CN105386125A - 一种制备蓝宝石单晶体的控制方法 - Google Patents

一种制备蓝宝石单晶体的控制方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105386125A
CN105386125A CN201510876508.2A CN201510876508A CN105386125A CN 105386125 A CN105386125 A CN 105386125A CN 201510876508 A CN201510876508 A CN 201510876508A CN 105386125 A CN105386125 A CN 105386125A
Authority
CN
China
Prior art keywords
temperature
sapphire
heating
crystal
growth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510876508.2A
Other languages
English (en)
Inventor
李豪
周森安
徐军
吴锋
唐慧丽
李县辉
安俊超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan Sigma Crystal Technology Co Ltd
Original Assignee
Henan Sigma Crystal Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Henan Sigma Crystal Technology Co Ltd filed Critical Henan Sigma Crystal Technology Co Ltd
Priority to CN201510876508.2A priority Critical patent/CN105386125A/zh
Publication of CN105386125A publication Critical patent/CN105386125A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/16Oxides
    • C30B29/20Aluminium oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明涉及一种制备蓝宝石单晶体的控制方法,该方法采用电阻式发热体加热,设置多个不同温度的加热区,装有蓝宝石单晶体生长物料的坩埚设置在加热区内,通过控制不同加热区的温度及温度变化以控制蓝宝石晶体的生长过程,每个加热区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的温度控制仪表或控温显示屏,通过温度控制仪表或者控温显示屏控制蓝宝石晶体的生长过程,本发明通过不同温区的温度控制精确控制蓝宝石的晶体生长过程的优点,使得制备的蓝宝石单晶体结晶速度快、生长周期短、成品率高、产品成本低,制备的大尺寸蓝宝石单晶体能够满足一些大尺寸特殊光学窗口的要求。

Description

一种制备蓝宝石单晶体的控制方法
技术领域
本发明涉及大片状蓝宝石单晶体制备技术领域,具体的说是一种制备蓝宝石单晶体的控制方法。
背景技术
蓝宝石(α-Al2O3单晶体)具有优良的光学、力学、热学、介电、耐腐蚀等性能,在可见和红外波段具有较高的透光率以及较宽的透过带,与众多其他光学窗口材料相比,有更加稳定的化学性能和热力学性能,如抗酸碱腐蚀,耐高温,高硬度、高拉伸强度、高热导率和显著的抗热冲击性。上述性质使得蓝宝石材料被广泛应用于宽禁带半导体材料如氮化镓的衬底、飞秒激光器基质材料、军事红外窗口、航空航天中波透红外窗口材料等方面,涉及到科学技术、国防与民用工业等诸多领域。蓝宝石单晶体的生长速度一直是制约蓝宝石生长成本居高不下的重要技术瓶颈。
目前,生长蓝宝石单晶体的方法有很多,诸如提拉法、泡生法、导模法、热交换法、温度梯度法、定向结晶法等。但这些方法生长蓝宝石单晶体时,都是通过控制电源输入功率来间接控制蓝宝石单晶体和熔融体界面处的温度,忽略了发热体电阻随温度的变化关系。仅依靠调节电源输入功率并不能及时响应和反馈蓝宝石单晶体和熔融体界面处的温度变化,导致不能实现蓝宝石单晶体的快速生长。要实现蓝宝石单晶体的快速生长,必须精确控制蓝宝石单晶体和熔融体界面处的温度。
发明内容
针对上述现有技术中仅依靠调节电源输入功率并不能及时响应和反馈蓝宝石单晶体和熔融体界面处的温度变化,导致不能实现蓝宝石单晶体的快速生长的缺陷,本发明提供一种制备蓝宝石单晶体的控制方法。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:
一种制备蓝宝石单晶体的控制方法,该方法采用电阻式发热体加热,设置多个不同温度的加热区,装有蓝宝石单晶体生长物料的坩埚设置在加热区内,通过控制不同加热区的温度及温度变化以控制蓝宝石晶体的生长过程,每个加热区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的温度控制仪表或控温显示屏,通过温度控制仪表或者控温显示屏控制蓝宝石晶体的生长过程,制备过程具体包括装料、关门、抽真空、通惰性气体、加热、调节各加热区温度、原料熔化、接种、启动移动装置、晶体生长、晶体生长结束、降温、打开炉门及取出晶体,整个结晶过程,通过调节不同加热区温度变化,控制晶体生长;
所述的电阻式发热体为钨发热体、钼发热体、石墨发热体或二硼化锆复合陶瓷发热体;
所述温度控制仪表有一块或多块;
所述控温显示屏上有一个温度显示模块或多个温度显示模块;
所述温度控制仪表的其中一套接线端通过补偿导线与温度传感器相连接,温度传感器为热电偶或光学测温仪表。
本发明的有益效果:
本发明提供的制备蓝宝石单晶体的控制方法,采用电阻式发热体加热,设置不同温区,通过控制不同温区的温度及温度变化控制蓝宝石晶体的生长过程,每个温区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的温度控制仪表或者控温显示屏,通过温度控制仪表或者控温显示屏控制蓝宝石晶体的生长过程,通过不同温区的温度控制精确控制蓝宝石的晶体生长过程的优点,使得制备的蓝宝石单晶体结晶速度快、生长周期短、成品率高、产品成本低,制备的大尺寸蓝宝石单晶体能够满足一些大尺寸特殊光学窗口的要求。
附图说明
图1本发明控制面板外观示意图一;
图2本发明控制面板外观示意图二;
图3本发明显示屏外观示意图一;
图4本发明显示屏外观示意图二。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明做进一步的阐述。
实施例1
一种制备蓝宝石单晶体的控制方法,该方法采用钨发热体加热,设置多个不同温度的加热区,装有蓝宝石单晶体生长物料的坩埚设置在加热区内,通过控制不同加热区的温度及温度变化以控制蓝宝石晶体的生长过程,每个加热区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的温度控制仪表,通过温度控制仪表控制蓝宝石晶体的生长过程,制备过程具体包括装料、关门、抽真空、通惰性气体、加热、调节各加热区温度、原料熔化、接种、启动移动装置、晶体生长、晶体生长结束、降温、打开炉门及取出晶体,整个结晶过程,通过调节不同加热区温度变化,控制晶体生长的最佳条件;所述温度控制仪表有一块;所述温度控制仪表的其中一套接线端通过补偿导线与温度传感器相连接,温度传感器为热电偶,控制面板外观示意图如图1所示。
实施例2
一种制备蓝宝石单晶体的控制方法,该方法采用钼发热体加热,设置多个不同温度的加热区,装有蓝宝石单晶体生长物料的坩埚设置在加热区内,通过控制不同加热区的温度及温度变化以控制蓝宝石晶体的生长过程,每个加热区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的多个温度控制仪表,通过温度控制仪表控制蓝宝石晶体的生长过程,制备过程具体包括装料、关门、抽真空、通惰性气体、加热、调节各加热区温度、原料熔化、接种、启动移动装置、晶体生长、晶体生长结束、降温、打开炉门及取出晶体,整个结晶过程,通过调节不同加热区温度变化,控制晶体生长的最佳条件;所述温度控制仪表有3块;所述温度控制仪表的其中一套接线端通过补偿导线与温度传感器相连接,温度传感器为光学测温仪表,控制面板外观示意图如图2所示。
实施例3
一种制备蓝宝石单晶体的控制方法,该方法采用石墨发热体加热,设置多个不同温度的加热区,装有蓝宝石单晶体生长物料的坩埚设置在加热区内,通过控制不同加热区的温度及温度变化以控制蓝宝石晶体的生长过程,每个加热区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的控温显示屏,通过控温显示屏控制蓝宝石晶体的生长过程,制备过程具体包括装料、关门、抽真空、通惰性气体、加热、调节各加热区温度、原料熔化、接种、启动移动装置、晶体生长、晶体生长结束、降温、打开炉门及取出晶体,整个结晶过程,通过调节不同加热区温度变化,控制晶体生长的最佳条件;所述控温显示屏上有一个温度显示模块,控制面板外观示意图如图3所示。
实施例4
一种制备蓝宝石单晶体的控制方法,该方法采用二硼化锆复合陶瓷发热体加热,设置多个不同温度的加热区,装有蓝宝石单晶体生长物料的坩埚设置在加热区内,通过控制不同加热区的温度及温度变化以控制蓝宝石晶体的生长过程,每个加热区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的控温显示屏,通过控温显示屏控制蓝宝石晶体的生长过程,制备过程具体包括装料、关门、抽真空、通惰性气体、加热、调节各加热区温度、原料熔化、接种、启动移动装置、晶体生长、晶体生长结束、降温、打开炉门及取出晶体,整个结晶过程,通过调节不同加热区温度变化,控制晶体生长的最佳条件;所述控温显示屏上有3个温度显示模块,控制面板外观示意图如图4所示。
本发明的整个结晶过程,通过调节不同温区温度变化,探索晶体生长的最佳条件,根据最佳条件,实现晶体生长速度最佳,成品率最佳,成本最佳,节能最佳效果。本发明通过不同温区的温度控制精确控制蓝宝石的晶体生长过程的优点,使得制备的蓝宝石单晶体结晶速度快、生长周期短、成品率高、产品成本低,制备的大尺寸蓝宝石单晶体能够满足一些大尺寸特殊光学窗口的要求。

Claims (5)

1.一种制备蓝宝石单晶体的控制方法,其特征在于:该方法采用电阻式发热体加热,设置多个不同温度的加热区,装有蓝宝石单晶体生长物料的坩埚设置在加热区内,通过控制不同加热区的温度及温度变化以控制蓝宝石晶体的生长过程,每个加热区设置一个测温装置,测温装置把温度信号传递给面板上的温度控制仪表或控温显示屏,通过温度控制仪表或者控温显示屏控制蓝宝石晶体的生长过程,制备过程具体包括装料、关门、抽真空、通惰性气体、加热、调节各加热区温度、原料熔化、接种、启动移动装置、晶体生长、晶体生长结束、降温、打开炉门及取出晶体,整个结晶过程,通过调节不同加热区温度变化,控制晶体生长。
2.如权利要求1所述的制备蓝宝石单晶体的控制方法,其特征在于:所述的电阻式发热体为钨发热体、钼发热体、石墨发热体或二硼化锆复合陶瓷发热体。
3.如权利要求1所述的制备蓝宝石单晶体的控制方法,其特征在于:所述温度控制仪表有一块或多块。
4.如权利要求1所述的制备蓝宝石单晶体的控制方法,其特征在于:所述控温显示屏上有一个温度显示模块或多个温度显示模块。
5.如权利要求1所述的制备蓝宝石单晶体的控制方法,其特征在于:所述温度控制仪表的其中一套接线端通过补偿导线与温度传感器相连接,温度传感器为热电偶或光学测温仪表。
CN201510876508.2A 2015-12-03 2015-12-03 一种制备蓝宝石单晶体的控制方法 Pending CN105386125A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510876508.2A CN105386125A (zh) 2015-12-03 2015-12-03 一种制备蓝宝石单晶体的控制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510876508.2A CN105386125A (zh) 2015-12-03 2015-12-03 一种制备蓝宝石单晶体的控制方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105386125A true CN105386125A (zh) 2016-03-09

Family

ID=55418874

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510876508.2A Pending CN105386125A (zh) 2015-12-03 2015-12-03 一种制备蓝宝石单晶体的控制方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105386125A (zh)

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1724722A (zh) * 2005-06-24 2006-01-25 哈尔滨工业大学 大尺寸蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法
CN101736394A (zh) * 2010-01-12 2010-06-16 沈阳工程学院 一种生长光学级金红石单晶体的焰熔炉
CN102051674A (zh) * 2011-01-20 2011-05-11 王楚雯 单晶锭制造装置
KR20110059943A (ko) * 2009-11-30 2011-06-08 (주)에스테크 잉곳성장장치의 멜트 온도 측정방법 및 그 측정장치
CN201942778U (zh) * 2011-02-17 2011-08-24 李欣 多温区蓝宝石单晶生长炉
WO2012054101A1 (en) * 2010-10-21 2012-04-26 Advanced Renewableenergy Co. Llc Crystal growing system and method thereof
CN102597334A (zh) * 2009-09-05 2012-07-18 科里斯科技有限公司 生长蓝宝石单晶的方法和设备
CN102978691A (zh) * 2012-12-13 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统
CN102978689A (zh) * 2012-12-04 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计
CN203593808U (zh) * 2013-09-26 2014-05-14 南京工业大学 单晶炉的自动化控制系统
CN104651934A (zh) * 2014-10-17 2015-05-27 洛阳市西格马炉业有限公司 一种节能型蓝宝石晶体生长炉
CN104651935A (zh) * 2014-10-17 2015-05-27 洛阳市西格马炉业有限公司 一种坩埚上升法制备高品质蓝宝石晶体的方法

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1724722A (zh) * 2005-06-24 2006-01-25 哈尔滨工业大学 大尺寸蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法
CN102597334A (zh) * 2009-09-05 2012-07-18 科里斯科技有限公司 生长蓝宝石单晶的方法和设备
KR20110059943A (ko) * 2009-11-30 2011-06-08 (주)에스테크 잉곳성장장치의 멜트 온도 측정방법 및 그 측정장치
CN101736394A (zh) * 2010-01-12 2010-06-16 沈阳工程学院 一种生长光学级金红石单晶体的焰熔炉
WO2012054101A1 (en) * 2010-10-21 2012-04-26 Advanced Renewableenergy Co. Llc Crystal growing system and method thereof
CN102051674A (zh) * 2011-01-20 2011-05-11 王楚雯 单晶锭制造装置
CN201942778U (zh) * 2011-02-17 2011-08-24 李欣 多温区蓝宝石单晶生长炉
CN102978689A (zh) * 2012-12-04 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计
CN102978691A (zh) * 2012-12-13 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统
CN203593808U (zh) * 2013-09-26 2014-05-14 南京工业大学 单晶炉的自动化控制系统
CN104651934A (zh) * 2014-10-17 2015-05-27 洛阳市西格马炉业有限公司 一种节能型蓝宝石晶体生长炉
CN104651935A (zh) * 2014-10-17 2015-05-27 洛阳市西格马炉业有限公司 一种坩埚上升法制备高品质蓝宝石晶体的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105401216A (zh) 一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的方法及装置
CN105369344A (zh) 一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶的方法及装置
CN104651934B (zh) 一种节能型蓝宝石晶体生长炉
CN205382225U (zh) 一种蓝宝石晶体生长炉
CN105350069A (zh) 一种蓝宝石晶体生长炉及制备蓝宝石晶体的方法
CN202989351U (zh) 基于多加热器的铸锭炉热场结构
CN105420809A (zh) 温场竖直方向梯度移动法制备片状单晶的方法及装置
CN205313715U (zh) 一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置
CN104250852A (zh) 蓝宝石晶体生长装置及生长方法
CN103205799A (zh) 一种生长c向白宝石单晶体的方法
CN105112990B (zh) 一种微下拉定向生长异型近器件倍频晶体的方法
CN103422163A (zh) 生长蓝宝石单晶的设备及方法
CN104483343B (zh) 晶化热处理的温度测量方法
CN105369361B (zh) 一种温场移动制备蓝宝石单晶体的方法及装置
CN105386125A (zh) 一种制备蓝宝石单晶体的控制方法
CN205329205U (zh) 一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶的装置
CN203530480U (zh) 生长蓝宝石单晶的设备
CN105369345A (zh) 一种用于制备蓝宝石单晶体的坩埚和制备方法
CN102787350B (zh) 下降法生长500-1000mm长锗酸铋晶体的装置与方法
CN108193270B (zh) 一种三元黄铜矿半导体晶体砷锗镉制备方法
CN105463569A (zh) 一种片状蓝宝石单晶体生长界面温度测量及控制方法
CN105401215B (zh) 一种用于制备大片状蓝宝石单晶体的装置及方法
CN201031264Y (zh) 多元化合物半导体单晶的生长装置
CN1307329C (zh) 晶体的可视化小角度倾斜温梯冷凝生长装置及其生长方法
CN1993503B (zh) 从熔化物生长单晶的方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20160309

RJ01 Rejection of invention patent application after publication