CN104777721B - 抗蚀剂去除剂 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种抗蚀剂去除剂，其原料包括防腐蚀剂、有机胺化合物、有机溶剂、去离子水和C₂～C₁₅一元醇。本发明提供的提供剥离性优异、安全，且不会腐蚀导电体的防腐蚀性优异的抗蚀剂去除剂，其剥离性效果较本发明之前提供的抗蚀剂去除剂的效果更好，且防腐蚀性效果更好，由于防腐蚀剂在在抗蚀剂去除剂中的使用量更低，降低企业生产成本。

Description

抗蚀剂去除剂

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种抗蚀剂去除剂，其剥离性能优异，安全，不会腐蚀导电体的防腐蚀性。

背景技术

IC、LSI等集成电路，LCD、EL元件等显示机器，打印基板等使用热刻蚀技术制造。在该热刻蚀工序中，不需要的抗蚀剂使用抗蚀剂去除剂进行除去。

在该抗蚀剂剥离工序中，之前使用各种抗蚀剂去除剂。但是，近年来对应液晶显示面板或半导体元件的工艺微细化或短时间处理的能力低，期待进一步的性能。目前，含有剥离性优异的胺系化合物的抗蚀剂剥离剂成为主力。

该胺系剥离剂可以分为溶剂系和水系。例如，作为溶剂系剥离剂使用二甲基亚砜(约30重量％)+单乙醇胺(约70重量％)或者单乙醇胺+N-甲基吡咯烷酮等。另一方面，作为水系剥离剂使用水(约20～30重量％)+二甘醇单丁基醚(约20～30重量％)+单乙醇胺(约30～40重量％)、烷基苯磺酸+功能水(臭氧水)、酸系(硫酸+过氧化氢)+功能水(臭氧水)等。

近年来，能够进行水淋洗的水系剥离剂的使用有所扩大。其理由在于水系剥离剂的剥离性优异、而且没有可燃性，是不是危险品。然而，水系剥离剂添加有单乙醇胺。因此，水系剥离剂具有会引起对配线等导电体的腐蚀的缺点。因而，实际上有必要考虑剥离性能和腐蚀性调整单乙醇胺的含量。而且，以抗蚀剂剥离性能和防止对导电体的破坏(腐蚀)为目的，开发了各种抗蚀剂去除剂。

本发明的发明人已经研制出一种剥离性优异、安全，且不会腐蚀导电体的防腐蚀性优异的抗蚀剂去除剂，其采用防腐蚀剂、有机胺化合物、有机溶剂、去离子水和C₂～C₁₅一元醇制备而成，所采用的防腐蚀剂由改性的壳聚糖和苯并咪唑类物质按照质量比2：1的比例混合获得。

本发明在此基础上进一步研究，提供一种新型的抗蚀剂去除剂，在剥离性方面效果更好，且防腐蚀性效果更好，由于防腐蚀剂在在抗蚀剂去除剂中的使用量更低，降低企业生产成本。

发明内容

现有技术以提高抗蚀剂剥离性能和导电体(包含铜(Cu)、铝(Al)等的配线等)的防腐蚀为目的而开发。但是这些技术仍然具有无法完全满足两个目的的问题。本发明鉴于上述问题而完成，其目的在于提供剥离性优异、安全，且不会腐蚀导电体的防腐蚀性优异的抗蚀剂去除剂，其剥离性效果较本发明之前提供的抗蚀剂去除剂的效果更好，且防腐蚀性效果更好，由于防腐蚀剂在在抗蚀剂去除剂中的使用量更低，降低企业生产成本。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种抗蚀剂去除剂，其原料包括防腐蚀剂、胺化合物预混物、有机溶剂、去离子水和C₂～C₁₅一元醇；

所述防腐蚀剂由咪唑啉类物质和苯并咪唑类物质按照质量比1：1的比例混合；

所述抗蚀剂去除剂中各原料的重量分别为防腐蚀剂0.5g～1.5g、胺化合物预混物7g～9g、有机溶剂10g～20g、去离子水50g～70g和C₂～C₁₅一元醇3g～6g。

其中，所述抗蚀剂去除剂中各原料的重量分别为防腐蚀剂1g、胺化合物预混物8g、有机溶剂15g、去离子水60g和C₂～C₁₅一元醇5g。

其中，所述C₂～C₁₅一元醇进一步优选为丁醇、乙醇、异丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。

其中，所述防腐蚀剂中的咪唑啉类物质具体为羟乙基-油酸咪唑啉，其结构式如下：

其中，所述羟乙基-油酸咪唑啉的制备方法具体为：

将油酸1L，羟乙基乙二胺400mL加入到2.5L反应容器中，反应容器接有分水器和冷凝管，随后在反应容器中加入450ml二甲苯作为携水剂，开动搅拌机，升温至150度开始回流，有水生成，回流2小时后升温至230度，反应6小时，反应结束，减压蒸出多余的溶剂，再将产物在干燥箱中干燥完全，得到产物。

其中，所述胺化合物预混物由下式表示的咪唑啉酮甲酰胺化合物和三乙醇胺按照质量比1:3的比例制备而成

其中，所述咪唑啉酮甲酰胺化合物的制备方法包括：

第一步，将50g 4-氯苯乙酮和20ml冰醋酸依次投入到300ml的反应容器中，室温机械搅拌下滴加45g溴液，保持1ml/min，加毕，继续反应1小时，反应液倒入饱和碳酸钠溶液中，调节pH值至中性，用含有冰块的二氯甲烷萃取，萃取液用饱和碳酸钠洗涤两次，水洗涤依次，有机层用无水硫酸钠干燥，减压除去二氯甲烷，固体用石油醚洗涤，抽滤，得到7.5g固体，即为4-氯-α-溴代苯乙酮；

第二步，在1L反应容器中依次加入6g 4-氯-α-溴代苯乙酮和50ml溶剂三氯甲烷，搅拌溶解，加入5g乌洛托品，室温反应2小时，过滤，水洗去除过量的乌洛托品，滤饼用少量丙酮洗涤，干燥后得到白色固体9g，将9g白色固体、25ml无水乙醇依次加入50ml反应容器中，搅拌成悬混液，缓慢滴加12ml盐酸，滴加完毕，室温反应过夜，冰浴冷却，过滤，滤饼用少量乙醇洗涤，干燥后获得白色固体5g，即为氯代氨基苯乙酮盐酸盐；

第三步，在250ml的反应容器中加入50g固体光气和100ml无水甲苯，氮气保护条件下搅拌溶解，冰盐浴冷却，缓慢滴加由15ml苯胺和30ml无水甲苯配成的混合溶液，保持内温在0度以下，约1小时后滴加完毕，继续室温反应1小时，改为油浴加热，慢慢升温至回流，越3小时后，反应澄清，停止反应，常压蒸去甲苯，残留液经减压蒸馏得产物15g，即为苯基异氰酸酯；

第四步，于250ml反应容器中依次加入9.5g氯代氨基苯乙酮盐酸盐和170ml无水甲苯，搅拌均匀混悬，随后加入5g苯基异氰酸酯，在氮气保护的条件下加热回流过夜，随后，停止反应，冷却，抽滤除去过量的氯代氨基苯乙酮盐酸盐，采用氯仿50mL×3洗涤，合并滤液，依次用饱和碳酸氢钠，饱和氯化钠溶液洗涤，有机层通过无水硫酸钠干燥，减压回收溶剂后，得到固体，通过硅胶柱纯化，洗脱液为乙酸乙酯：石油醚＝2:1，得到纯化固体6.8g。

本发明还提供了上述剥离剂的制备方法：将所述各原料按重量混合，室温搅拌2小时，并使用0.1μm的过滤器将其过滤，以制备剥离剂溶液。

本发明的有益效果:

本发明提供的提供剥离性优异、安全，且不会腐蚀导电体的防腐蚀性优异的抗蚀剂去除剂，其剥离性效果较本发明之前提供的抗蚀剂去除剂的效果更好，且防腐蚀性效果更好，由于防腐蚀剂在在抗蚀剂去除剂中的使用量更低，降低企业生产成本。

附图说明

图1为咪唑啉酮甲酰胺化合物的¹HNMR谱图；

图2为羟乙基-油酸咪唑啉的红外谱图；

图3为改性壳聚糖的FTIR谱图，其中，a-壳聚糖；b-终产物。

具体实施方式

本发明提供了一种抗蚀剂去除剂，其原料包括防腐蚀剂、胺化合物预混物、有机溶剂、去离子水和C₂～C₁₅一元醇。

进一步，所述抗蚀剂去除剂仅由上述原料构成。

所述抗蚀剂去除剂中各原料的重量分别为防腐蚀剂0.5g～1.5g、胺化合物预混物7g～9g、有机溶剂10g～20g、去离子水50g～70g和C₂～C₁₅一元醇3g～6g。

进一步优选，所述抗蚀剂去除剂中各原料的重量分别为防腐蚀剂1g、胺化合物预混物8g、有机溶剂15g、去离子水60g和C₂～C₁₅一元醇5g。

所述C₂～C₁₅一元醇进一步优选为丁醇、乙醇、异丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。

所述防腐蚀剂由咪唑啉类物质和苯并咪唑类物质按照质量比1：1的比例混合获得，本申请创造性的发现通过将羟乙基-油酸咪唑啉和2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑联合使用，在提高对铜(Cu)、铝(Al)材料配线的防腐蚀性方面，具有显著的效果，能够有效防止本发明提供的特殊的胺化合物预混物在剥离抗蚀剂过程中对基材的腐蚀，而经过大量实验，采用其他类型的防腐蚀剂均无法有效的防止本发明提供的胺化合物预混物的。

所述羟乙基-油酸咪唑啉的制备方法具体为：

将油酸1L，羟乙基乙二胺400mL加入到2.5L反应容器中，反应容器接有分水器和冷凝管，随后在反应容器中加入450ml二甲苯作为携水剂，开动搅拌机，升温至150度开始回流，有水生成，回流2小时后升温至230度，反应6小时，反应结束，减压蒸出多余的溶剂，再将产物在干燥箱中干燥完全，得到产物。

羟乙基-油酸咪唑啉的结构式如下：

所述苯并咪唑类物质具体为2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑，其结构式具体为下式所示：

所述2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑的制备方法具体为

向2-硝基-4-二氟甲氧基苯胺(4g,0.02mol)的95％乙醇(50ml)溶液中加入水合肼(2.52g质量分数为80％的溶液，0.04mol)、Raney-Ni(0.2g),60℃保温2h，补加Raney-Ni(0.2g)，然后回流4h，滤去催化剂，向滤液中加入乙氧基磺原酸钾(4.2g,0.026mol),在80℃下加热回流4h.静置冷却,将反应液倒入200ml水中，出现大量黄色沉淀，加稀盐酸调节至pH₃，转变为白色固体，过滤，水洗至滤液呈中性，滤饼溶于适量氢氧化钠溶液中，活性炭脱色,再重复上述操作，得白色粉末。

所述有机溶剂包括一种或多种选自以下的物质：N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮(DMI)、二甲基亚砜(DMSO)、二甲基乙酰胺(DMAc)、二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基甲酰胺(NMF)、环丁砜、丁基二乙二醇(BDG)、乙基二乙二醇(EDG)、甲基二乙二醇(MDG)、三乙二醇(TEG)、二乙二醇单乙醚(DEM)、二乙二醇单丁醚、及其混合物。

所述胺化合物预混物由下式表示的咪唑啉酮甲酰胺化合物和三乙醇胺按照质量比1：3混合而成，通过这两种特殊的有机胺化合物配合使用，可以显著提高抗蚀剂的剥离效果。

所述咪唑啉酮甲酰胺化合物的制备方法具体为：

第一步，将50g 4-氯苯乙酮和20ml冰醋酸依次投入到300ml的反应容器中，室温机械搅拌下滴加45g溴液，保持1ml/min，加毕，继续反应1小时，反应液倒入饱和碳酸钠溶液中，调节pH值至中性，用含有冰块的二氯甲烷萃取，萃取液用饱和碳酸钠洗涤两次，水洗涤依次，有机层用无水硫酸钠干燥，减压除去二氯甲烷，固体用石油醚洗涤，抽滤，得到7.5g固体，即为4-氯-α-溴代苯乙酮；

第二步，在1L反应容器中依次加入6g 4-氯-α-溴代苯乙酮和50ml溶剂三氯甲烷，搅拌溶解，加入5g乌洛托品，室温反应2小时，过滤，水洗去除过量的乌洛托品，滤饼用少量丙酮洗涤，干燥后得到白色固体9g，将9g白色固体、25ml无水乙醇依次加入50ml反应容器中，搅拌成悬混液，缓慢滴加12ml盐酸，滴加完毕，室温反应过夜，冰浴冷却，过滤，滤饼用少量乙醇洗涤，干燥后获得白色固体5g，即为氯代氨基苯乙酮盐酸盐；

第三步，在250ml的反应容器中加入50g固体光气和100ml无水甲苯，氮气保护条件下搅拌溶解，冰盐浴冷却，缓慢滴加由15ml苯胺和30ml无水甲苯配成的混合溶液，保持内温在0度以下，约1小时后滴加完毕，继续室温反应1小时，改为油浴加热，慢慢升温至回流，越3小时后，反应澄清，停止反应，常压蒸去甲苯，残留液经减压蒸馏得产物15g，即为苯基异氰酸酯；

第四步，于250ml反应容器中依次加入9.5g氯代氨基苯乙酮盐酸盐和170ml无水甲苯，搅拌均匀混悬，随后加入5g苯基异氰酸酯，在氮气保护的条件下加热回流过夜，随后，停止反应，冷却，抽滤除去过量的氯代氨基苯乙酮盐酸盐，采用氯仿50mL×3洗涤，合并滤液，依次用饱和碳酸氢钠，饱和氯化钠溶液洗涤，有机层通过无水硫酸钠干燥，减压回收溶剂后，得到固体，通过硅胶柱纯化，洗脱液为乙酸乙酯：石油醚＝2:1，得到纯化固体6.8g。

本发明还提供了上述剥离剂的制备方法：将所述各原料按重量混合，室温搅拌2小时，并使用0.1μm的过滤器将其过滤，以制备剥离剂溶液。

以下采用实施例来详细说明本发明的实施方式，借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。

实施例1咪唑啉酮甲酰胺化合物的制备

将50g 4-氯苯乙酮和20ml冰醋酸依次投入到300ml的反应容器中，室温机械搅拌下滴加45g溴液，保持1ml/min，加毕，继续反应1小时，反应液倒入饱和碳酸钠溶液中，调节pH值至中性，用含有冰块的二氯甲烷萃取，萃取液用饱和碳酸钠洗涤两次，水洗涤依次，有机层用无水硫酸钠干燥，减压除去二氯甲烷，固体用石油醚洗涤，抽滤，得到7.5g固体，即为4-氯-α-溴代苯乙酮；在1L反应容器中依次加入6g 4-氯-α-溴代苯乙酮和50ml溶剂三氯甲烷，搅拌溶解，加入5g乌洛托品，室温反应2小时，过滤，水洗去除过量的乌洛托品，滤饼用少量丙酮洗涤，干燥后得到白色固体9g，将9g白色固体、25ml无水乙醇依次加入50ml反应容器中，搅拌成悬混液，缓慢滴加12ml盐酸，滴加完毕，室温反应过夜，冰浴冷却，过滤，滤饼用少量乙醇洗涤，干燥后获得白色固体5g，即为氯代氨基苯乙酮盐酸盐；在250ml的反应容器中加入50g固体光气和100ml无水甲苯，氮气保护条件下搅拌溶解，冰盐浴冷却，缓慢滴加由15ml苯胺和30ml无水甲苯配成的混合溶液，保持内温在0度以下，约1小时后滴加完毕，继续室温反应1小时，改为油浴加热，慢慢升温至回流，越3小时后，反应澄清，停止反应，常压蒸去甲苯，残留液经减压蒸馏得产物15g，即为苯基异氰酸酯,于250ml反应容器中依次加入9.5g氯代氨基苯乙酮盐酸盐和170ml无水甲苯，搅拌均匀混悬，随后加入5g苯基异氰酸酯，在氮气保护的条件下加热回流过夜，随后，停止反应，冷却，抽滤除去过量的氯代氨基苯乙酮盐酸盐，采用氯仿50mL×3洗涤，合并滤液，依次用饱和碳酸氢钠，饱和氯化钠溶液洗涤，有机层通过无水硫酸钠干燥，减压回收溶剂后，得到固体，通过硅胶柱纯化，洗脱液为乙酸乙酯：石油醚＝2:1，得到纯化固体6.8g。

产物的¹HNMR分析，见图1

¹HNMR(CDCl₃)δ:10.09(s,1H),7.60-7.62(m,2H),7.36-7.47(m,6H),7.33(s,1H),7.23-7.29(m,3H),7.17(m,1H),7.04-7.07(m,2H)。

实施例2 2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑的制备

向2-硝基-4-二氟甲氧基苯胺(4g,0.02mol)的95％乙醇(50ml)溶液中加入水合肼(2.52g质量分数为80％的溶液，0.04mol)、Raney-Ni(0.2g),60℃保温2h，补加Raney-Ni(0.2g)，然后回流4h，滤去催化剂，向滤液中加入乙氧基磺原酸钾(4.2g,0.026mol),在80℃下加热回流4h.静置冷却，将反应液倒入200ml水中，出现大量黄色沉淀，加稀盐酸调节至pH₃，转变为白色固体，过滤，水洗至滤液呈中性，滤饼溶于适量氢氧化钠溶液中，活性炭脱色,再重复上述操作，得白色粉末，即为2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑。

实施例3羟乙基-油酸咪唑啉的制备

将油酸1L，羟乙基乙二胺400mL加入到2.5L反应容器中，反应容器接有分水器和冷凝管，随后在反应容器中加入450ml二甲苯作为携水剂，开动搅拌机，升温至150度开始回流，有水生成，回流2小时后升温至230度，反应6小时，反应结束，减压蒸出多余的溶剂，再将产物在干燥箱中干燥完全，得到产物。

产物的红外谱图结果，见图2。

通过红外光谱可知，在3289.30cm^-1附近有一个宽而钝的吸收峰,是-N-H伸展振动吸收峰；2924.96cm^-1和2853.59cm^-1处为-CH₂-键的对称和反对称伸缩振动吸收峰；在1463.04cm^-1的吸收峰为-CH₂-的反对称弯曲振动吸收峰；对应723.64cm^-1处的中等强度的吸收峰为长链烧基中-CH₂-键平面摇摆振动吸收峰，说明目标物结构中存在4个或4个以上的-CH₂-相连的链状结构。1603.34cm^-1为C＝N的伸缩振动吸收峰，是咪唑啉环的特征吸收峰,说明分子中含有咪唑啉环；在1649.96cm^-1处有一个较弱的吸收峰，为C＝C的伸缩振动吸收峰，表明了碳碳双键的存在。

实施例4改性的壳聚糖的制备

称取2.0g壳聚糖于40mL蒸馏水中，搅拌溶胀过夜，用稀乙酸溶液调节体系pH值至4～5，加入0.60g的4-咪唑甲醛，95℃反应10h。用稀NaOH溶液调节pH值至中性，用NaBH₄还原，产物在丙酮溶液中析出，过滤后用90％乙醇洗至中性，再用无水乙醇索氏提取48h，45℃真空干燥得中间产物，称取1.0g的中间产物加入40mL的NMP溶液中，搅拌溶胀过夜。加入2.4gNaI和6mL 15％NaOH溶液，60℃搅拌20min后加入6mL CH₃I，反应2h。再加入3mL15％NaOH溶液和3mL CH₃I，继续反应2h。倒入乙醇/乙醚(体积比为＝1∶1)中，过滤，乙醚洗涤。分别用NaCl溶液和蒸馏水透析(截留分子量8000～14000)3天，离心后上清液冷冻干燥得到产物，即为季胺化的壳聚糖。

产物的FTTR分析

采用KBr压片法测得壳聚糖和终产物的红外光谱图如图3所示，曲线a为壳聚糖的FTIR图，曲线b为终产物的FTIR图。与曲线a相比，曲线b在3354cm^－1附近的吸收峰有所减弱，表明取代发生在壳聚糖分子链的氨基和羟基上；1629cm^－1和1577cm^－1处出现的新峰为咪唑杂环上C＝C和C＝N的振动吸收峰；1417cm^－1、902cm^－1和869cm^－1处为咪唑杂环上C－H的振动吸收峰，1477cm^－1处为—N⁺(CH₃)₃的C－H振动吸收峰。

实施例5剥离剂1的制备

将实施例2制备的2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑0.5g、实施例3制备的羟乙基-油酸咪唑啉0.5g、实施例1制备的咪唑啉酮甲酰胺化合物2g、三乙醇胺6g、有机溶剂N-甲基吡咯烷酮15g、去离子水60g和乙醇5g混合，室温搅拌2小时，并使用0.1μm的过滤器将其过滤，以制备剥离剂1。

比较例1剥离剂2的制备

将实施例4制备的季胺化的壳聚糖2g、实施例2制备的2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑1g，实施例3制备的哌嗪羟酰氯5g，羟乙基哌嗪5g，有机溶剂N-甲基吡咯烷酮15g、去离子水60g和乙醇5g混合，室温搅拌2小时，并使用0.1μm的过滤器将其过滤，获得剥离剂2。

比较例2剥离剂4的制备

将实施例4制备的季胺化的壳聚糖0.5g、实施例2制备的2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑0.5g、实施例1制备的咪唑啉酮甲酰胺化合物2g、三乙醇胺6g、有机溶剂N-甲基吡咯烷酮15g、去离子水60g和乙醇5g混合，室温搅拌2小时，并使用0.1μm的过滤器将其过滤，以制备剥离剂3。

比较例3剥离剂5的制备

将实施例2制备的2-巯基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑0.5g、实施例3制备的羟乙基-油酸咪唑啉0.5g、三乙醇胺6g、有机溶剂N-甲基吡咯烷酮15g、去离子水60g和乙醇5g混合，室温搅拌2小时，并使用0.1μm的过滤器将其过滤，以制备剥离剂1。

剥离试验

剥离性能利用下述2个评价法评价。

抗蚀剂剥离性-1：在约30ml的样品瓶中放入约5ml剥离剂和1张上述制作的抗蚀基板的试验片，在规定温度下搅拌的同时，测定液中的玻璃基板变为无色透明的时间，如下进行判断。

○：至变为透明的时间小于25秒钟；

△：至变为透明的时间为25秒钟-40秒钟。

×：至变为透明的时间为40秒钟以上。

实施例5和比较例1至比较例2的搅拌的温度为室温。

抗蚀剂剥离性-2：在约30ml的样品瓶中放入约5ml剥离剂和1张上述制作的抗蚀基板的试验片，在规定温度下搅拌约60秒钟，使其剥离后，取出抗蚀基板，立即进行丙酮淋洗后，观察在约50℃下干燥约30分钟后的表面，如下进行判断。

○：玻璃基板表面上完全没有发雾部分，抗蚀剂被完全地洗涤剥离；

△：玻璃基板表面上稍有发雾部分，抗蚀剂几乎被洗涤剥离；

×：玻璃基板表面的一半以上发雾，洗涤剥离不充分，相当部分地抗蚀剂残存。

腐蚀试验

防腐蚀性能按照以下2个评价法评价。

防腐蚀性-1：在约30ml的样品瓶中放入剥离剂，在其中团入直径约0.5mm的铜线约100mm使其浸渍，观察1周后的着色程度，如下进行判断。

○：完全没有变色；

△：稍微变色为淡蓝色；

×：明显地变色为蓝色。

防腐蚀性-2：制作Mo(钼)/Al/Mo的层压配线基板，将该试验片(约10mm×5mm)放入约30ml的样品瓶中，添加约5ml剥离剂，在约40℃下浸渍约5分钟。在浸渍-腐蚀操作后，按照以下顺序进行观察，如下进行判断。

顺序1进行IPA淋洗、顺序2进行丙酮淋洗、顺序3进行在约50℃下干燥约30分钟，利用SEM(扫描电子显微镜)观察Al的腐蚀程度。

○：完全没有变化；

△：Al稍有溶出，观察到腐蚀；

×：Al明显地溶出，观察到严重的腐蚀。

结果见表1。

表1剥离和防腐蚀性能比较

从表1可以看出，采用本发明提供的胺化合物混合物可以缩短剥离时间，而配合本发明提供的剥离剂，可以很好的提高防腐蚀性能，而采用壳聚糖的剥离剂无法保证采用本发明提供的胺化合物混合物剥离抗蚀剂时的防腐蚀性能。

所有上述的首要实施这一知识产权，并没有设定限制其他形式的实施这种新产品和/或新方法。本领域技术人员将利用这一重要信息，上述内容修改，以实现类似的执行情况。但是，所有修改或改造基于本发明新产品属于保留的权利。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非是对本发明作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (6)

1.一种抗蚀剂去除剂，其特征在于，包括：防腐蚀剂、胺化合物预混物、有机溶剂、去离子水和C₂～C₁₅一元醇；

所述防腐蚀剂由咪唑啉类物质和苯并咪唑类物质按照质量比1：1的比例混合；

所述防腐蚀剂中的咪唑啉类物质具体为羟乙基-油酸咪唑啉，其结构式如下：

所述胺化合物预混物由下式表示的咪唑啉酮甲酰胺化合物和三乙醇胺按照质量比1:3的比例制备而成

所述抗蚀剂去除剂中各原料的重量分别为防腐蚀剂0.5g～1.5g、胺化合物预混物7g～9g、有机溶剂10g～20g、去离子水50g～70g和C₂～C₁₅一元醇3g～6g。

2.如权利要求1所述的抗蚀剂去除剂，其特征在于：所述抗蚀剂去除剂中各原料的重量分别为防腐蚀剂1g、胺化合物预混物8g、有机溶剂15g、去离子水60g和C₂～C₁₅一元醇5g。

3.如权利要求1或2所述的抗蚀剂去除剂，其特征在于：所述C₂～C₁₅一元醇为丁醇、乙醇、异丙醇、丙醇、庚醇或辛醇。

4.如权利要求1或2所述的抗蚀剂去除剂，其特征在于：所述羟乙基-油酸咪唑啉的制备方法具体为：

将油酸1L，羟乙基乙二胺400mL加入到2.5L反应容器中，反应容器接有分水器和冷凝管，随后在反应容器中加入450ml二甲苯作为携水剂，开动搅拌机，升温至150度开始回流，有水生成，回流2小时后升温至230度，反应6小时，反应结束，减压蒸出多余的溶剂，再将产物在干燥箱中干燥完全，得到产物。

5.如权利要求1或2所述的抗蚀剂去除剂，其特征在于：所述咪唑啉酮甲酰胺化合物的制备方法包括，

第一步，将50g 4-氯苯乙酮和20ml冰醋酸依次投入到300ml的反应容器中，室温机械搅拌下滴加45g溴液，保持1ml/min，加毕，继续反应1小时，反应液倒入饱和碳酸钠溶液中，调节pH值至中性，用含有冰块的二氯甲烷萃取，萃取液用饱和碳酸钠洗涤两次，水洗涤一次，有机层用无水硫酸钠干燥，减压除去二氯甲烷，固体用石油醚洗涤，抽滤，得到7.5g固体，即为4-氯-α-溴代苯乙酮；

第二步，在1L反应容器中依次加入6g 4-氯-α-溴代苯乙酮和50ml溶剂三氯甲烷，搅拌溶解，加入5g乌洛托品，室温反应2小时，过滤，水洗去除过量的乌洛托品，滤饼用少量丙酮洗涤，干燥后得到白色固体9g，将9g白色固体、25ml无水乙醇依次加入50ml反应容器中，搅拌成悬混液，缓慢滴加12ml盐酸，滴加完毕，室温反应过夜，冰浴冷却，过滤，滤饼用少量乙醇洗涤，干燥后获得白色固体5g，即为氯代氨基苯乙酮盐酸盐；

第三步，在250ml的反应容器中加入50g固体光气和100ml无水甲苯，氮气保护条件下搅拌溶解，冰盐浴冷却，缓慢滴加由15ml苯胺和30ml无水甲苯配成的混合溶液，保持内温在0度以下，1小时后滴加完毕，继续室温反应1小时，改为油浴加热，慢慢升温至回流，3小时后，反应澄清，停止反应，常压蒸去甲苯，残留液经减压蒸馏得产物15g，即为苯基异氰酸酯；

第四步，于250ml反应容器中依次加入9.5g氯代氨基苯乙酮盐酸盐和170ml无水甲苯，搅拌均匀混悬，随后加入5g苯基异氰酸酯，在氮气保护的条件下加热回流过夜，随后，停止反应，冷却，抽滤除去过量的氯代氨基苯乙酮盐酸盐，采用氯仿50mL×3洗涤，合并滤液，依次用饱和碳酸氢钠，饱和氯化钠溶液洗涤，有机层通过无水硫酸钠干燥，减压回收溶剂后，得到固体，通过硅胶柱纯化，洗脱液为乙酸乙酯：石油醚＝2:1，得到纯化固体6.8g。

6.权利要求1或2所述抗蚀剂去除剂的制备方法，其特征在于：将所述各原料按重量混合，室温搅拌2小时，并使用0.1μm的过滤器将其过滤，以制备抗蚀剂去除剂溶液。