CN105140398B - 一种背接触钙钛矿太阳电池 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种背接触钙钛矿太阳电池,包括从下至上结构:1)导电型衬底;2)均匀电子传输层;3)介电层;4)金属层;5)钙钛矿层且具有若干孔道穿过介电层和金属层接触到电子传输层;6)钙钛矿层的保护层;导电型衬底采用各种TCO透明导电玻璃、重掺杂的晶体硅片、金属薄片;电子传输层采用ZnO、TiO2、PCBM;厚度一般在10nm~10um;介电层采用Al2O3、SiO2、SiNx,厚度在10nm~2um;金属层采用Au、Pt、Ag、Al;厚度在10nm~2um;孔道直径0.5~1.5um。钙钛矿层采用MAPbI3等有机金属卤化物半导体钙钛矿材料;厚度在100nm~20um。保护层采用疏水防氧化聚合物。以有效保持钙钛矿材料的性能及提高电池的稳定性;采用背接触结构,可以有效的降低正面电极的遮光损失,提高电池的转换效率。

Description

一种背接触钙钛矿太阳电池
技术领域
本发明涉及一种太阳电池,特别是关于一种背接触钙钛矿太阳电池。
技术背景
传统晶硅太阳电池、硅基薄膜太阳电池、Ⅲ-Ⅴ族化合物太阳电池,经过多年的发展,其性能和转换效率已趋近于极限,制造成本的下降空间也很有限。
世界各地诸多研究机构,都在寻找新的材料和新的技术方案。近年来,有机/无机太阳电池备受关注和研究,其中的有机化合物太阳电池转换效率的升高趋势强劲。尤其是有机金属卤化物钙钛矿电池,以其新型的光伏机制、适宜的带隙宽度、低廉的材料成本、便易的制造工艺,有望大幅提高转换效率和降低制造成本,有着极大的发展和应用空间。
不过目前的钙钛矿太阳电池,其电池结构还有待完善,其钙钛矿材料在水气和氧气下的稳定性问题还很突出。这使得钙钛矿电池的转换效率尚不很高、稳定性很差,严重制约了其实用性。虽然钙钛矿太阳电池在成本上有优势。
发明内容
针对上述问题:本发明目的是,提出一种背接触钙钛矿太阳电池,采用周期为几百纳米到微米级的背接触结构,对钙钛矿材料作了疏水防氧化保护,有效的提高了钙钛矿电池的转换效率和稳定性。
为了实现上述目的,本发明采取以下技术方案:
一种背接触钙钛矿太阳电池,其特征是包括从下至上依次结构:1)导电型衬底;2)均匀电子传输层;3)介电层;4)金属层;5)钙钛矿层且具有若干孔道穿过介电层和金属层接触到电子传输层;6)钙钛矿层的保护层;导电型衬底采用各种TCO透明导电玻璃、重掺杂的晶体硅片、金属薄片;电子传输层采用ZnO、TiO2、PCBM等;制备方法为磁控溅射、旋涂等;厚度一般在10nm~10um;介电层采用Al2O3、SiO2、SiNx等,厚度一般在10nm~2um;金属层采用Au、Pt、Ag、Al等;制备方法为磁控溅射、热/电子束蒸镀等;厚度一般在10nm~2um;钙钛矿层采用MAPbI3等有机金属卤化物半导体钙钛矿材料;厚度一般在100nm~20um;孔道直径0.5~1.5um.
保护层一般采用疏水防氧化聚合物;制备方法为旋涂、CVD等。
一种背接触钙钛矿太阳电池制备方法,其特征是包括:1)采用导电型衬底;2)制备电子传输层;3)铺敷单分散层PS小球;4)利用干法刻蚀技术减小PS小球的直径;5)制备介电层;6)制备金属层;7)剥离PS小球及其顶部的介电层和金属层,形成介电层和金属层的网孔结构;8)制备钙钛矿层;9)制备保护层;导电型衬底采用各种TCO透明导电玻璃、重掺杂的晶体硅片、金属薄片等。
电子传输层采用ZnO、TiO2、PCBM等;制备方法为磁控溅射、旋涂等;厚度一般在10nm~10um;多数情况下还要进行一定温度一定气氛下的热处理。
PS小球的原始直径一般在200nm~50um;采用液面单分散层转移法、旋涂等铺敷单分散层PS小球;单分散层PS小球多呈密堆积结构。
采用RIE、ICP等干法刻蚀技术,将PS小球的直径减小到原始直径的1/4~3/4
介电层采用Al2O3、SiO2、SiNx等;制备方法为ALD、磁控溅射、PECVD、旋涂等;厚度一般在10nm~2um
金属层采用Au、Pt、Ag、Al等;制备方法为磁控溅射、热/电子束蒸镀等;厚度一般在10nm~2um
采用甲苯、四氢呋喃等有机溶剂将PS小球及其顶部的介电层和金属层剥离,形成介电层和金属层的网孔结构;网孔周期长度和原始的PS小球周期长度一致,网孔直径和刻蚀后的PS小球直径相关。
钙钛矿层采用MAPbI3等有机金属卤化物半导体钙钛矿材料;制备方法为旋涂、CVD等;厚度一般在100nm~20um
保护层一般采用疏水防氧化聚合物;制备方法为旋涂、CVD等。
本发明的有益效果:本发明在工艺的最后一步、电池的最顶层一次性制备钙钛矿材料及其保护层,可以有效保持钙钛矿材料的性能及提高电池的稳定性;采用背接触结构,可以有效的降低正面电极的遮光损失,提高电池的转换效率。
附图说明
图1是本发明提供的一种背接触钙钛矿太阳电池的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图1,对本发明进一步详细说明。
一种背接触钙钛矿太阳电池,其特征在于:采用导电型衬底;制备电子传输层;铺敷单分散层PS小球;利用干法刻蚀技术减小PS小球的直径;制备介电层;制备金属层;剥离PS小球及其顶部的介电层和金属层,形成介电层和金属层的网孔结构;制备钙钛矿层;制备保护层。
实施例1:
1)衬底1采用FTO透明导电玻璃,其方块电阻~15Ω/□
2)电子传输层2采用磁控溅射ZnO,厚度~100nm,在400℃、N2气氛下热处理1h
3)使用的PS小球的原始直径为2um,采用液面单分散层转移法铺敷单分散层PS小球,单分散层PS小球呈六角密堆积结构。
4)采用RIE干法刻蚀,将PS小球的直径减小到1um
5)介电层3采用ALD法制备Al2O3,厚度~50nm
6)金属层4采用磁控溅射Au,厚度~40nm
7)采用甲苯超声波将PS小球及其顶部的Al2O3和Au剥离,形成Al2O3和Au的网孔结构,网孔周期长度为2um,网孔直径~1um,网孔亦呈六角排布。
8)钙钛矿层5采用旋涂法制备MAPbI3,厚度~800nm
9)保护层6采用旋涂法制备疏水防氧化聚合物。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种背接触钙钛矿太阳电池,其特征是包括从下至上依次结构:1)导电型衬底;2)均匀电子传输层;3)介电层;4)金属层;5)钙钛矿层且具有若干孔道穿过介电层和金属层接触到电子传输层;6)钙钛矿层的保护层;导电型衬底采用各种TCO透明导电玻璃、重掺杂的晶体硅片或金属薄片;电子传输层采用ZnO、TiO2或PCBM,制备方法为磁控溅射或旋涂,厚度在10nm~10um;介电层采用Al2O3、SiO2或SiNx,厚度在10nm~2um;金属层采用Au、Pt、Ag或Al,厚度在10nm~2um;所述孔道直径0.5~1.5um。
2.根据权利要求1所述的背接触钙钛矿太阳电池,其特征是钙钛矿层采用MAPbI3有机金属卤化物半导体钙钛矿材料;厚度在100nm~20um。
3.根据权利要求1所述的背接触钙钛矿太阳电池,其特征是保护层采用疏水防氧化聚合物。
4.一种背接触钙钛矿太阳电池制备方法,其特征是包括:1)采用导电型衬底;2)制备电子传输层;3)铺敷单分散层PS小球;4)利用干法刻蚀技术减小PS小球的直径;5)制备介电层;6)制备金属层;7)剥离PS小球及其顶部的介电层和金属层,形成介电层和金属层的网孔结构;8)制备钙钛矿层;9)制备保护层;导电型衬底采用各种TCO透明导电玻璃、重掺杂的晶体硅片或金属薄片;电子传输层采用ZnO、TiO2或PCBM,制备方法为磁控溅射或旋涂,厚度在10nm~10um;PS小球的原始直径在200nm~50um;采用液面单分散层转移法或旋涂铺敷单分散层PS小球;单分散层PS小球呈密堆积结构;采用RIE或ICP干法刻蚀技术,将PS小球的直径减小到原始直径的1/4~3/4;介电层采用Al2O3、SiO2或SiNx,制备方法为ALD、磁控溅射、PECVD或旋涂,厚度在10nm~2um;金属层采用Au、Pt、Ag或Al,制备方法为磁控溅射或热/电子束蒸镀,厚度在10nm~2um;
采用甲苯、四氢呋喃有机溶剂将PS小球及其顶部的介电层和金属层剥离,形成介电层和金属层的网孔结构;网孔周期长度和原始的PS小球周期长度一致,网孔直径和刻蚀后的PS小球直径相关;保护层采用疏水防氧化聚合物,制备方法为旋涂或CVD。
5.根据权利要求4所述的背接触钙钛矿太阳电池制备方法,其特征是钙钛矿层采用MAPbI3有机金属卤化物半导体钙钛矿材料;制备方法为旋涂或CVD;厚度在100nm~20um。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105449104A (zh) * 2015-12-10 2016-03-30 东华大学 一种在空气环境中性能稳定的钙钛矿太阳能电池及其制备方法
CN106299128B (zh) * 2016-08-19 2019-08-23 中国科学院化学研究所 一种钙钛矿光子晶体及其制备方法以及钙钛矿太阳能电池及其制备方法
CN106340590B (zh) * 2016-09-30 2018-09-28 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法
EP3389096A1 (en) * 2017-04-13 2018-10-17 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Photo-voltaic element and method of manufacturing the same
CN107768523B (zh) * 2017-12-07 2024-03-05 湖南师范大学 一种同质结钙钛矿薄膜太阳能电池及其制备方法
CN108447926A (zh) * 2018-05-18 2018-08-24 嘉兴尚羿新能源有限公司 一种钙钛矿/硅异质结太阳能叠层电池结构及其制作方法
CN112117383B (zh) * 2020-09-11 2022-07-05 东北师范大学 一种结构可调节的电子传输层及其制备方法、太阳能电池及其制备方法
CN113380950A (zh) * 2021-05-12 2021-09-10 郑州轻工业大学 一种背接触钙钛矿太阳能电池及其制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103682153A (zh) * 2013-11-28 2014-03-26 中国科学院物理研究所 用于钙钛矿型有机卤化铅薄膜太阳能电池的金属-绝缘层-半导体背接触界面结构及其制备方法
CN103762315A (zh) * 2014-01-16 2014-04-30 中国科学院物理研究所 钙钛矿基薄膜太阳电池及其制备方法
CN104091692A (zh) * 2014-05-30 2014-10-08 上海北京大学微电子研究院 一种高转化效率的太阳能电池及其制备方法
CN104538552A (zh) * 2014-12-30 2015-04-22 南京信息工程大学 一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013222750A (ja) * 2012-04-13 2013-10-28 Kuraray Co Ltd 光電変換素子とその製造方法、及び太陽電池

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103682153A (zh) * 2013-11-28 2014-03-26 中国科学院物理研究所 用于钙钛矿型有机卤化铅薄膜太阳能电池的金属-绝缘层-半导体背接触界面结构及其制备方法
CN103762315A (zh) * 2014-01-16 2014-04-30 中国科学院物理研究所 钙钛矿基薄膜太阳电池及其制备方法
CN104091692A (zh) * 2014-05-30 2014-10-08 上海北京大学微电子研究院 一种高转化效率的太阳能电池及其制备方法
CN104538552A (zh) * 2014-12-30 2015-04-22 南京信息工程大学 一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法

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