CN110029312A - 蒸镀坩埚支撑器 - Google Patents

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CN110029312A
CN110029312A CN201910268932.7A CN201910268932A CN110029312A CN 110029312 A CN110029312 A CN 110029312A CN 201910268932 A CN201910268932 A CN 201910268932A CN 110029312 A CN110029312 A CN 110029312A
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Abstract

本发明公开一种蒸镀坩埚支撑器,包括:一壳体,一轴杆,一第一弹性件,一支撑构件,所述轴杆轴向地设置于所述壳体中,所述第一弹性件被配置为使所述轴杆可相对于所述壳体上下移动;所述支撑构件,包括多个第一连杆、多个第二连杆、多个连接件;所述支撑构件可在一闭合状态与一展开状态之间转换。

Description

蒸镀坩埚支撑器
技术领域
本发明是有关于一种蒸镀坩埚支撑器,特别是有关于一种用于点源蒸镀的蒸镀坩埚支撑器。
背景技术
目前市场的上显示屏的制作方式非常多,其中有机发光二极管(OLED)将是未来的主流技术,目前市场的OLED器件的制作方式主流有三种:蒸镀、喷墨打印(IJP)、热转印技术(LITI),其中比较成熟且运用最广的是蒸镀,并且已经量产。在点源蒸镀设备上,由于需要蒸镀很多不同材料,因此,需要使用不同口径的蒸镀坩埚。蒸镀坩埚为蒸镀的重要组成部分,也是设备保养、更换材料中使用拆装频率最高的组件。
如图1至图3所示,在蒸镀设备15中,由于坩埚151位于蒸发源的蒸镀腔体153内,并且与蒸镀腔体153紧密接触,所以坩埚夹具10只能通过开口152从坩埚151内部取放。现有的坩埚夹具10的设计,只能取放口径为6毫米的坩埚151,其它更大口径的坩埚151需要用手指包上干净的无尘布来取放,容易污染坩埚151及材料,从而影响材料性能;此外,现有的坩埚夹具10通过两个滑块111、112,使卡托14沿着轴杆12的梯型端部123的表面倾斜来提取坩埚151,其中卡托14为塑胶,并且与坩埚夹具10一体成型。因此,所述坩埚夹具10的坩埚卡托14因使用次数变多而容易断裂,且无法更换,导致整个坩埚夹具10报废,浪费成本。在蒸镀坩埚的保养及更换材料过程中,稍有疏忽或手中握力施加不当,更会出现坩埚倾覆甚至破损等危险。
故,有必要提供一种蒸镀坩埚支撑器,以解决现有技术所存在的问题。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种,以解决现有技术所存在的坩埚夹具的功能单一,只取一种口径坩埚;其它大口径坩埚需要用手取,容易污染坩埚及材料,从而影响材料性能;所述坩埚卡托与所述坩埚夹具一体成型,使得所述坩埚卡托因使用次数变多而断裂时,无法更换并导致整个坩埚夹具被报废、浪费成本的问题。
本发明的主要目的在于提供一种蒸镀坩埚支撑器,其可以实现多个功能,即根据蒸镀设备里的不同口径的坩埚,调整所述坩埚夹具的宽度,以取放不同的口径的坩埚,避免了用手取放坩埚而导致所述坩埚破损及材料污染,并且所述蒸镀坩埚支撑器操作便利,提高了更换坩埚的效率。
本发明的次要目的在于提供一种蒸镀坩埚支撑器,其支撑坩埚的部分是可以拆卸的,解决了现有的坩埚夹具与坩埚卡托一体化的设计,一旦所述坩埚卡托损坏,整个坩埚夹具则必须报废,以达到节省成本。此外,本发明的蒸镀坩埚支撑器还具有多个按钮,用于使所述蒸镀坩埚支撑器维持多个特定的展开程度。
为达成本发明的前述目的,本发明一实施例提供一种蒸镀坩埚支撑器,所述蒸镀坩埚支撑器包括:
一壳体,所述壳体的一第一端及一第二端各设有一第一开孔及一第二开孔;
一轴杆,包括一提取部及一支撑部,轴向地设置于所述壳体中,所述提取部从所述第一开孔伸出,所述支撑部从所述第二开孔伸出;及
一支撑构件,包括多个第一连杆、多个第二连杆、多个连接件;其中所述第一连杆与所述第二连杆铰性连接于一第一连接件、所述第二连杆与所述支撑部铰性连接于一可拆卸的第二连接件,以及所述第一连杆与所述壳体的所述第二端铰性连接于一可拆卸的第三连接件;
其中所述支撑构件可在一闭合状态与一展开状态之间转换,所述第一连接件设置于所述第二连杆的两个端点之间,所述第一连接件被配置为使所述第一连杆与所述第二连杆可展开成一倒勾,用以从一坩埚的内部支撑所述坩埚。
在本发明的一实施例中,在所述闭合状态下,所述提取部位于所述壳体内,使得所述支撑部从所述第二开孔伸出,所述第一连杆与所述第二连杆部分重叠成一直线;及在所述展开状态下,一作用力使所述提取部从所述第一开孔伸出,所述支撑部从所述第二开孔缩回所述壳体中,所述第一连杆与所述第二连杆形成所述倒勾。
在本发明的一实施例中,在所述闭合状态下的所述支撑构件的一尺寸小于所述壳体的一尺寸,而在所述展开状态下的所述支撑构件的所述尺寸大于所述壳体的所述尺寸,并且该支撑构件的所述尺寸可匹配所述坩埚的一尺寸。
在本发明的一实施例中,所述支撑构件的展开程度与所述提取部伸出所述第一开孔的一距离成正比。
在本发明的一实施例中,所述轴杆还包括:一加宽部,所述加宽部位于所述提取部与所述支撑部之间,所述加宽部的宽度大于所述第一开孔的一孔径及所述第二开孔的一孔径。
在本发明的一实施例中,所述支撑构件还包括:一第一弹性件,弹性连接所述提取部与所述壳体,被配置为使所述轴杆可相对于所述壳体上下移动。
在本发明的一实施例中,所述加宽部具有一空腔及一通孔,所述空腔内设置有一可伸缩凸块,使所述可伸缩凸块可从所述通孔向外突出。
在本发明的一实施例中,所述可伸缩凸块包括:一滑块及一第二弹性件,所述滑块具有一突出,所述第二弹性件用于向所述滑块提供一径向的作用力。
在本发明的一实施例中,所述壳体的一侧面还包括:一定位孔及一按钮,所述按钮嵌入在所述定位孔中。
在本发明的一实施例中,在所述展开状态下,所述可伸缩凸块卡合在所述按钮处,以固定所述轴杆,此时该支撑构件的尺寸可匹配所述坩埚的口径;以及所述可伸缩凸块可通过按下所述按钮而缩回所述壳体内﹐以使所述轴杆可在所述壳体内移动。
在本发明的一实施例中,所述提取部位于所述壳体外的一端部具有一凸缘,所述凸缘的大小大于所述第一开孔的一孔径。
与现有技术相比较,本发明的蒸镀坩埚支撑器可以实现多个功能,即根据蒸镀设备里的不同口径的坩埚,调整所述坩埚夹具的宽度,以取放不同的口径的坩埚,避免了用手取放坩埚而导致所述坩埚破损及材料污染,并且提高更换坩埚的效率。本发明的蒸镀坩埚支撑器的支撑坩埚的部分是可以拆卸的,解决了现有的坩埚夹具与坩埚卡托一体化的设计,避免了因部分损坏造成整个坩埚夹具则必须报废,以达到节省成本。此外,本发明的蒸镀坩埚支撑器还具有多个按钮,用于使所述蒸镀坩埚支撑器稳定地维持在多个特定的展开程度。
为让本发明的上述内容能更明显易懂,下文特举优选实施例,并配合所附图式,作详细说明如下:
附图说明
图1是现有的坩埚夹具的示意图。
图2是现有的坩埚夹具在使用状态下的示意图。
图3是现有的坩埚的示意图。
图4是本发明的一实施例的蒸镀坩埚支撑器在闭合状态下的示意图。
图5是本发明的一实施例的蒸镀坩埚支撑器在展开状态下的示意图。
图6是本发明的一实施例的蒸镀坩埚支撑器在另一展开状态下的示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。再者,本发明所提到的方向用语,例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧面、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。
本文所用术语“包含”、“具有”及其词形变化是指“包含但不限于”。
本文所用术语“一”、“一个”及“至少一”包含复数引用,除非上下文另有明确规定。例如,术语“一处理模组”或“至少一处理模组”可以包含多个处理模组,包含其组合物。
本文所用术语“多个”、“数个”除另有说明外皆可选自二个、三个或以上,而“至少一个”除另有说明外皆可选自一个、二个、三个或以上,于此合先叙明。
本文中所揭露的大小及数值不应意图被理解为严格限于所述精确数值。相反的,除非另外指明,各种大小旨在表示所引用的数值以及功能上与所述数值相同的范围。例如所揭露的大小为“10毫米”是指“约10毫米”。
本文所用术语“可选择地”表示在一些实施例中提供,而在其它实施例中不提供。任何本发明的特定实施例可以包含多个“可选择的”特征,除非此类特征相冲突。
本文所用术语“支撑构件”是指具有支撑作用的构件。
请参照图4至图6,图4是本发明的一实施例的蒸镀坩埚支撑器在闭合状态下的示意图,图5是本发明的一实施例的蒸镀坩埚支撑器在展开状态下的示意图,图6是本发明的一实施例的蒸镀坩埚支撑器在另一展开状态下的示意图。
本发明的一实施例的蒸镀坩埚支撑器20包括:一壳体21、一轴杆22、一第一弹性件23及一支撑构件24。所述壳体21的一第一端211及一第二端214各设有一第一开孔213及一第二开孔214。在本发明的一实施例中,所述壳体21的一侧面还设有至少一定位孔215及至少一按钮26,所述按钮26嵌入在所述定位孔215中。
所述轴杆22包括一提取部221及一支撑部222,轴向地设置于所述壳体21中,所述提取部221从所述第一开孔213伸出,所述支撑部222从所述第二开孔214伸出,使得所述轴杆22可在所述壳体21内上下移动。
在本发明的一实施例中,所述提取部221位于所述壳体21外的一端部223还可以具有一凸缘224,所述凸缘223的大小大于所述第一开孔213的一孔径,所述凸缘223用于限制所述轴杆22的距离,使得所述轴杆22不会从所述第二开孔214中脱出。
在本发明的一实施例中,所述轴杆22还包括一加宽部223,所述加宽部223位于所述提取部221与所述支撑部222之间,所述加宽部223的宽度大于所述第一开孔213的一孔径及所述第二开孔214的一孔径,所述加宽部223被配置为限制所述轴杆22的移动距离,使得所述轴杆22不会从所述第一开孔及所述第二开孔214中脱出。即当所述加宽部223移动到所述壳体21的所述第一端211时,所述提取部221位于所述壳体21外,而所述支撑部222缩回所述壳体21内;当所述加宽部223移动到所述壳体21的所述第二端212时,所述提取部221位于所述壳体21内,而所述支撑部222伸出所述壳体21外。
所述加宽部223可具有一空腔224及一通孔225,所述空腔224内设置有一可伸缩凸块25,使所述可伸缩凸块25可从所述通孔224向外突出。
所述可伸缩凸块25可包括:一滑块251及一第二弹性件254,所述滑块251具有一突出253,所述突出253卡合所述加宽部223的所述通孔225,所述第二弹性件254用于向所述滑块251提供一径向的作用力,使得所述滑块251可在所述空腔224内移动,以及所述滑块251的所述突出253可以从所述加宽部223的所述通孔225突出。可选地,所述可伸缩凸块25可以由两个滑块251、252及一第二弹性件254组成,所述第二弹性件254设置在所述两个滑块251、252之间。
所述第一弹性件23,设置在所述壳体21内,所述第一弹性件23弹性连接所述提取部221与所述壳体21,并且被配置为使所述轴杆22可相对于所述壳体21上下移动。例如:所述第一弹性件23围绕在所述轴杆22设置。
所述第一弹性件23为具有弹性回复能力的势能件,例如:弹簧或多个簧片。所述第一弹性件23的材质可以是金属、橡胶或其它具有弹性的材料。所述第一弹性件23的一端抵靠所述壳体21的第一端211,而所述第一弹性件23的另一端抵靠所述壳体21的第二端212。在本发明的一实施例中,所述第一弹性件23的一端抵靠所述壳体21的第一端211,而所述第一弹性件23的另一端抵靠所述加宽部223。
所述支撑构件24包括:多个第一连杆241、多个第二连杆242、多个连接件243-245;其中所述第一连杆241与所述第二连杆242铰性连接于一第一连接件243、所述第二连杆242与所述支撑部222铰性连接于一可拆卸的第二连接件244,以及所述第一连杆241与所述壳体21的所述第二端212铰性连接于一可拆卸的第三连接件245,使得当所述支撑构件24发生断裂时,可以单独将所述支撑构件24拆卸下来,并更换一新的支撑构件24,而不需把整个蒸镀坩埚支撑器报废,节省大量成本。可选地,所述第一连接件243可以是可拆卸的连接件。
在本发明的一实施例中,所述第一连杆241及所述第一连杆242的材料可以选自于由金属、无机化合物、有机化合物及其组合所组成的群组。例如:该无机化合物是陶瓷,该有机化合物是聚合物。
所述支撑构件24可在一闭合状态与一展开状态之间转换,所述第一连接件243的一端设置于所述第二连杆242的两个端点之间,所述第一连接件243的另一端设置于所述第一连杆241的一端点,所述第一连接件被配置为使所述第一连杆241与所述第二连杆242可展开成一倒勾246,用以从一坩埚282的内部支撑所述坩埚,所述倒勾246的一角度随着所述支撑构件24的展开程度增加而增加。
如图4所示,所述蒸镀坩埚支撑器20在所述闭合状态下,一作用力施加在所述提取部221上,使所述提取部221位于所述壳体21内,并且所述支撑部222从所述第二开孔214伸出。所述第一连杆241与所述第二连杆242部分重叠成一直线,使得所述支撑构件24的一尺寸(或展开宽度、或直径)小于所述壳体21的一尺寸。因此,所述蒸镀坩埚支撑器20可以通过所述蒸镀坩埚28的开口281进入所述蒸镀坩埚的内腔282内。
如图5所示,所述蒸镀坩埚支撑器20在所述展开状态下,一作用力施加在所述提取部221上,使所述提取部221从所述第一开孔213伸出,所述支撑部222从所述第二开孔214缩回所述壳体21中,所述支撑构件24的展开程度与所述提取部221伸出所述第一开孔213的一距离成正比。所述第一连杆241与所述第二连杆242形成所述倒勾246。而在所述展开状态下的所述支撑构件24的所述尺寸大于所述壳体21的所述尺寸,并且所述支撑构件24的所述尺寸可匹配所述坩埚28的一口径。所述坩埚28的所述口径例如:6毫米、12毫米等。
所述支撑构件24的所述尺寸在展开状态下可以具有一范围,例如:1毫米至20毫米、4毫米至15毫米及6毫米至12毫米等。所述支撑构件24在所述展开状态下的所述尺寸取决于所述第一连杆241的长度及所述第二连杆242的长度。通过拆卸所述多个连接件243-245,替换成其它长度的第一连杆241及/或第二连杆242,可调整所述支撑构件24在展开状态下的所述尺寸的范围。
所述壳体21可以具有多个定位孔及多个按钮26,每一所述定位孔215与所述按钮26的位置可对应于一坩埚的口径,例如:6毫米或12毫米,使得当所述可伸缩凸块25卡合在所述定位孔215内时,所述支撑构件24的尺寸符合一特定的坩埚的口径。
在本发明的一实施例中,在如图5所示的所述展开状态下,由所述轴杆22的所述支撑部222、所述第一连杆241及所述第二连杆242组成类三角形的连动机构。拉动所述轴杆22的提取部221,使得所述支撑部222作为所述连动机构中长度可变化的一条边,其它两条边长度不变;当所述支撑部222从所述第二开孔伸出的长度变短以后,所述第二连杆242向外伸出的角度变大,即所述倒勾的所述角度变大,使得所述支撑构件的尺寸变大。所述可伸缩凸块25可卡合在所述按钮26处,使所述按钮26向外弹出,以固定所述轴杆22于一特定的展开程度。此时,所述支撑构件24的尺寸(或展开宽度、或直径)可匹配所述坩埚28的口径,例如:6毫米。当按下所述按钮26时,所述可伸缩凸块25可缩回所述壳体21内﹐以使所述轴杆22可在所述壳体21内移动,并且使所述支撑构件24回复到所述闭合状态,以将所述蒸镀坩埚支撑器20从所述坩埚28中取出。
在本发明的一实施例中,在如图6所示的所述展开状态下,由所述轴杆22的所述支撑部222、所述第一连杆241及所述第二连杆242组成类三角形的连动机构。拉动所述轴杆22的提取部221,使得使得所述支撑部222作为所述连动机构中长度可变化的一条边,其它两条边长度不变;当所述支撑部222从所述第二开孔伸出的长度变短以后,所述第二连杆242向外伸出的角度变大,即所述倒勾的所述角度变大,使得所述支撑构件的尺寸变大。所述可伸缩凸块25可卡合在所述按钮27处,使所述按钮27向外弹出,以固定所述轴杆22于一特定的展开程度。此时,所述支撑构件24的尺寸(或展开宽度、或直径)可匹配所述坩埚28的口径,例如:12毫米。当按下所述按钮27时,所述可伸缩凸块25可缩回所述壳体21内﹐以使所述轴杆22可在所述壳体21内移动,并且使所述支撑构件24回复到所述闭合状态,以将所述蒸镀坩埚支撑器20从所述坩埚28中取出。
与现有技术相比较,本发明的蒸镀坩埚支撑器可以实现多个功能,即根据蒸镀设备里的不同口径的坩埚,调整所述坩埚夹具的宽度,以取放不同的口径的坩埚,避免了用手取放坩埚而导致所述坩埚破损及材料污染,并且提高更换坩埚的效率。本发明的蒸镀坩埚支撑器的支撑坩埚的部分是可以拆卸的,解决了现有的坩埚夹具与坩埚卡托一体化的设计,避免了因部分损坏造成整个坩埚夹具则必须报废,以达到节省成本。此外,本发明的蒸镀坩埚支撑器还具有多个按钮,用于使所述蒸镀坩埚支撑器稳定地维持在多个特定的展开程度。
相关技术人员将理解,为简单及清楚起见,在图中所示的元件不一定按比例绘制。也就是说,在各种实施例中,图示所选择的元件以强化功能的理解及功能的设置。在市面上实施的案例中,一般容易理解且可能是有用或必需的元件,为方便以下的实施例的示意图不一定会描述。
虽然本发明的具体实施例在本文中已经有说明及描述,但应理解的是,通过本技术领域的技术人员可利用存在的各种替代及/或等效的方式实现。应当认识到,所述示例性实施例或示例性实施例仅作为示例,并不会限制其范围、适用性或配置。相反地,前面的概述及详细描述在至少一个示例性实施例中实施而为本领域的技术人员提供方便的指示,可理解的是,在不脱离所附属的权利要求及其合法规定的范围下,一个示例性实施例中描述的元件的功能及设置可以作出各种改变,在一般情况下,本申请案涵盖本文所讨论的具体实施例的任何修改或变更。
可以理解,本发明中的特定特征,为清楚起见,在分开的实施例的内文中描述,也可以在单一实施例的组合中提供。相反地,本发明中,为简洁起见,在单一实施例的内文中所描述的各种特征,也可以分开地、或者以任何合适的子组合、或者在适用于本发明的任何其他描述的实施例中提供。在各种实施例的内文中所描述的特定特征,并不被认为是那些实施方案的必要特征,除非该实施例没有那些元素就不起作用。
虽然本发明结合其具体实施例而被描述,应该理解的是,许多替代、修改及变化对于那些本领域的技术人员将是显而易见的。因此,其意在包含落入所附权利要求书的范围内的所有替代、修改及变化。

Claims (10)

1.一种蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述蒸镀坩埚支撑器包括:
一壳体,所述壳体的一第一端及一第二端各设有一第一开孔及一第二开孔;
一轴杆,包括一提取部及一支撑部,轴向地设置于所述壳体中,所述提取部从所述第一开孔伸出,所述支撑部从所述第二开孔伸出;及
一支撑构件,包括多个第一连杆、多个第二连杆、多个连接件;其中所述第一连杆与所述第二连杆铰性连接于一第一连接件、所述第二连杆与所述支撑部铰性连接于一可拆卸的第二连接件,以及所述第一连杆与所述壳体的所述第二端铰性连接于一可拆卸的第三连接件;
其中所述支撑构件可在一闭合状态与一展开状态之间转换,所述第一连接件设置于所述第二连杆的两个端点之间,所述第一连接件被配置为使所述第一连杆与所述第二连杆可展开成一倒勾,用以从一坩埚的内部支撑所述坩埚。
2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:在所述闭合状态下,所述提取部位于所述壳体内,使得所述支撑部从所述第二开孔伸出,所述第一连杆与所述第二连杆部分重叠成一直线;及在所述展开状态下,一作用力使所述提取部从所述第一开孔伸出,所述支撑部从所述第二开孔缩回所述壳体中,所述第一连杆与所述第二连杆形成所述倒勾。
3.如权利要求2所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:在所述闭合状态下的所述支撑构件的一尺寸小于所述壳体的一尺寸,而在所述展开状态下的所述支撑构件的所述尺寸大于所述壳体的所述尺寸,并且该支撑构件的所述尺寸可匹配所述坩埚的一尺寸。
4.如权利要求1所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述支撑构件的展开程度与所述提取部伸出所述第一开孔的一距离成正比。
5.如权利要求1所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述轴杆还包括:一加宽部,所述加宽部位于所述提取部与所述支撑部之间,所述加宽部的宽度大于所述第一开孔的一孔径及所述第二开孔的一孔径。
6.如权利要求1所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述支撑构件还包括:一第一弹性件,弹性连接所述提取部与所述壳体,被配置为使所述轴杆可相对于所述壳体上下移动。
7.如权利要求6所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述加宽部具有一空腔及一通孔,所述空腔内设置有一可伸缩凸块,使所述可伸缩凸块可从所述通孔向外突出。
8.如权利要求7所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述可伸缩凸块包括:一滑块及一第二弹性件,所述滑块具有一突出,所述第二弹性件用于向所述滑块提供一径向的作用力。
9.如权利要求7所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述壳体的一侧面还包括:一定位孔及一按钮,所述按钮嵌入在所述定位孔中。
10.如权利要求9所述的蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:在所述展开状态下,所述可伸缩凸块卡合在所述按钮处,以固定所述轴杆,此时该支撑构件的尺寸可匹配所述坩埚的口径;以及所述可伸缩凸块可通过按下所述按钮而缩回所述壳体内﹐以使所述轴杆可在所述壳体内移动。
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