CN104880883A - 一种蓝相液晶显示面板及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种蓝相液晶显示面板及其制作方法，该蓝相液晶显示面板包括下基板与上基板，其中，所述下基板，其上设置有第一公共电极与第一像素电极，所述第一公共电极与所述第一像素电极产生分布的第一边缘电场；所述上基板，其上与所述下基板对称地设置有第二公共电极与第二像素电极，所述第二公共电极与所述第二像素电极产生分布的第二边缘电场；其中，所述第一边缘电场与所述第二边缘电场各自的竖直电场分量相互削弱，且水平电场分量相互增强。通过在上基板与下基板上分别设置像素电极与公共电极，使两基板之间的水平电场得到增强，竖直电场得到削弱，降低了蓝相液晶所需的驱动电压。

Description

一种蓝相液晶显示面板及其制作方法
技术领域
本发明涉及液晶显示器的显示领域，尤其涉及一种蓝相液晶显示面板及其制作方法。
背景技术
近年来，随着对液晶显示技术的深入研究，蓝相液晶在显示方面的优势获得了越来越普遍的认可。与目前广泛使用的液晶材料相比，蓝相液晶具有响应速度快、视角广、不需要配向处理等诸多突出的优点。但是同时，蓝相液晶所面临的驱动电压过大的问题，也严重地限制了其发展。针对这个问题，目前业界一般采用改进蓝相液晶材料的性能或者优化蓝相液晶显示器的驱动电极的结构的方式来降低蓝相液晶所需的驱动电压。
改进蓝相液晶材料的性能主要是指通过改进材料的制备过程来得到大克尔常数的蓝相液晶。但由于合成蓝相液晶材料的过程是个非常复杂的过程，例如在制备聚合物稳定的蓝相液晶时就需要考虑单体、光引发剂、合成条件等一系列因素，因此研发成本很高。
蓝相液晶显示器主要采用平面转换(In-Plane Switching，IPS)形式的驱动方式，因此，优化驱动电极的结构主要是指通过增加电极的高度或者改变电极的形状，例如楔形电极，波浪形电极、梯形电极等来加强平行透明绝缘电极所产生的水平向电场的强度。但上述电极的制作难度较大，电极的质量难于保证，导致产品的良品率下降。
综上，亟需一种可以有效地降低蓝相液晶的驱动电压的方法以解决上述问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题之一是需要提供一种可以有效地降低蓝相液晶的驱动电压的方法。
为了解决上述技术问题，本申请的实施例首先提供了一种蓝相液晶显示面板，包括下基板与上基板，其中，所述下基板，其上设置有第一公共电极与第一像素电极，所述第一公共电极与所述第一像素电极产生分布的第一边缘电场；所述上基板，其上与所述下基板对称地设置有第二公共电极与第二像素电极，所述第二公共电极与所述第二像素电极产生分布的第二边缘电场；其中，所述第一边缘电场与所述第二边缘电场各自的竖直电场分量相互削弱，且水平电场分量相互增强。
优选地，还包括设置在至少一个基板上的基板控制模块与信号同步模块，其中，所述基板控制模块用于控制像素电极的驱动电压信号的加载，所述信号同步模块用于同步所述驱动电压信号。
优选地，信号同步模块包括设置于所述上基板上的多个连接电极与设置于所述下基板上的多个延伸电极，其中，所述连接电极与所述延伸电极对应连接。
优选地，延伸电极设置于下基板的像素单元以外的非显示区域内，所述连接电极设置于上基板上与所述延伸电极的对应的位置处。
优选地，延伸电极的个数等于下基板所包含的像素单元的个数。
优选地，连接电极包括圆台形芯体以及涂覆于所述芯体外表面的导体层。
优选地，芯体的材料包括弹性材料。
本申请的实施例还提供了一种制作蓝相液晶显示面板基板的方法，包括：在预制下基板上图案化形成第一公共电极；在所述第一公共电极上涂覆形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上图案化形成第一像素电极，并于所述下基板的像素单元以外的非显示区域内同步图案化形成延伸电极。
另一方面，还提供了一种制作蓝相液晶显示面板基板的方法，包括：在预制上基板上图案化形成第二公共电极；在所述第二公共电极上涂覆形成第二绝缘层；在所述第二绝缘层上图案化形成支撑柱，并于对应于延伸电极的位置处同步图案化形成连接电极的芯体；在所述第二绝缘层上图案化形成第二像素电极，并于所述连接电极的芯体的外表面同步图案化形成连接电极的导体层。
优选地，在所述第二绝缘层上图案化形成支撑柱，并于对应于延伸电极的位置处同步图案化形成连接电极的芯体的步骤中进一步包括：在经过洗净的绝缘层上依次涂覆形成用于制作主支撑柱、副支撑柱以及连接电极的材料层与光阻层；利用多灰阶光罩对所述光阻层进行曝光与显影处理；刻蚀部分材料层并灰化部分光阻层使形成副支撑柱区域与连接电极区域的材料层显露；刻蚀显露的材料层形成副支撑柱，同时形成具有副支撑柱高度的连接电极的芯体；剥离剩余光阻，形成主支撑柱。
与现有技术相比，上述方案中的一个或多个实施例可以具有如下优点或有益效果：
通过在上基板与下基板上分别设置像素电极与公共电极，使两基板之间的水平电场得到增强，竖直电场得到削弱，降低了蓝相液晶所需的驱动电压。
本发明的其他优点、目标，和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书，权利要求书，以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
附图用来提供对本申请的技术方案或现有技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分。其中，表达本申请实施例的附图与本申请的实施例一起用于解释本申请的技术方案，但并不构成对本申请技术方案的限制。
图1(a)-(b)为本申请实施例的蓝相液晶显示面板的结构示意图，其中图1(a)为蓝相液晶显示面板的正视图，图1(b)为蓝相液晶显示面板上基板与下基板的俯视图；
图2为本申请实施例的蓝相液晶显示面板的基板间的电场分布示意图；
图3为本申请实施例的蓝相液晶显示面板的电极的布置示意图；
图4为本申请另一实施例的蓝相液晶显示面板的俯视图；
图5为图4中的上下基板组装成盒后沿Ⅰ-Ⅰ'向的剖面图；
图6(a)-(b)为本申请实施例的蓝相液晶显示面板的制作方法的流程示意图，其中图6(a)为下基板的制作方法的流程示意图，图6(b)为上基板的制作方法的流程示意图。
具体实施方式
以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式，借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成相应技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。本申请实施例以及实施例中的各个特征，在不相冲突前提下可以相互结合，所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。
在本申请的实施例中，分别在液晶显示面板的下基板11和上基板12上以镜像形式对称地布置电极，如图1(a)所示。图1(a)为蓝相液晶显示面板的正视图，在下基板11上设置有第一公共电极111与第一像素电极112，在上基板12上设置有第二公共电极121与第二像素电极122。公共电极111和121，以及像素电极112和122均平行于基板设置。在第一公共电极111与第一像素电极112之间还设置有绝缘层113，在第二公共电极121与第二像素电极122之间还设置有绝缘层123。图中3为填充于两基板之间的蓝相液晶分子。图中的下基板11相当于液晶显示器的阵列基板，上基板12相当于液晶显示器的彩色滤光片基板，在彩色滤光片基板上一般设置有黑色矩阵、彩色滤光片阵列以及透明电极(common电极)等，上述结构并不对本申请的具体的实施方式产生影响，所以上述结构均未在图中示出。
进一步地，在本申请的实施例中，为了驱动分别设置于上、下基板上的像素电极，还在上、下基板上分别设置一组基板驱动模块，如图1(b)所示。图1(b)为蓝相液晶显示面板上基板与下基板的俯视图，在下基板11上设置有下基板控制模块(下基板控制模块主要包括多条数据线114、多条扫描线115以及在数据线与扫描线正交形成的多个像素单元内设置的多个开关元件116)。在上基板12上设置有上基板控制模块(上基板控制模块主要包括多条数据线124、多条扫描线125以及在数据线与扫描线正交形成的多个像素单元内设置的多个开关元件126)。上、下基板控制模块分别用于控制上基板与下基板上的像素电极的驱动电压信号的加载。除此之外，还相应地设置有信号同步模块，用于使上基板与下基板上的像素电极的驱动电压信号同步，信号同步模块在图中未示出。
在上基板驱动模块、下基板驱动模块以及信号同步模块的共同作用下，将在第一公共电极111与第一像素电极112之间产生分布的第一边缘电场。并且，由于第二公共电极121与第二像素电极122之间呈相同的布置，所以在第二公共电极121与第二像素电极122之间产生分布的第二边缘电场。边缘电场可以使位于像素电极上方的蓝相液晶分子发生旋转，有利于提高液晶显示面板的穿透率以及增大液晶显示面板的视角。
本申请实施例中的电极的布置方式，可以使基板之间的竖直电场分量相互削弱，水平电场分量相互增强。具体如图2所示。图2为本申请实施例的蓝相液晶显示面板的基板间的电场分布示意图。由于第一公共电极、第一像素电极分别与第二公共电极、第二像素电极呈镜像布置，所以，由第一公共电极与第一像素电极所产生的分布的第一边缘电场的水平电场分量，与由第二公共电极与第二像素电极所产生的分布的第二边缘电场的水平电场分量，在水平方向上大小相等，方向相同，在空间叠加后，使两基板之间的水平电场分量得到加强，如图2中的实线表示的电场线所示。两基板之间的竖直电场分量分为两部分，一部分是由第一(第二)公共电极与第一(第二)像素电极所产生的分布的边缘电场的竖直电场分量，一部分是由第一(第二)公共电极与第二(第一)像素电极所产生的电场的竖直电场分量。上述各竖直电场分量在空间叠加后，使两基板之间的竖直电场分量相互削弱。
因此，通过第一边缘电场与第二边缘电场的叠加，削弱了两基板之间的竖直电场(其中竖直电场分量的叠加还包括由第一(第二)公共电极与第二(第一)像素电极所产生的电场的竖直电场分量的叠加)，并增强了两基板之间的水平电场的强度，有利于降低蓝相液晶显示面板所需的驱动电压。
需要说明的是，在本申请的实施例中，对公共电极与像素电极的具体结构并不做限定，只需使公共电极与像素电极之间能够产生有效的边缘电场即可。举例而言，当像素电极为梳状结构时，公共电极也可以采用对应的梳状结构，这样有利于削弱存在于第一(第二)像素电极与第一(第二)公共电极以及第一(第二)像素电极与第二(第一)公共电极之间的竖直电场，以便提升液晶的效率。此处不再赘述。
更进一步地，还可以将上下基板的电极均布置为IPS电极的形式，如图3所示。图3为本申请实施例的蓝相液晶显示面板的电极的布置示意图，图中31为像素电极(或公共电极)，32为相应的公共电极(或像素电极)。分别对像素电极与公共电极施加不同的驱动信号，将在上下基板之间产生相互加强的水平电场以及相互削弱的竖直电场，有利于降低蓝相液晶显示面板所需的驱动电压。
在本申请的其他实施例中，信号同步模块被设置为包括多个连接单元的结构。其中，每个连接单元由一个连接电极与一个延伸电极组成，用于连接上基板的第二像素电极与下基板的第一像素电极，进一步通过单侧基板的开关元件控制上、下基板的像素电极，来实现第一像素电极与第二像素电极的同步驱动，在降低蓝相液晶驱动电压的同时，还可以节省一套基板驱动模块，简化了加工工艺，下面结合图4和图5进行说明。
图4为本申请另一实施例的蓝相液晶显示面板的俯视图。具体的，42为上基板，相当于彩色滤光片基板，41为下基板，相当于阵列基板。上基板与下基板上的像素电极与公共电极的设置与前一实施例相同，包括第一公共电极411、第一像素电极412、第二公共电极421、第二像素电极422以及设置于下基板上的数据线414、扫描线415与开关元件416，此处不再赘述。进一步从图4可以看出，上基板42上不再设置有数据线、扫描线以及开关元件等组成的上基板驱动模块。同时在上基板上，在与下基板的像素单元相对应的区域内(图中矩形虚线框所围成的区域)，设置有信号同步模块47的一部分。该信号同步模块的完整结构如图5所示。
图5为图4中的上下基板组装成盒后沿Ⅰ-Ⅰ'向的剖面图。具体的，信号同步模块47包括设置于上基板上的多个连接电极472与设置于下基板上的多个延伸电极471。从图5中可以看出，连接电极472与延伸电极471在上基板和下基板组装成液晶盒后连接在一起，这样就可以通过一侧(在本申请实施例中为下基板一侧)的开关元件同时控制两个基板上的像素电极。进一步地，连接电极472由芯体4721和涂覆于芯体外表面的导体层4722组成。
如图5所示，芯体4721呈圆台形，这样有利于在其上涂覆形成导体层4722。芯体的的材料一般选择弹性材料，例如UV硬化型的丙烯树脂等。导体层的材料与像素电极的材料相同，例如ITO。这种内部具有弹性芯体的结构可以使连接电极具有一定的可压缩性，从而保证两基板上的像素电极能够通过连接电极与延伸电极进行有效地连接。
需要说明的是，在液晶显示面板的上基板和下基板之间还设置有很多起支撑作用的支撑柱结构(spacer)，包括主支撑柱和副支撑柱。其中，主支撑柱起主要的支撑作用，用以保持两基板之间的间隙，即液晶盒的厚度。副支撑柱起辅助支撑作用，主要是防止液晶面板受到外力的按压时被损坏。一般的，主支撑柱的高度高于副支撑柱的高度，且主支撑柱的密度较小，副支撑柱的密度较大。本申请实施例中的连接电极分布于上述主、副支撑柱结构中，且连接电极的高度(以下所涉及的连接电极的高度均是指包括延伸电极的厚度在内的整体的高度)大于副支撑柱的高度，而小于主支撑柱的高度，并且使连接电极在整体的尺寸上小于主支撑柱的尺寸，这样可以降低连接电极的密度，使其不会影响到主支撑柱的性能。其中，连接电极的整体的尺寸主要指的是柱体的高度以及柱体顶面(或底面)的直径。
同时，为了保证面板组立后连接电极的高度可以刚好顶置对侧基板，还需要使连接电极保留有一定的压缩量。压缩量的优选范围为0.01～0.5μm，或0.01～0.2μm。举例而言，若主支撑柱的设计高度是3μm，副支撑柱的设计高度是2.6μm，则连接电极的高度可以在2.5(3-0.5)～2.99(3-0.01)μm的范围内进行设置。
进一步地，信号同步模块所包含的连接单元的个数等于下基板所包含的像素单元的个数，且信号同步模块设置于下基板的像素单元以外的非显示区域内。具体为，为每个像素单元设置一个连接单元，其中，延伸电极可以设置于下基板的数据线或扫描线上，也可以设置于数据线或扫描线的交叉处(如图4所示)，还可以设置于与上基板的黑色矩阵相对应的位置处，而连接电极则设置于上基板上与延伸电极相对应的位置处。由于信号同步模块不占用像素单元的显示区域，所以不会对液晶显示面板的显示效果造成影响。
当然，将连接电极与延伸电极交换位置设置，即将连接电极设置于下基板上，将延伸电极设置于上基板上也可以用于实现本申请的实施例。
本申请实施例中的信号同步模块，通过连接电极与延伸电极的配合将两个基板上的像素电极进行连接，实现了通过单侧基板的开关元件对双侧基板的像素电极的同步控制，从而可以只在单侧基板上设置基板驱动模块，减少了一侧基板的制造工序。同时连接电极可以起到一定的支撑作用，使组立后的液晶显示面板具有更好的机械强度。
本申请的实施例还提供了一种制作上述液晶显示面板的方法，如图6所示。图6(a)-(b)为本申请实施例的蓝相液晶显示面板的制作方法的流程示意图，其中图6(a)为下基板的制作方法的流程示意图，图6(b)为上基板的制作方法的流程示意图。
如图6(a)所示，制作下基板的方法包括以下步骤：步骤S611、在预制下基板上图案化形成第一公共电极；步骤S612、在所述第一公共电极上涂覆形成第一绝缘层；步骤S613、在所述第一绝缘层上图案化形成第一像素电极，并于所述下基板的像素单元以外的非显示区域内同步图案化形成延伸电极。
具体的，预制下基板一般是指已经形成有薄膜晶体管的栅极、扫描线与公共线(common)等结构的阵列基板，由于上述结构均可根据现有技术中的工艺制程得到，且这些工艺制程不影响本申请的实施例的具体实施，所以此处不再赘述。
第一公共电极与公共线相连接。在预制下基板上图案化形成第一公共电极的步骤根据第一公共电极的结构可以进一步包括溅射以及光刻等。举例而言，若第一公共电极为整体式的平面电极，则采用溅射成膜工艺形成第一公共电极。若第一公共电极具有特定的形状，例如梳状电极，则在成膜工艺后还要经过光刻处理来形成第一公共电极的图案。图案化的过程具体包括洗净、成膜、涂布光阻、曝光、显影、蚀刻以及剥离光阻等工艺步骤，上述工艺均可参照现有的制作基板的工艺流程进行。
第一绝缘层在形成薄膜晶体管的栅极绝缘层的步骤中同步制作完成。绝缘层的材料可采用SiNx，利用CVD成膜工艺形成。
接下来按照现有工艺流程，依次完成薄膜晶体管的半导体层、源极、漏极以及覆盖薄膜晶体管的钝化层的制作。然后，同步图案化形成第一像素电极与延伸电极。延伸电极位于下基板的像素单元以外的非显示区域内。通过采用具有不同形状的掩膜板将延伸电极图案化于数据线或扫描线上，或数据线与扫描线的交叉处，或与上基板的黑色矩阵相对应的位置处。
如图6(b)所示，制作上基板的方法包括以下步骤：步骤S621、在预制上基板上图案化形成第二公共电极；步骤S622、在所述第二公共电极上涂覆形成第二绝缘层；步骤S623、在所述第二绝缘层上图案化形成支撑柱，并于对应于延伸电极的位置处同步图案化形成连接电极的芯体；步骤S624、在所述第二绝缘层上图案化形成第二像素电极，并于所述连接电极的芯体的外表面同步图案化形成连接电极的导体层。
具体的，预制上基板一般是指已经形成有黑色矩阵层(BM层)以及色阻层(CF层)的彩色滤光片基板。同样的，上述结构均可根据现有技术中的工艺制程得到，且这些工艺制程不影响本申请的实施例的具体实施，所以此处不再赘述。
第二公共电极与公共线相连接。该步骤与图案化形成第一公共电极的过程大致相同，也包括洗净、成膜、涂布光阻、曝光、显影、蚀刻以及剥离光阻等工艺步骤，可以参照现有的制作基板的工艺流程进行，此处不再赘述。
在生成的第二公共电极的上面形成第二绝缘层，第二绝缘层的材料可采用SiNx，利用CVD成膜工艺形成。
连接电极的芯体与主支撑柱和副支撑柱同步形成。在经过洗净的SiNx绝缘层上依次涂布用于制作主支撑柱、副支撑柱以及连接电极的材料与光阻材料，再分别经过干燥、预烘烤与冷却处理形成支撑柱的材料层与光阻层。
利用多灰阶光罩(Triple Tone)形成主支撑柱区域的高度、副支撑柱区域的高度以及连接电极区域的高度。所用多灰阶光罩具有三个透射率不同的区域，透射率为100％的无遮光膜的区域，透射率为0的有遮光膜的区域，以及透射率位于上述区域之间的灰阶区域。采用该多灰阶光罩对光阻层依次进行曝光与显影处理。处理后的光阻层可分为三个区域。
第一个区域的光阻材料被完全保留下来，用于形成主支撑柱。第二个区域的光阻材料部分被保留，用于形成副支撑柱与连接电极。第三个区域的光阻材料被全部去除。接下来，通过刻蚀去除第三个区域的残留光阻材料与支撑柱材料层，初步形成各支撑柱区域的图案。
再对其余两个区域的光阻层进行灰化处理，完全去除第二个区域的光阻材料，使形成副支撑柱区域与连接电极区域的材料层显露，并进一步通过刻蚀形成副支撑柱区域的图案，以及此时形成的位于连接电极区域的连接电极的高度与副支撑柱区域的副支撑柱的高度一致。
剥离第一个区域的剩余光阻，形成主支撑柱区域的图案。
需要说明的是，在本申请的实施例中，选择与主支撑柱以及副支撑柱同样的材料制作连接电极。一般选择具有弹性的树脂材料，并保证材料的膨胀系数也要和蓝相液晶相近，这样在面板的制作过程中连接电极可以与主支撑柱随液晶一起在一定范围内压缩变化，有助于产品的良率的提升。同时当遇到高、低温热涨或冷缩时不会影响液晶显示器的画面品质。
第二像素电极与连接电极的导体层可以同步形成，具体工艺过程与图案化形成第二公共电极的步骤相同，不再赘述。由于连接电极的表面具有斜坡，所以在Sputter成膜的过程中，在连接电极的倾斜的侧面上同时均匀形成一层金属层(即ITO层)，用于形成第一像素电极与第二像素电极之间的通路。一般的，像素电极的厚度在左右，在连接电极芯体上形成的导体层加上延伸电极的厚度(延伸电极的厚度与像素电极的厚度相同)再加上支撑柱芯体的高度，可以使得形成的连接电极的高度大于副支撑柱的高度且小于主支撑柱的高度。
本申请实施例中的连接电极与延伸电极结构在现有工艺的基础上，通过对部分工艺步骤的改造就可制作完成，未显著增加工艺步骤，无需重新布置生产线，节约了生产的成本的同时有利于推广应用以及质量控制。
虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属技术领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种蓝相液晶显示面板，包括下基板与上基板，其中，
所述下基板，其上设置有第一公共电极与第一像素电极，所述第一公共电极与所述第一像素电极产生分布的第一边缘电场；
所述上基板，其上与所述下基板对称地设置有第二公共电极与第二像素电极，所述第二公共电极与所述第二像素电极产生分布的第二边缘电场；
其中，所述第一边缘电场与所述第二边缘电场各自的竖直电场分量相互削弱，且水平电场分量相互增强。
2.根据权利要求1所述的蓝相液晶显示面板，其特征在于，还包括设置在至少一个基板上的基板控制模块与信号同步模块，其中，
所述基板控制模块用于控制像素电极的驱动电压信号的加载，所述信号同步模块用于同步所述驱动电压信号。
3.根据权利要求2所述的蓝相液晶显示面板，其特征在于，所述信号同步模块包括设置于所述上基板上的多个连接电极与设置于所述下基板上的多个延伸电极，其中，所述连接电极与所述延伸电极对应连接。
4.根据权利要求3所述的蓝相液晶显示面板，其特征在于，所述延伸电极设置于下基板的像素单元以外的非显示区域内，所述连接电极设置于上基板上与所述延伸电极的对应的位置处。
5.根据权利要求4所述的蓝相液晶显示面板，其特征在于，所述延伸电极的个数等于下基板所包含的像素单元的个数。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的蓝相液晶显示面板，其特征在于，所述连接电极包括圆台形芯体以及涂覆于所述芯体外表面的导体层。
7.根据权利要求6所述的蓝相液晶显示面板，其特征在于，所述芯体的材料包括弹性材料。
8.一种制作蓝相液晶显示面板基板的方法，包括：
在预制下基板上图案化形成第一公共电极；
在所述第一公共电极上涂覆形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层上图案化形成第一像素电极，并于所述下基板的像素单元以外的非显示区域内同步图案化形成延伸电极。
9.一种制作蓝相液晶显示面板基板的方法，包括：
在预制上基板上图案化形成第二公共电极；
在所述第二公共电极上涂覆形成第二绝缘层；
在所述第二绝缘层上图案化形成支撑柱，并于对应于延伸电极的位置处同步图案化形成连接电极的芯体；
在所述第二绝缘层上图案化形成第二像素电极，并于所述连接电极的芯体的外表面同步图案化形成连接电极的导体层。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在所述第二绝缘层上图案化形成支撑柱，并于对应于延伸电极的位置处同步图案化形成连接电极的芯体的步骤中进一步包括：
在经过洗净的绝缘层上依次涂覆形成用于制作主支撑柱、副支撑柱以及连接电极的材料层与光阻层；
利用多灰阶光罩对所述光阻层进行曝光与显影处理；
刻蚀部分材料层并灰化部分光阻层使形成副支撑柱区域与连接电极区域的材料层显露；
刻蚀显露的材料层形成副支撑柱，同时形成具有副支撑柱高度的连接电极的芯体；
剥离剩余光阻，形成主支撑柱。
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