CN104752261A - 晶圆吹扫装置、系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆吹扫装置、系统及方法，其中装置包括：包括输送装置、充气嘴、电控气动装置、控制器以及连通充气嘴和电控气动装置的气路；电控气动装置，用于在启动充气后，驱动输送装置到达预设工作位置处，使充气嘴和前开式晶圆盒的充气口对接，并向气路中提供吹扫气体；终止充气后，驱动输送装置到达预设非工作位置处。本发明提供的晶圆吹扫装置、系统及方法，通过将晶圆吹扫装置安装在现有设备装载部中，实现了在制程前或制程后对前开式晶圆盒里面晶圆灵活进行吹扫，可以手动控制，也可以自动控制，提高了生产效率和产品良率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体器件制造技术领域，特别是涉及一种晶圆吹扫装置，系统及方法。
背景技术
在半导体的制造工序中，为了提高的芯片的品质及成品率，需要在高清洁的环境中对晶圆(Wafer)进行处理。目前，采用的基本装置包括：前开式晶圆盒（Front-OpeningUnifiedPod，FOUP），用于在高清洁的环境中输送和保管Wafer；装载部（LoadPort），用于在FOUP与半导体制造装置之间取出和放入FOUP内的Wafer，并且在FOUP与输送装置之间进行FOUP的交接。
半导体制造包括多次的薄膜沉积过程，在前一次沉积完成后，置于FOUP中的Wafer，需经过相当长时间后才进行下一次沉积。为防止在该时间段内Wafer与FOUP中的空气发生反应，影响Wafer质量，通常会向FOUP中充入氮气或其它低活性的气体作为净化气体以保护Wafer。
目前采用的充气吹扫方法是，待工艺完成后，首先从LoadPort上卸载装有wafer的FOUP，再将FOUP搬运至专用的氮气填充系统，由氮气填充系统向FOUP中充入氮气或其它低活性的气体，对FOUP中wafer上的残余气体进行吹扫。
随着技术进步，半导体（IC，LED，MEMS等）尺寸线宽越来越小，对芯片洁净度的要求也越发严格。工艺后，残余的气体如果没有完全被吹扫干净，有部分残留在wafer表面，就会导致Wafer产品缺陷，降低良率。一般情况下，FOUP中装25片wafer，采用上述充气吹扫方法，只能等到25片wafer都完成工艺后一起拿去吹扫，不同制程的wafer不能单独吹扫，吹扫不及时，从而影响产品良率；另一方面，等到25片wafer都完成工艺后一起拿到专用充气设备进行吹扫，浪费时间，而且设置单独的专用充气设备也占用工厂空间；此外，采用专用充气设备进行吹扫后很难保持FOUP正压。所谓保持FOUP正压，即FOUP内部的空气压力大于外部，从而避免环境颗粒进入FOUP内部。采用上述独立设置的专用充气设备进行吹扫容易受到工厂环境影响，特别是环境中SO4等腐蚀性成分的轻微变化就可能使Wafer的缺陷明显增加,甚至毁掉整个制程，产品稳定性受到影响。
发明内容
基于上述问题，本发明提供了一种晶圆吹扫装置、系统及方法，晶圆吹扫装置安装在现有的装载部中，方便地对前开式晶圆盒中的晶圆进行充气吹扫，操作简单。
为实现本发明目的而提供的一种晶圆吹扫装置，包括输送装置、充气嘴、电控气动装置、控制器以及连通所述充气嘴和所述电控气动装置的气路；
所述气路上设置有压力表和调压阀；
所述压力表为可反馈读值式压力表，所述压力表用于测量所述气路中的充气压力，并将所述气路中的当前充气压力信息反馈给所述控制器；
所述调压阀，用于调节所述气路中的充气压力；
所述充气嘴的一端用于和前开式晶圆盒的充气口对接，另一端通过弹性连接导向装置与所述输送装置连接，所述充气嘴用于利用所述气路中的吹扫气体对所述前开式晶圆盒中的晶圆进行吹扫；
所述输送装置为可反馈输送位置式输送装置，所述输送装置用于输送所述充气嘴，并将当前输送位置信息反馈给所述控制器；
所述电控气动装置，用于在启动充气后，驱动所述输送装置到达预设工作位置处，使所述充气嘴和所述前开式晶圆盒的充气口对接，并向所述气路中提供所述吹扫气体；终止充气后，驱动所述输送装置到达预设非工作位置处；
所述控制器，用于控制所述电控气动装置驱动所述输送装置对所述充气嘴进行输送，并控制所述电控气动装置启动充气或终止充气。
其中，所述控制器包括手动/自动转换器、手动开关及自动控制装置；
所述手动/自动转换器，用于选择充气控制方式，所述充气控制方式包括手动方式及自动方式；
所述手动开关，用于手动控制所述电控气动装置启动或终止充气；
所述自动控制装置，包括自动启动单元及自动终止单元；
所述自动启动单元，用于根据上级自动生产中心发送的充气控制指令控制所述电控气动装置启动充气；
所述自动终止单元，用于根据预设充气时间或预设充气压力控制所述电控气动装置终止充气。
其中，所述自动终止单元包括计时器、压力设置器及时间/压力转换开关；
所述计时器，用于设定所述预设充气时间，并记录当前充气时间，将所述预设充气时间与所述当前充气时间反馈至所述时间/压力转换开关；
所述压力设置器，用于设定所述预设充气压力，并监控当前充气压力，将所述预设充气压力与所述当前充气压力的值反馈至所述时间/压力转换开关；
所述时间/压力转换开关，用于判断当前的充气时间是否超过所述预设充气时间，若判断为是，则控制所述电控气动装置终止充气；
所述时间/压力转换开关，还用于判断所述当前充气压力是否超过所述预设充气压力，若判断是，则控制所述电控气动装置终止充气。
其中，所述控制器还包括蜂鸣器；
所述蜂鸣器，用于当所述输送装置不在所述预设的工作位置时，同时也不在所述预设的非工作位置时，进行鸣叫提示。
其中，所述充气嘴的一端为软性可密封材质，用于和所述前开式晶圆盒的充气口对接；另一端的预设位置处设置有限位装置，所述限位装置用于限定所述充气嘴在所述弹性连接导向装置中的弹性活动位移。
其中，所述输送装置为升降式气缸，所述升降式气缸与所述电控气动装置之间设置有驱动气路；
所述驱动气路，用于传输驱动气体，驱动所述升降式气缸上升至所述预设工作位置处，或下降至所述非工作位置处。
为实现本发明目的还提供一种晶圆吹扫系统，包括生产自动控制中心、装载部及前开式晶圆盒，还包括上述任意一项实施例所述的晶圆吹扫装置；
所述晶圆吹扫装置安装在所述装载部中，所述装载部上设置有通孔；工作时，所述晶圆吹扫装置的充气嘴通过所述通孔伸出所述装载部，并与所述前开式晶圆盒的充气口对接，对所述前开式晶圆盒中的晶圆进行充气吹扫；
所述生产自动控制中心，用于在所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后，接收所述装载部发送的所述前开式晶圆盒的ID信息，并根据预编程序向所述晶圆吹扫装置的控制器发送充气控制指令。
其中，所述晶圆吹扫装置与所述装载部之间设置互锁电路；
所述互锁电路，用于互锁所述晶圆吹扫装置与所述装载部；
当所述晶圆吹扫装置的输送装置在工作位置时，所述互锁电路锁死所述装载部，不能向所述装载部发送动作指令，若有人为要求相应指令发送时，系统显示报警信息给予提醒；
当所述晶圆吹扫装置的输送装置在预设非工作位置时，所述互锁电路解锁所述装载部，所述装载部才可以动作运行。
相应的，为实现本发明目的还提供一种晶圆吹扫方法，用于在制程前或制程后对前开式晶圆盒中的晶圆进行吹扫，包括以下步骤：
所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,启动控制器；
所述控制器向电控气动装置发送启动指令，控制所述电控气动装置驱动输送装置到达所述预设工作位置处，使充气嘴和所述前开式晶圆盒的充气口对接；
所述控制器向所述电控气动装置发送充气指令，控制所述电控气动装置打开充气开关，对所述前开式晶圆盒中的晶圆进行充气吹扫；
充气完成后，所述控制器向所述电控气动装置发送终止指令，控制所述电控气动装置关闭所述充气开关，并驱动所述输送装置回到预设非工作位置处。
其中，所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
在所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,通过手动/自动转换器，选择自动控制方式；
装载部识别所述前开式晶圆盒的ID，并将所述前开式晶圆盒的ID发送给生产自动控制中心；
所述生产自动控制中心根据预编程序所述控制器发送充气控制指令，启动所述控制器。
其中，所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
在所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后,通过手动/自动转换器，选择手动控制方式；
选择时间/压力转换开关中的时间开关；
通过所述控制器中的计时器手动设定充气时间；
打开所述控制器中的手动开关。
其中，所述打所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
在所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后,通过手动/自动转换器，选择手动控制方式；
选择时间/压力转换开关中的压力开关；
通过所述控制器中的计时器手动设定充气压力；
打开所述控制器中的手动开关。
其中，所述电控气动装置驱动所述输送装置回到预设非工作位置后，包括如下步骤:
所述控制器向所述生产自动控制中心发送充气完成指令。
本发明的有益效果为：本发明的晶圆吹扫装置、系统及方法，通过将晶圆吹扫装置安装在现有设备装载部中，实现了在制程前或制程后对前开式晶圆盒里面晶圆灵活进行吹扫，可以自动控制，不占用额外的工厂空间，提高了工厂空间的利用率，也节约了人力物力和时间,提高了生产效率和产品良率，并且吹扫完成保持前开式晶圆盒里面是正压，防止了工厂环境对前开式晶圆盒里面晶圆的污染，进一步提高了晶圆良率的稳定性。
附图说明
图1是本发明晶圆吹扫装置的一个实施例的结构图；
图2是图1中本发明晶圆吹扫装置中的控制器的一个实施例的结构图；
图3是本发明晶圆吹扫系统的一个实施例的结构图；
图4是本发明晶圆吹扫方法的一个实施例的流程图。
具体实施方式
下面结合说明书附图，对本发明实施例中的晶圆吹扫装置、系统及方法的具体实施方式进行说明。
实施例一：
本发明实施例提供的一种晶圆吹扫装置，如图1所示，包括输送装置1、充气嘴2、电控气动装置3、控制器7以及连通充气嘴2和电控气动装置3的气路4；
气路4上设置有压力表5和调压阀6；
压力表5为可反馈读值式压力表，压力表5用于测量气路4中的充气压力，并将气路4中的当前充气压力信息反馈给控制器7；
调压阀6，用于调节气路4中的充气压力；
充气嘴2的一端用于和FOUP的充气口对接，另一端通过弹性连接导向装置8与输送装置1连接，充气嘴2用于利用气路4中的吹扫气体对FOUP中的wafer进行吹扫；
输送装置1为可反馈输送位置式输送装置，输送装置1用于输送充气嘴2，并将当前输送位置信息反馈给控制器7；
电控气动装置3，用于在启动充气后，驱动输送装置1到达预设工作位置处，使充气嘴2和FOUP的充气口对接，向气路4中提供吹扫气体；终止充气后，驱动输送装置1到达预设非工作位置处；
控制器7，用于控制电控气动装置3驱动输送装置1对充气嘴2进行输送，并控制电控气动装置3启动充气或终止充气。
工作时，控制器7向电控气动装置3发送启动指令，电控气动装置3驱动输送装置1到达预设工作位置处，使充气嘴2和FOUP的充气口对接；然后控制器7通过充气指令打开电控气动装置3的充气开关，电控气动装置3开始向气路4中充入吹扫气体，对FOUP中的wafer进行充气吹扫；吹扫结束后，电控气动装置终止充气，并驱动输送装置1回到预设非工作位置处，充气结束。
需要说明的是，输送装置为可反馈输送位置式输送装置，可将当前输送位置信息反馈给控制器，当控制器接收到的输送装置返回的当前输送位置信息与预设工作位置信息一致时，则说明输送装置已经到达预设工作位置处，控制器向电控气动装置发送充气指令，开始充气。
晶圆吹扫装置使用时安装在生产机台LoadPort的内部，可根据需要在制程前或制程后对FOUP中的wafer灵活进行吹扫，不占用额外的生产空间，节约了时间和空间，提高了生产效率；而且，避免了由LoadPort外部专用的吹扫设备对FOUP中的wafer吹扫所带来的不能保持FOUP正压的问题，有效减少了周围环境对产品良率的影响。
较佳地，作为一种可实施方式，如图2所示，控制器7包括手动/自动转换器71、手动开关72及自动控制装置73；
手动/自动转换器71，用于选择充气控制方式，充气控制方式包括手动方式及自动方式；
手动开关72，用于在手动控制电控气动装置启动或终止充气；
自动控制装置73，包括自动启动单元74和自动终止单元75；
自动启动单元74，用于根据上级自动生产中心发送的充气控制指令控制电控气动装置启动充气；
自动终止单元75，用于根据预设充气时间或预设充气压力自动控制电控气动装置终止充气。
更近一步地，自动终止单元75包括计时器76、压力设置器77及时间/压力转换开关78；
计时器76，用于设定预设充气时间，并记录当前充气时间，将预设充气时间与当前充气时间反馈至时间/压力转换开关；
压力设置器77，用于设定预设充气压力，并监控当前充气压力，将预设充气压力与当前充气压力的反馈至时间/压力转换开关；
时间/压力转换开关78，用于判断当前的充气时间是否超过预设充气时间，若判断为是，则控制电控气动装置终止充气；
时间/压力转换开关78，还用于判断当前充气压力是否超过预设充气压力，若判断是，则控制电控气动装置终止充气。
作为一种可实施方式，晶圆吹扫装置可实现手动控制启动或终止充气，也可实现自动控制启动充气或终止充气。
手动控制的实现过程为：首先，选择手动/自动转换器的手动控制模式，然后，通过控制器的手动开关，控制电控气动装置开始或终止充气；
自动启动充气的实现过程为，选择手动/自动转换器的手动自动控制模式，控制器根据上级自动生产中心的充气控制指令，向电控气动装置发送启动指令、充气指令，控制电控气动装置进行充气吹扫；
自动终止充气有两种实现方式：定时或定压；
通过时间/压力转换开关选择定时终止充气或定压终止充气；
定时终止充气：通过计时器预设充气时间，当充气时间到达预设充气时间后，控制器自动向电控气动装置发送终止充气指令，电控气动装置终止充气；
定压终止充气：通过压力设置器预设充气压力，当气路中的充气压力达到预设充气压力后，控制器自动向电控气动装置发送终止充气指令，电控气动装置终止充气。
晶圆吹扫装置，通过上述方法可灵活实现自动或手动充气，方便实用。
较佳地，作为一种可实施方式，控制器还包括蜂鸣器；
蜂鸣器，用于当输送装置不在预设的工作位置时，同时也不在预设的非工作位置时，进行鸣叫提示。
通过设置蜂鸣器，可帮助用户定位输送装置预设工作位置，确保手动控制的准确性。
较佳地，作为一种可实施方式，充气嘴2的一端为软性可密封材质，用于和FOUP的充气口对接；另一端的预设位置处设置有限位装置，限位装置用于限定充气嘴在弹性连接导向装置中的弹性活动位移。
充气嘴与FOUP的充气口对接的一端设置为软性可密封材质，确保充气气密性。
较佳地，作为一种可实施方式，软性可密封材质为橡胶。
较佳地，作为一种可实施方式，输送装置1为升降式气缸，结构简单，便于驱动。
升降式气缸与电控气动装置3之间设置有驱动气路（未示出）；
驱动气路，用于传输驱动气体，驱动升降式气缸上升至预设工作位置处，或下降至非工作位置处。
实施例二：
基于同样的构思，相应地本发明实施例还提供一种晶圆吹扫系统，由于此系统解决问题的原理与前述晶圆吹扫装置的工作原理相似，此系统的工作原理可以通过前述装置的具体工作过程实现，因此重复之处不再赘述。
本发明实施例提供的晶圆吹扫系统，如图3所示，包括生产自动控制中心、LoadPort1’及FOUP2’，还包括上述任意一项实施例的晶圆吹扫装置3’；
晶圆吹扫装置3’安装在LoadPort1’中，LoadPort1’上设置有通孔4’；工作时，晶圆吹扫装置3’的充气嘴2通过通孔4’伸出LoadPort1’，并与FOUP2’的充气口5’对接，对FOUP2’中的wafer进行充气吹扫；
生产自动控制中心（未示出），用于在FOUP2’到达LoadPort1’的装载台后，接收LoadPort1’发送的FOUP2’的ID信息，并根据预编程序向晶圆吹扫装置3’的控制器发送充气控制指令。
较佳地，作为一种可实施方式，晶圆吹扫装置3’与LoadPort1’之间设置互锁电路6’；
互锁电路6’，用于互锁吹扫装置3’与装载部（LoadPort1’）；
当晶圆吹扫装置3’的输送装置在工作位置时，互锁电路6’锁死装载部，不能向装载部发送动作指令，若有人为要求相应指令发送时，系统显示报警信息给予提醒；
当晶圆吹扫装置3’的输送装置在预设非工作位置时，互锁电路6’解锁装载部，装载部才可以动作运行。
为了更加清楚明白的说明本发明实施例提供的晶圆吹扫系统的结构及工作过程，举例说明如下，如图3所示；
晶圆吹扫装置3’安装在LoadPort1’中，并位于LoadPort1’的下部；LoadPort1’上端面设置有装载台，FOUP2’位于装载台上；FOUP2’的下端面上设置有充气口5’，LoadPort1’上端面与充气口5’相对应的位置处设置有通孔4’；工作时，晶圆吹扫装置3’的充气嘴2通过通孔4’伸出LoadPort1’，并与FOUP2’的充气口5’对接，对FOUP2’中的wafer进行充气吹扫。
实施例三：
基于同样的构思，相应地本发明实施例还提供一种晶圆吹扫方法，由于此方法的实现过程与前述晶圆吹扫装置的工作过程基本相同，此方法的实现过程可以通过前述装置的工作过程实现，因此在本发明实施例中，重复之处不再赘述。
相应的，本发明实施例提供的一种晶圆吹扫方法，用于在制程前或制程后对FOUP中的wafer进行吹扫，如图4所示，包括以下步骤：
S100，FOUP到达Loadport的装载台后,启动控制器；
S200，控制器向电控气动装置发送启动指令，控制电控气动装置驱动输送装置到达预设工作位置处，使充气嘴和FOUP的充气口对接；
S300，控制器向电控气动装置发送充气指令，控制电控气动装置打开充气开关，对FOUP中的wafer进行充气吹扫；
S400，充气完成后，控制器向电控气动装置发送终止指令，控制电控气动装置关闭充气开关，并驱动输送装置回到预设非工作位置。
较佳地，作为一种可实施方式，FOUP到达Loadport的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
S110，在FOUP到达Loadport的装载台后,通过手动/自动转换器，选择自动控制方式；
S120，Loadport识别FOUP的ID，并将FOUP的ID发送给生产自动控制中心；
S130，生产自动控制中心根据预编程序控制器发送充气控制指令，启动给控制器。
较佳地，作为一种可实施方式，FOUP到达Loadport的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
S140，在FOUP到达Loadport的装载台后,通过手动/自动转换器，选择手动控制方式；
S150，选择时间/压力转换开关中的时间开关；
S160，通过控制器中的计时器手动设定充气时间；
S170，打开控制器中的手动开关。
较佳地，作为一种可实施方式，打FOUP到达Loadport的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
S140’，在FOUP到达Loadport的装载台后,通过手动/自动转换器，选择手动控制方式；
S150’,选择时间/压力转换开关中的压力开关；
S160’,通过控制器中的计时器手动设定充气压力；
S170’,打开控制器中的手动开关。
进一步地，电控气动装置驱动输送装置回到预设非工作位置后，还包括如下步骤:
S500，控制器向生产自动控制中心发送充气完成指令。
通过上述晶圆吹扫方法可实现手动控制吹扫和自动控制吹扫；
其中，自动控制吹扫的过程如下：
在FOUP到Loadport的装载台后,打开通过手动/自动转换器，选择自动控制方式；Loadport识别FOUP的ID，并将FOUP的ID发送给生产自动控制中
心,生产自动控制中心根据预编程序向控制器发送充气控制指令，启动控制器；
控制器向电控气动装置发送启动指令，电控气动装置根据启动指令驱动输送装置到达预设工作位置处，使充气嘴和FOUP的充气口对接；然后，控制器电控气动装置发送充气指令，电控气动装置打开充气开关开始充气；充气完成后，
控制器发送终止充气指令给电控气动装置,电控气动装置关闭充气开关，并驱动输送装置回到预设非工作位置处；控制器发充气完成指令给生产自动控制中心，充气过程完成。
手动控制吹扫的过程如下：
在FOUP到Loadport的装载台后,打开通过手动/自动转换器，选择自手动控制方式；通过时间/压力转换开关选择终止充气方式；若选择定时终止方式，
则手动给计时器设定充气时间；若选择定压终止方式，则手动给压力设置器设置充气压力；打开控制器中的手动开关，控制器向电控气动装置发送启动指令，
电控气动装置根据启动指令驱动输送装置到达预设工作位置处，使充气嘴和FOUP的充气口对接；然后，控制器向电控气动装置发送充气指令，电控气动装置打开充气开关开始充气；到达预设的充气压力或充气时间后，控制器发送终止充气指令给电控气动装置,电控气动装置关闭充气开关，并驱动输送装置回到预设非工作位置处，充气过程完成。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (13)
1.一种晶圆吹扫装置，用于在制程前或制程后对前开式晶圆盒中的晶圆进行吹扫，其特征在于，包括输送装置、充气嘴、电控气动装置、控制器以及连通所述充气嘴和所述电控气动装置的气路；
所述气路上设置有压力表和调压阀；
所述压力表为可反馈读值式压力表，所述压力表用于测量所述气路中的充气压力，并将所述气路中的当前充气压力信息反馈给所述控制器；
所述调压阀，用于调节所述气路中的充气压力；
所述充气嘴的一端用于和前开式晶圆盒的充气口对接，另一端通过弹性连接导向装置与所述输送装置连接，所述充气嘴用于利用所述气路中的吹扫气体对所述前开式晶圆盒中的晶圆进行吹扫；
所述输送装置为可反馈输送位置式输送装置，所述输送装置用于输送所述充气嘴，并将当前输送位置信息反馈给所述控制器；
所述电控气动装置，用于在启动充气后，驱动所述输送装置到达预设工作位置处，使所述充气嘴和所述前开式晶圆盒的充气口对接，并向所述气路中提供所述吹扫气体；终止充气后，驱动所述输送装置到达预设非工作位置处；
所述控制器，用于控制所述电控气动装置驱动所述输送装置对所述充气嘴进行输送，并控制所述电控气动装置启动充气或终止充气。
2.根据权利要求1所述的晶圆吹扫装置，其特征在于，所述控制器包括手动/自动转换器、手动开关及自动控制装置；
所述手动/自动转换器，用于选择充气控制方式，所述充气控制方式包括手动方式及自动方式；
所述手动开关，用于手动控制所述电控气动装置启动或终止充气；
所述自动控制装置，包括自动启动单元及自动终止单元；
所述自动启动单元，用于根据上级自动生产中心发送的充气控制指令控制所述电控气动装置启动充气；
所述自动终止单元，用于根据预设充气时间或预设充气压力控制所述电控气动装置终止充气。
3.根据权利要求2所述的晶圆吹扫装置，其特征在于，所述自动终止单元包括计时器、压力设置器及时间/压力转换开关；
所述计时器，用于设定所述预设充气时间，并记录当前充气时间，将所述预设充气时间与所述当前充气时间反馈至所述时间/压力转换开关；
所述压力设置器，用于设定所述预设充气压力，并监控当前充气压力，将所述预设充气压力与所述当前充气压力的值反馈至所述时间/压力转换开关；
所述时间/压力转换开关，用于判断当前的充气时间是否超过所述预设充气时间，若判断为是，则控制所述电控气动装置终止充气；
所述时间/压力转换开关，还用于判断所述当前充气压力是否超过所述预设充气压力，若判断是，则控制所述电控气动装置终止充气。
4.根据权利要求2所述的晶圆吹扫装置，其特征在于，所述控制器还包括蜂鸣器；
所述蜂鸣器，用于当所述输送装置不在所述预设的工作位置时，同时也不在所述预设的非工作位置时，进行鸣叫提示。
5.根据权利要求1所述的晶圆吹扫装置，其特征在于，所述充气嘴的一端为软性可密封材质，用于和所述前开式晶圆盒的充气口对接；另一端的预设位置处设置有限位装置，所述限位装置用于限定所述充气嘴在所述弹性连接导向装置中的弹性活动位移。
6.根据权利要求1所述晶圆吹扫装置，其特征在于，所述输送装置为升降式气缸，所述升降式气缸与所述电控气动装置之间设置有驱动气路；
所述驱动气路，用于传输驱动气体，驱动所述升降式气缸上升至所述预设工作位置处，或下降至所述非工作位置处。
7.一种晶圆吹扫系统，包括生产自动控制中心、装载部及前开式晶圆盒，其特征在于，还包括权利要求1至6任意一项所述的晶圆吹扫装置；
所述晶圆吹扫装置安装在所述装载部中，所述装载部上设置有通孔；工作时，所述晶圆吹扫装置的充气嘴通过所述通孔伸出所述装载部，并与所述前开式晶圆盒的充气口对接，对所述前开式晶圆盒中的晶圆进行充气吹扫；
所述生产自动控制中心，用于在所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后，接收所述装载部发送的所述前开式晶圆盒的ID信息，并根据预编程序向所述晶圆吹扫装置的控制器发送充气控制指令。
8.根据权利要求7所述的晶圆吹扫系统，其特征在于，所述晶圆吹扫装置与所述装载部之间设置有互锁电路；
所述互锁电路，用于互锁所述吹扫装置与所述装载部；
当所述晶圆吹扫装置的输送装置在工作位置时，所述互锁电路锁死所述装载部；当所述晶圆吹扫装置的输送装置在预设非工作位置时，所述互锁电路解锁所述装载部。
9.一种晶圆吹扫方法，用于在制程前或制程后对前开式晶圆盒中的晶圆进行吹扫，其特征在于，包括以下步骤：
所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,启动控制器；
所述控制器向电控气动装置发送启动指令，控制所述电控气动装置驱动输送装置到达所述预设工作位置处，使充气嘴和所述前开式晶圆盒的充气口对接；
所述控制器向所述电控气动装置发送充气指令，控制所述电控气动装置打开充气开关，对所述前开式晶圆盒中的晶圆进行充气吹扫；
充气完成后，所述控制器向所述电控气动装置发送终止指令，控制所述电控气动装置关闭所述充气开关，并驱动所述输送装置回到预设非工作位置处。
10.根据权利要求9所述的晶圆吹扫方法，其特征在于，所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
在所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,通过手动/自动转换器，选择自动控制方式；
装载部识别所述前开式晶圆盒的ID，并将所述前开式晶圆盒的ID发送给生产自动控制中心；
所述生产自动控制中心根据预编程序所述控制器发送充气控制指令，启动所述控制器。
11.根据权利要求9所述的晶圆吹扫方法，其特征在于，所述前开式晶圆盒到达装载部的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
在所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后,通过手动/自动转换器，选择手动控制方式；
选择时间/压力转换开关中的时间开关；
通过所述控制器中的计时器手动设定充气时间；
打开所述控制器中的手动开关。
12.根据权利要求9所述的晶圆吹扫方法，其特征在于，所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后,启动控制器，包括以下步骤：
在所述前开式晶圆盒到达所述装载部的装载台后,通过手动/自动转换器，选择手动控制方式；
选择时间/压力转换开关中的压力开关；
通过所述控制器中的计时器手动设定充气压力；
打开所述控制器中的手动开关。
13.根据权利要求10所述的晶圆吹扫方法，其特征在于，所述电控气动装置驱动所述输送装置回到预设非工作位置后，包括如下步骤:
所述控制器向所述生产自动控制中心发送充气完成指令。
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