CN104853897A - 压印用模具的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可以防止转印树脂向转印辊上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明，可以提供一种压印用模具的制造方法，其具备：树脂涂布工序，向具有微细的凹凸图案的图案转移用模具上涂布光或热固化性的树脂组合物；转移工序，通过将所述树脂组合物遍及圆柱状的转印辊的全周地转移并且使所述树脂组合物固化，而遍及所述转印辊的全周地形成所述凹凸图案的反转图案。

Description

压印用模具的制造方法

【技术领域】

本发明涉及一种压印用模具的制造方法。

【背景技术】

所谓压印技术，是将具有所需的微细的凹凸图案的反转图案的模具向基板上的液状树脂等转印材料按压、并借此将模具的反转图案向转印材料转印的微细加工技术。作为微细的凹凸图案的反转图案，存在有从10nm水平的纳米尺度的图案到100μm左右的图案，被用于半导体材料、光学材料、存储介质、微型机器、生物、环境等各种领域中。

作为反转图案向转印材料上的转印方法，有如下的方法，即，将薄膜模具卷绕在转印辊上而制成辊筒状的压印用模具，利用卷对卷工艺向转印材料连续转印反转图案。

在从薄膜模具制成辊筒状的压印用模具时，需要将薄膜模具的两端接合。作为薄膜模具的接合方法，在专利文献1中，公开过如下的技术，即，将对接了的树脂薄膜的端部用一对加热器夹入，用该加热器进行加压熔接；或将所要接合的树脂薄膜的端部以叠加的状态配置，从该状态起对适合的部分进行加压熔接。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】WO2011/049097号

【发明内容】

【发明所要解决的问题】

但是，在将树脂薄膜的端部彼此对接后加压熔接的情况下，无法将接合部充分地接合，其后会有发生背离的问题、或在接合部堆积转印树脂的问题。

另一方面，在将应当接合的树脂薄膜的端部间设为部分叠加的状态后对适合的部分进行加压熔接的情况下，虽然两者的接合性提高，然而在接合部产生高低差，从而会有在该高低差处堆积转印树脂的问题。

本发明是鉴于此种实际情况而完成的，提供一种可以防止转印树脂向转印辊上的堆积的压印用模具的制造方法。

【用于解决问题的手段】

根据本发明，提供一种压印用模具的制造方法，其具备：

树脂涂布工序，向具有微细的凹凸图案的图案转移用模具上涂布光或热固化性的树脂组合物；

转移工序，通过将所述树脂组合物遍及圆柱状的转印辊的全周地转移并使所述树脂组合物固化，而遍及所述转印辊的全周地形成所述凹凸图案的反转图案。

该方法中，由于将涂布在模具上的树脂组合物遍及转印辊的全周地转移并使之固化，因此遍及转印辊的全周都没有裂缝，从而可以得到能够防止转印树脂的堆积的压印用模具。

以下，例示出本发明的各种实施方式。以下所示的实施方式可以互相组合。

优选所述树脂组合物为光固化性树脂，在所述转移工序中，通过在所述树脂组合物与所述转印辊接触的状态下对所述树脂组合物照射光而将所述树脂组合物固化。

优选在所述树脂涂布工序中，将所述树脂组合物涂布在载放于以卷对卷形式搬送的搬送薄膜上的所述图案转移用模具上，在所述转移工序中，通过朝向旋转着的所述转印辊搬送涂布有所述树脂组合物的所述图案转移用模具，而遍及所述转印辊的全周地形成所述反转图案。

优选在所述转移工序之前还具备对所述转印辊进行易粘接处理的易粘接处理工序。

优选所述易粘接处理为向所述转印辊上卷绕易粘接膜的处理。

优选将所述易粘接膜以在两端的对接部设置间隙的方式卷绕，在所述间隙中填充所述树脂组合物。

优选所述图案转移用模具为树脂薄膜模具，其表面被进行了剥离处理。

优选所述树脂组合物由剥离性树脂构成。

优选在所述转移工序之后，对所述树脂组合物的表面进行剥离处理。

优选在所述转移工序中，在所述树脂组合物的头端附近或所述图案转移用模具的末端部设置遮蔽材料。

【附图说明】

图1是本发明的一个实施方式，是表示向转印辊上卷绕易粘接膜的工序的剖面图。

图2是图1的续图，表示将易粘接膜卷绕在转印辊上后的状态的剖面图。

图3是图2中的区域A的放大图。

图4是表示本发明的一个实施方式中使用的图案转移用模具的构成的剖面图。

图5是表示将图4的图案转移用模具贴附在搬送薄膜上的状态的剖面图。

图6是图5的续图，表示向图案转移用模具上涂布树脂组合物的工序的剖面图。

图7是图6中的区域B的放大图。

图8是图6的续图，表示将具有反转图案的树脂组合物向转印辊转移的状态的剖面图。

图9是图8中的区域C的放大图。

图10是图8中的区域D的放大图。

图11是图8的续图，表示遍及转印辊的全周地转移具有反转图案的树脂组合物后的状态的剖面图。

图12是图11中的区域A的放大图。

【具体实施方式】

以下，在参照附图的同时，对本发明的优选的实施方式进行具体说明。

使用图1～图12，对本发明的一个实施方式的压印用模具的制造方法进行说明。本实施方式的压印用模具的制造方法具备：树脂涂布工序，向具有微细的凹凸图案3的图案转移用模具2上涂布光或热固化性的树脂组合物25；转移工序，通过将树脂组合物25遍及圆柱状的转印辊12的全周地转移并使树脂组合物25固化，而遍及转印辊12的全周地形成凹凸图案3的反转图案3a。

用于实施该方法的装置没有特别限定，然而例如可以使用如图1所示的用于向转印材料压印凹凸图案的压印装置来实施。具备：转印辊12、配置于转印辊12的上游侧并且在其与转印辊12之间夹入搬送薄膜F的上游侧辊14、配置于转印辊的下游侧的下游侧辊16。在上游侧辊14的更上游处配置有送出搬送薄膜F的送出辊(未图示)，在下游侧辊16的更下游处配置有卷绕搬送薄膜F的卷绕辊(未图示)。所以，搬送薄膜F被卷对卷地搬送。另外，在送出辊与上游侧辊14之间设有用于向搬送薄膜F上涂布光固化树脂等转印材料的涂布机(例如模涂机)18，在转印辊12的下方设有用于使转印材料固化的光照射器(例如UV灯)20。

以下对各工序进行详细说明。

1.易粘接处理工序

最先，优选具备对转印辊12进行易粘接处理的易粘接处理工序。所谓易粘接处理，是指为了在后述的转移工序中容易将树脂组合物25向转印辊12转移而用于提高转印辊12与树脂组合物25之间的亲和性的处理。该工序的实施方法没有特别限定，然而优选通过向转印辊12上卷绕易粘接膜4来实施。易粘接膜4只要是与树脂组合物25的亲和性高的材料即可，例如为在由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烃、聚酰亚胺、聚砜、聚醚砜、环状聚烯烃及聚萘二甲酸乙二醇酯中的1种构成的薄膜的至少一面形成易粘接层的材料。易粘接层由丙烯酸树脂、聚氨酯树脂、聚酯树脂、以及这些树脂的混合物形成。另外，在易粘接层中，可以含有交联剂、硅烷偶联剂。作为交联剂，可以举出异氰酸酯化合物、环氧化合物、噁唑啉化合物、密胺化合物。

易粘接膜4的长度也可以是与卷绕易粘接膜4的转印辊12的外周长度相同的程度，然而优选使之略短。该情况下，在将易粘接膜4卷绕到转印辊12上的状态下，在易粘接膜4的两端的对接部之间就会自然地形成间隙G，通过向该间隙G中填充树脂组合物25，就可以将易粘接膜4的两端的对接部牢固地接合。

这里，使用图1～图3对易粘接膜4的卷绕方法的一例进行说明。

首先，在易粘接膜4的一面贴附带有隔膜10的双面粘贴胶带8的一面。双面粘贴胶带8只要是可以将易粘接膜4贴附在转印辊12上的材料，其构成就没有特别限定，然而优选贴附在易粘接膜4上的一面(以下称作“膜粘贴面”)的粘合力大于贴附在转印辊12上的一面(以下称作“辊粘贴面”)的粘合力，辊粘贴面优选为再剥离性。夹隔着双面粘贴胶带8将易粘接膜4贴附在转印辊12上，形成后述的反转图案后作为压印用模具使用后，双面粘贴胶带8和易粘接膜4被一起剥离而废弃。所以，对于双面粘贴胶带8的膜粘贴面，为了防止双面粘贴胶带8与易粘接膜4的错移，粘合力越强越好，而另一方面，对于双面粘贴胶带8的辊粘贴面，为了使得使用后的从转印辊12中的剥离容易，优选在具有使用上没有问题的程度的粘合力的同时具有再剥离性。

另外，双面粘贴胶带8与易粘接膜4的卷绕方向的端部的位置也可以是一致的，然而优选为错开的。该情况下，在夹隔着双面粘贴胶带8将易粘接膜4卷绕在转印辊12上时，由于双面粘贴胶带8的两端的对接部与易粘接膜4的两端的对接部的位置是错开的，因此填充于易粘接膜4的两端的对接部中的树脂组合物25就会填充于双面粘贴胶带8的对接部以外的部分，可以防止树脂组合物25附着于转印辊12上。

双面粘贴胶带8的长度优选与转印辊12的外周长度实质上相等。这是因为，该情况下，可以将双面粘贴胶带8遍及转印辊12的全周地没有间隙地贴附。所以，在使易粘接膜4的长度比转印辊12的外周长度略短的情况下，双面粘贴胶带8就会比易粘接膜4略长。

隔膜10只要是保护双面粘贴胶带8的辊粘贴面的粘合层、在向转印辊12上的卷绕时可以容易地剥离的材料，其构成就没有特别限定。

然后，将贴附了带有隔膜10的双面粘贴胶带8的易粘接膜4如图1所示，配置于转印辊12的切线上，在沿箭头Y的方向拉剥隔膜10的同时，将带有双面粘贴胶带8的易粘接膜4插入搬送薄膜F与转印辊12之间。此时，各辊以各个辊中所示的箭头的方向旋转，带有双面粘贴胶带8的易粘接膜4由上游侧辊14向转印辊12推压，将双面粘贴胶带8的辊粘贴面贴附在转印辊12上。

当就这样旋转各辊时，就会将整个带有双面粘贴胶带8的易粘接膜4卷绕在转印辊12上，得到图2～图3中所示的构成。图3是图2中的区域A的放大图。

如图3所示，双面粘贴胶带8贴附在转印辊12的全周，成为在两端的对接部8a中实质上没有间隙的状态。但是，即使略微留出间隙也没有问题。在易粘接膜4的两端的对接部，优选存在有间隙G。间隙G的长度(将辊的圆周方向的长度称作“长度”，将辊的旋转轴方向的长度称作“宽度”。)没有特别限定，然而例如为0.1～2mm，优选为0.2～1mm。这是因为，由于间隙G的存在，在后续工序中树脂组合物25会流入间隙G中而将易粘接膜4的两端牢固地结合。

易粘接处理工序既可以在树脂涂布工序之前进行，也可以在树脂涂布工序与转移工序之间进行。

2.树脂涂布工序

该工序中，向具有微细的凹凸图案3的图案转移用模具2上涂布光或热固化性的树脂组合物25。

以下，使用图4～图7对该工序的实施方法的一例进行说明。

图案转移用模具2可以利用公知的压印技术形成，在一个例子中，如图4所示在柔性的树脂基材5上，具备具有所需的微细的凹凸图案3的树脂层6。

树脂基材5具体来说例如是由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烃、聚酰亚胺、聚砜、聚醚砜、环状聚烯烃及聚萘二甲酸乙二醇酯中的1种构成的材料。树脂基材5的厚度通常为6～188μm，优选为12～100μm。这是因为，如果设为此种厚度，则在后述的转印工序时易于在转印辊12的宽度方向施加均匀的压力，其结果是，可以将树脂组合物25均匀地向转印辊12转移。

形成树脂层6的树脂可以是热塑性树脂、热固化性树脂或光固化性树脂的任意一种。作为树脂，可以举出丙烯酸系树脂、苯乙烯系树脂、烯烃系树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯系树脂、环氧树脂、硅酮系树脂等。

上述的树脂层6的厚度通常为50nm～1mm，优选为500nm～500μm。如果设为此种厚度，则容易进行压印加工。

在形成树脂层6的树脂是热塑性树脂的情况下，通过在将树脂层6加热到玻璃化温度(Tg)以上的温度的状态下，将凹凸图案形成用的模具以0.5～50MPa的冲压压力保持10～600秒地冲压后，将树脂层6冷却到Tg以下的温度，将模具从树脂层6中拉开，就可以在树脂层6中形成凹凸图案3。另一方面，在形成树脂层6的树脂是光固化性树脂的情况下，通过在向液状的树脂层6推压凹凸图案形成用的模具的状态下对树脂层6照射固化光(UV光、可见光、电子束等可以使树脂固化的能量射线的总称)而将树脂层6固化，其后，通过拉开模具，就可以在树脂层6中形成凹凸图案3。也可以从树脂基材4侧照射光，在模具相对于光来说是透明的情况下，还可以从模具侧照射。另外，在形成树脂层6的树脂是热固化性树脂的情况下，通过在向液状的树脂层6推压凹凸图案形成用的模具的状态下将树脂层6加热到固化温度而将树脂层6固化，其后，通过拉开模具，就可以在树脂层6中形成凹凸图案3。也可以从树脂基材4侧照射光，在模具相对于光来说具有透过性的情况下，还可以从模具侧照射。

对于树脂层6的表面形状(凹凸图案3)没有特别限制，然而优选周期为10nm～2mm、深度为10nm～500μm的形状，更优选周期为20nm～20μm、深度为50nm～1μm的形状。如果如此设定，则可以向转印体充分地转印凹凸图案3。作为表面形状，可以举出蛾眼、线、圆柱、独石柱、圆锥、多角锥、微透镜。

树脂层6的表面也可以实施用于防止与树脂组合物25的附着的剥离处理，剥离处理也可以是形成剥离层(未图示)的处理。作为形成剥离层(未图示)的脱模剂，优选由选自氟系硅烷偶联剂、具有氨基或羧基的全氟化合物及具有氨基或羧基的全氟醚化合物中的至少1种构成，更优选由选自氟系硅烷偶联剂、单末端胺化全氟(全氟醚)化合物以及单末端羧基化全氟(全氟醚)化合物的单体或单体及复合体的混合物中的至少1种构成。如果作为脱模剂使用上述的物质，则与树脂层6的密合良好，并且与树脂组合物25的剥离性良好。剥离层(未图示)的厚度优选为0.5～20nm，更优选为0.5～10nm，最优选为0.5～5nm的范围内。而且，为了提高剥离层与树脂层6的密合性，也可以在树脂层6中添加像WO2012/018045中公开的那样的具有能够与脱模剂结合的基团的添加剂。

另外，在作为形成树脂层6的树脂使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂、丙烯酸系单体与硅酮系单体的共聚物、丙烯酸系单体与氟系单体的共聚物、丙烯酸系聚合物与硅酮系单体的混合物、丙烯酸系聚合物与氟系单体的混合物等情况下，如果在树脂层6中含有剥离成分，则其后可以省略形成剥离层的工序，从这一点考虑优选。

图案转移用模具2的长度优选与转印辊12的外周长度相同，或者比之略长。这是因为，该情况下，可以将涂布在图案转移用模具2上的树脂组合物25转移到转印辊12的全周。

另外，在图案转移用模具2上，为了将图案转移用模具2向搬送薄膜F贴附而粘合有双面粘贴胶带9。搬送薄膜F可以使用与树脂基材5相同的树脂，然而也可以使用与树脂基材5不同的树脂。双面粘贴胶带9只要是具有可以将图案转移用模具2向搬送薄膜F上贴附的粘合剂层，其构成就没有特别限定。从成本方面、处置方面的观点考虑，优选利用丙烯酸系粘合剂组合物来构成粘合剂层。作为丙烯酸系粘合剂组合物没有特别限定，然而例如可以举出在丙烯酸系聚合物中配合有交联剂等添加剂的组合物。粘合剂层的厚度通常为5～50μm的范围。

将此种图案转移用模具2如图5所示地在涂布机18的上游侧贴附在搬送薄膜F上。

在该状态下旋转各辊而将搬送薄膜F沿图5中的箭头X的方向搬送的同时，如图6所示地从涂布机18中喷出树脂组合物25，向图案转移用模具2上涂布树脂组合物25。如图7所示，由于在图案转移用模具2的表面，形成了凹凸图案3，因此在涂布于其上的树脂组合物25中，形成凹凸图案3的反转图案3a。

树脂组合物25是热或光固化性树脂。作为树脂，可以举出丙烯酸树脂、环氧树脂、硅酮树脂。如果是热或光固化性，就可以在图案形成后容易地固化，因此处置十分容易。

树脂组合物25优选含有剥离成分的树脂(以下简称为“剥离性树脂”)。这是因为，如果使用剥离性树脂，则即使在树脂组合物25中形成反转图案后没有形成剥离层，也可以在凹凸图案向转印材料的压印时防止转印材料的附着。作为剥离性树脂，可以举出聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂、丙烯酸系单体与硅酮系单体(包括大分子单体)的共聚物、丙烯酸系单体与氟系单体(包括大分子单体)的共聚物、丙烯酸系聚合物与硅酮系单体的混合物、丙烯酸系聚合物与氟系单体的混合物等，优选硅酮树脂、丙烯酸系单体与硅酮系单体(包括大分子单体)的共聚物。如果是这些树脂，则可以廉价且容易地获得，并且对于利用卷对卷工艺转印凹凸图案的反转图案的转印材料可以充分地发挥剥离性。

另外，在树脂组合物25是热固化性树脂的情况下，优选在树脂基材5、形成树脂层6的树脂、搬送薄膜F及构成双面粘贴胶带9的粘合剂层中含有热传导性填充剂。通过含有热传导性填充剂，可以在更短时间内将树脂组合物25向转印辊12转移。作为热传导性填充剂，例如可以举出氢氧化铝、氢氧化镁、碳酸钙、碳酸镁、硅酸钙、硅酸镁、氧化钙、氧化镁、氧化锌、氧化铝、氧化钛、结晶性二氧化硅、非结晶性二氧化硅、氧化钛、氧化镍、氧化铁、氧化铜、氮化铝、氮化硅、氮化硼、氮化镓、炭黑、碳纳米管、碳纤维、金刚石。

另一方面，在树脂组合物25是光固化性树脂的情况下，树脂基材5、形成树脂层6的树脂、搬送薄膜F构成及双面粘贴胶带9的粘合剂层优选使用透明性高的材料。具体来说，基于JIS K7361的可见光波长区域中的总光线透过率为85％以上，优选为90％以上，更优选为92％以上，基于JIS K7136的浊度为3％以下，优选为1％以下。通过使用透明性高的树脂基材5、形成树脂层6的树脂、搬送薄膜F及构成双面粘贴胶带9的粘合剂层，可以利用后述的光照射器20使树脂组合物25在更短时间内、更加均匀地固化。

3.转移工序

该工序中，通过将树脂组合物25遍及圆柱状的转印辊12的全周地转移并且使树脂组合物25固化，而遍及转印辊12的全周地形成凹凸图案3的反转图案3a。

以下，使用图8～图12对该工序的实施方法的一例进行说明。

上述工序中在将树脂组合物25涂布在图案转移用模具2上后，当继续搬送薄膜F的搬送时，就会如图8所示，在上游侧辊14与转印辊12之间，搬送薄膜F由上游侧辊14向转印辊12的方向推压，由此将图案转移用模具2上的树脂组合物25附着在转印辊12上。当将搬送薄膜F进一步搬送时，图案转移用模具2到达转印辊12的下方，如图9所示，在该位置利用光照射器20将树脂组合物25固化，在树脂组合物25上，形成凹凸图案3的反转图案3a。此后，当将搬送薄膜F进一步搬送，到达下游侧辊14时，搬送薄膜F由设于更下游侧的卷绕辊(未图示)牵拉沿图8的箭头Z的方向移动，而转印辊12仍沿旋转方向移动，因此搬送薄膜F被从转印辊12中分离。此时，固化完毕的树脂组合物25与亲和性更高的一方粘接，因此预先进行对转印辊12的易粘接处理、对图案转移用模具2的剥离处理中的一方或双方，使得树脂组合物25与转印辊12的亲和性高于树脂组合物25与图案转移用模具2的亲和性。通过如此操作，具有反转图案3a的树脂组合物25就如图10所示，向转印辊12转移。

另外，该转移工序中，在转移到转印辊12上的树脂组合物25的头端附近或图案转移用模具2的末端部，为了防止向转移后的树脂组合物25上进一步转移树脂组合物，设有遮蔽材料27。遮蔽材料27具有剥离性，即使在固化前的树脂组合物25附着于遮蔽材料27上的状态下将树脂组合物25固化的情况下，也可以很容易地除去该树脂组合物25。作为遮蔽材料27，除了硅酮树脂、氟树脂、醇酸树脂、长链烷基化合物、以及石蜡等剥离材料以外，还可以使用没有或很少有光透过的颜料、染料、含有这些颜料、染料的塑料薄膜类、聚酰亚胺膜之类的遮蔽紫外线透过的薄膜、使用了铝等的金属膜等。此外还可以利用在转移用模具2的背面形成了镍薄膜的遮光膜。

此后，当像这样继续进行树脂组合物25的转移时，最终就会如图11所示，遍及转印辊12的全周地形成凹凸图案3的反转图案3a。另外，树脂组合物25进入易粘接膜4的两端的对接部的间隙G中，在该状态下被固化，因此将易粘接膜4的两端牢固地接合。

而且，这里，虽然以树脂组合物25是光固化性树脂的情况为例举出进行了说明，然而树脂组合物25也可以是热固化性树脂。该情况下，优选在转印辊12的下侧取代光照射器20而设置加热器，将热固化性树脂适当地加热固化，向转印辊12转移。

对于图案3a，在树脂组合物25并非剥离性树脂的情况下，优选实施与上述的剥离处理相同的剥离处理。

利用以上的工序，得到遍及转印辊12的全周地具有没有中断的反转图案3a的压印用模具。另外，由于该压印用模具不像以往技术那样具有外周的高低差，因此不会产生转印树脂的堆积的问题。

如果使用该压印用模具，则可以在转印材料中连续地形成凹凸图案。具体来说，例如通过在使图1所示的压印装置的各辊旋转而搬送搬送薄膜F的同时，从涂布机18中喷出转印材料(例如光固化性树脂)，而在搬送薄膜F上涂布转印材料，通过向该转印材料推压卷绕在转印辊12上的无缝的压印用模具，在该状态下从光照射器20向转印材料照射使转印材料固化的光而使转印材料固化，就可以在转印材料中连续地形成凹凸图案。

【符号的说明】

2：图案转移用模具、3：凹凸图案、3a：反转图案、4：易粘接膜、5：树脂基材、6：树脂层、8、9：双面粘贴胶带、8a：双面粘贴胶带的两端的对接部、10：隔膜、12：转印辊、14：上游侧辊、16：下游侧辊、18：涂布机、20：光照射器、25：树脂组合物、27：遮蔽材料、F：搬送薄膜、G：间隙。

Claims (10)

1.一种压印用模具的制造方法，其具备：

树脂涂布工序，向具有微细的凹凸图案的图案转移用模具上涂布光或热固化性的树脂组合物；

转移工序，通过将所述树脂组合物遍及圆柱状的转印辊的全周地转移并且使所述树脂组合物固化，而遍及所述转印辊的全周地形成所述凹凸图案的反转图案。

2.如权利要求1所述的制造方法，其中，

所述树脂组合物是光固化性树脂，

所述转移工序中，通过在所述树脂组合物与所述转印辊接触的状态下对所述树脂组合物照射光而将所述树脂组合物固化。

3.如权利要求1或2所述的制造方法，其中，

所述树脂涂布工序中，将所述树脂组合物涂布在载放于以卷对卷形式搬送的搬送薄膜上的所述图案转移用模具上，

所述转移工序中，通过朝向旋转着的所述转印辊搬送涂布有所述树脂组合物的所述图案转移用模具，而遍及所述转印辊的全周地形成所述反转图案。

4.如权利要求1～3中任一项所述的制造方法，其中，

在所述转移工序之前还具备对所述转印辊进行易粘接处理的易粘接处理工序。

5.如权利要求4所述的制造方法，其中，

所述易粘接处理是向所述转印辊上卷绕易粘接膜的处理。

6.如权利要求5所述的制造方法，其中，

所述易粘接膜被以在两端的对接部设置间隙的方式卷绕，向所述间隙中填充所述树脂组合物。

7.如权利要求1～6中任一项所述的制造方法，其中，

所述图案转移用模具是树脂薄膜模具，其表面被进行了剥离处理。

8.如权利要求1～7中任一项所述的制造方法，其中，

所述树脂组合物由剥离性树脂构成。

9.如权利要求1～8中任一项所述的制造方法，其中，

在所述转移工序之后，对所述树脂组合物的表面进行剥离处理。

10.如权利要求1～9中任一项所述的制造方法，其中，

在所述转移工序中，在所述树脂组合物的头端附近或所述图案转移用模具的末端部设置遮蔽材料。