CN105308003A - 铁氧体烧结板和铁氧体烧结片 - Google Patents

铁氧体烧结板和铁氧体烧结片 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种铁氧体烧结板和铁氧体烧结片，该铁氧体烧结板的特征在于，具有以氧化物换算计包括47～50mol％的Fe2O3、7～26mol％的NiO、13～36mol％的ZnO、7～12mol％的CuO、0～1.5mol％的CoO的组成，体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm，厚度为10～60μm，该铁氧体烧结片的特征在于，在该铁氧体烧结板的表面设置槽，进一步设置粘接层和/或保护层，500kHz的磁导率的实部为120～800，磁导率的虚部为0～30，磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积(μm)为5000～48000。本发明的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的体积电阻率高，μ′大，μ"小，因此，能够适合作为数字转换器系统中的屏蔽板使用。

Description

铁氧体烧结板和铁氧体烧结片
技术领域
本发明提供铁氧体烧结板和在该铁氧体烧结板的表面设置有粘接层和/或保护层的铁氧体烧结片。更详细而言，提供在便携终端的数字转换器系统的检测器背面配置的屏蔽板。
背景技术
在智能手机、平板、个人电脑等便携终端，搭载有触控笔等由坐标指示器检测液晶画面上的位置信息作为数字信息的数字转换器系统。该系统使用100kHz～1MHz左右的交流磁场，利用坐标指示器与检测器之间的磁耦合检测位置信息。这样，为了提高读取灵敏度和位置精度，在检测器的背面配置屏蔽板，抑制来自外部的不需要磁场的影响。
为了实现读取灵敏度、位置精度的提高、轻质化、薄型化这样的市场需求，作为该屏蔽板，公开了使用铁氧体板或将铁氧体颗粒分散于橡胶或塑料得到的片状部件的技术(专利文献1)；使用由坡莫合金、非晶态金属构成的磁性薄板的技术(专利文献2)；使用铁氧体、铁氧体含有体、羰基铁压粉体、坡莫合金压粉体、铁硅铝磁性合金压粉体的技术(专利文献3)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平6-149450号公报
专利文献2：日本特开平6-309085号公报
专利文献3：日本特开平8-221176号公报
发明内容
发明所要解决的课题
为了提高便携终端的读取灵敏度、位置精度，需要增大屏蔽材料的电阻率，抑制涡电流的发生，增大屏蔽板的磁导率的实部(μ′)。另外，为了形成有效的系统，需要减小磁导率的虚部(μ")，减小检测电路的损耗。
另外，为了便携终端的轻质化、薄型化，需要使屏蔽材料的厚度为数十μm程度。
这样使屏蔽材料的厚度变薄时，需要考虑μ′与厚度的关系。磁场的检测中使用的环形天线的电感依赖于μ′和屏蔽板的厚度，μ′越大，另外屏蔽板的厚度越厚，则电感越大。即，μ′和厚度的积越大，位置信息的读取灵敏度、位置精度越高。因此，在将屏蔽材料薄膜化时，不仅是μ′和厚度，还需要将μ′和厚度的积设定在适当的范围。
在专利文献1中，公开了作为配置于检测器背面的屏蔽板使用铁氧体板的技术，但是没有考虑将铁氧体控制得较薄。另外，也公开了使用使铁氧体颗粒分散于橡胶或塑料得到的片状部件的技术。铁氧体在块体的状态下具有高的μ′，将其形成为颗粒并分散于树脂等得到的片材的μ′，由于在颗粒间存在非磁性的树脂，所以上限为20左右。因此，为了提高读取灵敏度、位置精度，需要更高的μ′。
专利文献2中，公开了作为该屏蔽板使用由坡莫合金、非晶态金属构成的磁性薄板的技术。参照其实施例，该磁性薄板的有效磁导率在频率提高时减少，因此，可知由涡电流引起的磁损耗(μ")变大。因此，检测电路整体的损耗也变大，难以说是有效的系统。
专利文献3中，公开了作为该屏蔽板使用羰基铁压粉体、坡莫合金压粉体、铁硅铝磁性合金压粉体的技术，由于在磁性颗粒间存在间隙，所以压粉体的μ′的上限为50左右。因此，为了提高读取灵敏度、位置精度，需要更高的μ′。
为此，为了在数字转换器系统中实现充分的读取灵敏度、位置精度，本发明的技术课题在于提供一种电阻率高、磁导率中的实部μ′大、虚部μ"小的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片。
用于解决课题的方法
上述技术课题能够通过如下所述的本发明来完成。
即，本发明为一种铁氧体烧结板，其特征在于，具有以氧化物换算包括47～50mol％的Fe2O3、7.0～26mol％的NiO、13～36mol％的ZnO、7.0～12mol％的CuO、0～1.5mol％的CoO的组成，体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm，厚度为10～60μm(本发明1)。
另外，本发明为本发明1所述的铁氧体烧结板，其中，500kHz的磁导率的实部为160～1200，磁导率的虚部为0～90(本发明2)。
另外，本发明为本发明1或2所述的铁氧体烧结板，其中，铁氧体烧结板的500kHz的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为7500～72000(本发明3)。
另外，本发明为本发明1～3中任一项所述的铁氧体烧结板，其中，在至少一个表面形成有至少一个槽(本发明4)。
另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的至少一个表面设置有粘接层或保护层(本发明5)。
另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的一个表面设置有粘接层，在相反侧的表面设置有保护层(本发明6)。
另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的两个面设置有粘接层(本发明7)。
另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的两个面设置有保护层(本发明8)。
另外，本发明为本发明5～8中任一项所述的铁氧体烧结片，其中，铁氧体烧结板分割为小片状(本发明9)。
另外，本发明为本发明9所述的铁氧体烧结片，其中，500kHz的磁导率的实部为120～800，磁导率的虚部为0～30，500kHz的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为5000～48000(本发明10)。
另外，本发明为一种铁氧体烧结板，其体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm，厚度为10～60μm，500kHz的磁导率的实部为160～1200，磁导率的虚部为0～90(本发明11)。
另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm的铁氧体烧结板的至少一个表面设置有粘接层或保护层，上述铁氧体烧结板分割为小片状，该铁氧体烧结片的500kHz的磁导率的实部为120～800，磁导率的虚部为0～30(本发明12)。
另外，本发明为一种数字转换器系统，其特征在于，包括检测器和与检测器相邻配置的屏蔽板，屏蔽板由本发明1～4、11中任一项所述的铁氧体烧结板构成(本发明13)。
另外，本发明为一种数字转换器系统，其特征在于，包括检测器和与检测器相邻配置的屏蔽板，屏蔽板由本发明5～10、12中任一项所述的铁氧体烧结片构成(本发明14)。
发明的效果
本发明的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片由于电阻率高、μ′大、μ"小，适于作为提高数字转换器系统的读取灵敏度、位置精度的屏蔽板。
具体实施方式
更详细地说明本发明的构成，如下所述。
本发明的铁氧体烧结板的体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm。体积电阻率低于1×108Ωcm时，发生涡电流，数字转换器系统的损耗变大。体积电阻率的上限作为本发明的材料本来的特性，为1×1012Ωcm。更优选的体积电阻率为2×108～1×1012Ωcm。
本发明的铁氧体烧结板的组成，以氧化物换算计，为47～50mol％的Fe2O3、7～26mol％的NiO、13～36mol％的ZnO、7～12mol％的CuO、0～1.5mol％的CoO，合计100mol％。其中，也可以含有从原料、制造工序不可避免混入的微量的杂质。
本发明的铁氧体烧结板中的Fe2O3的组成低于47mol％时，μ′变小。超过50mol％时，无法进行低温的烧结。更优选的Fe2O3的组成为47～49.5mol％。
本发明的铁氧体烧结板中的NiO的组成低于7mol％时，μ"变大。超过26mol％时，μ′变小。更优选的NiO的组成为7.5～26.0mol％。
本发明的铁氧体烧结板中的ZnO的组成低于13mol％时，μ′变小。超过36mol％时，μ"变大。更优选的ZnO的组成为14.0～35.5mol％。
本发明的铁氧体烧结板中的CuO的组成低于7mol％时，无法进行烧结。超过12mol％时，μ′变小，并且体积电阻率变得低于1×108Ωcm，由此涡流损耗变大，因此，位置信息的读取灵敏度、位置精度劣化，检测电路整体的损耗也变大。更优选的CuO的组成为7.5～11.5mol％。
本发明的铁氧体烧结板中的CoO在需要使μ"进一步减小时含有。其组成超过1.5mol％时，μ′的温度变化变大，故而不优选。
本发明的铁氧体烧结板的厚度为10～60μm。厚度低于10μm的铁氧体烧结板在工业上难以生产。超过60μm时不符合薄膜化的要求，另外，重量变重，因此，也不符合轻质化的要求。
本发明的铁氧体烧结板的500kHz的磁导率的实部μ′优选为160～1200。磁导率的实部μ′低于160时，读取灵敏度、位置精度降低。磁导率的实部μ′超过1200时，虚部μ"变大，因此，数字转换器系统的损耗变大。更优选的磁导率的实部μ′为170～1200。通过根据需要进行的铁氧体烧结板的分割处理，μ′为处理前的约5～8成，因此，铁氧体烧结板和没有进行分割处理的铁氧体烧结片的μ′为160～1200的范围，则能够得到μ′为120～800的分割处理过的铁氧体烧结片。
本发明的铁氧体烧结板的500kHz的磁导率的虚部μ"优选为0～90。作为本发明的材料本来的特性，磁导率的虚部的下限为0。磁导率的虚部μ"超过90时，数字转换器系统的损耗变大。更优选的磁导率的虚部μ"为0～80。通过根据需要进行的铁氧体烧结板的分割处理，μ"比处理前减少，因此，铁氧体烧结板和没有进行分割处理的铁氧体烧结片的μ"为0～90的范围，则能够得到μ"为0～30的分割处理过的铁氧体烧结片。
本发明的铁氧体烧结板中，磁导率的实部μ′和铁氧体烧结板的厚度(μm)的积(μm)优选为7500～72000。上述积的值低于7500时，位置信息的读取灵敏度、位置精度变差。根据磁导率的实部的上限和铁氧体烧结板的厚度的上限，本发明中的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为72000。通过分割处理，μ′减少，因此，铁氧体烧结板和没有进行分割处理的铁氧体烧结片的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为7500～72000的范围，则能够得到磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为5000～48000的分割处理过的铁氧体烧结片。
接着，对本发明的铁氧体烧结片进行阐述。
本发明的铁氧体烧结片在上述铁氧体烧结板的至少一个表面设置有粘接层或保护层。
作为本发明中的粘接层，可以列举双面粘接带。作为双面粘接带，没有特别限制，可以使用以PET膜、聚酰亚胺膜为基材的或者不含基材的公知的双面粘接带。另外，作为粘接层，也可以是在铁氧体烧结板的一个面依次叠层粘接剂、PET膜、聚酰亚胺膜等弯曲性且伸缩性的膜、粘接剂和脱模膜而成的层。根据屏蔽材料的薄膜化要求，粘接层的厚度优选为3～10μm。
通过设置本发明中的保护层能够提高对于分割铁氧体烧结板时的掉粉的可靠性和耐久性。作为该保护层，只要是在使铁氧体烧结片弯曲时能够不断裂地拉伸的树脂即可，没有特别限制，可以例示PET膜、聚酰亚胺膜、含有树脂的涂料等。另外，作为保护层，可以是在铁氧体烧结板的一个面依次叠层粘接剂、PET膜、聚酰亚胺膜等弯曲性且伸缩性的膜而成的层。另外，可以将保护层预先设置两层以上，在铁氧体烧结片的制造工序及其加工工序中保护层发生划痕、污迹、破裂等时，通过依次除去该保护层，能够最终得到在最上层没有划痕、污迹、破裂等的干净的保护层。根据屏蔽材料的薄膜化的要求，保护层的厚度优选为3～10μm。
本发明的没有进行分割处理的铁氧体烧结片中，500kHz的磁导率的实部μ′、磁导率的虚部μ"和磁导率的实部μ′与铁氧体烧结板的厚度(μm)的积(μm)的各数值具有与上述本发明的铁氧体烧结板相同程度的特性。
本发明的铁氧体烧结片为了与弯曲的部分密合贴附，可以预先以在铁氧体烧结板的至少一个表面设置的至少一个槽为起点，使铁氧体烧结板为能够分割的结构。上述槽可以连续地形成也可以断续地形成，另外，也能够通过形成大量微小的凹部来代替槽。槽的剖面没有特别限定，期望为U字型或V字型。
本发明的铁氧体烧结片为了与弯曲的部分密合贴附并且为了防止使用时断裂，优选预先将铁氧体烧结板分割为小片状。例如，可以为预先以在铁氧体烧结板的至少一个表面设置的至少一个槽为起点，对铁氧体烧结板进行分割，或者不形成槽对铁氧体烧结板进行分割而形成为小片状的方法的任意方法。
铁氧体烧结板通过槽分割为任意大小的三角形、四边形、多边形或者这些的组合。例如，三角形、四边形、多边形的一边的长度通常为1～12mm，在被附着物的粘接面为曲面时，一边的长度优选为1mm以上且其曲率半径的1/3以下，更优选为1mm以上且其曲率半径的1/4以下。另外，铁氧体烧结板也可以分割为不定形，而不通过槽分割。
在铁氧体烧结板所形成的槽的开口部的宽度通常优选为250μm以下，更优选为1～150μm。开口部的宽度超过250μm时，铁氧体烧结板的磁导率的降低变大，故而不优选。另外，槽的深度优选为铁氧体烧结板的厚度的1/20～1/4，更优选为1/20～1/6。
本发明的分割处理过的铁氧体烧结片的500kHz的磁导率的实部μ′优选为120～800。磁导率的实部μ′低于120时，读取灵敏度、位置精度变低。磁导率的实部μ′超过800时，虚部μ"变大，因此，数字转换器系统的损耗变大。更优选的磁导率的实部μ′为150～700。
本发明的分割处理过的铁氧体烧结片的500kHz的磁导率的虚部μ"优选为0～30。作为本发明的材料本来的特性，磁导率的虚部μ"的下限为0。磁导率的虚部μ"超过30时，数字转换器系统的损耗变大。更优选的磁导率的虚部μ"为0～25。
本发明的分割处理过的铁氧体烧结片中，磁导率的实部μ′与铁氧体烧结板的厚度(μm)的积(μm)优选为5000～48000。上述积的值低于5000时，位置信息的读取灵敏度、位置精度变差。根据磁导率的实部的上限和铁氧体烧结板的厚度的上限，本发明中的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为48000。
接着，对本发明的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的制造方法进行阐述。
首先，铁氧体粉末能够如下得到：将构成铁氧体的各元素的氧化物、碳酸盐、氢氧化物、草酸盐等的原料以规定的组成比例混合得到的原料混合物、或在水溶液中使各元素沉淀得到的沉淀物在大气中以700～900℃的温度范围进行1～20小时预烧制，之后，进行粉碎。
将所得到的铁氧体粉末和粘合剂树脂混合后，通过粉末压缩成型法、挤出成型法、压延法、挤出法等成型为铁氧体板，根据需要进行脱脂处理，之后进行烧结处理，能够制造铁氧体烧结板。另外，在将铁氧体粉末、粘合剂树脂和溶剂混合之后，在膜或片上用刮刀等进行涂布，得到生片，根据需要进行脱脂处理之后，对所得到的生片进行烧结处理，能够制造铁氧体烧结板。另外，也可以在将所得到的生片叠层多片之后进行烧结。
根据需要在铁氧体烧结板形成槽的情况下，能够在铁氧体板的成型中、成型后或者烧结处理后形成槽。例如，用粉末压缩成型法或者挤出成型法成型时，优选在成型中形成，用压延法或者挤出法成型时，优选在成型后且烧结前形成，经由生片制造烧结铁氧体板时，优选在生片形成。
脱脂处理通常以150～500℃的温度进行。烧结温度通常为850～970℃，优选为870～960℃。烧结时间通常为30～180分钟，优选为30～120分钟。烧结温度低于850℃时，颗粒的烧结变得困难，所得到的铁氧体烧结板的强度不充分，μ′也变低。另外，烧结温度为970℃时，颗粒的烧结充分进行，因此，不需要高到超过970℃。烧结时间低于30分钟时，颗粒的烧结变得困难，所得到的烧结铁氧体板的强度不充分，μ′也低。另外，烧结时间为180分钟时，颗粒的烧结充分进行，因此，不需要长到超过180分钟。
接着，对于所得到的铁氧体烧结板的表面，通过设置粘接层、例如双面粘接带，能够得到铁氧体烧结片。粘接层能够在铁氧体烧结板的一个面或者两个面形成。
另外，对于所得到的铁氧体烧结板的表面，通过设置保护层，能够得到铁氧体烧结片。保护层能够在铁氧体烧结板的一个面或者两个面形成。保护层的形成通过如下操作进行：将构成保护层的树脂的膜或者片经由根据需要的粘接剂粘接在铁氧体烧结板的表面，或者将含有构成保护层的树脂的涂料涂布在铁氧体烧结板的表面。通过形成保护层，能够防止铁氧体烧结板的掉粉。
另外，本发明中，在铁氧体烧结板的一个表面形成粘接层，在另外一个表面形成保护层，由此，能够得到铁氧体烧结片。
为了得到分割处理过的铁氧体烧结片，通过将形成有粘接层和/或保护层的铁氧体烧结片用辊等分割即可。
本发明的数字转换器系统在检测器的背面配置由本发明的铁氧体烧结板或者铁氧体烧结片构成的屏蔽板而构成。实际上，进一步组合坐标指示器而作为数字转换器系统发挥作用。屏蔽板可以与检测器的背面接触配置，另外，也可以以不影响系统的小型化的程度隔开间隔或夹置其它层来配置。
<作用>
本发明中最重要的点在于如下事实：本发明的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的体积电阻率高，因此涡流损耗小，磁导率的实部μ′高，作为磁损耗的虚部μ"小，磁导率的实部μ′与铁氧体焼成板的厚度的积在适当的范围，因此，作为数字转换器系统的屏蔽板使用时，能够提高其读取灵敏度、位置精度，能够减小检测电路整体的损耗。
实施例
本发明的代表性的实施方式如下所述。
铁氧体烧结板的组成使用荧光X射线分析装置3530(理学电机工业株式会社制)进行测定。
铁氧体烧结板的密度从由游标卡尺和测微计测得的外部尺寸和重量计算求出。
铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的厚度用测微计测定。
分割处理过的铁氧体烧结片的μ′和μ"，对冲裁为外径20mm、内径10mm的环使用阻抗分析仪4294A(AgilentTechnologies(株)制)以500kHz的频率测定。
铁氧体烧结板或没有进行分割处理的铁氧体烧结片的μ′和μ"，使用超声波加工机切出外径20mm、内径10mm的环，使用阻抗分析仪4294A(AgilentTechnologies(株)制)以500kHz的频率测定。
铁氧体烧结板的体积电阻率根据其值使用高阻计4339B(AgilentTechnologies(株)制)或电阻计3541(日置电机株式会社制)测定。
实施例1：
以铁氧体的组成为规定的组成的方式，秤量各氧化物原料，使用球磨进行20小时湿式混合后，对混合浆料进行过滤分离、干燥，得到原料混合粉末。将该原料混合粉末以730℃烧制2小时，将所得到的预烧制物用球磨粉碎，得到本发明的Ni-Zn-Cu铁氧体粉末。
对于所得到的Ni-Zn-Cu铁氧体粉末100重量份，添加作为结合材料的聚乙烯醇缩丁醛8重量份、作为增塑剂的丁酸苄基正丁酯3重量份、作为溶剂的3甲基-3甲氧基-1丁醇50重量份，之后，充分混合得到浆料。将该浆料通过刮刀式涂布器涂布于PET膜上，形成涂膜之后，通过干燥得到厚度43μm的生片。在其一个表面，使用刀具，形成格子状的槽。
对所得到的生片在400℃进行脱脂之后，在960℃进行2小时烧结，由此，得到铁氧体烧结板。该铁氧体烧结板的组成为Fe2O347.1mol％、NiO9.9mol％、ZnO33.8mol％、CuO9.2mol％，体积电阻率为3×1011Ωcm，厚度为35μm，密度为5.23g/cm3，μ′为849，μ"为34。另外，磁导率的实部μ′与铁氧体烧结板的厚度的积(μm)为29722。
在所得到的铁氧体烧结板的一个表面贴附厚度5μm的PET膜，在另一个表面贴附厚度5μm的双面胶带，得到厚度45μm的铁氧体烧结片。
将所得到的铁氧体烧结片利用辊分割为小片状之后的μ′为535、μ"为7。另外，磁导率的实部μ′与铁氧体烧结板的厚度的积(μm)为18725。
实施例2～4：
以与实施例1同样的方法得到铁氧体烧结板和铁氧体烧结片。在表1表示此时的制造条件、所得到的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的各项特性。
比较例1：
以铁氧体的组成为规定的组成的方式，秤量各氧化物原料，使用球磨进行20小时湿式混合后，对混合浆料进行过滤分离、干燥，得到原料混合粉末。将该原料混合粉末以1000℃烧制2小时，将所得到的预烧制物用干式振动磨粉碎，得到Ni-Zn-Cu铁氧体粉末。所得到的Ni-Zn-Cu铁氧体粉末的组成为Fe2O349.5mol％、NiO8.3mol％、ZnO35.0mol％、CuO7.2mol％。将所得到的Ni-Zn-Cu铁氧体粉末与乙烯-乙酸乙烯酯共聚物以Ni-Zn-Cu铁氧体粉末为60vol％的比例的方式混合，使用Plast磨(plastmill)以80℃的温度进行混炼。对所得到的混炼物用双螺杆的热辊以60℃的温度成型为厚度50μm的片材。所得到的片材的体积电阻率为7×1010Ωcm，500kHz的μ′为16、μ"为0。μ′与该片的厚度的积(μm)为800。
比较例2：
在环己酮中溶解有20重量％苯乙烯系弹性体的溶液中，以去除溶剂后的体积比为扁平状铁-铝-硅合金粉末(铁、铝、硅的重量比为85：6：9、长径比为20～30、平均粒径为40μm)为55vol％、苯乙烯系弹性体为45vol％的方式进行计量，充分混合，得到浆料。此时，为了进行粘度调整，添加乙基环己酮。将该浆料通过刮刀式涂布器涂布于PET膜上，进行干燥。将所得到的涂膜以温度130℃、压力90MPa、加压时间5分钟的条件成型，得到厚度60μm的含扁平状铁-铝-硅合金粉末的片。所得到的片的体积电阻率为3×105Ωcm，500kHz的μ′为110、μ"为0。μ′与该片的厚度的积(μm)为6600。
比较例3：
以与实施例1同样的方法得到铁氧体烧结板和铁氧体烧结片。在表1表示此时的制造条件、所得到的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的各项特性。
[表1]
工业上的可利用性
本发明的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的电阻率高、磁导率的实部μ′大、虚部μ"小，因此，适于作为使数字转换器系统的读取灵敏度、位置精度提高的屏蔽板。

Claims (14)

1.一种铁氧体烧结板，其特征在于：
具有以氧化物换算计包括47～50mol％的Fe2O3、7.0～26mol％的NiO、13～36mol％的ZnO、7.0～12mol％的CuO、0～1.5mol％的CoO的组成，体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm，厚度为10～60μm。
2.如权利要求1所述的铁氧体烧结板，其特征在于：
500kHz的磁导率的实部为160～1200，磁导率的虚部为0～90。
3.如权利要求1或2所述的铁氧体烧结板，其特征在于：
铁氧体烧结板的500kHz的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积(μm)为7500～72000。
4.如权利要求1～3中任一项所述的铁氧体烧结板，其特征在于：
在至少一个表面形成有至少一个槽。
5.一种铁氧体烧结片，其特征在于：
在权利要求1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的至少一个表面设置有粘接层或保护层。
6.一种铁氧体烧结片，其特征在于：
在权利要求1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的一个表面设置有粘接层，在相反侧的表面设置有保护层。
7.一种铁氧体烧结片，其特征在于：
在权利要求1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的两个面设置有粘接层。
8.一种铁氧体烧结片，其特征在于：
在权利要求1～4中任一项所述的铁氧体烧结板的两个面设置有保护层。
9.如权利要求5～8中任一项所述的铁氧体烧结片，其特征在于：
铁氧体烧结板分割为小片状。
10.如权利要求9所述的铁氧体烧结片，其特征在于：
500kHz的磁导率的实部为120～800，磁导率的虚部为0～30，500kHz的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为5000～48000。
11.一种铁氧体烧结板，其特征在于：
体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm，厚度为10～60μm，500kHz的磁导率的实部为160～1200，磁导率的虚部为0～90。
12.一种铁氧体烧结片，其特征在于：
在体积电阻率为1×108～1×1012Ωcm的铁氧体烧结板的至少一个表面设置有粘接层或保护层，所述铁氧体烧结板分割为小片状，该铁氧体烧结片的500kHz的磁导率的实部为120～800，磁导率的虚部为0～30。
13.一种数字转换器系统，其特征在于：
包括检测器和与检测器相邻配置的屏蔽板，屏蔽板由权利要求1～4、11中任一项所述的铁氧体烧结板构成。
14.一种数字转换器系统，其特征在于：
包括检测器和与检测器相邻配置的屏蔽板，屏蔽板由权利要求5～10、12中任一项所述的铁氧体烧结片构成。
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