KR20160095706A - 터치 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 터치 패널은 기판, 기판 위에 형성되어 있는 감광성 하부층, 기판의 터치 영역에 위치하는 상기 감광성 하부층 위에 형성되어 있는 복수의 터치 전극 및 연결 배선, 기판이 터치 영역 밖에 위치하며 상기 연결 배선의 일단과 연결되어 있는 패드, 터치 전극 및 상기 연결 배선 위에 위치하는 감광성 상부층을 포함한다.

Description

터치 패널 및 그 제조 방법{TOUCH PANEL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 터치 패널에 관한 것으로, 특히 정전 용량 방식의 터치 센서를 포함하는 터치 패널에 관한 것이다.

액정 표시 장치(liquid crystal display), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display) 등의 표시 장치, 휴대용 전송 장치, 그 밖의 정보 처리 장치 등은 다양한 입력 장치를 이용하여 기능을 수행한다. 최근, 이러한 입력 장치로서 터치 감지 장치를 구비하는 입력 장치가 많이 사용되고 있다.

터치 감지 기능은 사용자가 화면 위에 손가락이나 터치 펜(touch pen) 등을 접근하거나 접촉하여 문자를 쓰거나 그림을 그리는 경우 표시 장치가 화면에 가한 압력, 전하, 빛 등의 변화를 감지함으로써 물체가 화면에 접근하거나 접촉하였는지 여부 및 그 접촉 위치 등의 접촉 정보를 알아내는 것이다. 표시 장치는 이러한 접촉 정보에 기초하여 영상 신호를 입력 받고 영상을 표시할 수 있다.

이러한 터치 감지 기능은 터치 센서를 통해 구현될 수 있다. 터치 센서는 저항막 방식(resistive type), 정전 용량 방식(capacitive type), 전자기 공진형(electromagnetic resonance type, EMR), 광 감지 방식(optical type) 등 다양한 터치 감지 방식에 따라 분류될 수 있다.

저항막 방식의 터치 센서의 경우 서로 마주하여 이격되어 있는 두 전극이 외부 물체에 의한 압력에 의해 서로 접촉될 수 있다. 두 전극이 서로 접촉되면 그 위치에서의 저항 변화에 따른 전압 변화를 인지하여 접촉 위치 등을 알아낼 수 있다.

정전 용량 방식의 터치 센서는 감지 신호를 전달할 수 있는 감지 전극으로 이루어진 감지 축전기를 포함하고, 손가락과 같은 도전체가 센서에 접근할 때 발생하는 감지 축전기의 정전 용량(capacitance)의 변화를 감지하여 접촉 여부와 접촉 위치 등을 알아낼 수 있다. 정전 용량 방식은 사용자가 언제나 터치 패널을 접촉하여야 터치가 감지될 수 있으며 도전성 물체에 의한 접촉이 필요하다.

이러한 터치 패널은 최근 개발되고 있는 플렉서블 전자 장치에 포함될 수 있다. 그러나 플렉서블 전자 장치의 플렉서블한 특성으로 인해서 터치 패널의 전극 또한 불량이 발생되지 않도록 유연성(flexibility)을 가지는 것이 요구되고 있다.

유연성을 가지는 전극의 재료로는 예를 들어, 은 나노 와이어(AgNW)를 이용한 터치 패널이 개발되고 있다.

그러나 은 나노 와이어를 이용하여 형성한 도전 패턴 들은 이들의 두께로 인한 단차가 발생하고, 이로 인해서 외부에서 도전 패턴들이 시인되는 문제점이 있다.

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 은 나노 와이어를 포함하는 도전 패턴을 가지는 터치 패널을 형성하더라도, 시인성이 향상된 터치 패널을 제공하는 것이다.

따라서 상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 터치 패널은 기판, 기판 위에 형성되어 있는 감광성 하부층, 기판의 터치 영역에 위치하는 감광성 하부층 위에 형성되어 있는 복수의 터치 전극 및 연결 배선, 기판이 터치 영역 밖에 위치하며 연결 배선의 일단과 연결되어 있는 패드, 터치 전극 및 연결 배선 위에 위치하는 감광성 상부층을 포함한다.

이웃하는 터치 전극 사이, 이웃하는 연결 배선 사이는 감광성 하부층이 노출되고, 이웃하는 상기 패드 사이에는 기판이 노출되며, 감광성 상부층은 노출된 감광성 하부층과 접촉할 수 있다.

상기 터치 전극, 연결 배선 및 패드는 복수의 금속 나노 와이어로 이루어진 도전층을 포함할수 있다.

상기 패드는 도전층 위에 형성되어 있는 보조 패드를 더 포함할 수 있다.

상기 보조 패드는 은 또는 구리로 이루어질 수 있다.

상기 도전층의 금속 나노 와이어는 감광성 하부층과 일체인 감광성 물질에 매립되어 있을 수 있다.

상기 터치 전극은 행렬을 이루어 배열되어 있으며, 연결 배선은 터치 전극 사이에 위치할 수 있다.

상기 패드와 인접할수록 터치 전극의 크기가 작아질 수 있다.

상기 감광성 하부층과 감광성 상부층은 동일한 굴절율을 가질 수 있다.

상기 굴절율은 1.46일 수 있다.

상기 터치 전극, 연결 배선 및 패드는 8,000Å두께일 수 있다.

상기 감광성 하부층과 감광성 상부층의 두께는 동일할 수 있다.

상기 금속 나노 와이어는 은일 수 있다.

상기 주변 영역에 위치하는 감광성 하부층과 패드는 동일한 평면 모양을 가질 수 있다.

상기한 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 기판 위에 복수의 금속 나노 와이어 매립된 매립층을 가지는 제1 감광 필름을 전사하는 단계, 제1 마스크로 제1 감광 필름을 패턴화 하는 단계, 제1 감광 필름의 이형지를 제거하는 단계, 제2 마스크를 이용하여 제1 감광 필름을 경화하는 단계, 제1 감광 필름을 현상하여 터치 전극, 연결 배선 및 패드를 형성하는 단계, 터치 전극 및 연결 배선 위에 제2 감광 필름을 전사하는 단계를 포함한다.

상기 패턴화 하는 단계와 경화하는 단계는 서로 다른 에너지로 노광하는 공정을 포함할 수 있다.

상기 경화하는 단계에서의 노광 에너지는 패턴화 하는 단계에서의 노광 에너지보다 큰 에너지를 가질 수 있다.

상기 패턴화 하는 단계에서, 노광은 매립층만 노광할 수 있다.

상기 제1 마스크는 상기 터치 전극, 연결 배선 및 패드와 대응하는 투과부, 상기 투과부 사이에 위치하는 차광부를 포함하고, 제2 마스크는 터치 전극 및 연결 배선이 위치하는 터치 영역과 대응하는 투과부, 상기 패드와 패드 사이의 제1 감광 필름과 대응하는 차광부를 가질 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널의 개략적인 평면도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 전극의 배치도이다.
도 3은 도 2의 III-III'선 및 III'-III"선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널을 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 도 6의 다음 단계에서의 터치 패널을 제조하는 방법을 설명하기 위한 배치도이다.
도 8은 도 7의 VIII-VIII'선 및 VIII'-VIII"선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때 이는 다른 부분의 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 그리고 "~위에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 도면에 나타난 각 구성의 크기 및 두께 등은 설명의 편의를 위해 임의로 나타낸 것이므로, 본 발명은 도시한 바로 한정되지 않는다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 터치 패널에 대해서 구체적으로 설명한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널의 개략적인 평면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널은 터치 센서 및 터치 센서와 연결된 감지 신호 제어부(800)를 포함한다.

본 발명의 한 실시예에 따른 터치 센서는 외부 물체의 터치를 감지할 수 있는 터치 센서로서, 여러 방식의 터치 센서일 수 있으나 본 실시예에서는 정전 용량 방식의 터치 센서를 예로 들어 설명한다.

터치 센서는 표시 패널 또는 별도의 터치 패널 안에 포함되어 터치를 감지할 수 있다. 본 실시예에서는 터치 센서가 터치 패널에 포함된 예를 주로 설명한다. 여기서 터치란 표시 패널 또는 터치 패널에 외부 물체가 직접 접촉하는 경우뿐만 아니라 접근하는 경우도 포함한다.

본 발명의 한 실시예에 따른 터치 센서는 기판(100)의 액티브 영역(active area)에 위치하는 복수의 터치 전극(Sx) 및 터치 전극(Sx)과 연결된 복수의 연결 배선(RL)을 포함한다. 액티브 영역(active area)은 터치가 가해지고 터치가 감지될 수 있는 영역으로서 예를 들어 표시 패널의 경우 영상이 표시되는 표시 영역과 중첩할 수 있다. 터치 패널의 경우 터치 영역일 수 있으며 표시 패널 안에 터치 패널이 내장될 경우 터치 영역은 표시 영역과 중첩할 수 있다. 이후 액티브 영역을 터치 영역(touch area)이라고도 한다.

복수의 터치 전극(Sx)은 행렬 형태로 배열될 수 있으며, 단면 구조로 볼 때 서로 동일한 층에 형성되어 있을 수 있다. 터치 전극(Sx)은 금속 나노와이어(metal nanowire)를 포함할 수 있으며, 예를 들어 은(Ag) 나노 와이어 일 수 있다.

터치 전극(Sx)의 모양은 도 1에 도시한 바와 같이 사각형일 수 있으나, 이에 한정되지 않고 다양한 모양을 가질 수 있다. 터치 전극(Sx)은 터치 감도를 높이기 위해 가장자리 변에 형성된 복수의 요철을 포함(도시하지 않음)할 수 있다. 터치 전극(Sx)의 가장자리 변이 복수의 요철을 포함하는 경우 이웃한 터치 전극(Sx)의 요철형 가장자리 변은 서로 맞물려 있을 수 있다.

터치 전극(Sx)의 한 변의 길이는 대략 수mm, 예를 들어 대략 10mm 이하, 더 구체적으로 대략 4mm 내지 대략 5mm일 수 있으나 터치 감지 해상도에 따라 터치 전극(Sx)의 크기는 적절히 조절될 수 있다.

복수의 터치 전극(Sx)은 터치 영역 안에서 서로 분리되어 있고, 서로 다른 터치 전극(Sx)은 서로 다른 연결 배선(RL)을 통해 감지 신호 제어부(800)와 연결될 수 있다.

본 실시예에 따른 터치 전극(Sx)은 각각 연결 배선(RL)을 통해 감지 신호 제어부(800)로부터 감지 입력 신호를 입력받고 접촉에 따른 감지 출력 신호를 생성하여 감지 신호 제어부(800)로 보낼 수 있다. 각 터치 전극(Sx)은 자가 감지 축전기(self sensing capacitor)를 형성하여 감지 입력 신호를 입력 받은 후 소정 전하량으로 충전될 수 있다. 이후 손가락 등의 외무 물체의 접촉이 있으면 자가 감지 축전기의 충전 전하량에 변화가 생겨 입력된 감지 입력 신호와 다른 감지 출력 신호가 출력될 수 있다. 이와 같이 생성된 감지 출력 신호를 통해 접촉 여부, 접촉 위치 등의 접촉 정보를 알아낼 수 있다.

연결 배선(RL)은 터치 전극(Sx)과 감지 신호 제어부(800)를 연결하여 감지 입력 신호 또는 감지 출력 신호를 전달한다. 연결 배선(RL)은 터치 전극(Sx)과 동일한 층에 위치할 수 있으며, 터치 전극(Sx)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니고 연결 배선(RL)은 터치 전극(Sx)과 다른 층에 위치하며 별도의 연결부를 통해 터치 전극(Sx)과 연결될 수도 있다.

도 1에 도시한 실시예에서 감지 신호 제어부(800)에 가까워질수록 터치 전극(Sx) 열 사이에 배치된 연결 배선(RL)의 수가 많아진다. 따라서 터치 전극(Sx)의 크기는 감지 신호 제어부(800)에 가까울수록 작아질 수 있다.

연결 배선(RL)의 폭은 대략 10um 이상 100um 이하일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 터치 전극(Sx)과 연결 배선(RL)의 연결 부분은 폭이 급격히 커지거나 작아지는 병목부(bottle neck portion)가 형성될 수 있다.

감지 신호 제어부(800)는 터치 패널의 터치 전극(Sx)과 연결되어 터치 전극(Sx)에 감지 입력 신호를 전달하고 감지 출력 신호를 입력받는다. 감지 신호 제어부(800)는 감지 출력 신호를 처리하여 접촉 여부 및 접촉 위치 등의 접촉 정보를 생성할 수 있다.

감지 신호 제어부(800)는 터치 패널의 기판(100)과 별도의 인쇄 회로 기판 위에 위치하여 터치 패널과 연결될 수도 있고, 터치 패널의 기판(100) 상에 집적 회로 칩의 형태 또는 TCP 형태로 부착되어 있을 수도 있으며, 기판(100) 위에 집적되어 있을 수도 있다.

이하에서는 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널의 층간 구성에 대해서 좀 더 구체적으로 설명한다.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 전극의 배치도이고, 도 3은 도 2의 III-III'선 및 III'-III"선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널은 기판(100), 기판(100) 위에 형성되어 있으며 행렬을 이루는 복수의 터치 전극(Sx)을 포함한다.

도 2를 참조하면, 복수의 터치 전극(Sx)은 일 방향으로 일정한 간격을 두고 배치되어 있다. 각각의 터치 전극(Sx)은 연결 배선(RL)을 통해서 패드(PL)와 연결될 수 있다. 연결 배선(RL)은 입력 신호를 터치 전극(Sx)에 입력하거나 출력 신호를 패드(PL)를 통해서 감지 신호 제어부로 출력할 수 있다.

연결 배선(RL)의 대부분은 터치 전극(Sx)이 형성된 터치 영역(TA) 내에 위치하며, 터치 영역(TA) 밖의 주변 영역(PA)에 위치하는 패드(PL)와 각각 연결되어 있다. 즉, 연결 배선(RL)은 패드(PL)와 마주하는 터치 전극(Sx)의 일측과 연결되어 있으며, 이웃하는 두 터치 전극(Sx) 사이에 위치한다.

이처럼, 연결 배선(RL)을 터치 전극(Sx) 사이에 위치시키면 패드(PL)가 형성되지 않는 주변 영역(PA)의 폭을 더욱 줄일 수 있다.

터치 전극(Sx)은 패드(PL)와 인접할수록 터치 전극(Sx)의 면적이 작아질 수 있다. 이는 연결 배선(RL)이 터치 전극(Sx)의 일측으로부터 굽힘 없이 직선으로 패드(PL)와 연결되기 때문으로, 연결 배선(RL)의 폭 및 연결 배선 사이의 간격만큼 터치 전극(Sx)의 폭이 줄어든다.

도 2에서는 3열 4행인 것을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 필요에 따라서 그 보다 많은 수의 행열로 배치될 수 있다.

본 발명의 한 실시예에 따른 터치 전극(Sx)은 연결 배선(RL)을 통해 감지 입력 신호를 입력 받은 후 소정 전하량으로 충전된다. 이후, 손가락 등의 외부 물체에 의한 접촉이 있으면 자가 감지 축전기의 충전 전하량에 변화가 생겨 입력된 감지 입력 신호와 다른 감지 출력 신호가 출력될 수 있다. 이와 같은 감지 출력 신호의 변화를 통해 접촉 여부, 접촉 위치 등의 접촉 정보를 알아 낼 수 있다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 기판(100) 위에는 감광성 하부층(200)이 형성되어 있고, 감광성 하부층(200) 위에는 복수의 터치 전극(Sx), 터치 전극(Sx)과 각각 연결된 연결 배선(RL), 연결 배선(RL)의 일단에 연결되어 있는 패드(PL)가 형성되어 있으며, 터치 전극(Sx), 연결 배선(RL) 위에는 감광성 상부층(300)이 형성되어 있다.

기판(100)은 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에테르 술폰 등의 플라스틱 또는 유리 등을 포함할 수 있다. 기판(100)은 접히거나(foldable, bendable), 말리거나(rollable), 적어도 한 방향으로 늘어나는(stretchable) 것과 같은 신축성(elasticity) 등의 유연성을 가지는 투명한 가요성(flexible) 기판일 수 있다.

터치 전극(Sx), 연결 배선(RL) 및 패드(PL)은 복수의 금속 나노 와이어를 포함하는 도전층을 포함한다. 금속 나노 와이어들은 서로 네트워크를 이루어 도전성을 가질 수 있으며, 금속 나노 와이어는 은 나노 와이어일 수 있다.

터치 전극(Sx), 연결 배선(RL) 및 패드(PL)는 8,000Å두께로 형성되어 있다.

터치 전극(Sx), 연결 배선(RL) 및 패드(PL)는 감광성 하부층(200)과 일체형으로 감광성 하부층(200)에 매립된 매립층일 수 있다.

감광성 상부층(300)은 터치 영역(TA)에만 형성되고 터치 전극(Sx), 연결 배선(RL) 사이로 노출되는 감광성 하부층(200)과 접촉할 수 있다. 감광성 하부층과 감광성 상부층은 동일한 굴절율을 가지는 물질로, 동일한 두께로 형성되어 있다. 이때, 감광성 하부층(200)과 감광성 상부층(300)은 5㎛이하의 두께이고, 1.46nm의 굴절율일 수 있다.

패드(PL) 위에는 보조 패드(50)가 형성되어 있으며, 보조 패드(50)는 구리 또는 은일 수 있다.

이하에서는 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널을 제조하는 방법에 대해서 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.

도 4 내지 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 터치 패널을 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도이고, 도 7는 도 6의 다음 단계에서의 터치 패널을 제조하는 방법을 설명하기 위한 배치도이고, 도 8은 도 7의 VIII-VIII'선 및 VIII'-VIII"선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 기판(100) 위에 제1 감광 필름(10)을 전사한다. 제1 감광 필름은 기판과 부착되지 않은 면은 이형지(30)가 부착되어 있다.

제1 감광 필름(10)은 감광성 물질층(1)과 감광성 물질층(1)의 상부에 위치하는 은 나노 와이어를 포함하는 도전층(3)을 포함한다.

도 4에는 도전층(3)은 감광성 물질층(1)과 일체형으로 감광성 물질층(1)의 상부에 복수의 은 나노 와이어가 매립되어 형성되는 매립층이나, 감광성 물질층(1) 위에 도전층(3)이 별도로 형성될 수 있다.

다음, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 마스크(MP1)을 이용하여 제1 감광 필름(10)에 노광 공정을 진행하여 제1 감광 필름을 패턴화한다. 이때 패턴화는 제1 감광 필름에 노광 영역과 비노광 영역으로 나뉘어져 노광 패턴이 형성되는 것을 뜻한다.

제1 마스크(MP1)은 형성하고자 하는 패턴, 즉 터치 전극, 연결 배선 및 패드와 대응하는 영역에 위치하는 투과부(T1), 투과부(T1) 사이에 위치하는 차광부(T2)를 가진다.

제1 감광 필름(10)에 조사되는 노광량은 은 나노 와이어를 포함하는 도전층(3)에만 조사될 수 있도록 대략 수 mJ 내지 수십 mJ의 에너지로 조사한다.

다음, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 감광 필름(10) 위에 위치하는 이형지를 제거한 다음 제2 마스크(MP2)를 이용하여 제1 감광 필름(10)에 노광 공정을 진행하여 제1 감광 필름(10)을 경화한다.

제2 마스크(MP2)는 터치 전극 및 연결 배선이 위치하는 터치 영역(TA)과 대응하는 투과부(T1), 주변 영역(PA)와 대응하는 차광부(T2)를 가진다.

제2 마스크(MP2)를 통해서 제1 감광 필름(10)에 조사되는 노광량은 제1 감광 필름(10) 두께 전체가 노광될 수 있도록, 도 5에서보다 많은 노광 에너지로 조사한다. 이때, 노광 에너지는 수십 mJ 내지 수백 mJ일 수 있다.

한편, 도 6에서는 이형지를 제거한 상태에서 노광 공정을 진행하기 때문에 제1 감광 필름(10)의 노출된 영역은 광 에너지에 의해서 산소와 반응하여 산화되면서 경화될 수 있다.

다음, 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 감광 필름(10)을 현상하여 감광성 하부층(200)과 감광성 하부층(200) 위에 위치하는 터치 전극(Sx), 연결 배선(RL) 및 패드(PL)를 형성한다.

제1 감광 필름(10)을 현상하는 공정은 TMAH, Na₂CO₃, KOH와 같은 알칼리계 용액으로 진행할 수 있다.

현상 공정을 진행하면, 터치 영역(TA)에서는 패턴화 공정시에 도전층 중 노광되지 않은 영역이 제거되고, 경화 공정시에 터치 영역(TA) 전체가 노광되어 경화되므로 터치 영역(TA) 전체에 감광성 하부층(200)이 남겨지고, 감광성 하부층(200) 위에 은 나노 와이어로 이루어지는 터치 전극(Sx) 및 연결 배선(RL)이 남겨진다.

그리고 주변 영역(PA)에서도 노광되지 않은 영역이 제거되는 것으로, 주변 영역(PA)에서는 패턴화 공정시에 도전층 중 노광되지 않은 영역과 경화 공정시에 노광되지 않는 영역이 중첩하므로, 패턴화 공정시에 노광되지 않은 영역과 대응하는 제1 감광 필름(10)이 모두 제거된다.

따라서, 주변 영역(PA) 위치하는 감광성 하부층(200)는 패드(PL)와 동일한 평면 모양을 가진다.

다음, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 터치 영역(TA) 전체에 제2 감광 필름을 전사하여 터치 전극(Sx) 및 연결 배선(RL)을 보호하는 감광성 상부층(300)을 형성한다.

이때, 주변 영역(PA)의 패드(PL)는 외부 신호를 인가해야 하므로, 감광성 상부층(300)은 터치 영역(TA)에만 형성한다.

감광성 상부층(300)은 제1 감광 필름의 감광성 물질과 동일한 굴절율을 가질 수 있다. 감광성 상부층(300)은 터치 영역(TA)에 노출된 감광성 하부층(200)과 접촉하여 터치 전극(Sx) 및 연결 배선(RL)의 측면을 보호할 수 있다.

이후, 패드(PL) 위에 보조 패드(50)를 형성한다. 보조 패드(50)는 구리와 같은 금속막을 형성한 후 패터닝하여 형성하거나, 은 페이스트로 패드(PL) 위에만 형성할 수 있다.

본 발명에서와 같이 감광성 상부층(300)을 형성한 후 보조 패드(50)를 형성하면 보조 패드를 형성하는 공정에 터치 전극 및 연결 배선 등이 노출되지 않으므로, 이들이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

이처럼, 본 발명의 실시예에서는 금속 나노 와이어를 포함하는 제1 감광 필름으로 터치 전극및 연결 배선을 형성하고, 제2 감광 필름으로 이들을 덮어 보호함으로써 터치 패널의 반복적인 굽힘 동작에도 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에서는 주변 영역과 터치 영역이 제2 감광 필름 두께만큼 단차가 형성되므로, 주변 영역의 패드에 구동 회로 등을 부착하기 위한 압착 공정시에 단차를 이용하여 용이하게 패드와 구동 회로의 범프를 정렬시킬 수 있다.

또한, 터치 전극 및 연결 배선의 두께로 인한 단차는 외부에서 시인될 수 있으나, 본 발명의 실시예에서는 제2 감광 필름으로 터치 전극 및 연결 배선 사이를 채움으로써 터치 전극 및 연결 배선의 두께로 인해서 발생되는 단차를 제거할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시예예 따른 터치 패널의 시인성이 향상될 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

1: 감광성 물질층 3: 도전층
10: 제1 감광 필름 30: 이형지
50: 보조 패드 100: 기판
200: 감광성 하부층 300: 감광성 상부층
800: 감지 신호 제어부

Claims (19)

1. 기판,
   상기 기판 위에 형성되어 있는 감광성 하부층,
   상기 기판의 터치 영역에 위치하는 상기 감광성 하부층 위에 형성되어 있는 복수의 터치 전극 및 연결 배선,
   상기 기판이 터치 영역 밖에 위치하는 상기 감광성 하부층 위에 형성되어 있으며 상기 연결 배선의 일단과 연결되어 있는 패드,
   상기 터치 전극 및 상기 연결 배선 위에 위치하는 감광성 상부층
   을 포함하는 터치 패널.
2. 제1항에서,
   이웃하는 상기 터치 전극 사이, 이웃하는 연결 배선 사이는 상기 감광성 하부층이 노출되고,
   이웃하는 상기 패드 사이에는 상기 기판이 노출되며,
   상기 감광성 상부층은 상기 노출된 감광성 하부층과 접촉하는 터치 패널.
3. 제1항에서,
   상기 터치 전극, 연결 배선 및 패드는 복수의 금속 나노 와이어로 이루어진 도전층을 포함하는 터치 패널.
4. 제3항에서,
   상기 패드는 상기 도전층 위에 형성되어 있는 보조 패드를 더 포함하는 터치 패널.
5. 제4항에서,
   상기 보조 패드는 은 또는 구리로 이루어지는 터치 패널.
6. 제3항에서,
   상기 도전층의 상기 금속 나노 와이어는 상기 감광성 하부층과 일체인 감광성 물질에 매립되어 있는 터치 패널.
7. 제1항에서,
   상기 터치 전극은 행렬을 이루어 배열되어 있으며,
   상기 연결 배선은 상기 터치 전극 사이에 위치하는 터치 패널.
8. 제7항에서,
   상기 패드와 인접할수록 상기 터치 전극의 크기가 작아지는 터치 패널.
9. 제1항에서,
   상기 감광성 하부층과 상기 감광성 상부층은 동일한 굴절율을 가지는 터치 패널.
10. 제9항에서,
    상기 굴절율은 1.46인 터치 패널.
11. 제1항에서,
    상기 터치 전극, 연결 배선 및 패드는 8,000Å두께인 터치 패널.
12. 제1항에서,
    상기 감광성 하부층과 상기 감광성 상부층의 두께는 동일한 터치 패널.
13. 제1항에서,
    상기 금속 나노 와이어는 은인 터치 패널.
14. 제1항에서,
    상기 주변 영역에 위치하는 감광성 하부층과 상기 패드는 동일한 평면 모양을 가지는 터치 패널.
15. 기판 위에 복수의 금속 나노 와이어 매립된 매립층을 가지는 제1 감광 필름을 전사하는 단계,
    제1 마스크로 상기 제1 감광 필름을 패턴화 하는 단계,
    상기 제1 감광 필름의 이형지를 제거하는 단계,
    제2 마스크를 이용하여 상기 제1 감광 필름을 경화하는 단계,
    상기 제1 감광 필름을 현상하여 터치 전극, 연결 배선 및 패드를 형성하는 단계,
    상기 터치 전극 및 연결 배선 위에 제2 감광 필름을 전사하는 단계
    를 포함하는 터치 패널의 제조 방법.
16. 제15항에서,
    상기 패턴화 하는 단계와 상기 경화하는 단계는 서로 다른 에너지로 노광하는 공정을 포함하는 터치 패널의 제조 방법.
17. 제16항에서,
    상기 경화하는 단계에서의 노광 에너지는 상기 패턴화 하는 단계에서의 노광 에너지보다 큰 에너지를 가지는 터치 패널의 제조 방법.
18. 제16항에서,
    상기 패턴화 하는 단계에서,
    상기 노광은 상기 매립층만 노광하는 터치 패널의 제조 방법.
19. 제16항에서,
    상기 제1 마스크는 상기 터치 전극, 연결 배선 및 패드와 대응하는 투과부, 상기 투과부 사이에 위치하는 차광부를 포함하고,
    상기 제2 마스크는 상기 터치 전극 및 연결 배선이 위치하는 터치 영역과 대응하는 투과부, 상기 패드와 상기 패드 사이의 제1 감광 필름과 대응하는 차광부를 가지는 터치 패널의 제조 방법.

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