CN105424235A - 测力传感器以及测力传感器的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种测力传感器以及测力传感器的制造方法，即使小型也具有较高的刚性，能够对施加于被测定物的两个方向上的载荷进行正确地测定。测力传感器包括主体部和应变传感器。主体部具有保持件、第一连结部以及第二连结部、第一横梁以及第二横梁。第一连结部以及第二连结部通过狭缝而分离。第一横梁与保持件和第一连结部一体地形成并且沿X轴方向延伸。第二横梁与保持件和第二连结部一体地形成并且沿Y轴方向延伸。应变传感器安装于第一横梁并且测定在Y轴方向上和Z轴方向上产生的变形量作为电阻值。应变传感器安装于第二横梁12并且测定在X轴方向上和Z轴方向上产生的变形量作为电阻值。

Description

测力传感器以及测力传感器的制造方法

技术领域

本发明涉及测定载荷的测力传感器以及测力传感器的制造方法。

背景技术

公知有利用应变传感器对载荷进行测定的测力传感器(专利文献1～3)。如专利文献1～3所述，以往的测力传感器具有沿一个方向延伸的横梁(梁)，并通过将应变传感器设置在横梁上，从而能够测定主要施加于横梁的一个方向上的载荷。

专利文献1：日本特公平6-95036号公报

专利文献2：日本特公平7-104218号公报

专利文献3：日本特许登记第2509848号公报

发明人们为了进行振动试验，研究利用测力传感器测定由被测定物的振动而产生的载荷。例如，对安装于机动车车身的散热器的振动进行测定，或者对在设置于公园等的游乐设施等上产生的振动进行测定等。在这样的振动试验中，由于施加于被测定物的载荷并非为一个方向，因此要求同时测定多个方向上的振动。

上述专利文献1～3中所记载的测力传感器由于仅具有沿一个方向延伸的横梁，并仅在该横梁上安装有应变传感器，因此测定方向主要为一个方向，不能同时测定例如X轴方向和Y轴方向这两个方向的载荷。发明人们为了满足上述要求，将测定方向为一个方向的测力传感器配置成各自的测定方向朝着正交的朝向并且将它们上下地两个重叠，从而研究同时地测定正交的两个方向上的载荷。这两个测力传感器通过螺栓的紧固而连结。

然而，在通过螺栓紧固来连结两个测力传感器而成的连结型测力传感器中，如果用于振动试验，则存在由于振动而螺栓松动的缺点。如果螺栓松动，则刚性降低，测定误差增大。虽然为了确保较高的刚性，存在为了提高紧固力而加宽螺栓的直径或者增加根数的方法，但是如果这样，则导致测力传感器大型化。在测力传感器的设置空间狭窄的情况下，由于大型化也较困难，因此在连结型测力传感器中无法确保所需的刚性。

发明内容

本发明的目的在于提供即使小型也具有较高的刚性并且能够正确地测定施加于被测定物的多个方向上的载荷的测力传感器以及测力传感器的制造方法。

为了达成上述目的，本发明的测力传感器包括保持件、连结部、第一横梁、第二横梁、第一应变传感器、第二应变传感器以及狭缝。保持件的平面形状具有框形状。连结部配置于保持件内，与被测定物连结。第一横梁在以保持件呈现框形状的平面为包含正交的X轴以及Y轴的XY平面的情况下，配置于保持件内，并在XY平面上沿X轴方向延伸。第一横梁与保持件以及连结部一体地形成，且一端与保持件连接，另一端与连结部连接。第二横梁配置于保持件内，并在XY平面上沿Y轴方向延伸。第二横梁与保持件以及连结部一体地形成，且一端与保持件连接，另一端与连结部连接，进一步，配置于在与XY平面正交的Z轴方向上与第一横梁分开的位置。第一应变传感器安装于第一横梁，并且用于对由于从被测定物施加于连结部的载荷而在在第一横梁上产生的Y轴方向上的变形量进行测定。第二应变传感器安装于第二横梁，并且用于对由于从被测定物施加于连结部的载荷而在第二横梁上产生的X轴方向上的变形量进行测定。狭缝为了在Z轴方向上将连结部分离成与第一横梁连接的第一连结部和与第二横梁连接的第二连结部这两个部分，而相对于连结部在与XY平面平行的方向上形成。

优选的是，第一横梁由在X轴方向上分别从第一连结部的两端向保持件的内周面各延伸两根、合计四根的横梁构成，并且，第二横梁由在Y轴方向上分别从第二连结部的两端向保持件的内周面各延伸两根、合计四根的横梁构成。优选的是，在将n设为正整数的情况下，第一应变传感器以及第二应变传感器由分别以4n个为一组的电阻器的组合构成。优选的是，在构成第一横梁的合计四根的各横梁上各设置有至少一个构成第一应变传感器的电阻器，在构成第二横梁的合计四根的各横梁上各设置有至少一个构成第二应变传感器的电阻器。

优选的是，第一横梁以及第二横梁分别为剖面是四边形的四棱柱，并且四个侧面中的两个侧面与XY平面平行地配置，且其他两个侧面以与XY平面正交的朝向配置，构成第一应变传感器以及第二应变传感器的各个电阻器在第一横梁或者第二横梁上安装于与XY平面正交的侧面。优选的是，在第一横梁以及第二横梁的至少一方，在与XY平面平行的侧面安装有用于测定Z轴方向上的变形量的第三应变传感器。

优选的是，保持件的平面形状为圆环形状，连结部的平面形状为四边形，配置于四边形的中心与圆环形状的中心一致的位置。优选的是，被测定物与第一连结部以及第二连结部的一方连结，固定被测定部的固定部与另一方连结。

本发明的测力传感器的制造方法包含主体部形成工序、连结部分离工序以及应变传感器安装工序。在主体部形成工序中，形成主体部，该主体部一体地形成有保持件、连结部、第一横梁以及第二横梁，所述保持件的平面形状具有框形状，所述连结部配置于保持件内并与被测定物连结，所述第一横梁在以保持件呈现框形状的平面为包含正交的X轴以及Y轴的XY平面的情况下，配置于保持件内，在框内沿X轴方向延伸，所述第一横梁的一端与保持件连接，所述第一横梁的另一端与连结部连接，所述第二横梁配置于保持件内，在XY平面上沿Y轴方向延伸，所述第二横梁的一端与保持件连接，所述第二横梁的另一端与连结部连接，进一步，所述第二横梁配置于在与XY平面正交的Z轴方向上与第一横梁分开的位置。在连结部分离工序中，在形成主体部后，对于连结部，形成在与XY平面平行的方向上贯通连结部的狭缝，从而在Z轴方向上将连结部分离成与第一横梁连接的第一连结部和与第二横梁连接的第二连结部这两个部分。在应变传感器安装工序中，在第一横梁上安装第一应变传感器，并且在第二横梁上安装第二应变传感器，所述第一应变传感器用于对由于从被测定物施加于连结部的载荷而在第一横梁上产生的Y轴方向上的变形量进行测定，所述第二应变传感器用于对由于从被测定物施加于连结部的载荷而在第二横梁上产生的X轴方向上的变形量进行测定。另外，优选的是，狭缝通过电火花线切割加工或者激光加工而形成。

根据本发明，由于一体地形成保持件、连结部、沿X轴方向延伸的第一横梁以及沿Y轴方向延伸的第二横梁，因此即使小型刚性也较高。并且，由于刚性较高，因此能够对用第一横梁和第二横梁分别测定的X轴方向上和Y轴方向上的载荷进行正确地测定。

另外，由于即使小型也能够确保较高的刚性，因此能够使Z轴方向上的厚度较薄。由此，也能够在狭窄的空间设置。

附图说明

图1是本发明的测力传感器的立体图。

图2是切除测力传感器的一部分后的立体图。

图3是测力传感器的俯视图。

图4是沿图3的IV-IV线切断后的纵向剖视图。

图5是沿图3的V-V线切断厚的纵向剖视图。

图6是说明测力传感器的制造方法的立体图。

图7是说明测力传感器的使用状态的主要部分剖视图。

图8是说明本发明的变形例的立体图。

具体实施方式

如图1所示，测力传感器2包括：主体部3和多个应变传感器4～7(参照图2)。主体部3由例如不锈钢等金属形成，并具有保持件8、第一连结部9以及第二连结部10(参照图2)、第一横梁11以及第二横梁12(参照图2)。保持件8的平面形状为框形状，具体而言，为圆环形状。这里，设保持件8呈现框形状的平面为包含正交的X轴以及Y轴的XY平面，并设与XY平面正交的保持件8的厚度方向为Z轴。另外，设包含X轴以及Z轴的平面为XZ平面，设包含Y轴以及Z轴的平面为YZ平面。

如图2所示，在保持件8的内部空间配置有第一连结部9以及第二连结部10。如后述的那样，第一连结部9以及第二连结部10在两者一体地形成后，在Z轴方向上沿上下分离。在第一连结部9以及第二连结部10之间形成有狭缝13，狭缝13在分离加工时被形成。另外，贯通保持件8的一部分而形成的切口14在形成狭缝13时被同时地形成。

如图3～图5所示，第一连结部9以及第二连结部10的XY平面内的平面形状为四边形，并且第一连结部9以及第二连结部10配置于与形成为圆环形状的保持件8中心一致的位置。第一连结部9以及第二连结部10分别在中心形成有用于连结被测定物的内螺纹部9a、10a。第一连结部9以及第二连结部10由于原本为一体，因此X轴方向以及Y轴方向的位置相互重叠。另外，内螺纹部9a、10a的中心与保持件8的中心一致。

第一横梁11在保持件8的框内沿X轴方向延伸，并与保持件8以及第一连结部9一体地形成，轴方向的一端与保持件8连接，另一端与第一连结部9连接。第一横梁11由在X轴方向上从第一连结部9的两端即第一连结部9的相对的侧面9b、9c分别向保持件8各延伸两根、合计四根的横梁11a～11d构成。横梁11a～11d分别为剖面是四边形的四棱柱，并且四个侧面中的两个侧面与XY平面平行地配置，其他两个侧面以与XZ平面平行的朝向配置，其中，所述XZ平面与XY平面正交。

第二横梁12在保持件8的框内沿Y轴方向延伸，并与保持件8以及第二连结部10一体地形成，轴方向的一端与保持件8连接且另一端与第二连结部10连接。另外，第二横梁12配置于与第一横梁11在Z轴方向上分开的位置。第二横梁12由在Y轴方向上从第二连结部10的两端即第二连结部10的相对的侧面10b、10c分别向保持件8各延伸两根、合计四根的横梁12a～12d构成。横梁12a～12d分别为剖面是四边形的四棱柱，并且四个侧面中的两个侧面与XY平面平行地配置，其他的两个侧面以与YZ平面平行的朝向配置，其中，所述YZ平面与XY平面正交。横梁12a～12d具有与横梁11a～11d相同的宽度以及长度。

若被测定物振动，则载荷施加于第一连结部9以及第二连结部10，由于该载荷，在与第一连结部9连接的第一横梁11以及与第二连结部10连接的第二横梁12上产生变形。

优选的是，第一应变传感器4以及第二应变传感器5分别由以4n个(n为正整数)为一组的电阻器的组合构成。这是由于众所周知应变传感器利用以四个电阻器的组合为最小结构的惠斯顿电桥电路的情况较多。在本实施方式中，第一应变传感器4以及第二应变传感器5由以四个为一组的电阻器4a～4d、5a～5d的组合构成。电阻器4a～4d、5a～5d例如由在较薄的绝缘体上安装金属箔而成。金属箔例如通过将细长的帯状的箔配置成锯齿状，从而整体形成为四边形板状。

第一应变传感器4安装于第一横梁11，并对在第一横梁11上产生的主要为Y轴方向上的变形量进行测定。第一横梁11沿X轴方向延伸，若载荷从Y轴方向施加于第一连结部9，则第一横梁11在Y轴方向上变形。在构成第一横梁11的横梁11a～11d上各设置有一个构成第一应变传感器4的电阻器4a～4d。各个电阻器4a～4d在第一横梁11上通过粘结而安装于与XY平面平行的侧面。由此，电阻器4a～4d各自的电阻值与第一横梁11的Y轴方向上的变形量对应地变化。

第二应变传感器5安装于第二横梁12，并对在第二横梁12上产生的主要为X轴方向上的变形量进行测定。第二横梁12沿Y轴方向延伸，若载荷从X轴方向施加于第二连结部10，则第二横梁12在X轴方向上变形。在构成第二横梁12的横梁12a～12d上各设置有一个构成第二应变传感器5的电阻器5a～5d。各个电阻器5a～5d在第二横梁12上通过粘结而安装于与XY平面平行的侧面。由此，电阻器5a～5d各自的电阻值与第二横梁12的X轴方向上的变形量对应地变化。另外，在构成第一应变传感器4以及第二应变传感器5的电阻器分别为八个或者八个以上的情况下，在各横梁11a～11d、12a～12d上分别设置多个电阻器。

第三应变传感器6、7分别安装于第一横梁11以及第二横梁12，并对分别在第一横梁11以及第二横梁12上产生的主要为Z轴方向上的变形量进行测定。由于与第一应变传感器4以及第二应变传感器5同样的理由，优选第三应变传感器6、7分别由以4n个(n为正整数)为一组的电阻器的组合构成。在本实施方式中，第三应变传感器6、7由以四个为一组的电阻器6a～6d、7a～7d的组合构成。电阻器6a～6d、7a～7d使用与电阻器4a～4d、5a～5d相同的电阻器。

若载荷从Z轴方向施加于第一连结部9，则第一横梁11在Z轴方向上变形。在横梁11a～11d上各设置有一个构成第三应变传感器6的电阻器6a～6d。各个电阻器6a～6d在第一横梁11上通过粘结而安装于与XY平面正交且与X轴平行的侧面、即与XZ面平行的侧面。由此，电阻器6a～6d各自的电阻值与第一横梁11的Z轴方向上的变形量对应地变化。

与第一横梁11相同，若载荷从Z轴方向施加于第二连结部10，则第二横梁12在Z轴方向上变形。在横梁12a～12d上各设置有一个构成第三应变传感器7的电阻器7a～7d。各个电阻器7a～7d在第二横梁12上通过粘结而安装于与XY平面正交且与Y轴平行的侧面、即与YZ面平行的侧面。由此，电阻器7a～7d各自的电阻值与第二横梁12的Z轴方向上的变形量对应地变化。

另外，在构成第三应变传感器6、7的电阻器分别为八个或者八个以上的情况下，在各横梁11a～11d、12a～12d上分别设置多个电阻器。并且，在本实施方式中，第三应变传感器6、7分别安装于第一横梁11以及第二横梁12，但并不限于此，也可以仅安装于第一横梁11以及第二横梁12的任一方。

在各应变传感器4～7中，按电阻器4a～4d、5a～5d、6a～6d、7a～7d的组合接线，从而形成公知的惠斯顿电桥电路。另外，在构成各应变传感器4～7的四个一组的电阻器为多组的情况下，可以在惠斯顿电桥电路的各边串联连接多个电阻器，或者也可以在各组中分别形成多个惠斯顿电桥电路。

将由各应变传感器4～7形成的惠斯顿电桥电路的输出接线到例如日本特公平7-104218号公报中所记载的那样的与以往相同的测定电路，将与电阻值的变化对应的测定电压作为测定数据向外部输出。另外，对各应变传感器4～7进行接线的线缆(未图示)穿过在保持件8形成的贯通孔15而被引出到外部。

如上所述，构成第一应变传感器4的电阻器4a～4d的电阻值与第一横梁11的Y轴方向上的变形量对应地变化。并且，构成第三应变传感器6的电阻器6a～6d的电阻值与第一横梁11的Z轴方向上的变形量对应地变化。因此，根据由电阻器4a～4d以及电阻器6a～6d构成的各个惠斯顿电桥电路的输出，能够对主要为Y轴以及Z轴方向上的变形量进行测定。

另一方面，构成第二应变传感器5的电阻器5a～5d的电阻值与第二横梁12的X轴方向上的变形量对应地变化。并且，构成第三应变传感器7的电阻器7a～7d的电阻值与第二横梁12的Z轴方向上的变形量对应地变化。因此，根据由电阻器5a～5d以及电阻器7a～7d构成的各个惠斯顿电桥电路的输出，能够对主要为X轴以及Z轴方向上的变形量进行测定。

接着，参照图6对测力传感器2的制造方法进行说明。主体部3例如通过加工圆柱形状的不锈钢材而形成。在主体部形成工序中，通过切削加工、钻头的开孔加工以及电火花线切割加工等，形成具有保持件8、第一横梁11、第二横梁12及连结部20的半成品状态的主体部3。例如，主体部3的外形通过切削加工而形成，此后，通过对切削加工、电火花线切割加工进行组合，从而形成保持件8与连结部20、各横梁11、12之间的空隙。

由此，形成主体部3，所述主体部3一体地形成有圆环状的保持件8、在保持件8的内部空间配置的连结部20及对保持件8的内周面与连结部20的外周面进行连接的第一横梁11以及第二横梁12。另外，通过该主体部形成工序形成的连结部20为未分离成第一连结部9以及第二连结部10这两个部分的分离前的状态。

接着，进行通过电火花线切割加工而分离第一连结部9以及第二连结部10的连结部分离工序。如图6所示，在该工序中，首先，通过利用钻头的开孔加工等形成从保持件8的外周面8a穿过保持件8的内部并且向相对侧的外周面8a贯通的贯通孔21。该贯通孔21在Z轴方向上在第一横梁11以及第二横梁12之间的位置且例如与Y轴平行地形成。在该贯通孔21穿过电极丝22。此时，优选将电极丝22配置于与连结部20的侧面相接的位置以便电极丝22能够可靠地分离连结部20。

保持此状态，在沿着电极丝22的轴方向的履带上移动电极丝22并且设为放电状态。若沿与电极丝22正交的X轴方向按压主体部3，并将连结部20朝向电极丝22推入而使连结部20移动，则能够形成贯通连结部20的狭缝13。由此，通过形成狭缝13，从而将连结部20分离成第一连结部9以及第二连结部10，进而完成主体部3。并且，在应变传感器安装工序中，若通过粘结将应变传感器4～7安装到第一横梁11以及第二横梁12，则完成测力传感器2。

图7示出将第一实施方式的测力传感器2安装于被测定物的一例。该测力传感器2安装于作为被测定物的散热器31与设置于机动车的车身并固定有散热器31的固定部32之间。测力传感器2代替原本安装于散热器31与固定部32之间的橡胶衬套而被安装。

另外，优选将测力传感器2分别安装于安装有散热器31的多个固定部32而进行测定。第一连结部9通过使螺栓33与内螺纹部9a螺合来与散热器31的支撑件31a连结。第二连结部10通过使螺栓34与内螺纹部10a螺合来与固定部32连结。并且，各应变传感器4～7与测定电路接线，并向外部输出测定电压。

若在上述安装状态下使机动车行驶，则由于散热器31以及固定部32的振动，施加于第一连结部9以及第二连结部10的载荷使第一横梁11以及第二横梁12的X、Y、Z轴方向产生变形。并且，各应变传感器4～7的电阻值与第一横梁11以及第二横梁12的变形量对应地变化，并且将与电阻值对应的测定电压作为测定数据向外部输出。由此，能够对施加于第一连结部9以及第二连结部10的X、Y、Z轴方向上的载荷进行测定。

如上所述，在测力传感器2中，由于具有保持件8、第一连结部9以及第二连结部10、第一横梁11以及第二横梁12的主体部3一体地形成，因此具有较高的刚性。该测力传感器2由于具有较高的刚性，因此能够对用第一横梁11以及第二横梁12分别测定的Y轴方向上以及X轴方向上的变形量进行正确地测定。第一连结部9以及第二连结部10通过狭缝13而分离，因此不会干扰到相互的运动，第一横梁11以及第二横梁12能够分别在独立的方向上变形，能够进行与正确的变形量对应的电阻值的测定。

并且，由于一体地形成主体部3，因此能够确保较高的刚性，进而能够将Z轴方向上的厚度变薄。因此，能够安装于设在被测定物和固定部之间的原本配置橡胶衬套等的间隙。另外，不会像使相互的横梁正交并使用螺栓对测力传感器彼此进行紧固的连结测力传感器那样出现螺栓松动的情况。

另外，在上述实施方式中，将测力传感器2的保持件8的形状形成为圆环形状，但保持件8的形状并不限于此，只要为将第一连结部9以及第二连结部10配置于内部的框状即可，例如，如图8所示，也可以为四边形的框状。此情况下，优选配置于第一连结部9以及第二连结部10的中心与保持件8的中心一致的位置，进一步将构成保持件8的四边8a～8d配置于与第一连结部9以及第二连结部10的侧面平行的位置。并且，第一连结部9以及第二连结部10的形状不限于四边形，只要为能够与被测定物连结的形状即可，例如也可以为圆柱形状。

另外，在上述实施方式中，通过电火花线切割加工形成分离第一连结部9以及第二连结部10的狭缝13，但是形成狭缝13的方法不限于此，例如，也可以通过激光加工而形成。

在上述实施方式中，被测定物与第一连结部9连结，但并不限于此，只要被测定物与第一连结部9以及第二连结部10的一方连结并且固定部与另一方连结即可。另外，在上述实施方式中，在第一横梁11的各横梁11a～11d上各设置有一个电阻器4a～4d和一个电阻器6a～6d，但并不限于此，也可以仅设置有测定Y轴方向上的变形量的电阻器4a～4d。并且，对于第二横梁12的各横梁12a～12d也相同，也可以仅设置有测定X轴方向上的变形量的电阻器5a～5d。

在上述实施方式中，作为安装有本发明的测力传感器的被测定物的一例，列举了在机动车的固定部上安装的散热器，但作为被测定物并不限于此，也可以将例如散热器以外的机动车的零件、在公园等设置的游乐设施以及贮油箱等建筑物作为被测定物而应用。

标号说明

2测力传感器

3测力传感器主体

4第一应变传感器

5第二应变传感器

6、7第三应变传感器

8保持件

9第一连结部

10第二连结部

11第一横梁

12第二横梁

13狭缝

22电极丝。

Claims (10)

1.一种测力传感器，其特征在于，包括：

保持件，平面形状具有框形状；

连结部，配置于所述保持件内，与被测定物连结；

第一横梁，在以所述保持件呈现所述框形状的平面为包含正交的X轴以及Y轴的XY平面的情况下，配置于所述保持件内，在所述XY平面内沿所述X轴方向延伸，与所述保持件以及所述连结部一体地形成，所述第一横梁的一端与所述保持件连接，所述第一横梁的另一端与所述连结部连接；

第二横梁，配置于所述保持件内，在所述XY平面内沿所述Y轴方向延伸，与所述保持件以及所述连结部一体地形成，所述第二横梁的一端与所述保持件连接，所述第二横梁的另一端与所述连结部连接，所述第二横梁配置于在与所述XY平面正交的Z轴方向上与所述第一横梁分开的位置；

第一应变传感器，安装于所述第一横梁，用于对由于从所述被测定物施加于所述连结部的载荷而在所述第一横梁上产生的所述Y轴方向上的变形量进行测定；

第二应变传感器，安装于所述第二横梁，用于对由于从所述被测定物施加于所述连结部的载荷而在所述第二横梁上产生的所述X轴方向上的变形量进行测定；以及

狭缝，为了在所述Z轴方向上将所述连结部分离成与所述第一横梁连接的第一连结部和与所述第二横梁连接的第二连结部这两个部分，而相对于所述连结部在与所述XY平面平行的方向上形成。

2.根据权利要求1所述的测力传感器，其特征在于，

所述第一横梁由在所述X轴方向上分别从所述第一连结部的两端向所述保持件的内周面各延伸两根、合计四根的横梁构成，

所述第二横梁由在所述Y轴方向上分别从所述第二连结部的两端向所述保持件的内周面各延伸两根、合计四根的横梁构成。

3.根据权利要求2所述的测力传感器，其特征在于，

在将n设为正整数的情况下，所述第一应变传感器以及第二应变传感器分别由以4n个为一组的电阻器的组合构成。

4.根据权利要求3所述的测力传感器，其特征在于，

在构成所述第一横梁的所述合计四根的各横梁上各设置有至少一个构成所述第一应变传感器的所述电阻器，

在构成所述第二横梁的所述合计四根的各横梁上各设置有至少一个构成所述第二应变传感器的所述电阻器。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的测力传感器，其特征在于，

所述第一横梁以及所述第二横梁分别为剖面是四边形的四棱柱，四个侧面中的两个侧面与所述XY平面平行地配置，且其他两个侧面以与所述XY平面正交的朝向配置，

构成所述第一应变传感器以及所述第二应变传感器的各个所述电阻器在所述第一横梁或者所述第二横梁上安装于与所述XY平面平行的侧面。

6.根据权利要求5所述的测力传感器，其特征在于，

在所述第一横梁以及所述第二横梁的至少一方，在与所述XY平面正交的侧面安装有用于测定所述Z轴方向上的变形量的第三应变传感器。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的测力传感器，其特征在于，

所述保持件的所述平面形状为圆环形状，

所述连结部的所述平面形状为四边形，所述连结部配置于所述四边形的中心与所述圆环形状的中心一致的位置。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的测力传感器，其特征在于，

所述被测定物与所述第一连结部以及所述第二连结部的一方连结，固定所述被测定部的固定部与另一方连结。

9.一种测力传感器的制造方法，其特征在于，包含：

主体部形成工序，形成主体部，该主体部一体地形成有保持件、连结部、第一横梁以及第二横梁，其中，所述保持件的平面形状具有框形状，所述连结部配置于所述保持件内并与被测定物连结，所述第一横梁在以所述保持件呈现所述框形状的平面为包含正交的X轴以及Y轴的XY平面的情况下，配置于所述保持件内，并在所述框内沿所述X轴方向延伸，所述第一横梁的所述一端与所述保持件连接，所述第一横梁的另一端与所述连结部连接，所述第二横梁配置于所述保持件内，并在所述XY平面内沿所述Y轴方向延伸，所述第二横梁的一端与所述保持件连接，所述第二横梁的另一端与所述连结部连接，所述第二横梁配置于在与所述XY平面正交的Z轴方向上与所述第一横梁分开的位置；

连结部分离工序，在形成所述主体部后，对于所述连结部，形成在与所述XY平面平行的方向上贯通所述连结部的狭缝，从而在所述Z轴方向上将所述连结部分离成与所述第一横梁连接的第一连结部和与所述第二横梁连接的第二连结部这两个部分；以及

应变传感器安装工序，在所述第一横梁上安装第一应变传感器，并且在所述第二横梁上安装第二应变传感器，所述第一应变传感器用于对由于从所述被测定物施加于所述连结部的载荷而在所述第一横梁上产生的所述Y轴方向上的变形量进行测定，所述第二应变传感器用于对由于从所述被测定物施加于所述连结部的载荷而在所述第二横梁上产生的所述X轴方向上的变形量进行测定。

10.根据权利要求9所述的测力传感器的制造方法，其特征在于，

所述狭缝通过电火花线切割加工或者激光加工而形成。