CN104699019A - 机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法 - Google Patents

机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法 Download PDF

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Abstract

本发明揭示了一种机台恢复检验方法，包括：填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息；根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果。本发明还揭示了一种应用该方法的机台恢复检验系统。本发明的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。

Description

机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法
技术领域
本发明涉及半导体工厂自动化技术领域，特别是涉及一种机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法。
背景技术
在集成电路的生产制造中，每一片晶圆从原物料到最终成品都需要经过成百乃至上千道工序。每道工序又需要根据要求利用不同的机台进行加工。加工过程中，一旦机台的工作情况出现异常，就要立即停机。工程师在处理机台异常的同时，在机台上面正在加工的产品(product)需要终止加工，并由工程师进行适当的处理，以避免产品报废、保证产品质量。
集成电路芯片的制造过程按照加工工艺划分为不同区域，不同区域的机台的工作特点不同，当出现异常时，对产品的处理方案也千差万别。需要由具有丰富经验的工程师检查产品在加工终止时的状态，决定如何对产品进行适当的处理，以便继续对其进行加工。针对机台出现异常时，工程师对在机台上面的产品的处理需要利用丰富的经验并综合分析机台和产品实际加工情况，进行判断，最终制定出具体的处理意见。例如，运行在机台上面的产品需要经验丰富的工程师检查产品的加工状态，即哪些片品圆已经完成加工，哪些片晶圆还没有进行加工，哪些片晶圆在加工过程中机台便出现故障。之后，工程师需要综合分析机台当前的工作状态，产品的工作状态，并针对机台及产品所在区域的特别下达处理意见。这些处理意见会由操作员具体执行对产品的尽一步处理。
然而，不同区域的机台由于工艺特性的不同，工程师需要检查产品的运行参数和下达的处理意见均需要相应改变。工程师完成这项工作需要很大工作量，而且也容易出错。面对工程师的经验差异，以及不同区域机台所遇到的异常情况的差异，很多时候工程师很难保证对产品下达了准确的处理意见以确保产品能够进行后续的加工且质量不受影响。总之，不确定的处理方案，不够完整的检查项目，会导致受到机台影响的产品的质量受到影响。一些不必要的错误，常常造成产品报废，影响工厂产能、降低客户满意度。
因此，针对机台恢复时，对产品的处理方式需要一种自动化的技术手段进行处理。不同区域的机台又需要分别有各自的分析和检查方式，因此需要通过一个完整的体系和系统对其进行控制和检测。如何提供一种机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，已成为本领域技术人员需要解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。
为解决上述技术问题，本发明提供一种机台恢复检验系统，用于机台当机后进行恢复时对产品处理的检验，所述机台恢复检验系统包括；
机台恢复系统，用于填写处理步骤，并输出一处理步骤信息；
智能规则引擎模块，存储有预先设置的机台监测信息，所述智能规则引擎模块接收所述处理步骤信息，根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，并输出一检测结果。
进一步的，在所述机台恢复检验系统中，当所述处理步骤信息符合要求时，所述智能规则引擎模块还输出一执行信息。
进一步的，在所述机台恢复检验系统中，所述机台恢复检验系统还包括制造执行系统、机台自动化系统以及事务中间件，其中：
所述事务中间件用于所述制造执行系统与机台恢复系统、智能规则引擎模块和机台自动化系统之间的信息传输；
所述制造执行系统接收所述处理步骤信息以及执行信息，并根据所述处理步骤信息以及执行信息，输出一产品处理指令信息；
所述机台自动化系统接收所述产品处理指令信息，以对所述产品进行恢复处理。
进一步的，在所述机台恢复检验系统中，所述机台自动化系统将机台信息和产品处理结果传递给所述制造执行系统，所述制造执行系统将产品信息以及所述机台信息传递给所述机台恢复系统。
进一步的，在所述机台恢复检验系统中，所述机台监测信息包括检测项目和提示类型，所述提示类型包括警告以及提示。
根据本发明的另一面，本发明还提供一种机台恢复检验方法，用于机台当机后进行恢复时对产品处理的检验，所述机台恢复检验方法包括；
填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息；
根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果。
进一步的，在所述机台恢复检验方法中，当所述处理步骤信息符合要求时，还得到一执行信息。
进一步的，在所述机台恢复检验方法中，所述机台恢复检验系统还包括制造执行系统、机台自动化系统以及事务中间件，其中：
根据所述处理步骤信息以及执行信息，得到一产品处理指令信息；
根据所述产品处理指令信息，对所述产品进行恢复处理。
进一步的，在所述机台恢复检验方法中，根据机台信息和产品信息，得到所述处理步骤。
进一步的，在所述机台恢复检验方法中，所述机台监测信息包括检测项目和提示类型，所述提示类型包括警告以及提示。
与现有技术相比，本发明提供的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法具有以下优点：
在本发明提供的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法中，所述智能规则引擎模块根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，并输出一检测结果，与现有技术相比，根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，从而规范机台恢复时对产品的处理方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。
附图说明
图1为本发明一实施例中机台恢复检验系统的示意图；
图2为本发明一实施例中机台恢复检验方法的流程图；
图3为本发明一实施例中检测结果的示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
本发明的核心思想在于，提供一种机台恢复检验方法，包括：填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息；根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果，从而规范机台恢复时对产品的处理方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。
进一步，结合上述机台恢复检验方法，本发明还提供了一种机台恢复检验系统，包括：机台恢复系统，用于填写处理步骤，并输出一处理步骤信息；智能规则引擎模块，存储有预先设置的机台监测信息，所述智能规则引擎模块接收所述处理步骤信息，根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，并输出一检测结果。
以下结合图1和图2具体说明本实施例中的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法。其中，图1为本发明一实施例中机台恢复检验系统的示意图，图2为本发明一实施例中机台恢复检验方法的流程图。
如图1所示，在本实施例中，所述机台恢复检验系统包括：机台恢复系统101以及智能规则引擎模块102。当机台当机后，如果所述机台上还具有正在加工的产品，其中，所述产品中可以具有若干晶圆，所述晶圆的状态可能是：所有的所述晶圆均未加工(run)；所有的所述晶圆均已加工；部分所述晶圆未加工，部分所述晶圆已加工。机台恢复后，对所述产品进行一下处理：
首先，进行步骤S01，如图2所示，填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息。在本实施例中，工程师在所述机台恢复系统101中填写所述处理步骤，所述机台恢复系统101根据所述处理步骤输出一处理步骤信息V01。
然后，进行步骤S02，根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息V01进行检测，并得到一检测结果V02。在本实施例中，所述智能规则引擎模块102存储有预先设置的机台监测信息，所述机台监测信息包括哪些机台需要进行什么检测项目，如表1所示，表1为本实施例中的所述机台监测信息。所述智能规则引擎模块102接收所述处理步骤信息V01，根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息V01进行检测，并输出一检测结果V02。所述机台监测信息包括检测项目和提示类型，所述提示类型包括警告以及提示。当所述检测结果V02中警告类型的检测项目没有通过，则说明所述处理步骤信息V01有问题，提示工程师重新填写所述处理步骤；当所述检测结果V02中提示类型的检测项目没有通过，提示工程师检测所述处理步骤，如果所述处理步骤没有问题，则确认正确，可以按照所述处理步骤进行处理。
表1
图3为本发明一实施例中检测结果的示意图，如图3所示，在本实施例中，所述检测结果V02中，有一个提示类型的检测项目没有通过，其余的检测项目均通过。
较佳的，当所述处理步骤信息V01符合要求时，即所述检测结果V02中没有未通过的警告类型的检测项目，则所述智能规则引擎模块102还输出一执行信息V03，以对所述产品进行恢复处理。
在本实施例中，所述机台恢复检验系统还包括制造执行系统104、机台自动化系统105以及事务中间件103，其中，所述事务中间103件用于所述制造执行系统104与机台恢复系统101、智能规则引擎模块103和机台自动化系统105之间的信息传输。
如图2所示，接着，进行步骤S03，根据所述处理步骤信息V01以及执行信息V03，得到一产品处理指令信息V04。在本实施例中，通过所述事务中间件103的传输，所述制造执行系统104接收所述处理步骤信息V01以及执行信息V03，并根据所述处理步骤信息V01以及执行信息V03，输出一产品处理指令信息V04。
然后，进行步骤S04，根据所述产品处理指令信息V04，对所述产品进行恢复处理。在本实施例中，通过所述事务中间件103的传输，所述机台自动化系统105接收所述产品处理指令信息V04，以指示所述机台对所述产品进行恢复处理。
较佳的，通过所述事务中间件103的传输，所述机台自动化系统105将机台信息V05和产品处理结果V06传递给所述制造执行系统104，所述制造执行系统104将产品信息V07以及所述机台信息V05传递给所述机台恢复系统101，以方便工程师制定所述处理步骤。但是工程师获取所述产品信息V07以及所述机台信息V05的方法并不限于上述步骤，工程师还可以直接去所述机台收集产品信息V07、所述机台信息V05、产品处理结果V06等信息。
综上所述，本发明提供一种机台恢复检验方法，包括：提供一种机台恢复检验方法，包括：填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息；根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果。与现有技术相比，本发明具有以下优点：
在本发明提供的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法中，所述智能规则引擎模块根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，并输出一检测结果，与现有技术相比，根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，从而规范机台恢复时对产品的处理方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种机台恢复检验系统，用于机台当机后进行恢复时对产品处理的检验，所述机台恢复检验系统包括； 
机台恢复系统，用于填写处理步骤，并输出一处理步骤信息； 
智能规则引擎模块，存储有预先设置的机台监测信息，所述智能规则引擎模块接收所述处理步骤信息，根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，并输出一检测结果。 
2.如权利要求1所述的机台恢复检验系统，其特征在于，当所述处理步骤信息符合要求时，所述智能规则引擎模块还输出一执行信息。 
3.如权利要求2所述的机台恢复检验系统，其特征在于，所述机台恢复检验系统还包括制造执行系统、机台自动化系统以及事务中间件，其中； 
所述事务中间件用于所述制造执行系统与机台恢复系统、智能规则引擎模块和机台自动化系统之间的信息传输； 
所述制造执行系统接收所述处理步骤信息以及执行信息，并根据所述处理步骤信息以及执行信息，输出一产品处理指令信息； 
所述机台自动化系统接收所述产品处理指令信息，以对所述产品进行恢复处理。 
4.如权利要求3所述的机台恢复检验系统，其特征在于，所述机台自动化系统将机台信息和产品处理结果传递给所述制造执行系统，所述制造执行系统将产品信息以及所述机台信息传递给所述机台恢复系统。 
5.如权利要求1所述的机台恢复检验系统，其特征在于，所述机台监测信息包括检测项目和提示类型，所述提示类型包括警告以及提示。 
6.一种机台恢复检验方法，用于机台当机后进行恢复时对产品处理的检验，所述机台恢复检验方法包括； 
填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息； 
根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果。 
7.如权利要求6所述的机台恢复检验方法，其特征在于，当所述处理步骤信息符合要求时，还得到一执行信息。 
8.如权利要求7所述的机台恢复检验方法，其特征在于，所述机台恢复检验系统还包括制造执行系统、机台自动化系统以及事务中间件，其中； 
根据所述处理步骤信息以及执行信息，得到一产品处理指令信息； 
根据所述产品处理指令信息，对所述产品进行恢复处理。 
9.如权利要求8所述的机台恢复检验方法，其特征在于，根据机台信息和产品信息，得到所述处理步骤。 
10.如权利要求6所述的机台恢复检验方法，其特征在于，所述机台监测信息包括检测项目和提示类型，所述提示类型包括警告以及提示。 
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