KR102363676B1 - 표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 제1 기판, 상기 제1 기판상에 배치되며 박막트랜지스터를 포함하는 배선부, 상기 배선부상에 배치되며 적어도 하나의 오목부를 갖는 보호층 및 상기 보호층상에 배치된 차광부를 포함하며, 상기 차광부는 차광층, 상기 차광층으로부터 돌출된 제1 컬럼 스페이서 및 상기 제1 컬럼 스페이서와 이격되어 상기 차광층으로부터 돌출되며 상기 오목부에 배치된 제2 컬럼 스페이서를 포함하는 표시장치를 제공한다.

Description

표시장치 및 그 제조방법{DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 표시장치 및 그 제조방법에 대한 것으로, 보다 상세하게는 차광층과 컬럼 스페이서가 일체로 형성된 표시장치 및 그 제조방법에 대한 것이다.
표시장치는 발광 방식에 따라 액정표시장치(liquid crystal display, LCD), 유기 발광 표시장치(organic light emitting diode display, OLED display), 플라즈마 표시장치(plasma display panel, PDP), 전기 영동 표시장치(electrophoretic display) 등으로 분류된다.
액정표시장치는 서로 대향되도록 배치된 두 개의 기판, 두 개의 기판 중 적어도 하나의 기판상에 배치된 전극, 및 두 개의 기판 사이에 삽입된 액정층을 포함한다.
이러한 액정표시장치는 하나의 기판에 복수의 박막 트랜지스터와 화소 전극이 배치되고, 다른 하나의 기판에 복수개의 컬러 필터, 차광층, 및 공통 전극이 배치된 구조를 가지는 것이 일반적이다.
최근 공통 전극을 제외한 컬러 필터, 차광층, 및 화소 전극 등을 하나의 기판에 형성하는 구조(color filter on array, COA)가 제안되었다.
한편, 두 개의 기판 사이의 간격인 셀 갭(Cell Gap)을 균일하게 유지하기 위해 두 개의 기판 중 적어도 일측에 복수의 컬럼 스페이서가 형성되는 것이 필요하다. 또한, 공정 단순화를 위해 차광층과 컬럼 스페이서를 동시에 형성하는 블랙 컬럼 스페이서(Black Column Spacer)가 제안되었다.
이러한 블랙 컬럼 스페이서(Black Column Spacer)의 형성을 위해 패턴 마스크가 사용되며, 하나의 공정으로 차광층과 컬럼 스페이서를 동시에 형성하기 위해 복수개의 서로 다른 톤(tone)을 가진 노광 마스크가 사용된다. 노광 마스크의 톤(tone) 수가 많으면 공정 중 오차가 생길 가능성이 커진다.
본 발명의 일 실시예는 3개 이하의 톤(tone)을 가진 노광 마스크를 이용하여 제1 컬럼 스페이서, 제2 컬럼 스페이서 및 차광층을 일괄 형성하는 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 일 실시예는 3개 이하의 톤(tone)을 가진 노광 마스크에 의해 제1 컬럼 스페이서, 제2 컬럼 스페이서 및 차광층이 일괄 형성될 수 있는 구조를 가진 표시장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는, 제1 기판; 상기 제1 기판상에 배치되며 박막트랜지스터를 포함하는 배선부; 상기 배선부상에 배치되며 적어도 하나의 오목부를 갖는 보호층; 및 상기 보호층상에 배치된 차광부;를 포함하며, 상기 차광부는 차광층; 상기 차광층으로부터 돌출된 제1 컬럼 스페이서; 및 상기 제1 컬럼 스페이서와 이격되어 상기 차광층으로부터 돌출되며 상기 오목부에 배치된 제2 컬럼 스페이서;를 포함하는 표시장치를 제공한다.
상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 차광층의 표면을 기준으로 상기 제2 컬럼 스페이서보다 큰 높이를 갖는다.
상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 차광층의 바닥면을 기준으로 상기 제2 컬럼 스페이서와 실질적으로 동일한 두께를 갖는다.
상기 차광층, 상기 제1 컬럼 스페이서 및 상기 보조 컬럼 스페이서는 동일한 물질로 이루어진다.
상기 보호층은 감광성 유기물을 포함한다.
상기 표시장치는 상기 제1 기판과 상기 보호층 사이에 배치된 컬러필터층을 포함한다.
상기 표시장치는 상기 보호층상에 배치된 제1 전극을 포함한다.
상기 표시장치는 상기 제1 기판과 대향하여 상기 차광부 상에 배치된 제2 기판을 더 포함한다.
상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 제2 기판을 지지한다.
상기 표시장치는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치된 액정층을 포함한다.
본 발명의 다른 일 실시예는, 제1 기판상에 박막트랜지스터를 포함하는 배선부를 형성하는 단계; 상기 배선부상에 오목부를 갖는 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층상에 차광층, 제1 컬럼 스페이서 및 제2 컬럼 스페이서를 포함하는 차광부를 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 제2 컬럼 스페이서는 상기 보호층의 오목부상에 형성되는 표시장치의 제조방법을 제공한다.
상기 차광층의 표면을 기준으로, 상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 제2 컬럼 스페이서보다 큰 높이를 갖는다.
상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 차광층의 바닥면을 기준으로 상기 제2 컬럼 스페이서와 실질적으로 동일한 두께를 갖는다.
상기 보호층을 형성하는 단계는, 상기 배선부상에 보호층 형성용 제1 감광성 조성물을 도포하는 단계; 상기 제1 감광성 조성물상에 제1 노광 마스크를 배치하고 제1 감광성 조성물에 광을 조사하는 노광 단계; 및 상기 노광된 제1 감광성 조성물을 현상 및 경화하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 노광 마스크는 투광부, 반투광부 및 차광부를 포함한다.
상기 제1 노광 마스크의 반투광부는 상기 오목부 형성 영역에 대응된다.
상기 차광부를 형성하는 단계는, 상기 보호층상에 차광부 형성용 제2 감광성 조성물을 도포하는 단계; 상기 제2 감광성 조성물상에 제2 노광 마스크를 배치하고 제2 감광성 조성물에 광을 조사하여 노광 단계; 및 상기 노광된 제2 감광성 조성물을 현상 및 경화하는 단계;를 포함하며, 상기 제2 노광 마스크는 투광부, 반투광부 및 차광부를 포함한다.
상기 제2 노광 마스크의 투광부는 상기 제1 컬럼 스페이서 및 상기 제2 컬럼 스페이서 형성 영역에 대응된다.
상기 표시장치의 제조방법은, 상기 보호층을 형성하는 단계 이전에, 상기 제1 기판상에 컬러필터층을 형성하는 단계를 더 포함한다.
상기 표시장치의 제조방법은, 상기 보호층을 형성하는 단계 후 상기 차광부를 형성하는 단계 이전에, 상기 보호층상에 제1 전극을 형성하는 단계를 더 포함한다.
상기 표시장치의 제조방법은 상기 차광부를 형성하는 단계 후에, 상기 차광부 상에 상기 제1 기판과 대향하도록 제2 기판을 배치하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 3개 이하의 톤(tone)을 가진 노광 마스크에 의해 제조될 수 있는 차광부를 포함한다. 그에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조 과정에서 패턴 오차의 발생이 감소된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'를 따라 자른 단면도이다.
도 3은 도 1의 II-II' 및 III-III'를 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시장치의 단면도이다.
도 5a 내지 5i는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시장치의 제조 공정도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명은 다양한 변경이 가능하고, 여러 가지 형태로 실시될 수 있는 바, 특정의 실시예만을 도면에 예시하고 본문은 이를 중심으로 설명한다. 그렇다고 하여 본 발명의 범위가 상기 특정한 실시예로 한정되는 것은 아니아. 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 또는 대체물은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
도면에서, 각 구성요소와 그 형상 등이 간략하게 그려지거나 또는 과장되어 그려지기도 하며, 실제 제품에 있는 구성요소가 표현되지 않고 생략되기도 한다. 따라서, 도면은 발명의 이해를 돕기 위한 것으로 해석되어야 한다. 또한, 동일한 기능을 하는 구성요소는 동일한 부호로 표시된다.
어떤 층이나 구성요소가 다른 층이나 구성요소의 '상'에 있다 라고 기재되는 것은 어떤 층이나 구성요소가 다른 층이나 구성요소와 직접 접촉하여 배치된 경우뿐만 아니라, 그 사이에 제3의 층이 개재되어 배치된 경우까지 모두 포함하는 의미이다.
본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 구성요소를 두고 전기적으로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 명세서에서 제1, 제2, 제3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제1 구성 요소가 제2 또는 제3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제2 또는 제3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략되었으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하며, 본 발명의 제1 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시장치의 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'를 따라 자른 단면도이다.
본 발명의 제1 실시예들에 따른 표시장치는 액정표시장치(10)이다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시장치는 제1 기판(110), 제1 기판(110)과 대향하여 배치된 제2 기판(210) 및 제1 기판(110)과 제2 기판(210) 사이에 배치된 액정층(300)을 포함한다.
그러나 본 발명의 적용범위가 액정표시장치에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 유기발광 표시장치에 적용될 수도 있다.
구체적으로, 도 1 및 도 2를 참조하면, 액정표시장치(10)는 하부 패널(100), 하부 패널(100)에 대향하여 배치된 상부 패널(200), 및 하부 패널(100)과 상부 패널(200) 사이에 배치된 액정층(300)을 포함한다.
하부 패널(100)은 제1 기판(110), 제1 기판(110)상에 배치되며 박막트랜지스터(150)를 포함하는 배선부(120), 배선부(120)상에 배치된 컬러필터층(170), 컬러필터층(170) 상에 배치된 보호층(175), 보호층(175) 상에 배치된 제1 전극(180)과 차광부(190)를 포함한다.
제1 기판(110)은 소다석회유리(soda lime glass) 또는 보로 실리케이트 유리 와 같은 투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 이루어진 절연 기판이다.
제1 기판(110) 상에 게이트 신호를 전달하는 게이트 배선(122, 124)이 배치된다. 게이트 배선(122, 124)은 일 방향, 예를 들어 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트 라인(122)과, 게이트 라인(122)으로부터 돌출되어 돌기 형태로 형성된 게이트 전극(124)을 포함한다. 게이트 전극(124)은 후술하는 소스 전극(165), 드레인 전극(166) 및 반도체층(142)과 함께 박막트랜지스터(150)를 구성한다.
도면에 도시되지 않았으나, 제1 기판(110) 상에 제1 전극(180)과 스토리지 캐패시터를 형성하기 위한 스토리지 배선(미도시)이 추가적으로 배치될 수도 있다. 스토리지 배선은 게이트 배선(122, 124)과 동일한 물질로 만들어질 수 있으며 동일한 층에 배치될 수 있다.
게이트 배선(122, 124)은 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금과 같은 알루미늄 계열의 금속, 은(Ag) 또는 은(Ag) 합금과 같은 계열의 금속, 구리(Cu) 또는 구리 합금과 같은 구리 계열의 금속, 몰리브덴(Mo) 또는 몰리브덴 합금과 같은 몰리브덴 계열의 금속, 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 등으로 만들어질 수 있다.
게이트 배선(122, 124)은 물리적 성질이 다른 두 개의 도전막을 포함하는 다중막 구조를 가질 수도 있다.
이 중 하나의 도전막은 게이트 배선(122, 124)의 신호 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(low resistivity)을 갖는 금속, 예를 들면 알루미늄 계열 금속, 은 계열 금속 또는 구리 계열 금속 등으로 만들어질 수 있다.
또한, 다른 한 도전막은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), AZO(aluminum zinc oxide)와 같은 투명도전성산화물(Transparent Conductive Oxide, TCO)과의 접촉 특성이 우수한 물질, 예를 들면, 몰리브덴 계열 금속, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 등으로 만들어질 수 있다.
이러한 다층막 구조를 갖는 전극의 예로, 크롬 하부막과 알루미늄 상부막으로 된 전극, 알루미늄 하부막과 몰리브덴 상부막으로 된 전극 및 티타늄 하부막과 구리 상부막으로 된 전극이 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 게이트 배선(122, 124)은 다양한 여러 가지 금속과 도전체로 만들어질 수 있다.
제1 기판(110)과 게이트 배선(122, 124)상에 게이트 절연막(130)이 배치된다. 게이트 절연막(130)은 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)을 포함할 수 있다. 또한, 게이트 절연막(130)은 산화 알루미늄, 산화 티타늄, 산화 탄탈륨 또는 산화 지르코늄을 더 포함할 수도 있다.
게이트 절연막(130)상에 박막 트랜지스터(150)의 채널 형성을 위한 반도체층(142)이 배치된다. 반도체층(142)의 적어도 일부는 게이트 전극(124)과 중첩한다. 반도체층(142)은 비정질 실리콘(amorphous Silicon: 이하, a-Si)으로 이루어지거나, 또는, 갈륨(Ga), 인듐(In), 주석(Sn), 아연(Zn) 중 적어도 하나 이상의 원소를 포함하는 산화물 반도체(oxide semiconductor)로 이루어 질 수 있다.
반도체층(142)상에 오믹 콘택층(155, 156)이 배치된다. 오믹 콘택층(155, 156)은 후술할 소스/드레인 전극(165, 166)과 반도체층(142) 사이의 접촉 특성을 개선하는 역할을 한다.
예를 들어, 오믹 콘택층(155, 156)은 n형 불순물이 고농도로 도핑된 비정질 실리콘(이하, n+ a-Si)으로 이루어질 수 있다. 만약, 소스/드레인 전극(165, 166)과 반도체층(142) 간의 접촉 특성이 충분히 확보된다면, 오믹 콘택층(155, 156)은 생략될 수도 있다.
오믹 콘택층(155, 156) 및 게이트 절연층(130) 상에 데이터 배선(162, 165, 166)이 배치된다. 데이터 배선(162, 165, 166)은 게이트 라인(122)과 교차하는 방향 예컨대, 세로 방향으로 배치된 데이터 라인(162)과, 데이터 라인(162)으로부터 분지되어 반도체층(142)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(165)과, 소스 전극(165)과 이격되고 박막 트랜지스터(150)의 채널 영역을 중심으로 소스 전극(165)과 대향하여 반도체층(142)의 상부에 배치된 드레인 전극(166)을 포함한다. 여기서, 드레인 전극(166)은 반도체층(142) 상부에서 제1 전극(180)의 아래까지 연장될 수 있다.
화소 영역(101r, 101g, 101b)은 데이터 라인(162)과 게이트 라인(122)에 의하여 정의될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 화소 영역(101r, 101g, 101b)은 차광층(191)에 의하여 정의될 수도 있다. 차광층(191)은 후술된다.
데이터 배선(162, 165, 166), 노출된 반도체층(142) 및 노출된 게이트 절연층(130)의 상부에 걸쳐 층간절연막(169)이 배치된다. 층간절연막(169)은, 예를 들어, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 감광성(photosensitivity)의 유기물 또는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 등을 포함하는 단일막 또는 다중막 구조를 가질 수 있다.
도 1 및 도 2에 설명된 박막트랜지스터(150)의 구조는 하나의 실시예일뿐, 박막 트랜지스터(150) 구조가 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 배선부(120) 역시 다양한 형태로 변형될 수 있다.
배선부(120)상에 적색 컬러 필터(170r), 녹색 컬러 필터(170g), 및 청색 컬러 필터(170b)를 포함하는 컬러필터층(170)이 배치된다.
적색 컬러 필터(170r), 녹색 컬러 필터(170g) 및 청색 컬러 필터(170b)는 각각 적색 화소 영역(101r), 녹색 화소 영역(101g) 및 청색 화소 영역(101b)에 대응하여 배치된다. 예를 들어, 적색 컬러 필터(170r), 녹색 컬러 필터(170g) 및 청색 컬러 필터(170b)는 각각 적색 화소 영역(101r), 녹색 화소 영역(101g) 및 청색 화소 영역(101b)에 대응하여 섬(island) 형태로 배치될 수 있다.
적색 컬러 필터(170r), 녹색 컬러 필터(170g) 및 청색 컬러 필터(170b)는 가로 방향 또는 세로 방향으로 서로 이격되어 배치되거나, 서로 이웃하는 컬러 필터의 가장자리가 중첩되어 배치될 수도 있다.
컬러필터층(170)은 적색 컬러 필터(170r), 녹색 컬러 필터(170g) 및 청색 컬러 필터(170b)외에 다른 색을 표현하는 컬러 필터를 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 컬러필터층(170) 백색 컬러 필터(미도시)를 포함할 수 있다.
컬러필터층(170)은 2㎛ 내지 4㎛의 두께를 가질 수 있다. 그러나, 컬러필터층(170) 두께가 이러한 범위로 한정되는 것은 아니다.
컬러필터층(170) 상에 보호층(175)이 배치된다.
보호층(175)은 하나 이상의 오목부(195)를 가진다. 이러한 오목부에 의하여 컬럼 스페이서(192, 193)에 단차가 생길 수 있다. 컬럼 스페이서(192, 193)는 후술된다. 또한, 보호층(175)은 1.0~2.5㎛의 두께를 가질 수 있다.
보호층(175)은, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 감광성(photosensitivity)의 유기물 또는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 등을 포함하는 단일막 또는 다중막 구조를 가질 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따르면, 보호층(175)은 노광 부위가 현상되는 포지티브형(positive type)의 제1 감광성 조성물(171)로 만들어질 수 있다. 예를 들어, 보호층(175)은 감광성 유기물을 포함할 수 있다. 보호층이 감광성 유기물로 만들어지는 경우 보호층(175)을 유기막이라고도 한다.
또한, 보호층(175)은 배선부와 컬러필터층 상부를 평탄화하는 역할을 한다. 따라서 보호층(175)을 평탄화막이라고도 한다.
층간절연막(169), 컬러필터층(170) 및 보호층(175)의 일부가 제거되어, 제1 전극(180)의 아래에 배치되는 드레인 전극(166)의 일부를 드러내는 컨택홀(185)이 만들어진다.
보호층(175)상에 컨택홀(185)을 통하여 드레인 전극(166)과 전기적으로 연결되는 제1 전극(180)이 배치된다. 제1 전극(180)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide) 또는 AZO(aluminum zinc oxide)와 같은 투명도전성산화물(Transparent Conductive Oxide)로 만들어질 수 있다. 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 제1 전극(180)은 화소 전극이며 화소 영역(101)에 배치된다.
이와 같이, 보호층(175)에 컨택홀(185)과 오목부(195)이 형성되기 때문에 보호층은 3개의 단차를 가진다. 이러한 보호층(175)은 3개의 서로 다른 광투과도를 가진 영역을 포함하는 3톤(tone) 마스크에 의해 형성될 수 있다. 보호층(175) 형성 방법은 후술된다.
보호층(175)상에 차광부(190)가 배치된다. 차광부(190)는 제1 전극(180) 이외의 영역에 배치되며, 제1 전극(180)의 가장자리와 일부 중첩할 수 있다. 그러나, 본 발명의 제1 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 차광부(190)는 화소 영역(101)에 배치되는 제1 전극(180)과 중첩되지 않을 수도 있다.
차광부(190)는 백라이트 유닛(미도시)으로부터 공급되는 광이 외부로 통과되는 것을 방지하며, 또한 외부로부터의 광이 게이트 라인(122), 데이터 라인(162) 또는 박막 트랜지스터(150)에 조사되는 것을 방지한다.
차광부(190)는 차광층(191) 및 차광층(191)으로부터 돌출된 컬럼 스페이서(192, 193)을 포함한다.
차광층(191)은 게이트 라인(122), 데이터 라인(162) 및 박막 트랜지스터(150)와 중첩할 수 있다. 예를 들어, 차광층(191)은 게이트 라인(122)과 데이터 라인(162) 따라 배치된 격자형 구조를 가질 수 있다.
차광층(191)은 블랙 매트릭스(black matrix)라고도 하며, 복수개의 컬러 필터(170r, 170g, 170b)를 서로 구분하고 화소 영역을 정의하며, 빛샘을 방지한다.
컬럼 스페이서(192, 193)는 차광층(191)으로부터 돌출된 구조를 가진다. 즉, 차광층(191) 중 돌출된 부분이 컬럼 스페이서(192, 193)이다. 컬럼 스페이서는 단차를 가지며 서로 이격되어 배치된 제1 컬럼 스페이서(192)와 제2 컬럼 스페이서(193)를 포함한다. 제1 컬럼 스페이서(192)와 제2 컬럼 스페이서(193)의 바닥면(192b, 193c)은 차광층(191)의 일부이다.
제1 컬럼 스페이서(192)는 하부 패널(100)과 상부 패널(200) 사이의 간격을 일정하게 유지함으로써, 액정표시장치(10)의 전반적인 동작 특성을 개선한다.
구체적으로, 액정표시장치(10)의 하부 패널(100)과 상부 패널(200) 사이의 간격을 셀 갭(Cell Gap)이라 하며, 이러한 셀 갭은 액정표시장치의 응답 속도, 대비비, 시야각, 휘도 균일성 등과 같은 전반적인 동작 특성에 영향을 미친다. 따라서, 셀 갭이 일정하지 않으면 화면 전체에 걸쳐 균일한 영상이 표시되지 못하여 화질 불량을 초래한다. 그러므로, 패널 상의 전 영역에 걸쳐서 균일한 셀 갭을 유지하기 위해서 하부 패널(100)과 상부 패널(200)중 적어도 일측에 복수의 컬럼 스페이서(192, 193)가 배치되는 것이 필요하다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 컬럼 스페이서(192, 193)는 하부 패널(100)과 상부 패널(200)을 실질적으로 지지하는 제1 컬럼 스페이서(192)와 제1 컬럼 스페이서(192)의 역할을 보조하는 제2 컬럼 스페이서(193)를 포함한다. 즉, 제1 컬럼 스페이서(192)는 하부 패널(100)과 상부 패널(200)을 지지하여 이격공간을 확보한다. 제1 컬럼 스페이서(192)를 메인 컬럼 스페이서라고도 하고, 제2 컬럼 스페이서(193)를 서브 컬럼 스페이서라고도 한다.
본 발명의 제1 실시예에 따르면, 차광층(191)과 컬럼 스페이서(192, 193)는 동일 재료에 의해 일괄 형성된다. 즉, 본 발명의 제1 실시예에 따른 차광부(190)는 차광층(191)과 컬럼 스페이서(192, 193)가 동시에 형성된 블랙 컬럼 스페이서(Black Column Spacer) 구조를 가진다.
차광부(190)는 비노광부가 현상되는 네가티브(negative) 타입의 제2 감광성 조성물로 만들어질 수 있다. 예를 들어, 차광부(190) 형성에 사용되는 제2 감광성 조성물은 바인더 수지, 중합성 모노머, 중합성 올리고머, 안료, 분산제, 광 개시제를 포함할 수 있다. 안료로 검은색 안료 또는 블랙 수지(black resin) 등이 사용될 수 있다.
도시되지 않았지만, 제1 전극(180) 및 차광부(190) 상에 하부 배향막이 배치될 수 있다. 하부 배향막은 수직 배향막일 수 있고, 광반응 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 하부 배향막은 폴리아믹산(Polyamic acid), 폴리실록산(Polysiloxane) 및 폴리이미드(Polyimide) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치(10)는 박막트랜지스터(150)와 컬러필터층(170)이 동일한 기판상에 배치된 COA(color filter on array, COA)구조를 가지며, 차광층(191)와 컬럼 스페이서(192, 193)가 일체형으로 형성된 블랙 컬럼 스페이서(BCS) 구조를 가진다.
상부 패널(200)은 제2 기판(210) 및 제2 전극(220)을 포함한다. 제2 기판(210)은 투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 된 절연 기판이다. 제2 전극(220)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide) 또는 AZO(aluminum zinc oxide)와 같은 투명도전성산화물(Transparent Conductive Oxide)로 만들어질 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따르면, 제2 전극(220)은 공통전극이다.
도시되지 않았지만, 상부 패널(200)은 상부 배향막을 더 포함할 수 있다. 상부 배향막은 제2 전극(220) 상에 배치된다. 상부 배향막은 전술된 하부 배향막과 동일한 물질로 만들어질 수 있다.
제1 기판(110)과 제2 기판(210) 간의 마주보는 면들을 각각 해당 기판의 상부면으로 정의하고, 그 상부면들의 반대편에 위치한 면들을 각각 해당 기판의 하부면으로 정의할 때, 제1 기판(110)의 하부면과 제2 기판(210)의 하부면에 각각 편광판이 배치될 수 있다.
컬럼 스페이서(192, 193)에 의하여 확보된 하부 패널(100)과 상부 패널(200) 사이의 이격 공간에 액정층(300)이 개재된다.
액정층(300)은 액정 분자를 포함할 수 있다. 액정층(300)의 액정 분자는 그 장축 방향이 하부 패널(100) 및 상부 패널(200) 중 어느 하나에 평행하게 배열되어 있고, 그 방향이 하부 패널(100)의 배향막의 러빙 방향으로부터 상부 패널(200)에 이르기까지 나선상으로 90도 비틀린 구조를 가질 수 있다. 또는, 액정층(300)은 수직 배향된 액정 분자들을 포함할 수도 있다.
이하, 도 3을 참조하여 보호층(175), 제1 컬럼 스페이서(192) 및 제2 컬럼 스페이서(193)의 구조를 보다 상세히 설명한다.
도 3은 도 1의 II-II' 및 III-III'를 따라 절단한 단면도이다. 구체적으로, 도 3의 좌측은 II-II'를 따라 절단한 단면도이고, 우측은 III-III'를 따라 절단한 단면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 보호층(175)은 오목부(195)를 가지며, 제2 컬럼 스페이서(193)는 보호층(175)의 오목부(195)에 배치된다. 그렇기 때문에 제1 컬럼 스페이서(192)와 제2 컬럼 스페이서(193)가 동일한 두께를 가지더라도(t2=t3) 제1 컬럼 스페이서(192)와 제2 컬럼 스페이서(193)는 단차를 가질 수 있다.
구체적으로, 차광층(191)의 표면(191a)를 기준으로 제1 컬럼 스페이서(192)의 높이(h1)는 제2 컬럼 스페이서(193)의 높이(h2)보다 높다. 따라서 제1 컬럼 스페이서(192)는 상부 패널(200)과 접촉하여 하부 패널(100)과 상부 패널(200)을 지지하며, 제2 컬럼 스페이서(193)는 상부 패널(200)과 d2의 간격으로 이격되어 있다.
제2 컬럼 스페이서(193)과 상부 패널(200)의 간격(d2)은 오목부(195)의 깊이(d1)와 실질적으로 동일하다.
또한, 제1 컬럼 스페이서(192)와 제2 컬럼 스페이서(193)는 차광층의 바닥면(192b, 193b)을 기준으로 동일한 두께를 가진다. 즉, 제1 컬럼 스페이서(192)의 두께(t2)는 제2 컬럼 스페이서(193)의 두께(t3)와 같다(t2=t3).
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 제2 실시예를 설명한다. 중복을 피하기 위해 이미 설명된 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략된다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시장치의 단면도이다. 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시장치는 액정표시장치(20)이며, 상부 패널(200)이 컬러필터층(170)을 포함한다.
구체적으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정표시장치(20)는 하부 패널(100), 상부 패널(200) 및 액정층(300)을 포함한다.
하부 패널(100)은 제1 기판(110), 제1 기판(110)상에 배치된 배선부(120), 배선부(120)상에 배치된 보호층(175), 보호층(175)상에 배치된 제1 전극(180)과 차광부(190)를 포함한다.
상부패널(200)은 제2 기판(210), 컬러필터층(170), 오버 코팅층(215) 및 제2 전극(220)을 포함한다.
제2 기판(211)은 투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 만들어진다.
컬러필터층(170)은 화소 영역(101)에 대응되도록 배치된다. 컬러필터층(170)은 적색 컬러 필터(170r), 녹색 컬러 필터(170g) 및 청색 컬러 필터(170b)를 포함한다.
컬러필터층(170)상에 오버 코팅층(215)이 배치된다. 오버 코팅층(215)은 컬러필터층(170) 상부를 평탄화하면서, 컬러필터층(170)을 보호한다. 오버 코팅층(215)은, 예를 들어, 아크릴계 에폭시 재료로 만들어질 수 있다.
오버 코팅층(215)상에 제2 전극(220)이 배치된다. 제2 전극(220)은 공통 전극이다.
액정층(300)은 하부 패널(100)과 상부 패널(200) 사이에 배치된다.
이하, 도 5a 내지 5i를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치(10)의 제조방법을 설명한다. 도 5a 내지 5i는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시장치의 제조 공정도이다.
도 5a를 참조하면, 투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 된 제1 기판(110)상에 배선부(120)가 형성된다. 배선부(120)는 박막트랜지스터(150)을 포함한다.
구체적으로, 제1 기판(110)상에 게이트 배선(122, 124)이 형성된다. 게이트 배선(122, 124)은 게이트 라인(122)과 게이트 전극(124)을 포함한다.
게이트 배선(122, 124)상에 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)로 이루어지는 게이트 절연막(130)이 형성된다.
게이트 절연막(130)상에 게이트 전극(124)과 적어도 일부 중첩되는 반도체층(142)이 형성된다.
반도체층(142)상에 오믹 콘택층(155, 156)이 형성된다.
오믹 콘택층(155, 156) 및 게이트 절연층(130) 상에 데이터 배선(162, 165, 166)이 형성된다. 데이터 배선(162, 165, 166)은 데이터 라인(162), 소스 전극(165) 및 드레인 전극(166)을 포함한다 데이터 라인(162)은 게이트 라인(122)과 교차한다. 소스 전극(165)은 데이터 라인(162)으로부터 분지되어 반도체층(142)의 상부까지 연장된다. 드레인 전극(166)은 소스 전극(165)과 이격되어 반도체층(142)의 상부에 배치된다.
게이트 전극(124), 반도체층(142), 소스 전극(165) 및 드레인 전극(166)은 박막트랜지스터(150)를 구성한다.
도 5b를 참조하면, 배선부(120)상에 컬러필터층(170)이 형성된다.
컬러필터층(170)은 적색 컬러 필터(170r), 녹색 컬러 필터(170g) 및 청색 컬러 필터(170b)를 포함한다. 서로 이웃하는 컬러 필터(170r, 170g, 170b)의 가장자리는 중첩된다.
도 5c를 참조하면, 컬러필터층(170)상에 보호층(175) 형성용 제1 감광성 조성물(171)이 도포된다. 제1 감광성 조성물(171)의 도포에 의해 컬러필터층(170)의 상부가 평탄해진다.
제1 감광성 조성물(171)은 광조사에 의해 현상액에 대한 용해성이 증가하는 포지티브형(positive type) 감광성 수지 조성물을 포함한다.
제1 감광성 조성물은, 예를 들어, 바인더 수지, 중합성 모노머, 중합성 올리고머, 분산제, 광 개시제를 포함할 수 있다.
도 5d를 참조하면, 제1 감광성 조성물(171)과 이격되어 제1 감광성 조성물(171) 상에 제1 노광 마스크(400)가 배치되고, 제1 감광성 조성물(171)에 광(L)이 조사되어 노광이 이루어진다.
제1 노광 마스크(400)는 투광부(410), 차광부(420) 및 반투과부(430)을 포함한다. 이러한 제1 노광 마스크(400)는 3톤(tone) 마스크이다.
제1 노광 마스크(400)의 투광부(410)은 컨택홀(185)이 형성 영역에 대응되며, 반투과부(430)는 보호층(175)의 오목부(195) 형성 영역에 대응된다. 차광부(420)는 컨택홀(185)이 형성 영역과 오목부(195) 형성 영역 이외의 영역에 대응된다.
투광부(410)는 95% 이상의 광투과도를 가질 수 있으며, 차광부(420)는 5% 이하의 광투과도를 가질 수 있다. 반투과부(430)는 50 내지 60%의 광투과도를 가질 수 있다. 투광부(410), 차광부(420) 및 반투과부(430)의 광투과도는 제1 감광성 조성물(171)의 종류에 따라 달라질 수 있다.
제1 감광성 조성물(171)의 종류에 따라, 투광부(410)는 90% 내지 100%의 광투과도를 가질 수 있고, 차광부(420)는 0 내지 1%의 광투과도를 가질 수 있고, 반투과부(430)은 30 내지 40%의 광투과도를 가질 수 있다. 또한, 반투과부(430)은 60 내지 70%의 광투과도를 가질 수도 있다.
도 5d의 제1 노광 마스크(400)는 투명 유리 기판(401) 및 투명 유리 기판에 형성된 차광 패턴(402)을 포함한다. 차광 패턴(402)은 차광 물질을 선택적으로 도포하는 것에 의하여 만들어질 수 있다.
반투과부(430)의 광투과도는 차광 물질의 농도 조절에 의해 조정될 수 있다.
또한, 반투과부(430)는 투광영역(431)과 차광슬릿(432)가 교대로 배치된 구조를 가질 수도 있다. 이 경우, 반투과부(430)의 광투과도는 투광영역(431)과 차광슬릿(432)의 간격 조절에 의해 조정될 수 있다.
도 5e를 참조하면, 노광된 제1 감광성 조성물(171)이 현상액에 의해 현상되고 경화되어 보호층(175)이 형성된다.
구체적으로, 제1 노광 마스크(400)의 투광부(410) 하부에 위치하는 층간절연막(169), 컬러필터층(170) 및 제1 감광성 조성물(171)이 제거되어 드레인 전극(166)의 일부를 드러내는 컨택홀(185)이 만들어진다. 또한, 제1 노광 마스크(400)의 반투과부(430) 하부에 위치하는 제1 감광성 조성물(171)이 일부 제거되어 d1의 깊이를 갖는 오목부(195)가 만들어진다.
이와 같이 만들어진 도 5e의 보호층(175)은 유기막이다.
도 5f를 참조하면, 보호층(175) 상에 컨택홀(185)을 통하여 드레인 전극(166)과 전기적으로 연결되는 제1 전극(180)이 형성된다. 제1 전극(180)은 ITO (indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide) 또는 AZO(aluminum zinc oxide)와 같은 투명도전성산화물(Transparent Conductive Oxide)로 만들어진다.
도 5g를 참조하면, 보호층(175)과 제1 전극(180)상에 차광부 형성용 제2 감광성 조성물(199)이 도포된다. 이 때 컨택홀(185)과 오목부(195)의 상부가 함몰된 상태로 제2 감광성 조성물(199)이 도포된다.
제2 감광성 조성물(199)은 네가티브(negative) 타입의 감광성 수지 조성물을 포함한다. 네가티브(negative) 타입의 감광성 수지 조성물은 비노광부가 현상된다.
제2 감광성 조성물(199)은 바인더 수지, 중합성 모노머, 중합성 올리고머, 안료, 분산제, 광 개시제를 포함할 수 있다. 안료로 검은색 안료 또는 블랙 수지(black resin) 등이 사용된다.
도 5h를 참조하면, 제2 감광성 조성물(199)과 이격되어 제2 감광성 조성물(199) 상에 제2 노광 마스크(401)가 배치되고, 제2 감광성 조성물(199)에 광(L)이 조사되어 노광이 이루어진다.
제2 노광 마스크(500)는 투광부(510), 차광부(520) 및 반투과부(530)를 포함한다. 제2 노광 마스크(500)는 서로 다른 광투과도를 가진 3가지 영역을 포함하는 3톤(tone) 마스크이다.
제2 노광 마스크(500)의 투광부(510)는 제1 컬럼 스페이서(192)와 제2 컬럼 스페이서(193) 형성 영역에 대응되고, 차광부(520)는 제1 전극(180) 영역에 대응되고, 반투과부(530)는 차광층(191)만 형성되는 영역에 대응된다.
제2 노광 마스크(500)의 투광부(510)는 95% 이상의 광투과도를 가질 수 있고, 차광부(520)는 5% 이하의 광투과도를 가질 수 있고, 반투과부(530)는 50 내지 60%의 광투과도를 가질 수 있다.
제2 노광 마스크(500)의 투광부(510), 차광부(520) 및 반투과부(530)의 광투과도는 차광층(191)의 두께(t3), 제2 감광성 조성물(199)의 종류 등에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어, 투광부(510)은 90% 내지 100%의 광투과도를 가질 수 있고, 차광부(520)은 0 내지 1%의 광투과도를 가질 수 있고, 반투과부(530)은 30 내지 40%의 광투과도를 가질 수 있다. 반투과부(530)은 60 내지 70%의 광투과도를 가질 수도 있다.
제2 노광 마스크(500)는 투명 유리 기판(501) 및 투명 유리 기판(501)상에 형성된 차광 패턴(502)을 포함한다. 차광 패턴(502)은 차광 물질을 선택적으로 도포하는 것에 의하여 만들어질 수 있다.
반투과부(530)의 광투과도는, 예를 들어, 차광 물질의 농도 조절에 의해 조정될 수 있다.
또한, 반투과부(530)은 투광영역(531)과 차광슬릿(532)이 교대로 배치된 구조를 가질 수도 있다. 이 경우, 반투과부(530)의 광투과도는 투광영역(531)과 차광슬릿(531)의 간격 조절에 의해 조정될 수 있다.
도 5i를 참조하면, 노광된 제2 감광성 조성물(199)이 현상액에 의해 현상된 후 경화되어, 차광층(191), 제1 컬럼 스페이서(192) 및 제2 컬럼 스페이서(193)를 포함하는 차광부(190)가 형성된다.
다음, 차광부(190)상에 제1 기판(110)과 대향되도록 제2 기판(210)을 배치하고, 제1 기판(110)과 제2 기판(210) 사이에 액정층(300)을 배치한다.
보다 상세하게는, 제2 기판(210)상에 제2 전극(220)을 형성하여 상부 패널(200)을 제작한 후, 컬럼 스페이서(192, 193)를 사이에 두고 하부 패널(100)과 상부 패널(200) 사이에 액정층(300)을 개재하고, 하부 패널(100)과 상부 패널(200)을 합착하면 도 2에 도시된 액정표시장치(10)가 만들어진다.
이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 보호층(175)에 오목부(195)가 형성되어 있기 때문에, 3톤(tone) 마스크인 제2 노광 마스크(500)에 의해 제2 감광성 조성물(199)의 분포가 서로 다른 4가지 영역이 형성될 수 있다.
구체적으로, 제2 감광성 조성물(199)의 분포에 따라 하부 패널(100)은 4가지 영역으로 나누어질 수 있다. 즉, 하부 패널(100)은, 제2 감광성 조성물(199)이 모두 제거된 제1 영역(예를 들어, 제1 전극 상부), 제2 감광성 조성물(199)이 일부 제거되어 차광층(191)만 형성된 제2 영역(예를 들어, 게이트 라인 및 데이터 라인 상부), 제2 컬럼 스페이서가 위치하는 제3 영역 및 제1 컬럼 스페이서(192)가 위치하는 제4 영역으로 나누어진다.
만약 보호층(175)에 오목부(195)가 형성되어 있지 않다면, 이러한 4가지 영역을 형성하기 위해 4톤(tone) 마스크가 사용된다. 4톤(tone) 마스크는 서로 다른 광투과도를 가진 4가지 영역을 포함하기 때문에, 각 영역간 투광도의 차이가 충분히 크지 않다. 따라서, 4톤(tone) 마스크가 사용되는 경우 노광 단계에서 각 영역별 노광도의 차이가 뚜렷하지 않고, 그에 따라 각 영역이 명확하게 구분되어 현상되지 않을 수 있다. 즉, 패턴이 손상되거나 패턴 오차가 생길 수 있다.
반면, 3톤(tone) 마스크는 서로 다른 광투과도를 가진 3가지 영역을 포함하며, 각 영역은 다른 영역과 비교하여 충분히 큰 투광도의 차이를 가지도록 만들어질 수 있다. 따라서, 3톤(tone) 마스크가 사용되는 경우 노광 단계에서 각 영역별 노광도의 차이가 뚜렷하여, 패턴 형성의 오차가 감소될 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 본 발명이 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야 한다.
10, 20: 액정표시장치 100: 하부 패널
110: 제1 기판 120: 배선부
122: 게이트 라인 124: 게이트 전극
130: 게이트 절연막 142: 반도체층
150: 박막트랜지스터 155, 156: 오믹 콘택층
162: 데이터 라인 165: 소스 전극
166: 드레인 전극 170: 컬러필터층
170r: 적컬러 필터 170g: 녹컬러 필터
170b: 청컬러 필터 175: 보호층
185: 컨택홀 190: 차광부
191: 차광층 192: 제1 컬럼 스페이서
193: 제2 컬럼 스페이서 200: 상부 패널
210: 제2 기판 220: 제2 전극
300: 액정층 400: 제1 노광 마스크
500: 제2 노광 마스크

Claims (20)

  1. 제1 기판;
    상기 제1 기판상에 배치되며 박막트랜지스터를 포함하는 배선부;
    상기 배선부상에 배치되며 적어도 하나의 오목부를 갖는 보호층; 및
    상기 보호층상에 배치된 차광부;를 포함하며,
    상기 차광부는,
    차광층;
    상기 차광층으로부터 돌출된 제1 컬럼 스페이서; 및
    상기 제1 컬럼 스페이서와 이격되어 상기 차광층으로부터 돌출되며, 상기 오목부에 배치된 제2 컬럼 스페이서;
    를 포함하고,
    상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 차광층의 표면을 기준으로 상기 제2 컬럼 스페이서보다 큰 높이를 가지고,
    상기 차광층, 상기 제1 컬럼 스페이서 및 상기 제2 컬럼 스페이서는 동일한 물질로 이루어진 표시장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 차광층의 바닥면을 기준으로 상기 제2 컬럼 스페이서와 실질적으로 동일한 두께를 갖는 표시장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 보호층은 감광성 유기물을 포함하는 표시장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 보호층 사이에 배치된 컬러필터층을 포함하는 표시장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 보호층상에 배치된 제1 전극을 포함하는 표시장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판과 대향하여 상기 차광부 상에 배치된 제2 기판을 더 포함하는 표시장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 제2 기판을 지지하는 표시장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치된 액정층을 포함하는 표시장치.
  11. 제1 기판상에 박막트랜지스터를 포함하는 배선부를 형성하는 단계;
    상기 배선부상에 오목부를 갖는 보호층을 형성하는 단계;
    상기 보호층상에 차광층, 제1 컬럼 스페이서 및 제2 컬럼 스페이서를 포함하는 차광부를 형성하는 단계;를 포함하며,
    상기 제2 컬럼 스페이서는 상기 보호층의 오목부상에 형성되고,
    상기 차광층의 표면을 기준으로, 상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 제2 컬럼 스페이서보다 큰 높이를 갖는 표시장치의 제조방법.
  12. 삭제
  13. 제11항에 있어서, 상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 차광층의 바닥면을 기준으로 상기 제2 컬럼 스페이서와 실질적으로 동일한 두께를 갖는 표시장치의 제조방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계는,
    상기 배선부상에 보호층 형성용 제1 감광성 조성물을 도포하는 단계;
    상기 제1 감광성 조성물상에 제1 노광 마스크를 배치하고 제1 감광성 조성물에 광을 조사하는 노광 단계; 및
    상기 노광된 제1 감광성 조성물을 현상 및 경화하는 단계;를 포함하며,
    상기 제1 노광 마스크는 투광부, 반투광부 및 차광부를 포함하는 표시장치의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1 노광 마스크의 반투광부는 상기 오목부 형성 영역에 대응되는 표시장치의 제조방법.
  16. 제11항에 있어서, 상기 차광부를 형성하는 단계는,
    상기 보호층상에 차광부 형성용 제2 감광성 조성물을 도포하는 단계;
    상기 제2 감광성 조성물상에 제2 노광 마스크를 배치하고 제2 감광성 조성물에 광을 조사하여 노광 단계;
    상기 노광된 제2 감광성 조성물을 현상 및 경화하는 단계;를 포함하며,
    상기 제2 노광 마스크는 투광부, 반투광부 및 차광부를 포함하는 표시장치의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제2 노광 마스크의 투광부는 상기 제1 컬럼 스페이서 및 상기 제2 컬럼 스페이서 형성 영역에 대응되는 표시장치의 제조방법.
  18. 제11항에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계 이전에,
    상기 제1 기판상에 컬러필터층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시장치의 제조방법.
  19. 제11항에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계 후 상기 차광부를 형성하는 단계 이전에,
    상기 보호층상에 제1 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시장치의 제조방법.
  20. 제11항에 있어서, 상기 차광부를 형성하는 단계 후에,
    상기 차광부 상에 상기 제1 기판과 대향하도록 제2 기판을 배치하는 단계를 더 포함하는 표시장치의 제조방법.
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