KR101742753B1 - 터치 패널, 표시 장치 및 터치 패널의 제조 방법 - Google Patents

터치 패널, 표시 장치 및 터치 패널의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

터치 패널은 기판 및 상기 기판 상에 위치하며 요철 형태의 표면을 가지는 하나 이상의 터치 패드를 포함한다.

Description

터치 패널, 표시 장치 및 터치 패널의 제조 방법{TOUCH PANEL, DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF TOUCH PANEL}
본 발명은 터치 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정전 용량식 터치 패널, 표시 장치 및 터치 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
터치 패널은 펜 또는 사용자의 손가락에 의한 터치를 인식하는 장치로서, 최근 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display) 또는 액정 표시 장치(liquid crystal display device) 등의 표시 유닛 상에 배치되어 표시 장치에 신호를 입력하기 위한 수단으로서 사용되고 있었다.
터치 패널 중 정전 용량식 터치 패널은 터치 패널에 포함된 터치 패드에 터치가 수행되면, 터치가 수행된 위치에 대응하는 터치 패드의 정전 용량이 변화하는 것을 측정하여 터치가 수행된 입력 위치를 검출한다.
그런데, 이러한 터치 패널은 터치 패드에 의해 외광이 반사되어 표시 유닛이 표시하는 이미지(image)의 시인성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 외광 반사가 억제된 터치 패널, 표시장치 및 터치 패널의 제조 방법을 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 기판 및 상기 기판 상에 위치하며, 요철 형태의 표면을 가지는 하나 이상의 터치 패드를 포함하는 터치 패널를 제공한다.
상기 터치 패드는 상기 기판과 접촉할 수 있다.
상기 터치 패드는 제1 방향으로 배치된 복수의 제1 서브 터치 패드, 이웃하는 상기 제1 서브 터치 패드 사이를 연결하는 제1 연결부, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치되는 복수의 제2 서브 터치 패드, 상기 제1 연결부와 대응하여 위치하며, 이웃하는 상기 제2 서브 터치 패드 사이를 연결하는 제2 연결부, 및 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부 사이에 위치하는 절연층을 포함할 수 있다.
상기 제1 서브 터치 패드, 상기 제1 연결부, 상기 제2 서브 터치 패드 및 상기 제2 연결부 중 하나 이상은 상기 요철 형태의 표면을 가질 수 있다.
상기 제2 서브 터치 패드와 상기 제2 연결부는 일체일 수 있다.
상기 제1 서브 터치 패드와 상기 제2 서브 터치 패드는 동일한 층에 위치하여 상기 기판과 접촉할 수 있다.
상기 제1 서브 터치 패드, 상기 제1 연결부, 상기 제2 서브 터치 패드, 상기 제2 연결부 중 하나 이상은 광투과성 도전 물질을 포함할 수 있다.
상기 터치 패드 상에 위치하는 보호층 및 상기 보호층 상에 위치하는 커버를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 이미지(image)를 표시하는 표시 유닛 및 상기 표시 유닛 상에 위치하는 상기 터치 패널을 포함하는 표시 장치를 제공한다.
또한, 본 발명의 제3 측면은 기판을 마련하는 단계 및 상기 기판 상에 요철 형태의 표면을 가지는 하나 이상의 터치 패드를 형성하는 단계를 포함하는 터치 패널의 제조 방법을 제공한다.
상기 터치 패드를 형성하는 단계는 상기 터치 패드가 상기 기판과 접촉하도록 수행할 수 있다.
상기 터치 패드를 형성하는 단계는 상기 기판 상에 제1 도전층을 형성하는 단계, 상기 제1 도전층을 패터닝하여 섬 형태의 복수의 제1 연결부를 형성하는 단계, 상기 제1 연결부의 양 단부가 노출되도록 상기 제1 연결부 상에 절연층을 형성하는 단계, 상기 기판, 상기 제1 연결부 및 상기 절연층 상에 제2 도전층을 형성하는 단계, 및 상기 제2 도전층을 패터닝하여 제1 방향으로 배치되어 각각이 상기 제1 연결부의 양 단부 중 하나의 단부에 연결된 복수의 제1 서브 터치 패드, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치되는 복수의 제2 서브 터치 패드 및 상기 제1 연결부와 대응하여 상기 절연층 상에 위치하며 이웃하는 상기 제2 서브 터치 패드 사이를 연결하는 제2 연결부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 연결부를 형성하는 단계 및 상기 제1 서브 터치 패드, 상기 제2 서브 터치 패드 및 상기 제2 연결부를 형성하는 단계 중 하나 이상의 단계는 하프 톤 마스크(half tone mask) 및 슬릿 마스크(slit mask) 중 하나 이상을 이용한 포토리소그래피(photolithography) 공정을 이용해 수행할 수 있다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 중 하나 이상은 광투과성 도전 물질을 포함할 수 있다.
상기 터치 패드 상에 보호층을 형성하는 단계 및 상기 보호층 상에 커버를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 외광 반사가 억제된 터치 패널, 표시장치 및 터치 패널의 제조 방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 터치 패널을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 터치 패널을 나타낸 부분 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 6 내지 도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 터치 패널을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 표시 영역에 복수의 화소들을 구비하여 이미지(image)를 표시하는 표시 유닛(100) 및 표시 유닛(100) 상에 위치하여 표시 유닛(100)에 대한 입력 수단으로서 기능하는 터치 패널(200)을 포함한다. 여기서, 화소를 이미지를 구현할 수 있는 최소 단위를 말한다.
표시 유닛(100)은 유기 발광 소자(organic light emitting diode)가 형성된 제1 표시 기판(110)과 제1 표시 기판(110)에 합착된 제2 표시 기판(120)을 포함한다. 제1 표시 기판(110)은 제2 표시 기판(120)보다 넓게 형성되어 돌출되며, 이 돌출된 부분에는 제1 가요성 인쇄 회로 기판(130)이 전기적으로 연결된다. 제1 가요성 인쇄 회로 기판(130)에는 스캔 드라이버와 데이터 드라이버로 전기적 신호를 전달하기 위한 패드 전극들이 형성될 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 유닛(100)은 유기 발광 소자를 포함하는 유기 발광 표시 장치이나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 유닛은 액정 표시 장치(liquid crystal display device, LCD) 또는 플라즈마 표시 패널(plasma display panel, PDP) 등의 표시 장치일 수 있다.
터치 패널(200)은 도시하지 않은 터치 제어부 및 구동 드라이버를 포함할 수 있다. 터치 제어부는 터치 패널(200)로부터 전송된 전기적인 아날로그 신호를 컨버터 등을 통해 디지털 신호로 수치화하여 사용자가 터치한 위치 정보를 계산할 수 있다. 구동 드라이버는 표시 유닛(100)의 영상 제어부(도시하지 않음)와 연계되어 터치 패드(220)의 터치 제어부로부터 입력받은 좌표 신호에 따라 화면 상의 포인터를 움직이거나 선택을 처리하는 작업을 행한다.
터치 패널(200)은 정전 용량식으로 이루어지며, 터치 패널(200)의 일 측에는 제2 가요성 인쇄 회로 기판(290)이 연결된다. 제2 가요성 인쇄 회로 기판(290)에는 터치 패널(200)에 있어서 입력 위치의 검출을 위한 구동 회로(미도시)가 접속될 수 있다. 터치 패널(200)에는 터치(touch)를 인식하는 터치 패드(220)가 형성된다.
터치 패드(220)는 제1 방향(x축 방향)으로 배치된 복수의 제1 서브 터치 패드(221) 및 제1 방향과 교차하는 제2 방향(y축 방향)으로 배치된 복수의 제2 서브 터치 패드(222)를 포함한다.
본 발명의 제1 실시예에서는 제1 서브 터치 패드(221)와 제2 서브 터치 패드(222)가 스트라이프 패턴(stripe pattern)을 가지고 서로 직교하나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 서브 터치 패드와 제2 서브 터치 패드는 소정의 교차 각도를 가지고 상호 교차될 수 있다.
제1 서브 터치 패드(221)와 제2 서브 터치 패드(222) 각각은 배선(W)을 통해 제2 가요성 인쇄 회로 기판(290)과 연결된다.
이와 같이 구성된 터치 패널(200)에서, 복수의 제1 서브 터치 패드(221)와 제2 서브 터치 패드(222)에 순차적으로 전압이 인가되어 제1 서브 터치 패드(221) 및 제2 서브 터치 패드(222) 각각에 전하가 충진될 때, 제1 서브 터치 패드(221) 또는 제2 서브 터치 패드(222)에 터치가 수행되면, 터치가 수행된 제1 서브 터치 패드(221) 또는 제2 서브 터치 패드(222)의 정전 용량이 변화되어 어느 위치에 터치가 수행 되었는지를 알 수 있다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)에 포함된 터치 패널(200)을 보다 자세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 터치 패널을 나타낸 부분 평면도이다. 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 터치 패널(200)은 기판(210), 터치 패드(220), 보호층(230) 및 커버(240)를 포함한다.
기판(210)은 유리, 석영, 세라믹 또는 폴리머 등의 광투과성 절연 기판으로 형성되며, 가요성(flexibility)을 가질 수 있다.
기판(210) 상에는 터치를 인식하는 터치 패드(220)가 형성되어 있다.
터치 패드(220)는 기판(210)에 형성되어 있으며, 제1 서브 터치 패드(221), 제1 연결부(223), 제2 서브 터치 패드(222), 제2 연결부(224) 및 절연층(225)을 포함한다.
제1 서브 터치 패드(221)는 인듐틴옥사이드(indium tin oxide, ITO) 또는 인듐징크옥사이드(indium zinc oxide) 등의 광투과성 도전 물질을 포함하며, 상술한 바와 같이 제1 방향으로 복수개가 배치되어 있다. 제1 서브 터치 패드(221)는 기판(210)과 접촉하며, 요철 형태의 표면을 가지고 있다. 복수의 제1 서브 터치 패드(221) 각각은 상호 이격되어 있으며, 이웃하는 제1 서브 터치 패드(221) 사이에는 제1 연결부(223)가 위치하고 있다.
제1 연결부(223)는 이웃하는 제1 서브 터치 패드(221) 사이에 섬(island) 형태로 위치하며, 이웃하는 제1 서브 터치 패드(221) 사이를 연결하고 있다. 상세하게는, 제1 연결부(223)의 양 단부 상에 이웃하는 각 제1 서브 터치 패드(221)의 단부가 중첩되어 있음으로써, 제1 연결부(223)가 이웃하는 제1 서브 터치 패드(221) 사이를 연결한다. 제1 연결부(223)는 기판(210)과 접촉하며, 요철 형태의 표면을 가지고 있다. 제1 연결부(223)는 인듐틴옥사이드 또는 인듐징크옥사이드 등의 광투과성 도전 물질을 포함한다.
제2 서브 터치 패드(222)는 인듐틴옥사이드 또는 인듐징크옥사이드 등의 광투과성 도전 물질을 포함하며, 상술한 바와 같이 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 복수개가 배치되어 있다. 제2 서브 터치 패드(222)는 제1 서브 터치 패드(221)와 동일한 층에 위치하여 기판(210)과 접촉하며, 요철 형태의 표면을 가지고 있다. 복수의 제2 서브 터치 패드(222) 각각은 상호 이격되어 있으며, 이웃하는 제1 서브 터치 패드(221) 사이에는 제2 연결부(224)가 위치하고 있다.
제2 연결부(224)는 이웃하는 제2 서브 터치 패드(222) 사이에 위치하며, 제2 서브 터치 패드(222)와 일체로 이루어져 있다. 제2 연결부(224)는 절연층(225)을 사이에 두고 제1 연결부(223) 상에 위치한다. 즉, 제2 연결부(224)는 제1 연결부(223)와 절연되어 이웃하는 제2 서브 터치 패드(222) 사이를 연결하고 있는 동시에 제1 서브 터치 패드(221)와는 이격되어 있다. 상세하게는, 제2 연결부(224)가 제2 서브 터치 패드(222)와 일체로 이루어져 있음으로써, 제2 연결부(224)가 이웃하는 제2 서브 터치 패드(222) 사이를 연결한다. 제2 연결부(224)는 절연층(225) 상에 위치하여 기판(210)과 이격되어 있으며, 요철 형태의 표면을 가지고 있다. 제2 연결부(224)는 인듐틴옥사이드 또는 인듐징크옥사이드 등의 광투과성 도전 물질을 포함한다.
절연층(225)은 제1 연결부(223) 및 제2 연결부(224)와 대응하여 제1 연결부(223)와 제2 연결부(224) 사이에 섬 형태로 위치하고 있다. 절연층(225)은 제1 연결부(223)와 제2 연결부(224) 사이에 위치함으로써, 제1 연결부(223)와 제2 연결부(224) 사이를 절연한다.
이상과 같이, 터치 패드(220)는 각각 요철 형태의 표면을 가지는 제1 서브 터치 패드(221), 제1 연결부(223), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 포함함으로써, 터치 패널(200)로 입사되는 외광이 요철 형태의 표면에 의해 산란되기 때문에, 터치 패드(220)에 의한 외광 반사가 억제된다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)의 터치 패널(200)의 터치 패드(220)는 제1 서브 터치 패드(221), 제1 연결부(223), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224) 모두가 요철 형태의 표면을 가지나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치 패드는 제1 서브 터치 패드, 제1 연결부, 제2 서브 터치 패드 및 제2 연결부 중 하나 이상만이 요철 형태의 표면을 가질 수 있다.
터치 패드(220) 상에 보호층(230)이 위치하고 있다.
보호층(230)은 터치 패드(220)를 덮고 있으며, 외부로부터 가해지는 압력 등의 간섭에 의해 터치 패드(220)가 손상되는 것을 방지한다. 보호층(230) 상에는 커버(240)가 위치하고 있다.
커버(240)는 기판 또는 박막 형태로 보호층(230) 상에 위치하며, 보호층(230)과 함께 외부로부터 가해지는 압력 등의 간섭에 의해 터치 패드(220)가 손상되는 것을 방지한다. 커버(240)의 표면에는 터치가 직접 수행될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 터치 패널(200)의 터치 패드(220)가 요철 형태의 표면을 가짐으로써, 터치 패널(200)에 의한 외광 반사가 억제되기 때문에, 터치 패널(200)에 의한 외광 반사에 의해 표시 유닛(100)이 표시하는 이미지의 시인성 저하가 억제된다. 특히, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 태양에 의한 빛이 직접 조사되는 환경에 노출되더라도, 터치 패널(200)에 의한 외광 반사가 억제되기 때문에, 표시 장치(1000)가 표시하는 이미지의 시인성 저하가 억제된다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 터치를 인식하는 터치 패드(220)가 기판(210)과 접촉함으로써, 터치 패드(220)와 기판(210) 사이에 어떠한 물질도 위치하지 않는다. 보다 상세하게는, 제1 서브 터치 패드(221)와 기판(210) 사이 및 제2 서브 터치 패드(222)와 기판(210) 사이에 어떠한 물질도 위치하지 않음으로써, 표시 유닛(100)으로부터 표시되는 이미지가 터치 패널(200)을 통과할 때 휘도가 저하되는 것이 최소화된다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 표시 유닛(100)이 표시하는 이미지의 시인성 저하 및 휘도 저하가 억제됨으로써, 표시 품질이 향상된다.
이하, 도 5 내지 도 15를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 설명한다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 상술한 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)의 터치 패널(200)을 제조하는 방법이나, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)의 터치 패널(200)은 이에 한정되지 않고 다양한 방법으로 제조될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 6 내지 도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
우선, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(210)을 마련한다(S100).
다음, 기판(210) 상에 터치 패드(220)를 형성한다(S200).
이하, 기판(210) 상에 터치 패드(220)를 형성하는 것을 상세히 설명한다.
우선, 기판(210) 상에 제1 도전층(1100)을 형성한다.
상세하게, 기판(210) 상에 물리적 또는 화학적 증착 공정을 이용해 인듐틴옥사이드 또는 인듐징크옥사이드 등의 광투과성 도전 물질을 포함하는 제1 도전층(1100)을 형성한다.
다음, 제1 도전층(1100)을 패터닝(patterning)하여 섬 형태의 복수개의 제1 연결부(223)를 형성한다.
이하, 제1 연결부(223)를 형성하는 과정을 자세히 설명한다.
우선, 제1 도전층(1100) 상에 제1 포토레지스트층(2100)을 형성하고, 제1 포토레지스트층(2100) 상에 하프 톤 마스크(half tone mask)를 배치하여 하프 톤 마스크를 통해 제1 포토레지스트층(2100)을 노광한 후 현상하여 도 7에 도시된 형태와 같이 후에 형성될 제1 연결부(223)와 대응하는 요철 형태의 표면을 가지는 제1 포토레지스트 패턴(2150)을 형성한다. 이 때, 하프 톤 마스크는 광 투과 영역, 광 차단 영역 및 광 반투과 영역을 포함하는데, 하프 톤 마스크의 광 차단 영역은 제1 포토레지스트층(2100)으로부터 형성될 제1 포토레지스트 패턴(2150) 전체와 대응하고, 광 반투과 영역은 제1 포토레지스트 패턴(2150)이 가지는 요철 형태의 표면 중에서 요(凹) 부분(2151)과 대응된다.
한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 하프 톤 마스크를 이용하나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 하프 톤 마스크 및 슬릿 마스크(slit mask) 중 하나 이상을 이용할 수 있다.
다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 포토레지스트 패턴(2150)을 마스크로서 이용해 제1 도전층(1100)을 습식 에칭(etching)하여 제1 포토레지스트 패턴(2150)에 대응되지 않고 노출된 제1 도전층(1100)의 일 부분을 기판(210)으로부터 제거한다.
다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 에슁(ashing) 공정을 이용해 제1 포토레지스트 패턴(2150)의 요 부분(2151)을 완전히 제거하여 요 부분(2151)에 대응하는 제1 도전층(1100)을 노출한다.
다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 노출된 제1 도전층(1100) 건식 에칭하여 요철 형태의 표면을 가지는 제1 연결부(223)를 형성한다.
다음, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 연결부(223) 상에 위치하는 제1 포토레지스트 패턴(2150)을 제1 연결부(223)로부터 제거한다.
이상과 같은 하프 톤 마스크 및 슬릿 마스크 중 하나 이상을 이용한 포토리소그래피(photolithography) 공정에 의해 기판(210) 상에 제1 연결부(223)가 형성된다.
한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 제1 도전층(1100) 상에 제1 포토레지스트 패턴(2150)을 형성한 후, 습식 에칭, 에슁 공정 및 건식 에칭을 이용해 제1 연결부(223)를 형성하였으나, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 제1 도전층(1100) 상에 제1 포토레지스트 패턴(2150)을 형성한 다음 이어서 제1 포토레지스트 패턴(2150) 및 제1 도전층(1100)을 한번에 건식 에칭하여 제1 연결부(223)를 형성할 수 있다. 이 경우, 제1 포토레지스트 패턴(2150)이 건식 에칭에 의해 에칭되면서 제1 도전층(1100)이 제1 포토레지스트 패턴(2150)이 가지는 형태 그대로 에칭되어 제1 도전층(1100)으로부터 제1 연결부(223)가 형성된다.
다음, 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 연결부(223) 상에 절연층(225)을 형성한다.
상세하게, 제1 연결부(223)의 양 단부가 노출되도록 제1 연결부(223) 상에 섬 형태의 절연층(225)을 형성한다.
다음, 도 13에 도시된 바와 같이, 기판(210), 제1 연결부(223) 및 절연층(225) 상에 제2 도전층(1200)을 형성한다.
상세하게, 기판(210), 제1 연결부(223) 및 절연층(225) 상에 물리적 또는 화학적 증착 공정을 이용해 인듐틴옥사이드 또는 인듐징크옥사이드 등의 광투과성 도전 물질을 포함하는 제2 도전층(1200)을 형성한다.
다음, 제2 도전층(1200)을 패터닝하여 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 형성한다.
이하, 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 형성하는 과정을 자세히 설명한다.
우선, 제2 도전층(1200) 상에 제2 포토레지스트층(2200)을 형성하고, 제2 포토레지스트층(2200) 상에 하프 톤 마스크를 배치하여 하프 톤 마스크를 통해 제2 포토레지스트층(2200)을 노광한 후 현상하여 도 14에 도시된 형태와 같이 후에 형성될 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)와 대응하는 요철 형태의 표면을 가지는 제2 포토레지스트 패턴(2250)을 형성한다. 이 때, 하프 톤 마스크는 광 투과 영역, 광 차단 영역 및 광 반투과 영역을 포함하는데, 하프 톤 마스크의 광 차단 영역은 제2 포토레지스트층(2200)으로부터 형성될 제2 포토레지스트 패턴(2250) 전체와 대응하고, 광 반투과 영역은 제2 포토레지스트 패턴(2250)이 가지는 요철 형태의 표면 중에서 요(凹) 부분(2251)과 대응된다.
다음, 도 15에 도시된 바와 같이, 제2 포토레지스트 패턴(2250)을 마스크로서 이용해 제2 도전층(1200)을 습식 에칭하여 제2 포토레지스트 패턴(2250)에 대응되지 않고 노출된 제2 도전층(1200)의 일 부분을 기판(210)으로부터 제거하고, 에슁 공정을 이용해 제2 포토레지스트 패턴(2250)의 요 부분(2251)을 완전히 제거하여 요 부분(2251)에 대응하는 제2 도전층(1200)을 노출한 후, 노출된 제2 도전층(1200) 건식 에칭하여 요철 형태의 표면을 가지는 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 형성한다.
다음, 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224) 상에 위치하는 제2 포토레지스트 패턴(2250)을 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)로부터 제거한다.
이상과 같은 하프 톤 마스크 및 슬릿 마스크 중 하나 이상을 이용한 포토리소그래피 공정에 의해 기판(210) 상에 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)가 형성된다.
한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 제2 도전층(1200) 상에 제2 포토레지스트 패턴(2250)을 형성한 후, 습식 에칭, 에슁 공정 및 건식 에칭을 이용해 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 형성하였으나, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 제2 도전층(1200) 상에 제2 포토레지스트 패턴(2250)을 형성한 다음 이어서 제2 포토레지스트 패턴(2250) 및 제2 도전층(1200)을 한번에 건식 에칭하여 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 형성할 수 있다. 이 경우, 제2 포토레지스트 패턴(2250)이 건식 에칭에 의해 에칭되면서 제2 도전층(1200)이 제2 포토레지스트 패턴(2250)이 가지는 형태 그대로 에칭되어 제2 도전층(1200)으로부터 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)가 형성된다.
이상과 같은 공정에 의해 기판(210) 상에 제1 연결부(223), 절연층(225), 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 포함하는 터치 패드(220)가 기판(210)과 접촉하여 형성된다.
다음, 터치 패드(220) 상에 보호층(230)을 형성한다(S300).
상세하게, 터치 패드(220)가 형성된 기판(210) 상에 보호층(230)을 도포하거나 증착하여 터치 패드(220) 상에 보호층(230)을 형성한다.
다음, 보호층(230) 상에 커버(240)를 형성한다(S400).
상세하게, 보호층(230) 상에 기판 또는 박막 형태의 커버(240)를 부착하여 보호층(230) 상에 커버(240)를 형성한다.
이상과 같은 공정에 의해 상술한 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)의 터치 패널(200)이 제조된다.
이상과 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법은 하프 톤 마스크 및 슬릿 마스크 중 하나 이상을 이용한 포토리소그래피 공정에 의해 기판(210) 상에 각각 요철 형태의 표면을 가질 수 있는 제1 연결부(223), 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224)를 형성하기 때문에, 기판(210)과 터치 패드(220) 사이에 어떠한 물질이 없더라도 제1 연결부(223), 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224) 중 하나 이상의 표면을 요철 형태로 만들 수 있다. 즉, 제1 연결부(223), 제1 서브 터치 패드(221), 제2 서브 터치 패드(222) 및 제2 연결부(224) 중 하나 이상의 표면을 요철 형태로 만들기 위해 기판(210)과 터치 패드(220) 사이에 요철 형태의 구조물을 형성할 필요가 없으며, 이는 터치 패널(200)에 의한 휘도 저하가 억제되는 요인으로서 작용한다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
기판(210), 터치 패드(220)

Claims (15)

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  10. 기판을 마련하는 단계; 및
    상기 기판 상에 요철 형태의 표면을 가지는 하나 이상의 터치 패드를 형성하는 단계
    를 포함하고,
    상기 터치 패드를 형성하는 단계는,
    상기 기판 상에 제1 도전층을 형성하는 단계;
    상기 제1 도전층 상에 제1 포토레지스트층을 형성하는 단계;
    상기 제1 포토레지스트층 상에 하프 톤 마스크를 배치하고, 상기 제1 포토레지스트층을 노광한 후 현상하여 요철 형태의 표면을 가지는 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 포토레지스트 패턴을 마스크로서 사용하여 상기 제1 도전층을 에칭하여 섬 형태의 복수의 제1 연결부를 형성하는 단계;
    를 포함하는 터치 패널의 제조 방법.
  11. 제10항에서,
    상기 터치 패드를 형성하는 단계는 상기 터치 패드가 상기 기판과 접촉하도록 수행하는 터치 패널의 제조 방법.
  12. 제10항에서,
    상기 터치 패드를 형성하는 단계는,
    상기 제1 연결부의 양 단부가 노출되도록 상기 제1 연결부 상에 절연층을 형성하는 단계;
    상기 기판, 상기 제1 연결부 및 상기 절연층 상에 제2 도전층을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 도전층을 패터닝하여 제1 방향으로 배치되어 각각이 상기 제1 연결부의 양 단부 중 하나의 단부에 연결된 복수의 제1 서브 터치 패드, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치되는 복수의 제2 서브 터치 패드 및 상기 제1 연결부와 대응하여 상기 절연층 상에 위치하며 이웃하는 상기 제2 서브 터치 패드 사이를 연결하는 제2 연결부를 형성하는 단계
    를 더 포함하는 터치 패널의 제조 방법.
  13. 제12항에서,
    상기 제1 서브 터치 패드, 상기 제2 서브 터치 패드 및 상기 제2 연결부를 형성하는 단계 중 하나 이상의 단계는 하프 톤 마스크(half tone mask) 및 슬릿 마스크(slit mask) 중 하나 이상을 이용한 포토리소그래피(photolithography) 공정을 이용해 수행하는 터치 패널의 제조 방법.
  14. 제12항에서,
    상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 중 하나 이상은 광투과성 도전 물질을 포함하는 터치 패널의 제조 방법.
  15. 제10항에서,
    상기 터치 패드 상에 보호층을 형성하는 단계; 및
    상기 보호층 상에 커버를 형성하는 단계
    를 더 포함하는 터치 패널의 제조 방법.
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