CN105102868A - 流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构 - Google Patents

流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构 Download PDF

Info

Publication number
CN105102868A
CN105102868A CN201480009481.0A CN201480009481A CN105102868A CN 105102868 A CN105102868 A CN 105102868A CN 201480009481 A CN201480009481 A CN 201480009481A CN 105102868 A CN105102868 A CN 105102868A
Authority
CN
China
Prior art keywords
fluid control
control device
support unit
thermosensor
screw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201480009481.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105102868B (zh
Inventor
横田淳
吉田贵洋
阮青松
松田隆博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Publication of CN105102868A publication Critical patent/CN105102868A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105102868B publication Critical patent/CN105102868B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/03—Control of flow with auxiliary non-electric power
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F16K37/005—Electrical or magnetic means for measuring fluid parameters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/002—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by temperature variation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/002—Investigating fluid-tightness of structures by using thermal means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00—Control of temperature
    • G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
    • G05D23/20—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing elements having variation of electric or magnetic properties with change of temperature
    • G05D23/22—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing elements having variation of electric or magnetic properties with change of temperature the sensing element being a thermocouple
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
  • Temperature-Responsive Valves (AREA)

Abstract

本发明提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，其能够有效利用流体控制装置上的空间，通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。流体控制装置(1)具备彼此相邻的第1流体控制器(3)及第2流体控制器(4)，以及测定在第1流体控制器(3)内流动的流体的温度的热传感器(17)。流体控制装置(1)还具备安装在第2流体控制器(4)上，支承热传感器(17)的支承部件(19)。

Description

流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构
技术领域
本发明涉及用于半导体制造装置等的流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，尤其涉及多个流体控制器集成化而形成的流体控制装置及这种流体控制装置上的热传感器设置结构。
背景技术
在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，通过将多个流体控制器相邻配置并安装在支承部件上的管路在基体部件上设置成并列状，不用借助于管子或接头就构成流体控制装置的集成化正在发展，并且，有时也设置加热装置(专利文献1)。
在这种流体控制装置中需要进行温度管理，为此，作为优选的传感器有热传感器。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利公开2006-349075号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
根据集成化的流体控制装置，由于相邻配置有多个流体控制器，因此没有用于设置热传感器的充足的空间，存在设置困难的问题。
本发明的目的在于提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，其能够有效利用流体控制装置上的空间，通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。
(二)技术方案
本发明的流体控制装置具备彼此相邻的第1流体控制器及第2流体控制器，以及测定在第1流体控制器的流体通路中流动的流体的温度的热传感器，其特征在于，还具备安装在第1流体控制器及第2流体控制器中任意一个上，支承热传感器的支承部件。
流体控制装置通常做成多个管路配置成并列状，所述管路由呈串联状相邻的第1流体控制器及第2流体控制器，以及呈串联状配置的第3、第4等多个流体控制器形成。
热传感器例如是利用了由不同种金属间的温度梯度产生的温差电动势(塞贝克效应)的传感器。热传感器有时设置在流体控制装置的所有管路上，有时设置在一部分管路上。
支承热传感器的支承部件安装在第1流体控制器及第2流体控制器中任意一个上。在热传感器安装在第1流体控制器上的情况下，支承部件可以利用第2流体控制器进行安装，但在安装在第1流体控制器上较容易的情况下，支承部件也可以利用第1流体控制器进行安装。由此，能够有效利用流体控制装置上的空间，并且通过简单的施工来设置热传感器。
利用热传感器测定的第1流体控制器例如为流量控制器，但并不限定于此，开闭阀、调节器，过滤器、通路块等可以适当作为利用热传感器测定的第1流体控制器。并且，与该利用热传感器测定的第1流体控制器相邻的第2流体控制器例如为开闭阀，但流量控制器、调节器、过滤器，通路块等可以适当作为与第1流体控制器相邻的第2流体控制器。
优选地，第1流体控制器用来控制流量(质量流量控制器或流体可变式流量控制装置等)，第2流体控制器是进行第1流体控制器的流体通路的断流开放的开闭阀。
优选地，第2流体控制器(开闭阀)具有内置开闭机构的外壳，支承部件可从外壳上方装卸地安装在外壳上。
控制流量的流体控制器(即，质量流量控制器、流体可变式流量控制装置等)是在一个管路上配置一个的主要的流体控制器，必须配置与之相邻的开闭阀。因此，通过测定在控制流量的流体控制器中流动的流体的温度，同时利用开闭阀设置热传感器的支承部件，即使在构成一个管路的流体控制器的数量或种类发生变化的情况下，也可以不改变热传感器的设置结构。
优选地，第1流体控制器(即，质量流量控制器、流体可变式流量控制装置等)具有漏泄口，热传感器的检测端部插入该漏泄口。
漏泄口在进行有无漏泄的测试时使用，通过利用该漏泄口，不需要进行追加的加工，能够在接近流体的位置测定流体温度，能够正确测定流体温度。
热传感器只要能够将其检测端部插入漏泄口来计测温度即可，可以使用各种形式的热传感器。
优选地，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与外壳顶壁的外周面对应的形状。
这样，能够容易地进行支承部件向流体控制器的安装。
优选地，在一个突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。
这样，通过紧固支承部件用螺钉，狭缝的宽度变窄，支承部件固定在流体控制器上，因此能够容易地进行支承部件向流体控制器的安装。
优选地，以外壳顶壁的上表面为基准，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺栓。
在集成化的流体控制装置中，由于多条管路设置成并联状，因此难以确保作业空间，但通过使螺钉插通孔(还有与此相伴的内螺纹部)倾斜，可以利用外壳顶壁上方的空间，能够避免与外壳或支承部件等的干涉来安装支承部件。
本发明的流体控制装置上的热传感器设置结构用于在流体控制装置上设置热传感器，所述流体控制装置具备流量控制器和开闭阀，所述流量控制器控制流量，所述开闭阀与流量控制器相邻配置，具有内置开闭机构的外壳，进行流量控制器的流体通路的断流开放，所述热传感器测定在流体控制器的流体通路中流动的流体的温度，其特征在于，具备支承热传感器的支承部件，支承部件可从开闭阀的外壳上方装卸地安装在外壳上。
优选地，热传感器的检测端部能够插入流量控制器上设置的漏泄口。
优选地，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与开闭阀的外壳顶壁的外周面对应的形状。
优选地，在一个突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。
优选地，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺栓。
(三)有益效果
根据本发明的流体控制装置，由于还具备安装在第1流体控制器及第2流体控制器中任意一个上，支承热传感器的支承部件，因此，在将热传感器安装在第1流体控制器上的同时，将支承热传感器的支承部件安装在任意一个流体控制器(安装较为容易的流体控制器)上即可，能够有效利用流体控制装置上的空间，并且通过简单的施工设置热传感器。
根据本发明的流体控制装置上的热传感器设置结构，由于支承热传感器的支承部件可从开闭阀的外壳上方装卸地安装在外壳上，因此，能够有效利用流体控制装置上的空间，并且通过简单的施工设置热传感器。
附图说明
图1是本发明的流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构的一个实施方式的立体图。
图2是图1的主要部分的俯视图。
图3是图2沿III-III线的剖面图。
图4是热传感器单元的分解立体图。
附图标记说明
1：流体控制装置，3：流量控制器(第1流体控制器)，4：开闭阀(第2流体控制器)，12a：漏泄口，15：外壳，15a：顶壁，17：热传感器，17a：检测端部，19：支承部件，21：主体，21b：内周面，22：狭缝，23：第1突出部，24：第2突出部，25：支承部件用螺钉，26：螺钉插通孔，27：内螺纹部。
具体实施方式
参照以下附图对本发明的实施方式进行说明。在以下说明中，将图1的上下设为上下。并且，将图1中开闭阀一侧设为前方，将流量控制器一侧设为后方。该上下/前后仅为了便于说明，有时也会前后颠倒，或上下变为左右来使用。
图1中示出由多条管路构成的集成化流体控制装置1中的2条管路2的一部分。
各管路2具备流量控制器(第1流体控制器)3、进行流量控制器3的流体通路(省略图示)的断流开放的开闭阀(第2流体控制器)4、省略图示的多个流体控制器(其他的开闭阀、调节器、过滤器等)、用于管理在流量控制器3的流体通路中流动的流体的温度的热传感器单元5。
流量控制器3是被称为质量流量控制器的流量控制器，由内置流量调整功能的主体11和支承该主体11的前后的伸出通路块12、13构成。在伸出通路块12上，在流量控制器3的漏泄试验中使用的漏泄口12a设置成向上方开口。
开闭阀4为气动阀，具备主体14和外壳15，所述主体14形成有与流量控制器3的流体通路连通的通路，呈长方体块状，所述外壳15设置在主体14的上方，内置调节器(开闭机构)。
外壳15具有顶壁15a，在顶壁15a的中央部设置有连接压缩空气导入管的接头部16，所述压缩空气导入管向外壳15内部导入压缩空气。顶壁15a为圆板的两侧被切掉的形状。
流量控制器3的流体通路与开闭阀4的流体通路通过通路块6被连通，所述通路块6以横跨前侧的伸出通路块12及开闭阀4的主体14双方的方式设置在它们的下方。前侧的伸出通路块12及开闭阀4的主体14通过来自上方的内六角螺栓7固定在通路块6上。
热传感器单元5具备：热传感器17，其前端具有检测端部17a，呈软线状；凸缘18，其被热传感器17穿过；以及支承部件19，其安装在开闭阀4上，支承热传感器17。
热传感器17具备铠装热电偶。
凸缘18为方形板状，设置有热传感器17插通的传感器插通孔18a，和紧固凸缘18的凸缘用螺钉20插通的螺钉插通孔18b。
支承部件19由环状主体21和一对突出部(第1突出部23以及第2突出部24)构成，所述环状主体21在圆周方向的一处设置有狭缝22，所述一对突出部使设置在主体21上的狭缝22向径向外侧延长地与主体21一体设置。
主体21的外周面21a为短圆柱面，内周面21b为与外壳15的顶壁15a的外周面对应的形状(例如圆柱面的两侧为平坦面的形状)。由于主体21设置有狭缝22，具有狭缝22的宽度变宽的方向或变窄的方向的弹性。
在第1突出部23上设置有螺钉插通孔26，该螺钉插通孔26用于从与第2突出部24对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉25。在第2突出部24上以在与螺钉插通孔26相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉25拧合的内螺纹部27。在第2突出部24上还设置有向上方延伸的内螺纹部28。
螺钉插通孔26以及内螺纹部27如图3所示，从上方观察，与狭缝22的延伸方向直交，但在以水平面(开闭阀4的下表面、外壳15的顶壁15a的上表面等)为基准的情况下，以螺钉插通孔26处于上方的方式倾斜设置。支承部件用螺钉25为内六角螺栓，可以使用内六角螺栓用的紧固工具进行紧固。
支承部件19的环状主体21的内周面21b为能够与外壳15的顶壁15a的外周面松动地嵌合的形状，通过紧固支承部件用螺钉25，狭缝22的宽度变窄，由此支承部件19固定于外壳15上。
在一对突出部23、24彼此对置的面上分别设置有在上下方向上延伸的截面呈半圆形的凹部29、30，热传感器17在由这2个凹部29、30形成的贯通孔状部分插通。如果为了将支承部件19固定于外壳15上而紧固支承部件用螺钉25，则凹部29、30彼此接近，热传感器17被这2个凹部29、30夹持。
在支承部件19未安装到开闭阀4上的状态下，在传感器插通孔18a中插通有热传感器17的凸缘18通过紧固凸缘用螺钉20，被安装到支承部件19上。安装有热传感器17的支承部件19从上方嵌合到外壳15上，在该状态下，热传感器17的检测端部17a插入漏泄口12a，之后，支承部件用螺钉25被紧固。在紧固支承部件用螺钉25时，由于螺钉插通孔26以及内螺纹部27倾斜，从而能够从外壳15的顶壁15a的上方进行作业，能够避免与相邻的开闭阀4的顶壁15a以及热传感器单元5的干涉来安装支承部件19。这样，热传感器单元5可装卸地安装在开闭阀4上。
为了测定流体(气体)温度，优选在尽可能靠近该流体的地方配置热传感器17的检测端部17a。通过利用设置在流量控制器3的伸出通路块12上的漏泄口12a，能够准确地测定温度。
在利用漏泄口12a的情况下，也可以使用将前侧的伸出通路块12固定在通路块6上的内六角螺栓7，将插通有热传感器17的凸缘18固定在前侧的伸出通路块12上，但在该情况下，需要在装卸热传感器17时拆除流量控制器3，因此存在管路被大气开放，装卸热传感器17非常麻烦的问题。
在上述实施方式中，无需拆除流量控制器3，也不会影响流体控制装置1的功能，就能够装卸热传感器单元5。而且，通过使用开闭阀4固定热传感器单元5，流体控制装置1中存在的空间被有效地利用，即使在空间性上难以使用软管夹箍来安装热传感器17的情况下，也能够设置热传感器单元5。
另外，在上述中，作为流量控制器3例示了质量流量控制器，但作为流量控制器3也可以使用流体可变式流量控制器。此外，也可以取代使用流量控制器3以及开闭阀4来设置热传感器单元5，而使用彼此相邻的另外2个流体控制器。在这种情况下，支承部件主体的内周面形状根据安装支承部件的流体控制器的形状而适当变更。支承部件主体的外周面形状既可以是如上所述的圆周面(圆筒状)，也可以是角筒状。
工业实用性
根据本发明，能够容易地将热传感器设置在用于半导体制造装置等的流体控制装置上，因此流体控制装置的控制精度提高，能够扩大其用途。

Claims (12)

1.一种流体控制装置，具备彼此相邻的第1流体控制器及第2流体控制器，以及测定在第1流体控制器的流体通路中流动的流体的温度的热传感器，其特征在于，
还具备安装在第1流体控制器及第2流体控制器中任意一个上，支承热传感器的支承部件。
2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，第1流体控制器用来控制流量，第2流体控制器是进行第1流体控制器的流体通路的断流开放的开闭阀。
3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，第2流体控制器具有内置开闭机构的外壳，支承部件可从外壳上方装卸地安装在外壳上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，第1流体控制器具有漏泄口，热传感器的检测端部插入该漏泄口。
5.根据权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与外壳顶壁的外周面对应的形状。
6.根据权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，在一个的突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。
7.根据权利要求6所述的流体控制装置，其特征在于，以外壳顶壁的上表面为基准，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺栓。
8.一种流体控制装置上的热传感器设置结构，其用于在流体控制装置上设置热传感器，所述流体控制装置具备流量控制器和开闭阀，所述流量控制器控制流量，所述开闭阀与流量控制器相邻配置，具有内置开闭机构的外壳，进行流量控制器的流体通路的断流开放，所述热传感器测定在流体控制器的流体通路中流动的流体的温度，其特征在于，
具备支承热传感器的支承部件，支承部件可从开闭阀的外壳上方装卸地安装在外壳上。
9.根据权利要求8所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，热传感器的检测端部能够插入流量控制器上设置的漏泄口。
10.根据权利要求8或9所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与开闭阀的外壳顶壁的外周面对应的形状。
11.根据权利要求10所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，在一个的突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。
12.根据权利要求11所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺栓。
CN201480009481.0A 2013-03-08 2014-02-17 流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构 Expired - Fee Related CN105102868B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013046867 2013-03-08
JP2013-046867 2013-03-08
PCT/JP2014/053609 WO2014136557A1 (ja) 2013-03-08 2014-02-17 流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105102868A true CN105102868A (zh) 2015-11-25
CN105102868B CN105102868B (zh) 2017-05-24

Family

ID=51491081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480009481.0A Expired - Fee Related CN105102868B (zh) 2013-03-08 2014-02-17 流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9696727B2 (zh)
JP (1) JP6240661B2 (zh)
KR (1) KR101775257B1 (zh)
CN (1) CN105102868B (zh)
SG (1) SG11201507088YA (zh)
TW (1) TWI611128B (zh)
WO (1) WO2014136557A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109891138A (zh) * 2016-10-24 2019-06-14 株式会社富士金 流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法
CN110382935A (zh) * 2017-03-30 2019-10-25 株式会社富士金 流体控制设备和传感器保持部件
CN113631900A (zh) * 2019-03-25 2021-11-09 株式会社富士金 温度传感器的安装构造体

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014012688B4 (de) * 2014-09-01 2022-04-21 Acs Air Compressor Systeme Gmbh Mehrwegeventil
JP6564213B2 (ja) * 2015-03-25 2019-08-21 株式会社フジキン 流体制御装置
JP6630483B2 (ja) * 2015-03-31 2020-01-15 株式会社フジキン センサ保持具および流体制御装置
CN105466554B (zh) * 2015-12-25 2022-09-09 中电投工程研究检测评定中心有限公司 竖向结构构件振动检测装置
US11731153B2 (en) * 2017-07-24 2023-08-22 Carlisle Fluid Technologies, LLC Systems and methods for communication and control in fluid delivery systems
JP7449571B2 (ja) * 2018-12-27 2024-03-14 株式会社フジキン 流体制御装置、継手ブロック及び流体制御装置の製造方法
EP3795971A1 (en) * 2019-09-17 2021-03-24 TE Connectivity India Private Limited Fluid leak detector and fluid leak detection method based on heat transfer measurements
JP7356141B2 (ja) * 2019-12-27 2023-10-04 株式会社フジキン 固定ユニットおよび流体制御装置
JP7530629B2 (ja) 2020-08-07 2024-08-08 株式会社フジキン センサ支持具およびそれを備える流体制御装置
JP7488525B2 (ja) 2020-10-28 2024-05-22 株式会社フジキン センサ固定具及び流体制御装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1083602A (zh) * 1992-07-09 1994-03-09 格里斯沃尔德控制公司 流体流量自动控制装置
JPH0774113A (ja) * 1993-09-02 1995-03-17 Ckd Corp ガス供給装置
JP2002250645A (ja) * 2001-02-26 2002-09-06 Stec Inc 集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構
CN100467927C (zh) * 2004-09-16 2009-03-11 株式会社富士金 带传感器的连接部件
CN101680561A (zh) * 2007-05-31 2010-03-24 东京毅力科创株式会社 流体控制装置
CN102691528A (zh) * 2011-03-25 2012-09-26 株式会社东芝 蒸汽阀设备以及蒸汽轮机装置

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3857282A (en) * 1973-04-30 1974-12-31 Trace Inc Portable tester for hydraulic power circuits
US4016758A (en) * 1975-09-09 1977-04-12 Taylor Julian S Thermal gauge probe
JPS60102639U (ja) 1983-12-20 1985-07-12 三菱重工業株式会社 温度測定装置
US6044701A (en) * 1992-10-16 2000-04-04 Unit Instruments, Inc. Thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor
JP3605705B2 (ja) * 1995-07-19 2004-12-22 株式会社フジキン 流体制御器
US6019114A (en) * 1997-02-12 2000-02-01 Icon Dynaamics, Llc Self-metering reservoir
JP3292817B2 (ja) * 1997-04-24 2002-06-17 三菱電機株式会社 感熱式流量センサ
DE29717492U1 (de) * 1997-09-30 1997-11-27 Festo AG & Co, 73734 Esslingen Befestigungsvorrichtung zur Befestigung eines Sensors
JP4378553B2 (ja) * 1997-10-13 2009-12-09 忠弘 大見 流体制御装置
WO2000031462A1 (en) 1998-11-20 2000-06-02 Mykrolis Corporation System and method for integrating gas components
US6363958B1 (en) * 1999-05-10 2002-04-02 Parker-Hannifin Corporation Flow control of process gas in semiconductor manufacturing
US6308553B1 (en) * 1999-06-04 2001-10-30 Honeywell International Inc Self-normalizing flow sensor and method for the same
KR100323239B1 (ko) 1999-09-08 2002-02-19 최성봉 경사체결구조를 갖는 삼방향밸브
JP2001201414A (ja) * 2000-01-20 2001-07-27 Smc Corp 複合センサ及び複合センサを備えたフローコントローラ
ITPN20010003U1 (it) * 2001-01-25 2002-07-25 Sipa Spa Dispositivo per il rilevamento di variazioni di temperatura con alloggiamento per il sensore
US6490229B1 (en) * 2001-11-09 2002-12-03 John T. Caver Trolling motor transducer mount
CA2416275A1 (fr) * 2003-01-08 2004-07-08 Hydro Quebec Motorisation d'un bracelet de mesure d'epaisseur d'un tuyau
US6907904B2 (en) 2003-03-03 2005-06-21 Redwood Microsystems, Inc. Fluid delivery system and mounting panel therefor
US6843139B2 (en) * 2003-03-12 2005-01-18 Rosemount Inc. Flow instrument with multisensors
JP2004340199A (ja) * 2003-05-14 2004-12-02 Fujikin Inc 加熱装置付き流体制御装置
NL1025631C2 (nl) * 2004-03-03 2005-09-08 Berkin Bv Afdichtingsamenstel.
JP4753173B2 (ja) 2005-06-17 2011-08-24 株式会社フジキン 流体制御装置
US7296465B2 (en) * 2005-11-22 2007-11-20 Mks Instruments, Inc. Vertical mount mass flow sensor
US8079383B2 (en) * 2006-12-07 2011-12-20 Mks Instruments, Inc. Controller gain scheduling for mass flow controllers
US7552643B2 (en) * 2006-12-08 2009-06-30 Centre For Nuclear Energy Research (CNER) Device and system for corrosion detection
US20080302426A1 (en) * 2007-06-06 2008-12-11 Greg Patrick Mulligan System and method of securing removable components for distribution of fluids
DE102007042789A1 (de) * 2007-09-07 2009-03-12 Robert Bosch Gmbh Steckfühler zur Messung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums
DE102010043865A1 (de) * 2009-11-30 2011-07-14 Horiba Stec Co., Ltd. Fluid device
DE102010015813A1 (de) * 2010-04-20 2011-10-20 Krohne Messtechnik Gmbh Sensoranordnung für ein kalorimetrisches Massedurchflussmessgerät
US9188989B1 (en) * 2011-08-20 2015-11-17 Daniel T. Mudd Flow node to deliver process gas using a remote pressure measurement device
US9335768B2 (en) * 2013-09-12 2016-05-10 Lam Research Corporation Cluster mass flow devices and multi-line mass flow devices incorporating the same

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1083602A (zh) * 1992-07-09 1994-03-09 格里斯沃尔德控制公司 流体流量自动控制装置
JPH0774113A (ja) * 1993-09-02 1995-03-17 Ckd Corp ガス供給装置
JP2002250645A (ja) * 2001-02-26 2002-09-06 Stec Inc 集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構
CN100467927C (zh) * 2004-09-16 2009-03-11 株式会社富士金 带传感器的连接部件
CN101680561A (zh) * 2007-05-31 2010-03-24 东京毅力科创株式会社 流体控制装置
CN102691528A (zh) * 2011-03-25 2012-09-26 株式会社东芝 蒸汽阀设备以及蒸汽轮机装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109891138A (zh) * 2016-10-24 2019-06-14 株式会社富士金 流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法
CN109891138B (zh) * 2016-10-24 2020-07-07 株式会社富士金 流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法
CN110382935A (zh) * 2017-03-30 2019-10-25 株式会社富士金 流体控制设备和传感器保持部件
CN113631900A (zh) * 2019-03-25 2021-11-09 株式会社富士金 温度传感器的安装构造体

Also Published As

Publication number Publication date
US20160018827A1 (en) 2016-01-21
JPWO2014136557A1 (ja) 2017-02-09
TW201443359A (zh) 2014-11-16
US9696727B2 (en) 2017-07-04
KR101775257B1 (ko) 2017-09-05
WO2014136557A1 (ja) 2014-09-12
KR20150107879A (ko) 2015-09-23
CN105102868B (zh) 2017-05-24
JP6240661B2 (ja) 2017-11-29
TWI611128B (zh) 2018-01-11
SG11201507088YA (en) 2015-10-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105102868A (zh) 流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构
JP6188050B2 (ja) 熱電対
WO2015174983A1 (en) Fluid manifold
CN104344963B (zh) 用于测试气候控制车辆座椅的装置和方法
JP2012127959A5 (zh)
JP6501552B2 (ja) 配管構造、航空機、およびリーク検知にロバスト性を与える方法
KR20200047539A (ko) 유량 제어 유닛
CN204373798U (zh) 卡箍式表面温度传感器
JP2018132405A (ja) センサ装置
US9410920B2 (en) Apparatus and its arrangement with duct to determine flowable medium parameters
KR20150031734A (ko) 유체 압력 및 온도 복합 센서
CN207197303U (zh) 一种高效散热器
CN103033386B (zh) 一种节温器动态升程测试装置和测试方法
CN110274734A (zh) 漏液检测装置、加热箱以及色谱分析系统
CN106437930B (zh) 用于发动机的机油换热系统及具有其的车辆
CN106872076B (zh) 空调系统及其室外换热器的温度传感器的诊断方法
WO2017010273A1 (ja) センサ接続構造
CN104180835B (zh) 传感器安装附件
EP3043113B1 (en) Fastening device for thermoinsulating tile of gas turbine combustion chamber
IT201800010216A1 (it) Sistema di controllo di spillamento per un serbatoio di carburante
JP5992944B2 (ja) 燃焼装置
JP5594277B2 (ja) 温水床暖房装置および温水床暖房装置の配管接続判定方法
CN205209649U (zh) 温度传感器
CN205352617U (zh) 密封圈的试验装置
CN205426342U (zh) 新型管道温度检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20170524