CN104903597B - 气缸装置 - Google Patents

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Abstract

将活塞(10)可升降地插入外壳(1)内，并构成为能够相对于配置在该活塞(10)的上侧的驱动室(11)供给和排出液压油。使插入所述外壳(1)的上壁(2)的输出杆(15)从活塞(10)向上突出。在该输出杆(15)的外周侧的所述上壁(2)，沿周向空出规定的间隔地配置下降检测用的第一检测阀(31)和上升检测用的第二检测阀(32)。该第一检测阀(31)和第二检测阀(32)分别具有从上侧与所述活塞(10)相对的被操作部(49)、(79)。构成为能够将检测用的加压空气经由第一供给路径(B1)和第二供给路径(B2)供给至所述第一检测阀(31)和第二检测阀(32)的各入口(31a)、(32a)。

Description

气缸装置
技术领域
本发明涉及附设有检测活塞的移动位置的功能的气缸装置，更具体地说，涉及良好地适用于工件用的夹具的气缸装置。
背景技术
以往，在这种带有检测功能的气缸装置中，有专利文献1(日本特开昭60－129410号公报)记载的气缸装置。
在该以往公报的第5图中，记载了如下结构：将活塞以能够向左右方向移动的方式插入外壳，将确认该活塞的左右的移动位置的检测阀分别配置于上述外壳的左右的端壁，并由上述活塞来操作各检测阀的检测杆。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开昭60－129410号公报
发明内容
发明要解决的课题
在上述的以往技术中，由于将检测阀分别配置于外壳的左右的端壁，因此，当将左方的端壁安装在工作台等固定台上的情况下，难以接近该左方的检测阀，该左方的检测阀的维护很耗费工夫。
本发明的目的在于，提供一种检测阀的维护容易的气缸装置。
用于解决课题的手段
为了达成上述目的，本发明例如如图1A至图5B所示地，按照如下构成气缸装置。
将活塞10以能够升降的方式插入外壳1内，并构成为能够将驱动用的加压流体相对于配置在该活塞10的上侧的驱动室11供给和排出。将插入所述外壳1的上壁2的输出杆15与所述活塞10连结。在该输出杆15的外周侧的所述的上壁2中，沿周向空出规定的间隔地配置下降检测用的第一检测阀31和上升检测用的第二检测阀32。该第一检测阀31和第二检测阀32分别具有从上侧与所述活塞10相对的被操作部49、79。构成为能够经由第一供给路径B1和第二供给路径B2向所述第一检测阀31和第二检测阀32的各入口31a、32a供给检测用的加压空气。
本发明发挥以下的作用效果。
在插入外壳的上壁的输出杆的外周侧，在该上壁中配置了下降检测用的第一检测阀和上升检测用的第二检测阀这两个检测阀，因此，即使在将该外壳的下壁安装在工作台等固定台上或将该外壳的下半部插入固定台的安装孔的情况下等，也能够从上侧接近上述两个检测阀。因此，检测阀的维护不耗费工夫。
并且，在将上述两个检测阀设置在上壁内时，能够将该上壁的剩余空间作为设置空间来利用，因此，能够将气缸装置维持为紧凑的状态。
因此，能够提供检测阀的维护容易的、紧凑的气缸装置。
在本发明中，优选地，使所述第一检测阀31和第二检测阀32的各轴心以随着朝向下方而靠近所述活塞10的轴心的方式倾斜，并将该倾斜角度设定在5度至15度的范围内。
根据上述发明，能够兼顾：防止两个检测阀与安装于输出杆的外周侧的上壁的密封部件或刮具等干涉；以及，使外壳的半径方向的尺寸变小，因此，能够紧凑地制造气缸装置。
另外，在本发明中，优选地，将所述的上壁2形成为俯视时的长方形形状或正方形形状，在与该上壁2的周向的四边相对应的四个壁部分中的任意壁部分中，形成向所述驱动室11连通的供给排出路径21，在所述四个壁部分中的、除了形成所述供给排出路径21的壁部分的任意壁部分中，设置所述第一检测阀31和第二检测阀32。
根据上述结构，能够更加紧凑地制造气缸装置。
此外，在本发明中，优选地，所述上壁2具有安装用的凸缘7，使向所述供给排出路径21连通的供给排出口P1在形成于该凸缘7的外周部的下表面的装配面7a开口。
在上述各发明中，优选地按照下述构成。
即，下降检测用的所述第一检测阀31构成为，在所述活塞10从下限位置向上限位置移动的中途被该活塞10开阀，并且，当该活塞10从所述上限位置下降了规定的第一冲程S1时被闭阀；上升检测用的所述第二检测阀32构成为，在所述活塞10从所述下限位置向所述上限位置或其附近位置移动了时被该活塞10闭阀，并且，当该活塞10从所述上限位置下降了规定的第二冲程S2时被开阀，将该第二冲程S2的长度设定为比所述第一冲程S1的长度小的值。
根据上述结构，能够可靠地区分下降位置和上升位置地进行检测。
另外，优选地，本发明的第一检测阀31例如如图4A和图4B所示的那样，按照下述构成。
即，下降检测用的所述第一检测阀31具备：第一安装孔M1，该第一安装孔M1以从上侧与所述驱动室11相对的方式形成于所述上壁2；第一壳体C1，该第一壳体C1安装于该第一安装孔M1；第一检测杆41，该第一检测杆41插入该第一壳体C1，并具有下受压部45、受压面积比该下受压部45大的上受压部47、和所述被操作部49；压力室51，该压力室51形成于所述上受压部47的上侧；贯通孔52，该贯通孔52以使该压力室51向所述驱动室11连通的方式形成于所述第一检测杆41；阀面55，该阀面55是提升阀形，形成于所述上受压部47的下部；以及，阀座54，该阀座54以当所述第一检测杆41下降了时被所述阀面55关闭的方式形成于所述第一壳体C1。
根据上述结构，下降检测用的第一检测阀能够以简单的结构可靠地闭阀。
此外，优选地，本发明的第二检测阀32例如如图5A和图5B所示地，按照下述构成。
即，上升检测用的所述第二检测阀32具备：第二安装孔M2，该第二安装孔M2以从上侧与所述驱动室11相对的方式形成于所述上壁2；第二壳体C2，该第二壳体C2安装于该第二安装孔M2；第二检测杆42，该第二检测杆42插入该第二壳体C2，并具有下受压部75、受压面积比该下受压部75大的上受压部77、和所述被操作部79；压力室81，该压力室81形成于所述上受压部77的上侧；贯通孔82，该贯通孔82以使该压力室81向所述驱动室11连通的方式形成于所述第二检测杆42；阀面85，该阀面85是卷筒形，形成于该第二检测杆42的外周面；以及，阀孔84，该阀孔84以当所述第二检测杆42上升了时被所述阀面85关闭的方式形成于所述第二壳体C2。
根据上述结构，上升检测用的第二检测阀能够以简单的结构可靠地闭阀。
附图说明
图1A表示利用了本发明的气缸装置的工件用夹具，是该夹具的非夹紧状态的立视图，是相当于图2A中的1A－1A线的截面图的图。图1B是相当于所述图2A中的1B－1B线的截面图的图，是与所述图1A类似的图。
图2A是所述图1A的俯视图。图2B是相当于图2A的右侧面的图。
图3A表示所述夹具的夹紧状态，是与所述图1A类似的图。图3B也表示该夹具的夹紧状态，是与所述图1B类似的图。
图4A是所述图1A的局部放大图，表示所述非夹紧状态下的下降检测用的第一检测阀。图4B是所述图3A的局部放大图，表示所述夹紧状态下的第一检测阀。
图5A是所述图1B的局部放大图，表示所述非夹紧状态下的上升检测用的第二检测阀。图5B是所述图3B的局部放大图，表示所述夹紧状态下的第二检测阀。
附图标记说明
1：外壳，2：上壁，7：凸缘，7a：装配面，10：活塞，11：驱动室(第一驱动室)，15：输出杆，21：供给排出路径(第一供给排出路径)，31：第一检测阀，31a：入口，32：第二检测阀，32a：入口，41：第一检测杆，42：第二检测杆，45：下受压部，47：上受压部，49：被操作部，51：压力室，52：贯通孔，54：阀座，55：阀面，75：下受压部，77：上受压部，79：被操作部，81：压力室，82：贯通孔，84：阀孔，85：阀面，B1：第一供给路径，B2：第二供给路径，C1：第一壳体，C2：第二壳体，M1：第一安装孔，M2：第二安装孔，P1：供给排出口(第一供给排出口)，S1：第一冲程，S2：第二冲程。
具体实施方式
以下，根据图1A至图5B说明本发明的一个实施方式。
在本实施方式中，例示了将气缸装置适用于工件固定用的旋转式夹具的情况。首先，根据图1A至图2B说明上述旋转式夹具的整体结构。
外壳1安装于作为固定台的工作台T上。该外壳1具备：作为一个端壁的上壁2、作为另一个端壁的下壁3、沿上下方向延伸的侧壁4、和形成于该侧壁4的内侧的气缸孔5。上壁2在其外周部具有安装用的凸缘7，形成为俯视时的长方形形状。在上述凸缘7的四角部分，沿上下方向贯通有螺栓孔8。通过插入各螺栓孔8的紧固螺栓(未图示)，形成于上述凸缘7的下表面的装配面7a被固定于工作台T的上表面。
活塞10以能够升降的方式紧密地插入气缸孔5。在该活塞10的上侧和下侧，配置有夹紧用的第一驱动室11和非夹紧用的第二驱动室12。
另外，在与上壁2的周向的四边相对应的四个壁部分中的俯视时左侧的壁部分中，形成有向第一驱动室11连通的第一供给排出路径21，并且，形成有向第二驱动室12连通的第二供给排出路径22。
此外，在上壁2的上述左侧的壁部分，向第一供给排出路径21连通的第一供给排出口P1在凸缘7的所述装配面7a开口，并且，向第二供给排出路径22连通的第二供给排出口P2在凸缘7的所述装配面7a开口。液压油(驱动用的加压流体)分别经由第一供给排出口P1和第二供给排出口P2、以及第一供给排出路径21和第二供给排出路径22而相对于上述第一驱动室11和第二驱动室12被供给和被排出。
输出杆15以能够向上下方向移动的方式紧密地插入设置于上壁2的中央部的贯通孔14中。在本实施方式中，上述输出杆15与活塞10一体地形成。夹具臂16由螺母17固定于该输出杆15的上部。在上述输出杆15的外周侧的所述上壁2，安装有密封部件18和刮具19。
另外，下杆24从上述活塞10向下方一体地突出，该下杆24以能够移动的方式插入所述下壁3的支持孔25中。三个引导槽26沿周向空出规定的间隔地形成于下杆24的外周面。各引导槽26是周知的结构，具备上下相连地形成的直的直进槽26a和螺旋状的旋转槽26b。三个横孔27沿周向空出规定的间隔地形成于支持孔25的周壁的上部，插入各横孔27的球28嵌合在引导槽26中。环部件29旋转自如地外嵌于上述多个球28的外周。
在所述上壁2，下降检测用的第一检测阀31和上升检测用的第二检测阀32沿周向空出规定的间隔地设置在所述四个壁部分中的俯视时右侧的壁部分的输出杆15的外周侧。该第一检测阀31和第二检测阀32的各轴心以随着朝向下方而靠近活塞10的轴心的方式倾斜。因此，能够兼顾：防止两个检测阀31、32与安装于输出杆15的外周侧的上壁2的所述密封部件18和所述刮具19干涉；以及，使外壳1的半径方向的尺寸变小，因此能够紧凑地制造气缸装置。此外，优选地，上述倾斜角度设定在5度至15度的范围内。
另外，在上述右侧的壁部分，第一供给口A1和第二供给口A2在形成于凸缘7的下表面的装配面7a开口，以便供给检测用的加压空气。第一供给口A1和第二供给口A2分别经由第一供给路径B1和第二供给路径B2与所述第一检测阀31和第二检测阀32的各入口31a、32a连通。
以下，详细地说明上述第一检测阀31和第二检测阀32。
首先，主要根据图4A和图4B说明下降检测用的第一检测阀31。图4A是所述图1A的局部放大图。图4B是所述图3A的局部放大图。
第一检测阀31在所述活塞10从图4B的下限位置向图4A的上限位置移动的中途被该活塞10开阀(图4A表示第一检测阀31已经被全开的状态)。另外，该第一检测阀31在活塞10从图4A的上限位置下降了规定的第一冲程S1时被闭阀(图4B表示第一检测阀31已经被全闭的状态)。更具体地说，第一检测阀31如图4A和图4B所示地，按照如下构成。
带有台阶的第一安装孔M1沿斜下方向贯通于所述上壁2中。该第一安装孔M1具备向下依次连通的内螺纹孔34、大直径孔35、中直径孔36、和小直径孔37，该小直径孔37从上侧与第一驱动室11相对。
安装于第一安装孔M1的第一壳体C1具备：安装于大直径孔35的下部的阀筒38、和螺纹结合于内螺纹孔34的压筒39。该压筒39将阀筒38推压于大直径孔35的底部。
在上述第一壳体C1中插入有第一检测杆41。该第一检测杆41具备：经由下密封部件44紧密地插入中直径孔36的直径小的下受压部45、经由上密封部件46紧密地插入压筒39的筒孔的直径大的上受压部47、和设置在该下受压部45和上受压部47之间的连结杆48。上受压部47的受压面积被设定为比下受压部45的受压面积大的值。
在下受压部45的下端部设置有能够与所述活塞10抵接的被操作部49。在上受压部47的上侧形成有压力室51。该压力室51经由沿着所述第一检测杆41的轴心形成的贯通孔52，向所述第一驱动室11连通。
在所述阀筒38的筒孔的上开口的周围形成有环状的阀座54，并且，在所述上受压部47的下部形成有提升阀形的阀面55。如图4B所示，构成为当所述第一检测杆41下降了时所述阀面55能够与阀座54抵接。另外，在阀筒38的筒孔和连结杆48的外周面之间形成有环状的入口路径56。此外，横孔57贯通于阀筒38的周壁，由该横孔57的内端部构成所述第一检测阀31的入口31a。该入口31a经由所述第一供给路径B1向第一供给口A1连通。此外，附图标记58是插入用的球。
多个放射槽59沿周向空出规定的间隔地形成于所述压筒39的下端面。另外，在该压筒39的外周面的下部与所述大直径孔35的内周面之间形成有环状流路60，由该环状流路60的中途高度部构成所述第一检测阀31的出口31b。该出口31b经由设置于排出路径61的逆止阀62向外部气体侧连通。该逆止阀62具备阀座62a、和将球62b向该阀座62a施力的弹簧62c。
上升检测用的所述第二检测阀32在所述活塞10从图5B的下限位置向图5A的上限位置或其附近位置移动了时被该活塞10闭阀(图5A表示第二检测阀32已经被全闭的状态)。另外，该第二检测阀32在所述活塞10从图5A的上限位置下降了规定的第二冲程S2时被开阀(图5B表示第二检测阀32已经被全开的状态)。该第二冲程S2的长度被设定为比所述第一冲程S1的长度小的值。
上述第二检测阀32如图5A和图5B所示，与所述第一检测阀31大致相同地按照如下构成。
带有台阶的第二安装孔M2沿斜下方向贯通于所述上壁2中。该第二安装孔M2具备向下方依次连通的内螺纹孔64、大直径孔65、中直径孔66和小直径孔67，该小直径孔67从上侧与第一驱动室11相对。
安装于第二安装孔M2的第二壳体C2具备：安装于大直径孔65的下部的阀筒68、和螺纹结合于内螺纹孔64的压筒69。该压筒69将阀筒68推压于大直径孔65的底部。
在上述第二壳体C2中插入有第二检测杆42。该第二检测杆42具备：经由下密封部件74紧密地插入中直径孔66的直径小的下受压部75、经由上密封部件76紧密地插入压筒69的筒孔的直径大的上受压部77、和设置在该下受压部75和上受压部77之间的连结杆78。上受压部77的受压面积被设定为比下受压部75的受压面积大的值。
在下受压部75的下端部设置有能够与所述活塞10抵接的被操作部79。在上受压部77的上侧形成有压力室81。该压力室81经由沿着所述第二检测杆42的轴心形成的贯通孔82，向所述第一驱动室11连通。
阀孔84贯通于所述阀筒68的周壁，并且，卷筒形的阀面85和环状的出口槽86从下方开始依次形成于连结杆78的外周面。如图5A所示，构成为当所述第二检测杆42上升了时所述阀面85将阀孔84关闭。
由所述阀孔84的内端部构成第二检测阀32的入口32a。该入口32a经由所述第二供给路径B2向第二供给口A2连通。此外，附图标记88是插入用的球。
多个放射槽87沿周向空出规定的间隔地形成于所述压筒68的上端面。另外，多个放射槽89沿周向空出规定的间隔地形成于所述压筒69的下端面。在该压筒69的外周面的下部和所述大直径孔65的内周面之间形成有环状流路90，由该环状流路90的中途高度部构成所述第二检测阀32的出口32b。该出口32b经由出口孔91、所述排出路径61和所述逆止阀62(参照图4A)向外部气体侧连通。
上述结构的旋转式夹具按照如下进行动作。
在图1A和图1B的非夹紧状态下，上侧的第一驱动室11的液压油从第一供给排出口P1排出，并且，第二供给排出口P2的液压油向下侧的第二驱动室12供给。由此，活塞10向上限位置上升，该活塞10使输出杆15和夹具臂16上升。
在上述非夹紧状态下，图1A所示的下降检测用的第一检测阀31被开阀。更详细地说，如图4A所示，活塞10经由被操作部49将第一检测杆41推起，上受压部47的阀面55从阀座54离开。因此，向第一供给口A1被供给的加压空气通过第一供给路径B1、入口31a、环状的入口路径56、放射槽59和出口31b向排出路径61流动，该排出路径61的加压空气将逆止阀62的球62b推开并向外部气体侧排出。
另外，在上述非夹紧状态下，图1B所示的上升检测用的第二检测阀32被闭阀。更详细地说，如图5A所示，活塞10经由被操作部79将第二检测杆42推起，连结杆78的阀面85将阀孔84关闭。因此，第二供给口A2的压力上升为设定值，由传感器检测到该压力上升，由此，能够确认夹具是非夹紧状态。
当从上述非夹紧状态向图3A和图3B的夹紧状态切换时，在图1A和图1B的非夹紧状态下，将下侧的第二驱动室12的液压油从第二供给排出口P2排出，并且，将第一供给排出口P1的液压油向上侧的第一驱动室11供给，使活塞10下降。然后，首先，所述下杆24(和活塞10、输出杆15、夹具臂16)一边沿着所述旋转槽26b旋转一边下降，接着，该下杆24沿着直进槽26a笔直地下降。由此，如图3A所示，夹具臂16将工件推压于固定台的上表面(均未图示)。
在上述活塞10下降时，下降检测用的第一检测阀31和上升检测用的第二检测阀32按照如下进行动作。
当向第一驱动室11供给的液压油使活塞10从图5A的上限位置下降时，该第一驱动室11的液压油通过第二检测杆42的贯通孔82向压力室81供给，该压力室81的液压油使第二检测杆42从图5A的上限位置下降。
接着，如图5B的双点划线图所示，当活塞10下降了第二冲程S2时，连结杆78的环状的出口槽86与阀孔84相对，第二检测阀32被全开。因此，向第二供给口A2被供给的加压空气通过第二供给路径B2、阀孔84、出口槽86、两个放射槽87和89、环状流路90、和出口孔91而向所述排出路径61(参照图4A)流动。该排出路径61的加压空气将逆止阀62的球62b推开并向外部气体排出(参照图4A)。
然后，上述活塞10向图5B的实线图(和图3B)所示的下限位置下降。
另外，在上述活塞10下降时，从第一驱动室11向压力室51被供给的液压油使第一检测杆41从图4A的上限位置下降。接着，如图4B的双点划线图所示，当上述活塞10下降了第一冲程S1时，上受压部47的阀面55与阀座54抵接，第一检测阀31被全闭。因此，第一供给口A1的加压空气的压力上升为设定值，由传感器检测到该压力上升，由此，能够确认夹具是夹紧状态。
然后，上述活塞10向图4B的实线图(和图3A)所示的下限位置下降。
此外，在上述夹紧状态下，图5B的第二检测杆42向第一驱动室11内突出的长度比图4B的第一检测杆41向第一驱动室11内突出的长度小。
当从上述夹紧状态向图1A和图1B的非夹紧状态切换时，在图3A和图3B的夹紧状态下，使上侧的第一驱动室11的液压油排出，并且，向下侧的第二驱动室12供给液压油，使活塞10上升。然后，首先，所述下杆24(和活塞10、输出杆15、夹具臂16)沿着所述直进槽26a笔直地上升，接着，该下杆24一边沿着旋转槽26b旋转一边上升。由此，如图1A所示，夹具臂16向退避位置被切换。
在上述活塞10上升时，下降检测用的第一检测阀31和上升检测用的第二检测阀32按照如下进行动作。
当向第二驱动室12被供给的液压油使活塞10从图4B的下限位置上升时，首先，该活塞10如图4B的双点划线图所示地与第一检测阀31的被操作部49抵接，接着，将第一检测杆41推起，使阀面55与阀座54离开。因此，第一检测阀31全开，第一供给口A1的加压空气向外部气体侧排出，从而该第一供给口A1的压力下降。然后，如图4A所示，上述活塞10向上限位置上升，将第一检测杆41向上限位置推起。
另外，在上述活塞10上升时，该活塞10如图5B的双点划线图所示地与第二检测阀32的被操作部79抵接。接着，如图5A所示，当上述活塞10上升到了上限位置时，该活塞10将第二检测杆42向上限位置推起，该第二检测杆42的阀面85与阀孔84相对。因此，第二检测阀32被全闭。因此，第二供给口A2的加压空气的压力上升为设定值，由传感器检测到该压力上升，由此，能够确认夹具是夹紧状态。
上述的实施方式能够按照如下进行变更。
下降检测用的所述第一检测阀31只要构成为如下即可：在所述活塞10从下限位置向上限位置移动的中途被该活塞10开阀，并且，当该活塞10从所述上限位置下降了规定的第一冲程S1时被闭阀。因此，关于该第一检测阀31，能够考虑到如下情况：当活塞10从上限位置下降至夹具冲程区域(相当于所述直进槽26a的冲程区域的区域)时被全闭的情况、以及当该活塞10从上限位置下降至上述夹具冲程区域的附近时被全闭的情况等。
另外，上升检测用的所述第二检测阀32只要构成为如下即可：当所述活塞10从下限位置向上限位置或其附近位置移动了时被该活塞10闭阀，并且，当该活塞10从所述上限位置下降了规定的第二冲程S2时被开阀。因此，该第二检测阀32也可以构成为当活塞上升至上限位置的附近时被全闭，来代替在上限位置被全闭的方案。
第一检测阀31和第二检测阀32也可以配置成与活塞10的轴心平行，来代替沿相对于活塞10的轴心倾斜的方向配置的方案。
另外，上述两个检测阀31、32的设置位置配置在与外壳1的上壁2的四边相对应的四个壁部分中在俯视时右侧的壁部分，但也可以替代地配置在俯视时上侧的壁部分或下侧的壁部分。该上壁2也可以形成为俯视时的正方形形状，来代替形成为俯视时的长方形形状的方案。
上述各检测阀31、32的阀结构能够任意地选择提升阀形和卷筒形中的任一方的结构。
输出杆15只要以能够与活塞10随同驱动的方式连结即可，也可以与该活塞10分开地形成，来代替与该活塞10一体地形成的方案。
气缸装置也可以构成为单作用弹簧复位式，来代替例示的复动式，此外，也能够构成为弹簧锁定式的液压释放式。该气缸装置所使用的驱动用的加压流体也可以是压缩空气等气体，来代替例示的液压油。
另外，本发明的气缸装置也能够利用在与夹具的技术领域不同的技术领域中。
此外，当然能够在本领域技术人员能够想到的范围内进行各种变更。

Claims (7)

1.一种气缸装置，其特征在于，具有：
活塞(10)，所述活塞(10)以能够升降的方式插入外壳(1)内；
驱动室(11)，所述驱动室(11)配置在所述活塞(10)的上侧，并供驱动用的加压流体供给和排出；
输出杆(15)，所述输出杆(15)与所述活塞(10)连结，并插入所述外壳(1)的上壁(2)；
第一检测阀(31)和第二检测阀(32)，所述第一检测阀(31)和第二检测阀(32)沿周向空出规定的间隔地配置在所述输出杆(15)的外周侧的所述的上壁(2)中，并具有从上侧与所述活塞(10)相对的被操作部(49)、(79)，所述第一检测阀(31)用于下降检测，所述第二检测阀(32)用于上升检测；
第一供给路径(B1)和第二供给路径(B2)，经由所述第一供给路径(B1)和第二供给路径(B2)向所述第一检测阀(31)和第二检测阀(32)的各入口(31a)、(32a)供给检测用的加压空气。
2.根据权利要求1所述的气缸装置，其特征在于，
使所述第一检测阀(31)和第二检测阀(32)的各轴心以随着朝向下方而靠近所述活塞(10)的轴心的方式倾斜，并将该倾斜角度设定在5度至15度的范围内。
3.根据权利要求1所述的气缸装置，其特征在于，
将所述上壁(2)形成为俯视时的长方形形状或正方形形状，在与所述上壁(2)的周向的四边相对应的四个壁部分中的任意壁部分中，形成向所述驱动室(11)连通的供给排出路径(21)，
在所述四个壁部分中的、除了形成所述供给排出路径(21)的壁部分的任意壁部分中，设置所述第一检测阀(31)和第二检测阀(32)。
4.根据权利要求3所述的气缸装置，其特征在于，
所述上壁(2)具有安装用的凸缘(7)，使向所述供给排出路径(21)连通的供给排出口(P1)在装配面(7a)开口，所述装配面(7a)形成于所述凸缘(7)的外周部的下表面。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的气缸装置，其特征在于，
下降检测用的所述第一检测阀(31)构成为，在所述活塞(10)从下限位置向上限位置移动的中途被所述活塞(10)开阀，并且，当所述活塞(10)从所述上限位置下降了规定的第一冲程(S1)时被闭阀；
上升检测用的所述第二检测阀(32)构成为，在所述活塞(10)从所述下限位置向所述上限位置或其附近位置移动了时被所述活塞(10)闭阀，并且，当所述活塞(10)从所述上限位置下降了规定的第二冲程(S2)时被开阀，将所述第二冲程(S2)的长度设定为比所述第一冲程(S1)的长度小的值。
6.根据权利要求5所述的气缸装置，其特征在于，
下降检测用的所述第一检测阀(31)具备：第一安装孔(M1)，所述第一安装孔(M1)以从上侧与所述驱动室(11)相对的方式形成于所述上壁(2)；第一壳体(C1)，所述第一壳体(C1)安装于所述第一安装孔(M1)；第一检测杆(41)，所述第一检测杆(41)插入所述第一壳体(C1)，并具有下受压部(45)、受压面积比所述下受压部(45)大的上受压部(47)、和所述被操作部(49)；压力室(51)，所述压力室(51)形成于所述上受压部(47)的上侧；贯通孔(52)，所述贯通孔(52)以使所述压力室(51)向所述驱动室(11)连通的方式形成于所述第一检测杆(41)；阀面(55)，所述阀面(55)是提升阀形，形成于所述上受压部(47)的下部；以及，阀座(54)，所述阀座(54)以当所述第一检测杆(41)下降了时被所述阀面(55)关闭的方式形成于所述第一壳体(C1)。
7.根据权利要求5所述的气缸装置，其特征在于，
上升检测用的所述第二检测阀(32)具备：第二安装孔(M2)，所述第二安装孔(M2)以从上侧与所述驱动室(11)相对的方式形成于所述上壁(2)；第二壳体(C2)，所述第二壳体(C2)安装于所述第二安装孔(M2)；第二检测杆(42)，所述第二检测杆(42)插入所述第二壳体(C2)，并具有下受压部(75)、受压面积比所述下受压部(75)大的上受压部(77)、和所述被操作部(79)；压力室(81)，所述压力室(81)形成于所述上受压部(77)的上侧；贯通孔(82)，所述贯通孔(82)以使所述压力室(81)向所述驱动室(11)连通的方式形成于所述第二检测杆(42)；阀面(85)，所述阀面(85)是卷筒形，形成于所述第二检测杆(42)的外周面；以及，阀孔(84)，所述阀孔(84)以当所述第二检测杆(42)上升了时被所述阀面(85)关闭的方式形成于所述第二壳体(C2)。
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