CN1773667A - 半导体制造厂产品加工目录自动跟踪监测系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种半导体器件制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统，系统包括：①以客户为单位的产品制造信息存储装置；②生产线中各个机台的产能监控装置；③客户产品加工目录跟踪监测装置(MTS)；④客户产品生产调度中心；和⑤客户产品出货信息预测和发布装置。

Description

半导体制造厂产品加工目录自动跟踪监测系统

技术领域

本发明涉及半导体器件制造厂用的自动化系统，特别涉及半导体器件制造工厂产品加工目录自动化跟踪监测系统。

背景技术

一般说来，当前的半导体制造行业中，为了提高生产效率，降低生产成本，半导体器件的设计单位和制造单位是分开的，也就是说，半导体器件的设计单位专门进行半导体器件的电路和结构设计，而半导体器件的制造单位按照半导体器件设计单位设计好的半导体器件的电路和结构专门制造半导体器件。

因此，半导体器件制造厂同时生产种类繁多数量不同的半导体器件，而且各种类型的半导体器件的加工工艺不同、加工的时间周期不同，加工的数量不同，各类半导体器件客户要求的交货日期和交货数量也各不相同。在这种复杂的条件下，如何充分利用昂贵的半导体机台产能，有效组织生产，按期高质量地给客户交货是半导体企业能否占领市场，在激烈商业竞争中生存及发展的关键所在。

实时安排生产线中各个相关产品跑货次序，特别是合理安排重要客户产品在线跑货流程等工作是极其复杂而又重要的。

当前在半导体器件生产线上产品计划人员，客户服务人员及销售人员不能根据生产线上产品运行状态随时合理向制造部门申请特定客户产品的派工。生产线上的各个机台的工作状态随时变化，生产线的实际在线工件分布随时变化，工件的加工顺序也在随时变化，各类半导体器件在相关机台的加工时间和加工数量也不同。在这种复杂的环境里，产品计划人员，客户服务人员及销售人员由于不能实时跟踪监测产品在生产线上的加工状态，不能全面了解及消化各方信息，不能给客户更准确的交货期预测。

为了能够按照客户要求的交货日期按时按量生产出质量优良的半导体器件，而且充分发挥半导体器件生产流水线上的各种制造机台的工作能力，必须采用自动化方式实时跟踪监测和准确地计算各客户产品的待加工工件在生产流水线上各个机台位置的在线加工分布状态，了解相关机台的工作状态，合理安排各类半导体器件的待加工工件在生产流水线上加工时间顺序，按期高质量地给客户交货。

发明内容

为了克服上述的半导体器件制造厂中产品计划人员，客户服务人员及销售人员不能实时跟踪监测客户产品在生产线上的在线加工状态，和不能全面了解及消化各个相关机台的工作状态信息、不能合理地制定出各类产品工件在各个相关机台的加工时间顺序，不能最有效地组织生产，按期高质量地给客户交货等缺点提出本发明。

本发明的目的是，提出一种半导体器件制造厂客户产品加工状态自动跟踪监测系统，用本发明的客户产品加工状态自动跟踪监测系统，动态实时跟踪监测生产线上的具体客户产品加工状态，动态随机实时采集具体客户产品在生产线上各个加工站的分布量。各个产品工件所剩工序相关机台的工作能力和状态，以客户为单位预测并督促产品定单的完工。

按照本发明一个技术方案的半导体制造厂用的客户产品加工目录监测跟踪系统，包括：①以客户为单位的产品制造信息存储装置，在该装置中存储要生产的产品目录，要生产的各种产品的类型和数量和各种产品的交货日期等数据；②生产线中各个机台的产能监控装置，根据生产需要和各个相关机台的工作状态随时调整相关产品的加工量；③客户产品加工目录跟踪监测装置(MTS)，动态实时采集客户产品待加工工件在生产线上各个加工站的分布量、各个机台特别是关键机台的工件在线存留量、各个工件在相关机台所需要的加工时间、各个相关机台的工作能力和是否能正常工作的工作状态、需要在相关机台加工的工件数量、工件的合格率等相关数据，根据产品的类型交货数量和交货日期、工件所需的加工时间周期进行生产状态计算和分析；④客户生产调度中心，根据客户产品加工目录跟踪监测装置(MTS)所采集的各种信息合理安排生产线上各个加工站点的各客户产品工件数量，调配相关机台的加工能力，有效组织生产；和⑤客户产品出货信息预测和发布装置，根据生产线上各客户产品工件的实际生产状态发布以客户为单位的产品状态信息和以出货日期为单位的产品状态信息。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述可以更好地理解本发明目的和本发明的优点，附图是说明书的一个组成部分，附图与说明书的文字部分一起说明本发明的原理和特征，附图中显示出代表本发明原理和特征的实施例。

其中，

图1是按照本发明的半导体制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统框图。

标号说明：

①以客户为单位的产品制造信息存储装置

②生产线中各个机台的产能监控装置

③客户产品加工目录跟踪监测装置

④客户产品生产调度中心

⑤客户产品出货信息预测和发布装置

具体实施方式

以下结合附图详细说明按本发明的半导体制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统的运行情况。以此说明按照本发明的半导体制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统。

系统运行包括以下步骤：步骤1，以客户为单位的产品制造信息存储装置①中存储要生产的客户产品目录，要生产的各种产品的类型和数量和各种产品的交货日期等数据，通过公司局域网将这些数据输入生产线中各个机台的产能监控装置②和客户生产调度中心④；步骤2，生产线中各个机台的产能监控装置②根据客户产品制造信息存储装置①通过公司局域网输入的数据按生产需要和各个相关机台的工作状态随时调整相关产品的加工量；步骤3，③客户产品加工目录跟踪监测装置(MTS)，动态实时采集各客户产品待加工工件在生产线上各个加工站的分布量、各个工件在相关机台所需要的加工时间、各个相关机台的工作能力和状态、需要在相关机台加工的工件数量、工件的合格率等相关数据，根据产品的类型交货数量和交货日期、工件所需的加工时间周期进行生产状态计算和分析，通过公司局域网将计算分析结果输入客户生产调度中心④；步骤4，④客户生产调度中心，根据通过公司局域网接收到的产品加工状态跟踪监测装置(MTS)所采集的各种信息合理安排生产线上各个加工站点的加工工件数量，调配相关机台的加工能力，有效组织生产；和步骤5，客户产品出货信息预测和发布装置⑤，根据生产线上加工工件的实际生产状态通过公司局域网发布以客户为背景的产品状态信息和以出货日期为背景的产品状态信息。

本行业的技术人员应了解，在不脱离本发明精神或者主要特征的前提下，本发明还可以以其他特定的形式实施。因此，按本发明的全部技术方案，所列举的实施方式只是用于说明本发明而不是限制本发明，并且，本发明不局限于本文中描述的细节。本发明要求保护的范围由所附的权利要求书界定。

Claims (2)

1、半导体制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统，其特征是，系统包括：①产品制造信息存储装置；②生产线中各个机台的产能监控装置；③产品加工状态跟踪监测装置(MTS)；④客户产品生产调度中心；和⑤客户产品出货信息预测和发布装置。

2、按照权利要求1的系统，其特征是，系统运行包括以下步骤：

步骤1：产品制造信息存储装置①中存储要生产的客户产品目录，要生产的各种产品的类型和数量和各种产品的交货日期等数据，通过公司局域网将这些数据输入生产线中各个机台的产能监控装置②和客户产品生产调度中心④；

步骤2：生产线中各个机台的产能控制装置②根据产品制造信息存储装置①通过公司局域网输入的数据按生产需要和各个相关机台的工作状态随时调整相关机台的加工量；

步骤3：③客户产品加工状态跟踪监测装置(MTS)，动态随机实时采集客户待加工工件在生产线上各个加工站的分布量、各个工件在相关机台所需要的加工时间、各个相关机台的工作能力和是否能正常工作的工作状态、需要在相关机台加工的工件数量、工件的合格率等相关数据，根据产品的类型交货数量和交货日期、工件所需的加工时间周期进行生产状态计算和分析，通过公司局域网将计算分析结果输入客户产品生产调度中心④；

步骤4：④客户产品生产调度中心，根据通过公司局域网接收到的客户产品加工状态跟踪监测装置(MTS)所采集的各种信息合理安排生产线上各个加工站点的各客户产品工件数量，调配相关机台的加工能力，以客户为单位预测并督促产品定单的完工；

步骤5：客户产品出货信息预测和发布装置⑤，根据生产线上加工工件的实际生产状态通过公司局域网发布以客户为背景的产品状态信息和以出货日期为背景的产品状态信息。