CN203728959U - 一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆，所述提升滑套设在提升杆外部，提升杆与提升滑套可相对滑动，所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构，卡托机构设置在提升杆和提升滑套的周向且均匀分布形成三爪卡托，该装置可以安全快速且省力的取出单晶炉坩埚，在取出过程中保护坩埚不被损坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置。
背景技术
单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料，在硅单晶拉制前，需要利用坩埚取出机构取出坩埚，一般的单晶炉坩埚取出机构，都是采用人工拆装式来实现，如此劳动强度大且不安全，生产效率第，而且现有的单晶炉坩埚取出机构会致使坩埚受力不均、局部受力过大，导致坩埚损坏。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述缺陷，提供一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，该装置可以安全快速且省力的取出单晶炉坩埚，在取出过程中保护坩埚不被损坏。
本实用新型采用的技术方案是：一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆，所述提升滑套设在提升杆外部，提升杆与提升滑套可相对滑动，所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构，所述组成卡托机构的托板顶部两边设有拉杆，拉杆顶端设有拉杆横杆，连接杆与拉杆横杆上面中间设置的凸起活动铰接，托板顶端中间设有与支臂活动铰接的凸起，所述提升杆上部外壁周向设有三个均布的第一铰接凸起，提升滑套外壁周向设有三个均布的与提升杆第一铰接凸起方向对应的第二铰接凸起，进一步的组成卡托机构的连接杆与提升杆上部的第一铰接凸起铰接，组成卡托机构的支臂与提升滑套的第二铰接凸起铰接，更进一步的所述托板、支臂和连接杆组成的卡托机构数量为三个，每个组成卡机构的连接杆和支臂均与对应的第一交接凸起、第二铰接凸起铰接。
所述三个第一交接凸起和三个第二铰接凸起各自之间的夹角均为120°，进一步的三个卡托机构的中心线之间的夹角均为120°。
所述组成卡托机构的托板为三分之一段圆弧形拱板，三个卡托机构合拢后三个托板可组成底部中间空心的托盘。
所述组成卡托机构的支臂为竖直臂和水平臂组成的直角型，支臂水平臂前端与托板铰接，支臂竖直臂低端与第二铰接凸起铰接。
所述组成卡托机构的支臂竖直臂设有护板，所述护板为三分之一段弧形板，三个卡托机构合拢后三个护板组成圆形护板。
所述三个卡托机构合拢后托板底部到支臂水平臂的距离大于单晶炉坩埚的高度。
本实用新型的有益效果是：采用上述方案，托板、支臂和连接杆组成卡托机构结构简单巧妙，连接杆与提升杆的第一铰接凸起铰接，直角型的支臂与提升滑套的第二铰接凸起铰接，连接杆铰接拉杆横杆，拉杆横杆与拉杆、托板一体，三个卡托机构设置在提升杆和提升滑套的周向形成三爪卡托，直角型的支臂、连接杆与提升滑套和提升杆的活动铰接有效地实现联动，控制三爪卡托的打开与闭合，三爪卡托闭合，底部三个托班组成坩埚底部配合的托盘托住坩埚的底部，结合支臂上三块护板组成的圆形护板保护坩埚的侧壁，使坩埚受力均匀，更好的保护坩埚，且整个过程机器联动不需要人工拆装，快捷省力。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
其中：1为提升杆，2为提升滑套，3为托板，4为支臂，5为连接杆，6为护板，7为拉杆，8为拉杆横杆，9为第一铰接凸起，10为第二铰接凸起。
具体实施方式
如图1，一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆1、提升滑套2、托板3、支臂4和连接杆5，提升滑套2设在提升杆1外部，提升杆1与提升滑套2可相对滑动，托板3、支臂4和连接杆4组成卡托机构，提升杆1上部外壁周向设有三个均布的第一铰接凸起9，提升滑套2外壁周向设有三个均布的与提升杆1第一铰接凸起9方向对应的第二铰接凸起10，第一交接凸起9和三个第二铰接凸起10各自之间的夹角均为120°，组成卡托机构的托板3顶部两边设有拉杆7，拉杆7顶端设有拉杆横杆8，连接杆5与拉杆横杆8上面中间设置的凸起活动铰接，托板3顶端中间设有与支臂4活动铰接的凸起，连接杆5与提升杆1上部的第一铰接凸起9铰接，支臂4与提升滑套2的第二铰接凸起10铰接，托板3、支臂4和连接杆5组成的卡托机构数量为三个，每个组成卡托机构的连接杆4和支臂4均与对应的第一交接凸起9、第二铰接凸起10铰接10，三个卡托机构在提升杆1和提升滑套2周围形成三爪卡托，托板3为三分之一段圆弧形拱板，三个卡托机构合拢后三个托板3可组成底部中间空心的托盘，托盘与坩埚底部配合更好的托住坩埚，使坩埚底部受力均匀从而保护坩埚，并且支臂4为竖直臂和水平臂组成的直角型，支臂水平臂前端与托板3铰接，支臂竖直臂低端与第二铰接凸起10铰接，这样的设计配合连接杆5，便于控制三爪卡托的打开与闭合，支臂4设置的护板6为三分之一段弧形板，三爪卡托合拢后三个护板6组成圆形护板保护坩埚侧壁，当提升杆1和提升滑套2向下运动时，三爪卡托打开包覆坩埚，向上运动，三爪卡托合拢，三个托板3组成托盘与坩埚弧形底部配合，托住坩埚底部，三个支臂4的竖直臂上的三个护板6组成圆形护板，护持坩埚的侧壁，且托板3底部到支臂4水平臂的距离大于坩埚高度，不会发生干涉，从而坩埚的底部和侧壁都受到保护，使坩埚整体受力均匀，不会因受力不均导致坩埚损坏，更好的保护坩埚，且不需人工拆装，快捷安全省力。
本实用新型并不局限于所述的实施例，本领域的技术人员在不脱离本实用新型的精神即公开范围内，仍可作一些修正或改变，故本实用新型的权利保护范围以权利要求书限定的范围为准。
Claims (6)
1.一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆，其特征在于：所述提升滑套设在提升杆外部，提升杆与提升滑套可相对滑动，所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构，所述组成卡托机构的托板顶部两边设有拉杆，拉杆顶端设有拉杆横杆，连接杆与拉杆横杆上面中间设置的凸起活动铰接，托板顶端中间设有与支臂活动铰接的凸起，所述提升杆上部外壁周向设有三个均布的第一铰接凸起，提升滑套外壁周向设有三个均布的与提升杆第一铰接凸起方向对应的第二铰接凸起，进一步的组成卡托机构的连接杆与提升杆上部的第一铰接凸起铰接，组成卡托机构的支臂与提升滑套的第二铰接凸起铰接，更进一步的所述托板、支臂和连接杆组成的卡托机构数量为三个，每个组成卡托机构的连接杆和支臂均与对应的第一交接凸起、第二铰接凸起铰接。
2.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，其特征在于：所述三个第一交接凸起和三个第二铰接凸起各自之间的夹角均为120°，进一步的三个卡托机构的中心线之间的夹角均为120°。
3.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，其特征在于：所述组成卡托机构的托板为三分之一段圆弧形拱板，三个卡托机构合拢后三个托板可组成底部中间空心的托盘。
4.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，其特征在于：所述组成卡托机构的支臂为竖直臂和水平臂组成的直角型，支臂水平臂前端与托板铰接，支臂竖直臂低端与第二铰接凸起铰接。
5.根据权利要求1或4任意一项所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，其特征在于：所述组成卡托机构的支臂竖直臂设有护板，所述护板为三分之一段弧形板，三个卡托机构合拢后三个护板组成圆形护板。
6.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，其特征在于：所述卡托机构合拢后托板底部到支臂水平臂的距离大于单晶炉坩埚的高度。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110029312A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-19 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀坩埚支撑器 |
| CN112658659A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-04-16 | 曲靖晶龙电子材料有限公司 | 用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机 |
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2013
- 2013-12-12 CN CN201320824244.2U patent/CN203728959U/zh not_active Expired - Fee Related
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