CN109763103B - 送料装置及其应用 - Google Patents

送料装置及其应用 Download PDF

Info

Publication number
CN109763103B
CN109763103B CN201811584589.9A CN201811584589A CN109763103B CN 109763103 B CN109763103 B CN 109763103B CN 201811584589 A CN201811584589 A CN 201811584589A CN 109763103 B CN109763103 B CN 109763103B
Authority
CN
China
Prior art keywords
material taking
arm
tail
feeding device
clamp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811584589.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109763103A (zh
Inventor
黄广
孙宝城
文俊日
赵云
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Truly Semiconductors Ltd
Original Assignee
Truly Semiconductors Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Truly Semiconductors Ltd filed Critical Truly Semiconductors Ltd
Priority to CN201811584589.9A priority Critical patent/CN109763103B/zh
Publication of CN109763103A publication Critical patent/CN109763103A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109763103B publication Critical patent/CN109763103B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明涉及一种送料装置及其应用,送料装置包括转动组件、载料组件以及取料组件;所述转动组件包括上部及活动连接所述上部的下部;所述载料组件包括若干容器、若干容器盖及若干载料器,所述容器盖与所述容器相匹配,所述容器盖可揭开地封盖所述容器,每一所述载料器对应放置于一所述容器中;若干所述容器连接所述下部;取料组件包括取料驱动器及连接所述取料驱动器的取料夹,伸缩取料驱动器连接转动组件,取料夹用于夹取载料器。设置了多个容器,可对应放置多个载料器及材料,并可自动输送材料,且由于安装于设备中,添加材料或更换载料器时无需打开腔体,避免了因打开腔体而受到污染的问题,亦节省了加料和换料的时间,提高了工作效率。

Description

送料装置及其应用
技术领域
本发明涉及材料输送装置技术领域,特别是涉及送料装置及其应用。
背景技术
采用真空蒸镀法制备OLED器件时,需要将待蒸镀的材料放置于坩埚内,一个坩埚对应放置一种材料,镀膜腔体内设有加热源,一个加热源对应一个坩埚,以蒸镀对应的材料,控制蒸镀的顺序。但由于目前的OLED镀膜腔体里的加热源较少,当需要的材料种类多于坩埚数时,将无法进行镀膜,并且坩埚的容量较小,每次装载的材料量有限,需要频繁的更换坩埚或添加材料。更换坩埚或添加材料时需打开镀膜腔体、关闭镀膜腔体、抽真空、除水汽,需要花费大量的时间,并且在打开镀膜腔体时还有可能会有杂质进入腔体内,造成腔体污染。
发明内容
基于此,有必要针对上述问题,提供一种送料装置,增加了放置材料的位置,且可自动输送材料,添加材料或更换载料器时无需打开腔体,避免了因打开腔体而受到污染的问题,并且提高了工作效率。
一种送料装置,包括:
转动组件,转动组件包括上部及活动连接上部的下部;
载料组件,载料组件包括若干容器、若干容器盖及若干载料器,容器盖与容器相匹配,容器盖可揭开地封盖容器,每一载料器对应放置于一容器中;若干容器连接下部;以及
取料组件,取料组件包括取料驱动器及连接取料驱动器的取料夹,取料驱动器连接转动组件,取料夹用于取出载料器。
上述送料装置,使用时,安装于加工设备中,与旋转机构及升降机构配合使用,待使用材料放置于对应的载料器中,每一容器盖封盖一相邻的的容器,取料夹位于载料组件的上方,转动组件连接旋转机构及升降机构,转动组件的下部可相对上部转动,当需要取料时,升降机构将下部上顶,容器盖到达取料夹的位置,转动下部,用取料夹拨开容器盖,取料驱动器动作,取料夹取出载料器即可将材料取出;当需要取用另一个载料器的材料时,再将旋转转动组件,将另一个容器转动至取料组件的下方,重复上述操作,取用另一个载料器及其中的材料;本发明送料装置设置了多个容器,可对应放置多个载料器及材料,并可自动输送材料,且由于安装于设备中,添加材料或更换载料器时无需打开腔体,避免了因打开腔体而受到污染的问题,亦节省了加料和换料的时间,提高了工作效率;取料前,容器盖封盖容器,防止杂质落入载料器中污染材料,保证材料的纯净度。
在其中一个实施例中,取料夹包括夹头及连接夹头的尾部,夹头包括弹性件、分别连接弹性件的第一夹臂及第二夹臂,尾部包括第一尾臂及第二尾臂,第一夹臂连接第一尾臂,第二夹臂连接第二尾臂,第一夹臂、第二夹臂、第一尾臂及第二尾臂连接后共同形成X形状,取料驱动器连接第一尾臂与第二尾臂。
在其中一个实施例中,第一夹臂及第二夹臂的端部分别设有第一延伸部及第二延伸部,第一延伸部及第二延伸部分别朝朝向容器延伸。
在其中一个实施例中,取料驱动器包括固定部及活动连接固定部的活动部,活动部连接尾部。
在其中一个实施例中,取料驱动器还包括安装于活动部的中间件及活动连接中间件的连接件,连接件的远离中间件的一端连接尾部。
在其中一个实施例中,连接件的数量为二,二连接件分别连接于中间件的两端,其中一连接件连接第一尾臂,另一连接件连接第二尾臂。
在其中一个实施例中,取料驱动器为电动伸缩杆或者气缸或者液缸。
在其中一个实施例中,送料装置还包括托料组件,所述托料组件包括伸缩器及连接伸缩器的托夹,伸缩器的远离托夹的一端连接转动组件,托夹位于取料夹的下方。
在其中一个实施例中,上部的中间部位设有转动槽,上部通过转动槽套设于下部上。
上述任一项的送料装置在真空蒸镀工艺中输送材料的应用。
附图说明
图1为本发明送料装置及其应用的一较佳实施例的示意图;
图2为图1送料装置中的转动组件的示意图;
图3为图2转动组件中的上部与下部的示意图;
图4为图1送料装置中的取料组件的示意图;
图5为图1送料装置中的托夹的示意图。
附图标记说明:
20—转动组件,21—上部,22—下部,23—转动槽,24—容器连接杆;30—载料组件,31—容器,32—容器盖,33—载料器;40—取料组件,50—取料夹,51—弹性件,52—第一夹臂,53—第二夹臂,54—第一尾臂,55—第二尾臂,56—第一延伸部,57—第二延伸部,60—取料驱动器,61—固定部,62—活动部,63—中间件,64—连接件;70—托料组件,71—伸缩器,72—托夹;100—送料装置。
具体实施方式
为了便于理解本发明,下面将对本发明进行更全面的描述。但是,本发明可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本发明。
请参阅图1至图5,为本发明一较佳实施例的送料装置100,真空蒸镀工艺中输送材料的应用,如制作OLED器件时,真空蒸镀工艺中,发光层材料的输送。所述送料装置100包括转动组件20及连接转动组件20的载料组件30与取料组件40,转动组件20用于带动载料组件30转动,以更换进料位置,取料组件40用于取用载料组件30中的材料。
如图2所示,转动组件20包括上部21及活动连接上部21的下部22,较优地,下部22均呈圆柱状,则下部22可顺利地相对上部21转动。
一个实施例中,上部21的中间部位设有转动槽23,上部21通过转动槽23套设于下部22上,下部22可在转动槽23的范围内相对上部21上升或下移。
如图1所示,载料组件30包括若干容器31、若干容器盖32及若干载料器33,容器盖32与容器31相匹配,容器盖32可揭开地封盖容器31,每一载料器33对应放置于一容器31中,载料器33用于放置待加工材料。容器31呈开口向上的桶状,容器盖32在取料前封盖容器31,可防止杂质落入载料器33中污染材料,保证材料的纯净度。
若干容器31连接下部22,下部22设有容器31连接杆24,用于连接容器31,使可以带动容器31转动,以更换位置。较优地,容器盖32的顶部设有把手,便于后续取料组件40拨开,顺利取出载料器33。载料器33可以为坩埚或类似坩埚的器皿。
如图1及图4所示,取料组件40包括取料驱动器60及连接取料驱动器60的取料夹50,伸缩取料驱动器60连接转动组件20,取料夹50用于取出载料器33。
一个实施例中,取料夹50包括夹头及连接夹头的尾部,夹头包括弹性件51、分别连接弹性件51的第一夹臂52及第二夹臂53,尾部包括第一尾臂54及第二尾臂55,第一夹臂52连接第一尾臂54,第二夹臂53连接第二尾臂55,第一夹臂52、第二夹臂53、第一尾臂54及第二尾臂55连接后共同形成X形剪刀状,取料驱动器60连接第一尾臂54与第二尾臂55。第一尾臂54与第二尾臂55相互靠近时,第一夹臂52与第二夹臂53相互远离,即取料夹50打开;第一尾臂54与第二尾臂55相互远离时,第一夹臂52与第二夹臂53相互靠近,即取料夹50夹起来。基础状态中,由于弹性件51的自然张开,将第一夹臂52与第二夹臂53撑开至一定距离,当取料驱动器60动作将第一尾臂54与第二尾臂55撑开,相互远离,弹性件51收缩,第一夹臂52与第二夹臂53相互靠近,第一夹臂52的外侧端面与第二夹臂53的外侧端面之间的距离小于载料器33的口径,将第一夹臂52与第二夹臂53伸入载料器33,然后收拢第一尾臂54与第二尾臂55,或弹性件51自然伸展,使第一夹臂52及第二夹臂53分别压紧载料器33的内壁,即可将载料器33从容器31中取出。
弹性件51主要起到控制伸展范围的作用,利用弹性件51的自然伸缩,使第一夹臂52与第二夹臂53不会靠拢太紧,亦不撑开过大,还可起到缓冲的作用。弹性件51可以为弹簧,或者具有较好记忆性能的元件。
一个实施例中,第一夹臂52及第二夹臂53的端部分别设有第一延伸部56及第二延伸部57,第一延伸部56及第二延伸部57分别往朝向容器的方向延伸,以增加第一夹臂52及第二夹臂53与载料器33内壁之间的接触面积,进而增加摩擦力,使第一夹臂52与第二夹臂53更牢靠的压紧载料器33的内壁。
一个实施例中,取料驱动器60包括固定部61及活动连接固定部61的活动部62,固定部61连接上部21,活动部62连接尾部,活动部62可相对于固定部61伸出或缩回,利用活动部62的伸出或缩回带动第一尾臂54和第二尾臂55运动。
一个实施例中,取料驱动器60还包括安装于活动部62的中间件63及活动连接中间件63的连接件64,连接件64的远离中间件63的一端连接尾部。连接件64的数量为二,二连接件64分别连接于中间件63的两端,连接件64可以以其与中间件63的连接处为支点转动。其中一连接件64连接第一尾臂54,另一连接件64连接第二尾臂55。活动部62相对固定部61伸出时,活动部62将中间件63及连接件64朝向取料夹50的方向运动,推动第一尾臂54与第二尾臂55,二连接件64之间的角度张开,进而第一尾臂54与第二尾臂55相互远离,第一夹臂52与第二夹臂53靠拢。活动部62相对于固定部61收回时,活动部62将中间件63及连接件64背向取料夹50的方向运动,拉动第一尾臂54与第二尾臂55,二连接件64之间的角度减小,进而第一尾臂54与第二尾臂55相互靠拢。当然,活动部62相对固定部61的缩回可以为弹性件51的伸展,带动第一夹臂52与第二夹板撑开,带动第一尾臂54与第二尾臂55收拢,进而拉动二连接件64之间的角度缩小,推动活动部62朝向固定部61运动。
一个实施例中,取料驱动器60可以为电动伸缩杆或者气缸或者液缸。如取料驱动器60为电动伸缩杆时,固定部61为电动伸缩杆的固定部61分,伸缩杆为活动部62;取料驱动器60为气缸或液缸时,固定部61为缸体,活动部62为其中一端伸出缸体的活塞。
一个实施例中,如图1及图5所示,送料装置100还包括托料组件70,托料组件70包括伸缩器71及连接伸缩器71的托夹72,伸缩器71的远离托夹72的一端连接转动组件20,托夹72位于取料夹50的下方。取料夹50取出载料器33后,伸缩器71动作,将托夹72伸出,夹住载料器33的外壁,承托载料器33,使载料器33不容易摔落。伸缩器71可以为电动伸缩杆或者气缸或者液缸,伸缩器71的固定部61分连接转动组件20的上部21,伸缩部分连接托夹72。
上述送料装置100,使用时,安装于加工设备中如真空蒸镀腔体内,与旋转机构及升降机构配合使用,旋转机构可以为电机,通过联轴器连接转动组件20的下部22,以带动下部22转动。升降机构可以为气缸或液缸,或其他可以当动下部22上升或下降,升降机构可以通过旋转机构连接下部22,带动旋转机构上升或下降的同时,带动下部22上升或下降。
使用时,如图1所示,待使用材料放置于对应的载料器33中,每一容器盖32封盖一相邻的的容器31,取料夹50位于载料组件30的上方,当需要取其中一处的材料时,旋转机构带动下部22转动,将对于容器31转动至取料夹50的下方,升降机构将下部22上顶,容器盖32到达取料夹50的位置,转动下部22,用取料夹50拨开容器盖32,取料驱动器60动作,取料夹50的第一夹臂52与第二夹臂53压紧载料器33的内壁,将载料器33取出,伸缩器71动作,将托夹72夹于载料器33的外壁,使取料更稳固,即可将材料取出,将载料器33转放至待加工处,即可进行下一步工序。当需要取用另一个载料器33的材料,再将旋转下部22,将另一个容器31转动至取料组件40的下方,重复上述操作,取用另一个载料器33及其中的材料。
本发明送料装置100设置了多个容器31,可对应放置多个载料器33及材料,并可自动取用材料,且由于安装于设备中,添加材料或更换载料器33时无需打开腔体,避免了因打开腔体而受到污染的问题,亦节省了加料和换料的时间,提高了工作效率。
应用于OLED的蒸镀工艺时,通过增加一个送料装置100来增加镀膜腔体内的载料器33数量,进而增加镀膜材料的种类及数量,增加材料种类可以制作更多结构的OLED,扩大了镀膜腔体的使用范围,增加材料的数量可以减少打开腔体更换材料的频率,缩短镀膜段的节拍时间,进而提高产品的产能。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的一种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种送料装置,其特征在于,包括:
转动组件,所述转动组件包括上部及活动连接所述上部的下部;
载料组件,所述载料组件包括若干容器、若干容器盖及若干载料器,所述容器盖与所述容器相匹配,所述容器盖可揭开地封盖所述容器,每一所述载料器对应放置于一所述容器中;若干所述容器均连接所述下部;以及
取料组件,所述取料组件包括取料驱动器及连接所述取料驱动器的取料夹,所述取料驱动器连接所述转动组件,所述取料夹用于拨开所述容器盖并夹取所述载料器;取料时,转动所述下部至容器位于取料夹下方,所述下部上顶,容器盖到达取料夹的位置,转动下部,用取料夹拨开容器盖,取料驱动器动作,取料夹即可取出载料器。
2.根据权利要求1所述的送料装置,其特征在于,所述取料夹包括夹头及连接所述夹头的尾部,所述夹头包括弹性件、分别连接所述弹性件的第一夹臂及第二夹臂,所述尾部包括第一尾臂及第二尾臂,所述第一夹臂连接所述第一尾臂,所述第二夹臂连接所述第二尾臂,所述第一夹臂、第二夹臂、第一尾臂及第二尾臂连接后共同形成X形状,所述取料驱动器连接所述第一尾臂与第二尾臂。
3.根据权利要求2所述的送料装置,其特征在于,所述第一夹臂及第二夹臂的端部分别设有第一延伸部及第二延伸部,所述第一延伸部及第二延伸部分别朝向所述容器延伸。
4.根据权利要求2所述的送料装置,其特征在于,所述取料驱动器包括固定部及活动连接所述固定部的活动部,所述活动部连接所述尾部。
5.根据权利要求 4所述的送料装置,其特征在于,所述取料驱动器还包括安装于所述活动部的中间件及活动连接所述中间件的连接件,所述连接件的远离所述中间件的一端连接所述尾部。
6.根据权利要求5所述的送料装置,其特征在于,所述连接件的数量为二,二所述连接件分别连接于所述中间件的两端,其中一所述连接件连接所述第一尾臂,另一所述连接件连接所述第二尾臂。
7.根据权利要求1至6任一项所述的送料装置,其特征在于,所述取料驱动器为电动伸缩杆或者气缸或者液缸。
8.根据权利要求1所述的送料装置,其特征在于,所述送料装置还包括托料组件,所述托料组件包括伸缩器及连接所述伸缩器的托夹,所述伸缩器的远离所述托夹的一端连接所述转动组件,所述托夹位于所述取料夹的下方。
9.根据权利要求1所述的送料装置,其特征在于,所述上部的中间部位设有转动槽,所述上部通过所述转动槽套设于所述下部上。
10.如权利要求1至9任一项所述的送料装置在真空蒸镀工艺中输送材料的应用。
CN201811584589.9A 2018-12-24 2018-12-24 送料装置及其应用 Active CN109763103B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811584589.9A CN109763103B (zh) 2018-12-24 2018-12-24 送料装置及其应用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811584589.9A CN109763103B (zh) 2018-12-24 2018-12-24 送料装置及其应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109763103A CN109763103A (zh) 2019-05-17
CN109763103B true CN109763103B (zh) 2020-12-04

Family

ID=66452094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811584589.9A Active CN109763103B (zh) 2018-12-24 2018-12-24 送料装置及其应用

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109763103B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050087053A (ko) * 2004-02-24 2005-08-31 엘지전자 주식회사 물리적 기상 증착 장치 및 방법
CN101619446A (zh) * 2008-06-30 2010-01-06 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜蒸发载具及使用该镀膜蒸发载具的真空镀膜装置
CN101942641A (zh) * 2010-09-08 2011-01-12 四川虹视显示技术有限公司 Oled蒸镀机的蒸发源装置
CN103526164A (zh) * 2013-10-23 2014-01-22 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀设备
CN105088144A (zh) * 2015-08-07 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 一种更换坩埚装置
CN206537925U (zh) * 2016-10-20 2017-10-03 京东方科技集团股份有限公司 一种用于线源坩锅的加料装置
CN107267920A (zh) * 2017-07-04 2017-10-20 京东方科技集团股份有限公司 蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050087053A (ko) * 2004-02-24 2005-08-31 엘지전자 주식회사 물리적 기상 증착 장치 및 방법
CN101619446A (zh) * 2008-06-30 2010-01-06 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜蒸发载具及使用该镀膜蒸发载具的真空镀膜装置
CN101942641A (zh) * 2010-09-08 2011-01-12 四川虹视显示技术有限公司 Oled蒸镀机的蒸发源装置
CN103526164A (zh) * 2013-10-23 2014-01-22 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀设备
CN105088144A (zh) * 2015-08-07 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 一种更换坩埚装置
CN206537925U (zh) * 2016-10-20 2017-10-03 京东方科技集团股份有限公司 一种用于线源坩锅的加料装置
CN107267920A (zh) * 2017-07-04 2017-10-20 京东方科技集团股份有限公司 蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109763103A (zh) 2019-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102530573A (zh) 平移式移动翻箱倒料装置
CN109763103B (zh) 送料装置及其应用
CN103212986B (zh) 一种球阀自动组装机的阀体上料装置
KR20040015046A (ko) 금속판의 적층체를 용해로에 유입시키는 장치와 방법
CN1134057C (zh) 半导体晶片贮存夹具、操作方法及生产系统
CN110788832A (zh) 一种具有自动上下料功能的工业机器人
CN110482243B (zh) 一种包装材料用自动化码垛设备的工作方法
CN203292817U (zh) 一种球阀自动组装机的阀球装入装置
CN107470907B (zh) 一种自动贴片组装模组
CN212863260U (zh) 一种断路器用棒料自动上料机
CN210882799U (zh) 一种包装袋捆扎机
CN210149677U (zh) 一种纸箱升降定位装置
CN211224037U (zh) 一种包装袋捆扎机
CN207242927U (zh) 一种用于锂电池圆柱卷绕一体机的自动下料装置
CN105366361A (zh) 大型龙门吊式夹砖机
KR200428142Y1 (ko) 필터조립장치
CN207810711U (zh) 保持架上料机构以及上料机构
CN107117351B (zh) 手机电源配件上料机构
CN109759819A (zh) 晶圆用自动安装装置
CN213443213U (zh) 一种纸箱加工用自动纸箱包装机
CN210819556U (zh) 一种机械密封件组装机用机械手
CN212172720U (zh) 一种具有翻转机构的小型纸箱胶带机
CN104880069B (zh) 一种防热散失烧结炉
CN213352451U (zh) 一种从坩埚中取晶锭的机械手
CN205294227U (zh) 一种石墨片自动装卸装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant