KR20070105457A - 표시장치와 이의 제조방법 - Google Patents

표시장치와 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표시장치와 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표시장치는, 제1절연기판 상에 격자형상으로 마련되어 있는 블랙매트릭스와; 블랙매트릭스에 형성되어 있는 컬러필터와; 블랙매트릭스와 컬러필터 상에 형성되어 있으며, 제1영역과 제1영역보다 높은 제2영역을 갖는 오버코트막과; 제1영역 상에 형성되어 있는 센서용 컬럼 스페이서와; 제2영역 상에 형성되어 있는 지지용 컬럼 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 단일공정으로 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이를 안정적으로 확보할 수 있는 표시장치가 제공된다.

Description

표시장치와 이의 제조방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
도 1은 본 발명에 따른 박막트랜지스터 기판의 배치도,
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 표시장치의 단면도,
도 3는 도 1의 Ⅲ-Ⅲ를 다른 컬러필터 기판의 단면도,
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 컬러필터 기판의 제조방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다.
* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *
1 : 액정표시패널 100 : 컬러필터 기판
110 : 제1절연기판 120 : 블랙매트릭스
130 : 컬러필터 140 : 오버코트막
150 : 공통전극 160 : 지지용 컬럼 스페이서
165 : 센서용 컬럼 스페이서 200 : 박막트랜지스터 기판
225 : 제1센서라인 265 : 제2센서라인
280 : 화소전극 285 : 제1접속전극
287 : 제2접속전극
본 발명은 표시장치와 이의 제조방법에 관한 것으로, 더 자세하게는 터치패널 일체형 액정표시장치에 관한 것이다.
일반적으로 터치패널이란, 키보드를 사용하지 않고 표시장치에 의해 화면에 나타난 문자나 특정 위치에 사람의 손 또는 물체를 접촉시켜, 그 위치를 파악하여 저장된 소프트웨어에 의해 처리할 수 있는 장치를 말한다. 이러한 터치패널은 동작원리에 따라 저항막식과 정전용량식으로 나뉘는데, 저항막 터치패널은 2개의 대향하는 도전막층에 전압이 인가된 상태에서 사용자가 화면을 눌러 대향하는 두 도전막층이 접촉되게 하고, 그 접촉점에서 발생하는 전압 또는 전류변화를 검출하여 접촉점의 좌표값을 읽는 방식이다.
저항막 방식의 터치패널 일체형 액정표시장치는 박막트랜지스터가 마련되어 있는 박막트랜지스터 기판, 컬러필터가 마련되어 있는 컬러필터 기판 및 양 기판 사이에 위치하는 액정층으로 이루어진 액정패널을 포함한다. 박막트랜지스터 기판 상에는 상호 절연 교차하고 있는 제1 및 제2센서라인이 마련되어 있으며, 컬러필터 기판에는 가압시 상기 제1 및 제2센서라인과 접촉되는 센서용 컬럼 스페이서가 마련되어 있다. 그리고, 컬러필터 기판에는 양 기판 사이의 적당한 셀갭(cell gap)을 유지하기 위한 지지용 컬럼 스페이서가 센서용 컬럼 스페이서보다 높게 마련되어 있다. 여기서, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이를 안정적으로 확보하기 위하여 지지용 컬럼 스페이서 센서용 컬럼 스페이서는 서로 다 른 공정으로 마련된다.
그러나, 이와 같은 방법은 공정이 복잡하며, 공정의 시간과 비용이 더 소요되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 단일공정으로 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이를 안정적으로 확보할 수 있는 표시장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 단일공정으로 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이를 안정적으로 확보할 수 있는 표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 제1절연기판 상에 격자형상으로 마련되어 있는 블랙매트릭스와; 블랙매트릭스에 형성되어 있는 컬러필터와; 블랙매트릭스와 컬러필터 상에 형성되어 있으며, 제1영역과 제1영역보다 높은 제2영역을 갖는 오버코트막과; 제1영역 상에 형성되어 있는 센서용 컬럼 스페이서와; 제2영역 상에 형성되어 있는 지지용 컬럼 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 의하여 달성된다.
여기서, 제2영역에는 블랙매트릭스와 오버코트막 사이에 컬러필터가 개재되어 있을 수 있다.
그리고, 제1영역과 제2영역 간의 높이차이는 컬러필터의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다.
또한, 컬러필터는 스트립 형태(strip type)를 가지며, 컬러필터는 센서용 컬럼 스페이서가 인접하여 위치하는 부분에서 컬러필터의 안쪽방향으로 만곡되어 있을 수 있다.
그리고, 만곡된 부분에서 컬러필터 간의 이격거리는 10㎛ 내지 100㎛일 수 있다.
여기서, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이는 0.2㎛ 내지 1.5㎛일 수 있다.
그리고, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이는 컬러필터의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다.
또한, 지지용 컬럼 스페이서와 센서용 컬럼 스페이서의 길이는 실질적으로 동일할 수 있다.
그리고, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서의 면저항(sheet resistance)은 106Ω 이하일 수 있다.
여기서, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서는 동일한 재료로 이루어질 수 있으며, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서는 도전성 재료를 포함하여 이루어질 수 있다.
그리고, 제1절연기판과 대향 접합되는 제2절연기판과; 제2절연기판 상에 형성되어 있으며, 상호 절연 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트라인 및 데이터라 인과; 게이트라인 및 데이터라인을 따라 각각 형성되어 있는 제1 및 제2센서라인과; 게이트라인과 데이터라인의 교차지점에 형성되어 있는 박막트랜지스터와; 제1 및 제2센서라인과 박막트랜지스터를 덮고 있으며, 센서용 컬럼 스페이서에 대응하는 위치에 제1 및 제2센서라인의 일부를 각각 노출시키는 제1 및 제2개구부를 갖는 보호막; 및 제1 및 제2개구부를 통하여 제1 및 제2센서라인과 연결되어 있는 제1 및 제2접속전극을 포함할 수 있다.
또한, 제1 및 제2 센서라인 및 오버코트막 사이에 외압이 가해지는 경우 센서용 컬럼 스페이서와 제1 및 제2접속전극은 접촉될 수 있다.
본 발명의 다른 목적은, 제1절연기판 상에 격자형상을 갖도록 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 블랙매트릭스에 컬러필터를 형성하는 단계와; 블랙매트릭스와 컬러필터 상에, 제1영역과 제1영역보다 높은 제2영역을 갖도록 오버코트막을 형성하는 단계와; 제1영역 상에 형성되어 있는 센서용 컬럼 스페이서와, 제2영역 상에 형성되어 있으며 센서용 컬럼 스페이서와 동시에 형성되는 지지용 컬럼 스페이서를 마련하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법에 의하여 달성된다.
여기서, 제 2영역에는 블랙매트릭스와 오버코트막 사이에 컬러필터가 개재되어 있을 수 있다.
그리고, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서를 마련하는 단계는, 오버코트막 상에 도전성 재료를 포함하는 스페이서 물질층을 형성하는 단계와; 스페이서 물질층을 패터닝하여, 제1영역 상에 위치하는 센서용 컬럼 스페이서와 제2 영역 상에 위치하는 지지용 컬럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 컬러필터는 센서용 컬럼 스페이서가 인접하여 위치하는 부분에서 컬러필터의 안쪽방향으로 만곡되도록 형성되며, 만곡된 부분에서 컬러필터 간의 이격거리는 10㎛ 내지 100㎛일 수 있다.
여기서, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이는 컬러필터의 두께와 실질적으로 동일하며, 컬러필터의 두께는 0.2㎛ 내지 1.5㎛일 수 있다.
그리고, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서의 면저항(sheet resistance)은 106Ω 이하일 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다. 이하에서 어떤 막(층)이 다른 막(층)의‘상부에’형성되어(위치하고) 있다는 것은, 두 막(층) 접해 있는 경우뿐 아니라 두 막(층) 사이에 다른 막(층)이 존재하는 경우도 포함한다. 그리고, 이하의 설명에서는 TN, VA모드의 경우를 예로 들어 설명하나, 이하에서 설명하는 본 발명의 요지는 IPS, FFA등의 다른 모드에서 적용될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명에 따른 박막트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 표시장치의 단면도이며, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ를 다른 컬러필터 기판의 단면도이다.
액정표시패널(1)은 서로 대향하는 컬러필터 기판(100)과 박막트랜지스터 기 판(200), 그리고 양 기판(100, 200) 사이에 위치하는 액정층(300)을 포함한다.
우선 컬러필터 기판(100)에 대하여 살펴보면, 제1절연기판(110) 위에는 격자형상의 블랙매트릭스(120)가 형성되어 있다. 블랙매트릭스(120)는 일반적으로 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 필터 사이를 구분하며, 후술할 박막트랜지스터 기판(200)에 위치하는 박막트랜지스터(T)로의 직접적인 광조사를 차단하는 역할을 한다. 블랙매트릭스(120)는 통상 검은색 안료가 첨가된 감광성 유기물질로 이루어져 있다. 상기 검은색 안료로는 카본블랙이나 티타늄 옥사이드 등을 사용한다.
컬러필터(130)는 스트립 형태(strip type)를 가지며, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 필터가 블랙매트릭스(120)를 경계로 교대로 형성되어 있다. 컬러필터(130)는 후술할 센서용 컬럼 스페이서(165)가 인접하여 위치하는 부분에서는 컬러필터(130)의 안쪽방향으로 만곡되어 있다. 만곡된 부분에서 컬러필터(130) 간의 이격거리(D1)는 10㎛ 내지 100㎛이며, 센서용 컬럼 스페이서(165)가 없는 부분에서 컬러필터(130) 간의 이격거리(D2)는 10㎛보다 작게 마련되어 있다. 이는, 컬러필터(130) 간의 이격거리(D1, D2)를 제어하여 컬러필터(130) 상에 형성되는 오버코트막(140)의 평탄화 특성, 즉 오버코트막(140)의 두께를 제어하기 위한 것이다. 이격거리(D1)가 10㎛보다 작으면 컬러필터(130) 상의 오버코트막(140)의 두께와 컬러필터(130) 사이공간에서 오버코트막(140)의 두께가 서로 달라지게 된다. 구체적으로, 컬러필터(130) 사이공간에서 오버코트막(140)의 두께가 컬러필터(130) 상의 오버코트막(140)의 두께보다 더 두꺼워지며, 이런 원리를 이용하여 컬러필터(130) 및 블랙매트릭스(120) 상의 오버코트막(140)의 표면이 전체적으로 평탄하도록 제어할 수 있게 된다. 그리고, 이격거리(D1)가 10㎛보다 크면 컬러필터(130) 사이공간에서 오버코트막(140)의 두께는 컬러필터(130) 상의 오버코트막(140)의 두께와 실질적으로 동일해지며, 오버코트막(140)에서 발생된 단차는 컬러필터(130)의 두께(t)와 실질적으로 동일해 진다. 여기서, 상기 두께(t)는 블랙매트릭스(120) 상에 위치하는 컬러필터(130)를 기준으로 측정한 것이다. 한편, 이격거리(D1)가100㎛보다 크면 개구율이 감소되어 바람직하지 않다.
이러한 컬러필터(130)는 백라이트 유닛(도시하지 않음)으로부터 조사되어 액정층(300)을 통과한 빛에 색상을 부여하는 역할을 한다. 컬러필터(130)은 통상 감광성 유기물질로 이루어져 있다. 그리고, 착색 감광성 유기물질로 공지의 안료분산법을 이용하여 만들어진다.
블랙매트릭스(120)와 컬러필터(130) 상에는 오버코트막(140)이 형성되어 있다. 오버코트막(140)은 컬러필터(130)를 보호하고, 컬러필터 기판(100)의 표면을 평탄화 하며, 주로 아크릴계 에폭시 재료를 이용하여 만들어진다. 본 발명에 따르는 오버코트막(140)은 하부의 컬러필터(130)에 의하여 단차가 형성되어 있다. 더욱 구제적으로, 오버코트막(140)은 컬러필터(130)의 사이영역에 위치하는 제1영역(a)과 컬러필터(130) 상에 위치하며 제1영역(a)보다 높은 제2영역(b)을 포함한다. 상술한 바와 같이 제1영역(a)과 제2영역(b)은 하부의 컬러필터(130)의 존재유무에 의하여 결정되며, 제1영역(a)과 제2영역(b)에 의하여 형성된 높이차이(H1)는 컬러필터(130)의 두께(t)와 실질적으로 동일하다. 여기서, 상기 두께(t)는 블랙매트릭스(120) 상에 위치하는 컬러필터(130)를 기준으로 측정한 것이다.
컬러필터(130)의 상부에는 공통전극(150)이 형성되어 있다. 공통전극(150)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등의 투명도전막으로 이루어진다. 공통전극(150)은 박막트랜지스터 기판(200)의 화소전극(180)과 함께 액정층(300)에 직접 전압을 인가한다. 공통전극(150)에는 절개패턴이 없으며 오버코트막(140) 전체를 덮고 있다.
공통전극(150) 상에는 동시에 형성된 지지용 컬럼 스페이서(160)와 센서용 컬럼 스페이서(165)가 마련되어 있다. 지지용 컬럼 스페이서(160)와 센서용 컬럼 스페이서(165)의 길이(L1, L2)는 실질적으로 동일하며, 동일한 재질로 마련된다. 더욱 구체적으로, 센서용 컬럼 스페이서(165)가 위치 검출을 위하여 도전성 재료를 포함하여 이루어져야 함으로, 지지용 컬럼 스페이서(160)도 도전성 재료를 포함하고 있다. 도전성 재료의 예로는, PEDOT, 카본나노튜브(carbon-nano tube)와 같은 전도성 고분자 물질일 수 있으며, ITO 또는 IZO와 같은 물질을 포함할 수도 있다. 그리고, 이러한 도전성 재료에 의하여 제조된 지지용 및 센서용 컬럼 스페이서(160, 165)의 면저항은 106Ω이하이면 충분하다. 0Ω의 저항을 갖는 도전성 재료는 없으며, 본 발명에 따른 센서용 컬럼 스페이서(165)는 접촉점에서 발생하는 전압 또는 전류변화를 검출하여 접촉점의 좌표값만 읽으면 충분하므로 저항이 커도 된다. 그러나, 저항이 106Ω보다 크면 전압 또는 전류변화를 검출하지 용이하지 못할 수 있다.
지지용 컬럼 스페이서(160)는 오버코트막(140)의 제2영역(b) 상에 형성되어 있으며, 박막트랜지스터 기판(200)에 형성된 박막트랜지스터(T), 게이트 라인(221), 데이터 라인(261) 및 게이트 라인(221)과 데이터 라인(261)의 교차점 중 적어도 하나에 대응되도록 형성되어 있다. 지지용 컬럼 스페이서(160)는 대략 원통, 원뿔대 또는 반구와 유사한 형상으로 형성되며, 양 기판(100, 200) 사이의 셀갭(Cell Gap)을 적당하게 유지하는 역할을 한다. 지지용 컬럼 스페이서(160)의 단부는 박막트랜지스터 기판(200)에 맞닿아 있다.
센서용 컬럼 스페이서(165)는 오버코트막(140)의 제1영역(a) 상에 형성되어 있으며, 게이트 라인(221), 데이터 라인(261) 및 게이트 라인(221)과 데이터 라인(261)의 교차점 중 적어도 하나에 대응되도록 형성되어 있다. 센서용 컬럼 스페이서(165)는 지지용 컬럼 스페이서(160)과 대략 유사한 형상으로 마련되며, 보통 센서용 컬럼 스페이서(165)의 단부는 박막트랜지스터 기판(200)과 소정간격 이격된 상태로 유지되며, 컬러필터 기판(200)에 외압이 가해진 경우 센서용 컬럼 스페이서(165)의 단부는 박막트랜지스터 기판(200)의 제1및 제2접속전극(285, 287)과 접촉된다.
센서용 컬럼 스페이서(165)와 지지용 컬럼 스페이서(160) 간의 높이차이(H2)는 컬러필터(130)의 두께(t)와 실질적으로 동일하며, 0.2㎛ 내지 1.5㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 상기 두께(t)는 블랙매트릭스(120) 상에 위치하는 컬러필터(130)를 기준으로 측정한 것이다. 높이차이(H2)가 0.2㎛보다 작으면 접속전극(285, 287)과 센서용 컬럼 스페이서(165) 사이에 불필요한 접촉이 발생되어 불량이 발생할 수 있으며, 높이차이(H2)가 1.5㎛보다 크면 가압시 센서용 컬럼 스페이 서가 접속전극(285, 287)에 접촉되지 않을 수도 있다. 즉, 센싱을 위한 센서용 컬럼 스페이서(165)와 지지용 컬럼 스페이서(160) 간의 적당한 높이차이(H2)는 0.2㎛ 내지 1.5㎛인 것이 바람직하다. 이와 같은 높이차이(H2)는 하부의 컬러필터(130)의 두께(t)를 조절하여 제어할 수 있다. 여기서, 상기 두께(t)는 블랙매트릭스(120) 상에 위치하는 컬러필터(130)를 기준으로 측정한 것이다.
이하, 박막트랜지스터 기판(200)에 대하여 설명한다.
제2절연기판(210)위에는 게이트 배선(221, 223)과 제1센서라인(225)이 형성되어 있다. 게이트 배선(221, 223)과 제1센서라인(225)은 금속 단일층 또는 다중층일 수 있다. 게이트 배선(221, 223)은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트라인(221) 및 게이트라인(221)에 연결되어 있는 박막트랜지스터(T)의 게이트 전극(223)을 포함한다. 도시하지 않았지만 게이트 배선(221, 223)은 화소전극(280)과 중첩되어 저장 용량을 형성하는 공통전극선을 더 포함할 수 있다. 제1센서라인(225)은 게이트라인(221)을 따라 형성되어 있으며, x축의 좌표를 읽는다.
제2절연기판(210)위에는 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 게이트 절연막(230)이 게이트 배선(221, 223)을 덮고 있으며, 제1센서라인(225)의 일부를 노출시키고 있다.
게이트 전극(223)의 게이트 절연막(230) 상부에는 비정질 규소 등의 반도체로 이루어진 반도체층(240)이 형성되어 있으며, 반도체층(240)의 상부에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 등의 물질로 만들어진 저항 접촉층(251, 252)이 형성되어 있다. 저항 접촉층(251, 252)은 게 이트 전극(223)을 중심으로 2부분으로 나누어져 있다.
저항 접촉층(251, 252) 및 게이트 절연막(230) 위에는 데이터 배선(261, 262, 263)과 제2센서라인(265)이 형성되어 있다. 데이터 배선(261, 262, 263) 역시 금속층으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. 데이터 배선(261, 262, 263)은 세로방향으로 형성되어 게이트선(261)과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터선(261), 데이터선(261)의 분지이며 저항 접촉층(252)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(263), 소스전극(263)과 분리되어 있으며 게이트 전극(223)을 중심으로 소스전극(263)의 반대쪽 저항 접촉층(251) 상부에 형성되어 있는 드레인 전극(262)을 포함한다.
데이터 배선(261, 262, 263), 제2센서라인(265) 및 이들이 가리지 않는 반도체층(240)의 상부에는 질화규소, PECVD 방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O 막 또는 a-Si:O:F막 및 아크릴계 유기절연막 등으로 이루어진 보호막(270)이 형성되어 있다. 보호막(270)에는 드레인 전극(262)을 드러내는 접촉구(271)가 형성되어 있다. 그리고, 제1센서라인(225)과 제2센서라인(265)를 각각 노출시키는 제1개구부(272)와 제2개구부(273)이 형성되어 있다.
보호막(270)의 상부에는 화소전극(280)과 제1 및 제2접속전극(285, 287) 형성되어 있다. 화소전극(280)은 통상 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등의 투명도전막으로 이루어지며, 화소영역을 채우고 있다. 화소전극(280)은 접촉구(271)을 통해 드레인 전극(262)에 접속되며, 이에 의해 박막트랜지스터(T)와 화소전극(280)은 전기적으로 연결된다. 제1 및 제2접속전극(285, 287)은 제1 및 제 2개구부(272, 273)을 통하여 제1 및 제2센서라인(225, 265)과 각각 연결되어 있다. 제1 및 제2접속전극(285, 287)도 화소전극(280)과 같이 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등으로 화소전극(280)과 동시에 형성된다. 평상시에 제1 및 제2접속전극(285, 287)은 컬러필터 기판(100)과 분리되지만, 외부압력이 가해지면 컬러필터 기판(100)의 센서용 컬럼 스페이서(265)와 접촉하여 컬러필터 기판(100)과 제1 및 제2센서라인(225, 265)을 연결하며 저항점을 형성한다. 즉, 손가락 등으로 컬러필터 기판(100)을 가압하면, 가압지점에서 컬러필터 기판(100)의 센서용 컬럼 스페이서(265)와 박막트랜지스터 기판(200)의 제1 및 제2접속전극(285, 287)이 연결되어 저항점을 형성하고, 상기 저항점의 전압 또는 전류값의 변화를 감지하여 가압된 지점의 X 및 Y좌표를 검출하게 된다.
이하, 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 본 발명에 따른 컬러필터 기판(100)의 제조방법에 대하여 설명한다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 제1절연기판(110) 상에 격자형상의 블랙매트릭스(120), 블랙매트릭스(120)를 경계로 교대로 형성되어 있는 스트립 형태(strip type)의 컬러필터(130), 블랙매트릭스(120)와 컬러필터(130)를 덮고 있는 오버코트막(140) 및 오버코트막(140) 상에 형성된 공통전극(150)을 형성한다. 블랙매트릭스(120)는 통상 검은색 안료가 첨가된 감광성 유기물질로 이루어져 있다. 상기 검은색 안료로는 카본블랙이나 티타늄 옥사이드 등을 사용한다. 컬러필터(130)는 적색, 녹색, 청색의 착색 감광성 유기물질로 공지의 안료분산법을 이용하여 만들어진다. 그리고, 컬러필터(130)는 후술할 센서용 컬럼 스페이서(165)가 인접하여 위치하는 부분에서 컬러필터(130)의 안쪽방향으로 만곡되도록 형성되며, 만곡된 부분에서 컬러필터(130) 간의 이격거리(D1, 도1참조)는 10㎛ 내지 100㎛일 수 있다. 또한, 블랙매트릭스(120) 상에 위치하는 컬러필터(130)의 두께(t)는 0.2㎛ 내지 1.5㎛일 수 있다. 오버코트막(140)은 주로 아크릴계 에폭시 재료를 이용하여 만들어지며, 코팅 및 프린팅 법에 의하여 형성될 수 있다. 그리고, 오버코트막(140)은 하부의 컬러필터(130)의 존재 유무에 따라서 제1영역(a)과 상기 제1영역(a)보다 높은 제2영역(b)을 갖는다. 제2영역(b)에는 블랙매트릭스(120)와 오버코트막(140) 사이에 컬러필터(130)가 개재되어 있다.
다음, 도 4b에 도시된 바와 같이, 공통전극(150) 상에 전도성 고분자 등의 도전성 재료를 가하여 스페이서 물질층(168)을 형성한다. 스페이서 물질층(168)은 표시장치의 제조에 사용되는 여러 가지 코팅법, 스크린 프린팅법 등으로 형성될 수 있다. 스페이서 물질층(168)은 하부의 오버코트막(140)의 표면특성에 따라 서로 다른 높이를 형성하게 된다. 즉, 제1영역(a)에 대응하는 스페이서 물질층(168)의 부분은 제2영역(b)에 대응하는 스페이서 물질층(168)의 부분보다 단차가 낮게 형성된다. 스페이서 물질층(168)에 사용되는 전도성 고분자는 유기고분자에 도전물질이 분산되어 있는 것으로 PEDOT 또는 카본나노튜브(carbon-nano tube)을 포함할 수 있으며, 노광 및 현상에 의한 패터닝이 가능하다. 그리고, 이러한 재료의 면저항은 106Ω이하이면 충분하다.
이어, 도 4c에 도시된 바와 같이, 소정패턴 개구(410)가 형성된 마스크(400) 를 제1절연기판(110) 상에 정렬 배치한다. 여기서, 스페이서 물질층(168)은 노광된 부분이 현상공정에서 제거되는 감광물질(photo resist)을 포함하고 있는 경우이며, 이 경우에 마스크(400)의 개구(410)는 지지용 및 센서용 스페이서(160, 165, 도4d참조)로 제작될 이외의 영역에 대응하도록 제작되어 있다. 마스크(400)가 정렬되면, 마스크(400)로 자외선을 조사하는 노광공정을 진행한다. 여기서, 서로 다른 높이를 갖는 지지용 컬럼 스페이서(160, 도4d참조)와 센서용 컬럼 스페이서(165, 도4d참조)를 제작하기 위하여 노광량은 전체적으로 균일하게 하는 것이 바람직하다.
다음, 현상공정을 진행하면, 도4d에 도시된 바와 같이, 서로 다른 높이를 갖는 지지용 컬럼 스페이서(160)와 센서용 컬럼 스페이서(165)가 동시에 제작된다. 지지용 컬럼 스페이서(160)는 제1영역(a) 상에 위치하게 되고, 센서용 컬럼 스페이서(165)는 제2영역(b) 상에 위치하게 된다. 센서용 컬럼 스페이서(165)와 지지용 컬럼 스페이서(160) 간의 높이차이(H2)는 제1영역(a)과 제2영역(b) 간의 높이차이(H1) 및 블랙매트릭스(120) 상의 컬러필터 두께(t)와 실질적으로 동일하며, 센서용 컬럼 스페이서(165)와 지지용 컬럼 스페이서(160) 간의 높이차이(H2)는 0.2㎛ 내지 1.5㎛일 수 있다.
이에 의하여, 하나의 공정으로, 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이를 안정적으로 확보할 수 있는 표시장치의 제조방법이 제공된다. 또한, 이와 같은 방법은 공정이 상대적으로 간단하며, 공정에 소요되는 시간과 비용이 저렴하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 단일공정으로 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이를 안정적으로 확보할 수 있는 표시장치가 제공된다.
또한, 단일공정으로 센서용 컬럼 스페이서와 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이를 안정적으로 확보할 수 있는 표시장치의 제조방법이 제공된다.

Claims (19)

  1. 제1절연기판 상에 격자형상으로 마련되어 있는 블랙매트릭스와;
    상기 블랙매트릭스에 형성되어 있는 컬러필터와;
    상기 블랙매트릭스와 상기 컬러필터 상에 형성되어 있으며, 제1영역과 상기 제1영역보다 높은 제2영역을 갖는 오버코트막과;
    상기 제1영역 상에 형성되어 있는 센서용 컬럼 스페이서와;
    상기 제2영역 상에 형성되어 있는 지지용 컬럼 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2영역에는 상기 블랙매트릭스와 상기 오버코트막 사이에 상기 컬러필터가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1영역과 상기 제2영역 간의 높이차이는 상기 컬러필터의 두께와 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 표시장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 컬러필터는 스트립 형태(strip type)를 가지며,
    상기 컬러필터는 상기 센서용 컬럼 스페이서가 인접하여 위치하는 부분에서 상기 컬러필터의 안쪽방향으로 만곡되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치.
  5. 제4항에 있어서,
    만곡된 부분에서 상기 컬러필터 간의 이격거리는 10㎛ 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 표시장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이는 0.2㎛ 내지 1.5㎛인 것을 특징으로 하는 표시장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이는 상기 컬러필터의 두께와 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 표시장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 지지용 컬럼 스페이서와 상기 센서용 컬럼 스페이서의 길이는 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 표시장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서의 면저항(sheet resistance)은 106Ω 이하인 것을 특징으로 하는 표시장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서는 동일한 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서는 도전성 재료를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1절연기판과 대향 접합되는 제2절연기판과;
    상기 제2절연기판 상에 형성되어 있으며, 상호 절연 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인과;
    상기 게이트라인 및 상기 데이터라인을 따라 각각 형성되어 있는 제1 및 제2센서라인과;
    상기 게이트라인과 상기 데이터라인의 교차지점에 형성되어 있는 박막트랜지스터와;
    상기 제1 및 제2센서라인과 상기 박막트랜지스터를 덮고 있으며, 상기 센서용 컬럼 스페이서에 대응하는 위치에 상기 제1 및 제2센서라인의 일부를 각각 노출시키는 제1 및 제2개구부를 갖는 보호막; 및
    상기 제1 및 제2개구부를 통하여 상기 제1 및 제2센서라인과 연결되어 있는 제1 및 제2접속전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 센서라인 및 상기 오버코트막 사이에 외압이 가해지는 경우 상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 제1 및 제2접속전극은 접촉되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
  14. 제1절연기판 상에 격자형상을 갖도록 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;
    상기 블랙매트릭스에 컬러필터를 형성하는 단계와;
    상기 블랙매트릭스와 상기 컬러필터 상에, 제1영역과 상기 제1영역보다 높은 제2영역을 갖도록 오버코트막을 형성하는 단계와;
    상기 제1영역 상에 형성되어 있는 센서용 컬럼 스페이서와, 상기 제2영역 상에 형성되어 있으며 상기 센서용 컬럼 스페이서와 동시에 형성되는 지지용 컬럼 스페이서를 마련하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 2영역에는 상기 블랙매트릭스와 상기 오버코트막 사이에 상기 컬러필터가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서를 마련하는 단계는,
    상기 오버코트막 상에 도전성 재료를 포함하는 스페이서 물질층을 형성하는 단계와;
    상기 스페이서 물질층을 패터닝하여, 상기 제1영역 상에 위치하는 상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 제2영역 상에 위치하는 상기 지지용 컬럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 컬러필터는 상기 센서용 컬럼 스페이서가 인접하여 위치하는 부분에서 상기 컬러필터의 안쪽방향으로 만곡되도록 형성되며,
    만곡된 부분에서 상기 컬러필터 간의 이격거리는 10㎛ 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서 간의 높이차이는 상기 컬러필터의 두께와 실질적으로 동일하며,
    상기 컬러필터의 두께는 0.2㎛ 내지 1.5㎛인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 센서용 컬럼 스페이서와 상기 지지용 컬럼 스페이서의 면저항(sheet resistance)은 106Ω 이하인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9207506B2 (en) 2012-10-05 2015-12-08 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display
US9335589B2 (en) 2014-01-10 2016-05-10 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus and method of manufacturing the same
US9910320B2 (en) 2016-01-06 2018-03-06 Samsung Display Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
US9989813B2 (en) 2015-04-16 2018-06-05 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of manufacturing the same
US10180609B2 (en) 2016-01-06 2019-01-15 Samsung Display Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
US10459276B2 (en) 2015-02-09 2019-10-29 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display including black column spacer and manufacturing method of the same
US11487145B2 (en) 2018-11-12 2022-11-01 HKC Corporation Limited Display panel, mask for manufacturing same, and display device

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9207506B2 (en) 2012-10-05 2015-12-08 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display
US9946129B2 (en) 2012-10-05 2018-04-17 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display
US10503036B2 (en) 2012-10-05 2019-12-10 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display
US9335589B2 (en) 2014-01-10 2016-05-10 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus and method of manufacturing the same
US10459276B2 (en) 2015-02-09 2019-10-29 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display including black column spacer and manufacturing method of the same
US9989813B2 (en) 2015-04-16 2018-06-05 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of manufacturing the same
US9910320B2 (en) 2016-01-06 2018-03-06 Samsung Display Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
US10180609B2 (en) 2016-01-06 2019-01-15 Samsung Display Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
US10684520B2 (en) 2016-01-06 2020-06-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
CN114721180A (zh) * 2016-01-06 2022-07-08 三星显示有限公司 显示装置
US11487145B2 (en) 2018-11-12 2022-11-01 HKC Corporation Limited Display panel, mask for manufacturing same, and display device

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