以靠近或远离石墨舟外壳,实现装卸片与石墨舟外壳的稳定装配。
本发明结构简单,实用性强,不仅可以满足不同形状大小的石墨舟装卸片的装配,而且可以提高装卸片的装配精度和质量,简化了生产工艺,提高了装配效率,同时延长了升降式装配机构的使用寿命。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明:
图1为本发明一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构的结构示意图;
图2为本发明中底座的内部结构示意图;
图3为本发明中支撑立柱的结构示意图;
图4为本发明中升降机构的结构示意图;
图5为本发明中装配机构的结构示意图。
图中:1-底座;2-支撑立柱;3-定位卡槽;4-升降导槽;5-限位槽;6-升降机构;7-独立托辊;8-侧门板;9-移动滑槽;10-支撑导块;11-装配机构;12-同步电机;13-助推器;14-第一助推块;15-减振面板;16-缓冲层;17-弹簧阵列;18-红外发射器;19-红外接收器;20-升降板;21-螺杆;22-辅助导杆;23-水平面板;24-悬臂;25-第一凹槽;26-第一通孔;27-第二通孔;28-第二凹槽;29-U型卡槽;30-伸缩挡板;31-第二助推块;32-转动杆;33-下压板;34-连接立柱;35-上压板;36-储存槽;37-螺钉;38-固定杆;39-伸缩杆;40-气动旋转头;41-固定挡板;42-防滑槽。
具体实施方式
如图1至图5所示,为本发明一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,升降式装配机构包括底座1,底座1的顶面上对称设置有至少四个支撑立柱2,支撑立柱2与底座1垂直连接,支撑立柱2上设置有升降导槽4,升降导槽4的两侧分别设置有红外发射器18和红外接收器19,红外发射器18与红外接收器19位于同一水平直线上,当红外发射器18与红外接收器19之间的直线通路被升降板20隔断时,升降板20将减速移动,直至停止,当红外发射器18与红外接收器19之间的直线通路接通时,升降板20将作匀速运动,保证装卸片在运输时地的稳定性,防止由于升降板20的移动速度过快而造成较大的冲击,提高了安全性,延长了升降式装配机构的使用寿命,升降导槽4内设置有一个螺杆21和两个辅助导杆22,辅助导杆22位于螺杆21的两侧,螺杆21的底部设置有同步电机12,同步电机12位于底座1的内部,螺杆21可以通过同步电机12的作用为升降机构6的上升和下降提供动力,使螺杆21保持统一的转速,辅助导杆22则可以使升降机构6在上下移动时保持稳定,防止出现摇晃,提高了安全性。
升降导槽4内移动连接有升降机构6,升降机构6包括升降板20和水平面板23,升降板20与升降导槽4相匹配,升降板20上设置有第一通孔26和第二通孔27,第一通孔26与螺杆21相匹配,第二通孔27与辅助导杆22相匹配,升降板20通过悬臂24连接水平面板23,升降板20上设置有第一凹槽25,水平面板23上设置有第二凹槽28,悬臂24的两端分别转动连接在第一凹槽25和第二凹槽28内,水平面板23可以根据装卸片的实际尺寸大小,通过悬臂24可以调节水平面板23的高度位置,进而调节相对的两个水平面板23之间的距离,以保证装卸片在运输过程中保持水平固定,水平面板23上设置有U型卡槽29,U型卡槽29内设置有伸缩挡板30,伸缩挡板30的两端均设置有第二助推块31,水平面板23的顶面上设置有固定挡板41,第二凹槽28位于固定挡板41的一侧,固定挡板41的另一侧均匀设置有防滑槽42,当质量要求较高的装卸片需要装配时,可以通过U型卡槽29进行装夹运输,并通过第二助推块31带动伸缩挡板30将装卸片进行夹紧固定,防滑槽42可以有效地提高装卸片与水平面板23之间的摩擦力,以保证装卸片在运输过程中更安全、稳定,第二助推块31的长度大于U型卡槽29的宽度,可以使伸缩挡板30的移动更精确,防止出现左右伸缩移动而影响装卸片的夹紧效果,将石墨舟装卸片通过升降机构6从存放的位置运送至底座1上,不仅提高了装卸片的安装精度,减小定位误差,而且可以有效地提高石墨舟的装配效率,提高生产效率,升降机构6可以根据装卸片的重量控制下降的速度,减小对底座1的冲击。
底座1的顶面上设置有定位卡槽3,定位卡槽3上设置有独立托辊7,独立托辊7不仅可以减小与石墨舟外壳的接触面积,而且使石墨舟的移动定位更方便快捷,能满足不同大小的石墨舟装卸片的装配,定位卡槽3上对称设置有至少四个限位槽5,限位槽5与定位卡槽3相互垂直,限位槽5与升降导槽4相匹配,定位卡槽3的进口端和出口端上均设置有侧门板8,定位卡槽3可以用于放置石墨舟外壳,方便装卸片直接可以装入外壳内,减少了装配工序,降低了人工操作的难度,限位槽5可以方便升降机构6的位置调整,以满足不同厚度大小的装卸片的装配,侧门板8在石墨舟外壳进入定位卡槽3后关闭,直至石墨舟装卸片装配完毕后打开,使石墨舟进入下一工序,定位卡槽3的顶面侧边上设置有移动滑槽9,移动滑槽9内设置有支撑导块10,移动滑槽9的两侧均设置有助推器13,助推器13通过第一助推块14连接支撑导块10,支撑导块10在助推器13的作用下可以实现往复移动,进而带动装配机构11移动,提高了石墨舟装卸片的装配质量。
支撑导块10上转动连接有装配机构11,装配机构11包括上压板35、下压板33和气动旋转头40,上压板35通过连接立柱34固定连接下压板33,下压板33通过转动杆32转动连接在支撑导块10的顶面上,连接立柱34上设置有固定杆38,固定杆38通过伸缩杆39连接气动旋转头40,装配机构11用于装卸片与石墨舟外壳的固定连接,通过转动杆32可以实现上压板35与下压板33的转动,进而带动气动旋转头40的转动,并且在支撑导块10的作用下可以靠近或远离石墨舟外壳,实现装卸片与石墨舟外壳的稳定装配,上压板35内设置有储存槽36,储存槽36内均匀排列有螺钉37,通过将螺钉37存放在储存槽36中,可以使螺钉37实现连续的供应,提高升降式装配机构工作的连续性。
底座1的底部设置有减振装置,减振装置包括减振面板15和缓冲层16,减振面板15位于缓冲层16的上方,缓冲层16内设置有弹簧阵列17,当升降板20移动至升降导槽4的底部时,通过减振面板15将冲击力传递给弹簧阵列17,可以有效地降低支撑立柱2与底座1之间的冲击,提高升降式装配机构的稳定性。
本发明的工作原理如下:首先通过独立托辊将石墨舟外壳运送至定位卡槽内,经侧门板将石墨舟外壳进行固定,然后将升降机构上升至设定位置,并将水平面板通过悬臂转动至与装卸片平行的位置,根据装卸片的质量要求选择装夹的位置(要求较高的装卸片放置在U型卡槽内,并通过伸缩挡板进行定位,要求较低的装卸片直接放置在水平面板的顶面上,通过固定挡板进行固定),然后启动同步电机,随着升降机构将装卸片下降至装配位置,然后通过支撑导块将装配机构移动至装卸片的上方,根据安装位置通过气动旋转头将装卸片与石墨舟外壳进行固定,然后进行下一个装卸片的运输装配,直至石墨舟装配完成。
以上仅为本发明的具体实施例,但本发明的技术特征并不局限于此。任何以本发明为基础,为实现基本相同的技术效果,所作出地简单变化、等同替换或者修饰等,皆涵盖于本发明的保护范围之中。
Claims (9)
1.一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述升降式装配机构包括底座,所述底座的顶面上对称设置有至少四个支撑立柱,所述支撑立柱与所述底座垂直连接,所述支撑立柱上设置有升降导槽,所述升降导槽内移动连接有升降机构,所述升降导槽内设置有一个螺杆和两个辅助导杆,所述辅助导杆位于所述螺杆的两侧,所述螺杆的底部设置有同步电机,所述同步电机位于所述底座的内部,所述底座的顶面上设置有定位卡槽,所述定位卡槽上对称设置有至少四个限位槽,所述限位槽与所述定位卡槽相互垂直,所述限位槽与所述升降导槽相匹配,所述定位卡槽的进口端和出口端上均设置有侧门板,所述定位卡槽的顶面侧边上设置有移动滑槽,所述移动滑槽内设置有支撑导块,所述移动滑槽的两侧均设置有助推器,所述助推器通过第一助推块连接所述支撑导块,所述支撑导块上转动连接有装配机构,所述底座的底部设置有减振装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述升降导槽的两侧分别设置有红外发射器和红外接收器,所述红外发射器与所述红外接收器位于同一水平直线上。
3.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述升降机构包括升降板和水平面板,所述升降板与所述升降导槽相匹配,所述升降板上设置有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔与所述螺杆相匹配,所述第二通孔与所述辅助导杆相匹配,所述升降板通过悬臂连接所述水平面板,所述升降板上设置有第一凹槽,所述水平面板上设置有第二凹槽,所述悬臂的两端分别转动连接在所述第一凹槽和所述第二凹槽内。
4.根据权利要求3所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述水平面板上设置有U型卡槽,所述U型卡槽内设置有伸缩挡板,所述伸缩挡板的两端均设置有第二助推块,所述水平面板的顶面上设置有固定挡板,所述第二凹槽位于所述固定挡板的一侧,所述固定挡板的另一侧均匀设置有防滑槽。
5.根据权利要求4所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述第二助推块的长度大于所述U型卡槽的宽度。
6.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述定位卡槽上设置有独立托辊。
7.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述装配机构包括上压板、下压板和气动旋转头,所述上压板通过连接立柱固定连接所述下压板,所述下压板通过转动杆转动连接在所述支撑导块的顶面上,所述连接立柱上设置有固定杆,所述固定杆通过伸缩杆连接所述气动旋转头。
8.根据权利要求7所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述上压板内设置有储存槽,所述储存槽内均匀排列有螺钉。
9.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟装卸片的升降式装配机构,其特征在于:所述减振装置包括减振面板和缓冲层,所述减振面板位于所述缓冲层的上方,所述缓冲层内设置有弹簧阵列。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107464771A (zh) * | 2016-06-02 | 2017-12-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种连接装置和升降机构 |
CN110289242A (zh) * | 2018-03-19 | 2019-09-27 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 基座调节装置、腔室及半导体加工设备 |
WO2020024494A1 (zh) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 通威太阳能(安徽)有限公司 | 一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置 |
CN112010040A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-12-01 | Tcl华星光电技术有限公司 | 基板传送装置 |
CN113715178A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-11-30 | 浙江华熔科技有限公司 | 一种石墨舟板加工辅助夹持装置 |
CN116759917A (zh) * | 2023-06-29 | 2023-09-15 | 杭州华益电气有限公司 | 一种高速公路机电施工用的配电箱 |
-
2015
- 2015-12-16 CN CN201510946065.XA patent/CN105428286A/zh not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107464771A (zh) * | 2016-06-02 | 2017-12-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种连接装置和升降机构 |
CN107464771B (zh) * | 2016-06-02 | 2019-07-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种连接装置和升降机构 |
CN110289242A (zh) * | 2018-03-19 | 2019-09-27 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 基座调节装置、腔室及半导体加工设备 |
CN110289242B (zh) * | 2018-03-19 | 2021-08-13 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 基座调节装置、腔室及半导体加工设备 |
WO2020024494A1 (zh) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 通威太阳能(安徽)有限公司 | 一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置 |
CN112010040A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-12-01 | Tcl华星光电技术有限公司 | 基板传送装置 |
CN113715178A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-11-30 | 浙江华熔科技有限公司 | 一种石墨舟板加工辅助夹持装置 |
CN113715178B (zh) * | 2021-07-26 | 2023-05-16 | 浙江华熔科技有限公司 | 一种石墨舟板加工辅助夹持定位装置 |
CN116759917A (zh) * | 2023-06-29 | 2023-09-15 | 杭州华益电气有限公司 | 一种高速公路机电施工用的配电箱 |
CN116759917B (zh) * | 2023-06-29 | 2024-05-03 | 杭州华益电气有限公司 | 一种高速公路机电施工用的配电箱 |
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