CN105088144A - 一种更换坩埚装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种更换坩埚装置。该更换坩埚装置包括：基座、第一机械手臂和第二机械手臂；所述第一机械手臂与第二机械手臂分别设置在基座上，且随所述基座同步进行转向与升降动作；所述第一机械手臂的一端用于抓取待替换的坩埚；所述第二机械手臂的一端用于携带并安放备用坩埚，从而在不开腔、不降到室温的情况下，实现更换蒸发源内的坩埚。

Description

一种更换坩埚装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种更换坩埚装置。
背景技术
目前，点源蒸镀机使用的容器是坩埚，材料从坩埚中蒸发出来；通常在同一个蒸镀腔体内，有数量不等的多个蒸发源，且每个蒸发源内都蒸发不同的材料。由于各器件中每层厚度和掺杂比例的不同，不同蒸发源中材料的消耗速度不同，因此，其中消耗量最大的材料决定了开腔加料的时间。通常在加料时都将消耗量最大的材料装很多，而其他材料按比例相应的少放，这相当于浪费了坩埚的容量，增加了开腔加料的频率，使蒸镀效率变低。若能将消耗量最大材料的添加量提高，便可减少开腔填料的频率。现有针对此情况，通常增加此材料所用坩埚的容量(改造蒸发源，使用更大容量的坩埚)，具体为：降温(降到室温)-开腔-添加材料-抽真空-升温，该流程的耗时太长，通常需要四个小时以上，影响设备的使用效率。尤其针对量产线，势必会造成严重的产能损失。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是如何在不开腔、不降到室温的情况下，更换蒸发源内的坩埚的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种更换坩埚装置，其包括：基座、第一机械手臂和第二机械手臂；所述第一机械手臂与第二机械手臂分别设置在基座上，且随所述基座同步进行转向与升降动作；所述第一机械手臂的一端用于抓取待替换的坩埚；所述第二机械手臂的一端用于携带并安放备用坩埚。
其中，所述第一机械手臂与第二机械手臂之间的夹角为90°。
其中，所述第一机械手臂与第二机械手臂均包括：转动臂、固定臂及驱动单元；所述固定臂的一端固定在基座上，另一端与所述转动臂铰接；所述转动臂在所述驱动单元的带动下沿铰接点转动，且在所述转动臂的一端设有夹持单元。
其中，所述夹持单元包括：至少两个弹片；所述弹片的一端与驱动单元连接，另一端穿过一金属管后可向外扩张；所述驱动单元带动弹片在所述金属管中伸缩移动；所述金属管竖直设置在所述转动臂的一端。
其中，所述基座上设有升降转台，所述第一机械手臂和第二机械手臂分别与所述升降转台连接。
其中，该更换坩埚装置还包括控制单元，所述控制单元与驱动单元连接，用于向所述驱动单元发出动作指令。
其中，所述控制单元连接有存储单元，通过存储单元记录取放坩埚的位置信息。
其中，所述驱动单元为马达或气缸。
本发明还提供一种蒸镀系统，其包括蒸镀腔体和所述的更换坩埚装置，所述更换坩埚装置设置在所述蒸镀腔体内，所述蒸镀腔体内设有多个蒸发源，各个蒸发源内设有待替换的坩埚。
其中，所述蒸发源为点源式。
(三)有益效果
本发明的上述技术方案具有以下有益效果：本发明提供一种更换坩埚装置，利用第一机械手臂抓取待替换的坩埚，然后再利用第二机械手臂携带并安放备用坩埚，从而在不开腔、不降到室温的情况下，实现更换蒸发源内的坩埚。
附图说明
图1为本发明实施例更换坩埚装置在开始动作时的俯视图；
图2为本发明实施例第一机械手臂移动至蒸发源上方时的俯视图；
图3为本发明实施例第一机械手臂取走待替换的坩埚时的俯视图；
图4为本发明实施例第二机械手臂移动至蒸发源上方时的俯视图；
图5为本发明实施例第二机械手臂在安放备用坩埚后的俯视图；
图6为本发明实施例更换坩埚装置中在弹片插入坩埚出气口之前的侧视图；
图7为本发明实施例更换坩埚装置中在弹片插入坩埚出气口之后的侧视图；
图8为本发明实施例基座升起后状态的结构示意图；
图9为本发明实施例基座下降后状态的结构示意图。
其中，1：基座；2：第一机械手臂；3：第二机械手臂；4：待替换的坩埚；5：备用坩埚；6：转动臂；7：固定臂；8：升降转台；9：弹片；10：金属管；11：驱动单元。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1-5所示，本实施例提供的一种更换坩埚装置，其包括：基座1、第一机械手臂2和第二机械手臂3；第一机械手臂2与第二机械手臂3分别设置在基座1上，且随基座1同步进行转向与升降动作，也就是说，基座1既可以转动又可以升降移动，可带动两个机械手臂一起动作。第一机械手臂2和第二机械手臂3的形状、结构并不局限，可根据实际需要灵活设置。其中，第一机械手臂2的一端用于抓取待替换的坩埚4；第二机械手臂3的一端用于携带并安放备用坩埚5(事先准备好的坩埚)，从而实现在不开腔、不降到室温的情况下，更换蒸发源内的坩埚(待替换的坩埚4)。
具体操作过程为：首先确定消耗量最大的材料(对应的坩埚为待替换的坩埚4，事先将装好该材料的备用坩埚5安装在第二机械手臂3上。当蒸发源内待替换的坩埚4的材料耗尽时，启动第一机械手臂2将待替换的坩埚4取出，然后利用第二机械手臂3将备用坩埚5换入至蒸发源内。这样提高了消耗量最大材料的添加量，从而增加了一次蒸镀的时间，减少了开腔的次数；而且，在更换坩埚时，不需开腔，只需将蒸发源的温度降至预热温度，便可以将备用坩埚5换入蒸发源，整个过程不会超过半小时。
进一步的，第一机械手臂2与第二机械手臂3之间的夹角为90°，即，第一机械手臂2与第二机械手臂3设置在基座1上且相对于基座1而言，沿其90°圆心角的方向设置，这样两者在更换坩埚时互不干涉，利于协作配合。
具体的，如图8-9所示，第一机械手臂2与第二机械手臂3的结构相同，第一机械手臂2与第二机械手臂3均包括：转动臂6、固定臂7及驱动单元11；固定臂7的一端固定在基座1上，另一端与转动臂6铰接(当然，两个机械臂的固定臂7始终保持90°)；转动臂6在驱动单元11的带动下沿铰接点转动，可进行左右转向。而且在转动臂6的一端设有夹持单元，通过夹持单元方便取放坩埚(待替换的坩埚4和备用坩埚5)。
结合图6-7所示，夹持单元包括：至少两个弹片9，各个弹片9之间具有弹力，可向外呈扩张状；优选的，弹片9的数量为两个。
其中，弹片9的一端与驱动单元11连接，另一端穿过一金属管10后可向外扩张；而且，驱动单元11带动弹片9在金属管10中伸缩移动；金属管10竖直设置在转动臂6的一端。可以理解的是，各个弹片之间有弹性，可以缩入管中。当未缩入管中时，弹片之间向外扩张有一个角度；当被驱动单元11上拉缩入管中时，弹片之间的角度就没有了，通过角度的变化达到夹起、放下坩埚的动作。使用时，将弹片9尽量收缩至金属管10内，使其下端可插入至坩埚的出气口内；然后，驱动单元11带动弹片9在金属管10中伸缩移动，使下端伸出金属管10后可向外扩张，从而将坩埚的出气口卡住。
对于基座1的形式同样可以为多种多样，以其中一种方式说明：基座1上设有升降转台8。升降转台8为圆柱状，可理解为升降轴，其具有可上下升降移动和沿圆周方向转动的功能。对应的，第一机械手臂2和第二机械手臂3分别与升降转台8连接。
该更换坩埚装置还包括控制单元，控制单元与驱动单元11连接，用于向驱动单元11发出动作指令，从而控制驱动单元11的启动，利于对位置进行校准。控制单元还连接有存储单元，通过存储单元记录取放坩埚的位置信息。校准时，控制单元会产生坐标值，并通过存储单元记录。在后期动作时，系统调取校准时产生的坐标值直接移动到位。
优选的，驱动单元11为马达或气缸。值得说明是，上述实施例中驱动单元11为动力源，用于为各个零部件提供驱动力，其形式可根据实际需要灵活调整。例如：可采用马达+齿轮组的方式，或者气缸+齿轮组的方式。具体的，马达通过支架固定在转动臂6上，其输出端通过齿轮组与弹片9连接，用于带动弹片9在金属管10中伸缩移动，当然，该马达也通过齿轮组带动转动臂6进行转动。可见，为了描述方便，驱动单元11只是总称，其可以包括多个如马达、齿轮组等子部件。
此外，本发明还提供一种蒸镀系统，其包括蒸镀腔体和上述实施例中的更换坩埚装置，该更换坩埚装置设置在蒸镀腔体内，蒸镀腔体内设有多个蒸发源，各个蒸发源内设有待替换的坩埚4。通过该更换坩埚装置实现在不开腔、不降到室温的情况下，更换蒸发源内的坩埚(待替换的坩埚4)。
其中，上述的蒸发源为点源式，即，所适用于点源蒸镀机。
综上所述，本发明提供一种更换坩埚装置，利用第一机械手臂抓取待替换的坩埚，然后再利用第二机械手臂携带并安放备用坩埚，从而在不开腔、不降到室温的情况下，实现更换蒸发源内的坩埚。
本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (10)

1.一种更换坩埚装置，其特征在于，包括：基座、第一机械手臂和第二机械手臂；所述第一机械手臂与第二机械手臂分别设置在基座上，且随所述基座同步进行转向与升降动作；所述第一机械手臂的一端用于抓取待替换的坩埚；所述第二机械手臂的一端用于携带并安放备用坩埚。
2.根据权利要求1所述的更换坩埚装置，其特征在于，所述第一机械手臂与第二机械手臂之间的夹角为90°。
3.根据权利要求1所述的更换坩埚装置，其特征在于，所述第一机械手臂与第二机械手臂均包括：转动臂、固定臂及驱动单元；所述固定臂的一端固定在基座上，另一端与所述转动臂铰接；所述转动臂在所述驱动单元的带动下沿铰接点转动，且在所述转动臂的一端设有夹持单元。
4.根据权利要求3所述的更换坩埚装置，其特征在于，所述夹持单元包括：至少两个弹片；所述弹片的一端与驱动单元连接，另一端穿过一金属管后可向外扩张；所述驱动单元带动所述弹片在所述金属管中伸缩移动；所述金属管竖直设置在所述转动臂的一端。
5.根据权利要求1所述的更换坩埚装置，其特征在于，所述基座上设有升降转台，所述第一机械手臂和第二机械手臂分别与所述升降转台连接。
6.根据权利要求3所述的更换坩埚装置，其特征在于，该更换坩埚装置还包括控制单元，所述控制单元与驱动单元连接，用于向所述驱动单元发出动作指令。
7.根据权利要求6所述的更换坩埚装置，其特征在于，所述控制单元连接有存储单元，通过所述存储单元记录取放坩埚的位置信息。
8.根据权利要求6所述的更换坩埚装置，其特征在于，所述驱动单元为马达或气缸。
9.一种蒸镀系统，其特征在于，包括蒸镀腔体和如权利要求1-8中任一项所述的更换坩埚装置，所述更换坩埚装置设置在所述蒸镀腔体内，所述蒸镀腔体内设有多个蒸发源，各个所述蒸发源内设有待替换的坩埚。
10.根据权利要求9所述的更换坩埚装置，其特征在于，所述蒸发源为点源式。
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