CN104658949A - 移动式密封装置 - Google Patents

移动式密封装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104658949A
CN104658949A CN201510052520.1A CN201510052520A CN104658949A CN 104658949 A CN104658949 A CN 104658949A CN 201510052520 A CN201510052520 A CN 201510052520A CN 104658949 A CN104658949 A CN 104658949A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sliding panel
outer sliding
sealing device
wafer
mobile sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510052520.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104658949B (zh
Inventor
徐俊成
王锐廷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Original Assignee
Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd filed Critical Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority to CN201510052520.1A priority Critical patent/CN104658949B/zh
Publication of CN104658949A publication Critical patent/CN104658949A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104658949B publication Critical patent/CN104658949B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

本发明公开了一种移动式密封装置，通过在外滑动板内侧设置内滑动板，在内滑动板随着外滑动板上下移动的过程中，始终位于工艺腔室的晶圆取放口的内侧，使得晶圆工艺过程中药液只能飞溅到内滑动板上，并沿着内滑动板流回工艺腔室内部，避免药液流出工艺腔室而对外部的零部件造成腐蚀或污染。

Description

移动式密封装置
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造设备技术领域，特别涉及一种用于晶圆工艺腔室的移动式密封装置。
背景技术
随着半导体工艺设备的发展，对集成电路晶圆的制造工艺要求也越来越高。在晶圆的工艺过程中，通常会伴随着强酸强碱等腐蚀性液体，这些腐蚀性液体如果与金属元器件相接触，通常会对其造成严重的腐蚀，因此，对于晶圆工艺腔室内部的微环境有较高的要求，为了保证一个良好的内部微环境，需要对晶圆周围的工艺腔室进行密封，以使晶圆与周围的环境进行隔绝，以避免酸碱等液体腐蚀其他零部件。但是同时，在机械手对晶圆进行抓取与放置的过程中，又不可避免的会使工艺腔室与外部环境连通。为使晶圆在工艺过程中尽可能的减小外部环境对其的影响，在晶圆放置完毕后，应该对工艺腔室进行及时的密封，以保证工艺腔室的工艺要求。
现有技术提供了一种用于晶圆工艺腔室的移动式的密封装置，在机械手进入工艺腔室之前，移动式密封装置滑移到开启位置，以使机械手能够进入工艺腔室中对晶圆进行抓取与放置，在机械手退出工艺腔室后，使用该装置对工艺腔室进行及时密封。
中国实用新型专利ZL 201220652756.2提供了一种移动式密封装置，其包括移动式密封板、驱动装置、导轨和导轨滑块；所述导轨与导轨滑块连接；所述移动式密封板一端与导轨滑块连接，另一端与驱动装置连接。中国实用新型专利ZL 201220653964.2提供了另一种可移动式密封装置，其包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板和两条平行的导轨，所述滑动密封板可滑动安装于所述两条导轨上，所述驱动装置与所述滑动密封板连接，其连接位置在两条导轨之间。
可见，上述两件专利技术的原理均是在机械手完成取放片的过程后及时滑动关闭腔室取放口的密封板而对工艺腔室进行密封，一定程度上解决了工艺腔室与外部环境相隔离的问题。
然而，这两个专利均存在一定的问题：前者采用了滑动密封板单侧的驱动方式，会使密封板受力不均匀，在移动过程中容易出现卡死现象。后者虽然将驱动装置放在密封板的中间位置，一定程度上缓解了卡死问题，但是该滑动密封板在晶圆的工艺过程中位于腔室取放口处，晶圆在工艺过程中会高速旋转，其表面的化学药液会在离心力的作用下四处飞溅，这样就有可能会飞溅在滑动密封板上，由于滑动密封板设于工艺腔室的外侧，这样液滴会沿着滑动密封板流出，进而腐蚀或污染到腔室外部的零部件，如机械手传动装置等。前者专利也有这样的问题。此外，这两种专利的技术方案的滑动装置均采用导轨导向，导轨与轴承之间采用滑动摩擦，接触力较大，工作效率不高，且易卡死、损坏部件。
发明内容
本发明为了解决上述技术问题，而提供一种移动式密封装置，以避免晶圆工艺过程中药液飞溅到密封板上并沿着密封板流出，从而腐蚀或污染工艺腔室外部的零部件。
本发明提供一种移动式密封装置，设于工艺腔室的晶圆取放口，其包括：
两条导轨，分别设于晶圆取放口的两侧；
外滑动板，其两侧与所述两条导轨相连接，使其沿着导轨上下移动；
内滑动板，与所述外滑动板相固定以随着外滑动板上下移动而对晶圆取放口实现开启和闭合，且其位于晶圆取放口内侧；
驱动件，与所述外滑动板相连，以驱动所述外滑动板上下移动。
进一步地，所述内滑动板与外滑动板之间具有间隙，以在向下移动时供晶圆取放口的下沿伸入，使所述内滑动板保持位于晶圆取放口内侧。
进一步地，所述内滑动板与外滑动板的上沿相固定。
进一步地，所述外滑动板两侧设有非封闭环形结构的线性轴承件，所述两条导轨边缘插入所述线性轴承件的环形结构内。
进一步地，所述线性轴承件的环形结构内还设有可与所述导轨边缘相接触的滚轮，使所述线性轴承件与导轨为滚动连接。
进一步地，所述外滑动板两侧线性轴承件内的滚轮与导轨边缘之间具有可调间隙。
进一步地，所述外滑动板两侧具有通孔以穿入螺钉连接所述线性轴承件，所述通孔为横向长圆形，以供所述螺钉横向移动来调节所述线性轴承件内滚轮与导轨的间隙。
进一步地，所述驱动件连接于所述外滑动板的中间位置。
进一步地，所述驱动件与外滑动板通过调节块和连接块相连，所述调节块固定于外滑动板上，所述连接块分别与调节块以及驱动件相连。
进一步地，所述驱动件具有检测上下移动行程的限位传感器。
本发明提供的移动式密封装置，密封性能良好，通过在外滑动板内侧设置内滑动板，在内滑动板随着外滑动板上下移动的过程中，始终位于工艺腔室的晶圆取放口的内侧，使得晶圆工艺过程中药液只能飞溅到内滑动板上，并沿着内滑动板流回工艺腔室内部，避免药液流出工艺腔室而对外部的零部件造成腐蚀或污染。
附图说明
为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：
图1和图2是本发明移动式密封装置的结构示意图；
图3是本发明移动式密封装置安装于工艺腔室晶圆取放口的结构示意图；
图4是本发明移动式密封装置安装于工艺腔室晶圆取放口的侧视图；
图5是本发明移动式密封装置中外滑动板的结构示意图；
图6是本发明移动式密封装置中内滑动板的结构示意图；
图7和图8是本发明移动式密封装置中连接块的结构示意图；
图9和图10是本发明移动式密封装置中调节块的结构示意图；
图11是本发明移动式密封装置中导轨的结构示意图；
图12是本发明移动式密封装置中线性轴承件的结构示意图；
图13是本发明移动式密封装置中线性轴承件和导轨的连接示意图；
图14是本发明移动式密封装置中驱动件的结构示意图。
具体实施方式
请同时参阅图1至图4，本实施例中的移动式密封装置，其设于工艺腔室2的晶圆取放口21，其包括：
两条导轨11，分别设于晶圆取放口21的两侧；
外滑动板12，其两侧与两条导轨11相连接，使其沿着导轨11上下移动；
内滑动板13，与外滑动板12相固定以随着外滑动板12上下移动而对晶圆取放口21实现开启和闭合，且其位于晶圆取放口21内侧；
驱动件14，与外滑动板12相连，以驱动外滑动板12上下移动。
本实施例的移动式密封装置，密封性能良好，通过在外滑动板12内侧设置内滑动板13，在内滑动板13随着外滑动板12上下移动的过程中(由驱动件14驱动)，始终位于工艺腔室2的晶圆取放口21的内侧，使得晶圆工艺过程中药液只能飞溅到内滑动板13上，并沿着内滑动板13流回工艺腔室2内部，避免药液流出工艺腔室2而对外部的零部件造成腐蚀或污染。
本发明中内滑动板与外滑动板之间较佳地具有间隙，以在向下移动时供晶圆取放口的下沿伸入，使内滑动板保持位于晶圆取放口内侧，如图4所示。本发明的内滑动板与外滑动板的固定连接可以有多种形式，只要能保证内滑动板能够随着外滑动板上下移动，且始终位于晶圆取放口内侧即可。本实施例中，内滑动板与外滑动板的上沿相固定，以形成上沿下方的大面积间隙，供晶圆取放口下沿伸入，如图5和图6所示，外滑动板的上沿开设有第一通孔121，内滑动板的上沿形成有凸条131，凸条131上开设有与第一通孔121相对应的第二通孔132，螺钉插入第一通孔以及第二通孔以固定内滑动板与外滑动板。
本实施例中的外滑动板与内滑动板可以采用无尘且耐酸碱腐蚀的非金属材料制成，如PVC等，以防止因受到腐蚀或振动而产生微小颗粒影响到晶圆的工艺效果。
本发明中的外滑动板两侧与导轨可以是多种连接方式，只要能使外滑动板沿着导轨上下移动即可。本实施例较佳地为外滑动板12两侧设有非封闭环形结构的线性轴承件122，如图2和图12所示，导轨11边缘为与环形结构相配合的圆弧形结构111，如图11所示，使得导轨11边缘插入线性轴承件121的环形结构内，从而实现外滑动板沿着导轨的上下移动，如图13所示。
在一个较佳的实施例中，线性轴承件122的环形结构内还设有可与导轨边缘相接触的滚轮1221，如图12所示，使得线性轴承件与导轨为滚动连接，减小摩擦系数并降低移动过程中的摩擦力，提高外滑动板上下移动的顺畅度，有效避免了机械自锁现象的发生，并且减小了驱动力可以提高驱动效率。更佳地，线性轴承件内的滚轮与导轨边缘之间具有可调间隙，以避免卡死现象，并进一步提高移动的顺畅度。
为了降低因加工因素而对安装精度造成的影响，也为了可以调节线性轴承件内的滚轮与导轨之间的间隙，外滑动板12两侧具有横向长圆形通孔123以穿入螺钉连接线性轴承件122，以供螺钉横向移动来调节线性轴承件内滚轮与导轨的间隙，如图5所示。
为了使外滑动板在上下移动中驱动受力均匀，本实施例较佳地将驱动件14连接于外滑动板12的中间位置。外滑动板与驱动件的连接方式可以有多种方式，只要驱动件可以驱动外滑动板上下移动即可。本实施例较佳地为驱动件14与外滑动板12通过调节块15和连接块16相连，如图7至图10以及图1所示，调节块15通过螺钉固定于外滑动板12中间的通孔124处，如图5所示，连接块16的顶部凸环卡入调节块15的凹孔内，连接块16的底部与驱动件14相连。
本发明的驱动件可以为气缸、液压缸或电机等可以提供动力的装置，本实施例中的驱动件包括气缸体141、导杆142、支架143组成，支架143用于将气缸体141固定于工艺腔室下部等处，气缸体141驱动导杆142上下移动，导杆142的顶部与连接块16底部相连，以带动外滑动板和内滑动板对晶圆取放口进行开启和闭合。本实施例的驱动件较佳地还包括限位传感器144，设于导杆142的上下极限位置，来检测上下移动的行程。

Claims (10)

1.一种移动式密封装置，设于工艺腔室的晶圆取放口，其特征在于，其包括：
两条导轨，分别设于晶圆取放口的两侧；
外滑动板，其两侧与所述两条导轨相连接，使其沿着导轨上下移动；
内滑动板，与所述外滑动板相固定以随着外滑动板上下移动而对晶圆取放口实现开启和闭合，且其位于晶圆取放口内侧；
驱动件，与所述外滑动板相连，以驱动所述外滑动板上下移动。
2.根据权利要求1所述的移动式密封装置，其特征在于：所述内滑动板与外滑动板之间具有间隙，以在向下移动时供晶圆取放口的下沿伸入，使所述内滑动板保持位于晶圆取放口内侧。
3.根据权利要求2所述的移动式密封装置，其特征在于：所述内滑动板与外滑动板的上沿相固定。
4.根据权利要求1至3任一项所述的移动式密封装置，其特征在于：所述外滑动板两侧设有非封闭环形结构的线性轴承件，所述两条导轨边缘插入所述线性轴承件的环形结构内。
5.根据权利要求4所述的移动式密封装置，其特征在于：所述线性轴承件的环形结构内还设有可与所述导轨边缘相接触的滚轮，使所述线性轴承件与导轨为滚动连接。
6.根据权利要求5所述的移动式密封装置，其特征在于：所述外滑动板两侧线性轴承件内的滚轮与导轨边缘之间具有可调间隙。
7.根据权利要求6所述的移动式密封装置，其特征在于：所述外滑动板两侧具有通孔以穿入螺钉连接所述线性轴承件，所述通孔为横向长圆形，以供所述螺钉横向移动来调节所述线性轴承件内滚轮与导轨的间隙。
8.根据权利要求1至3任一项所述的移动式密封装置，其特征在于：所述驱动件连接于所述外滑动板的中间位置。
9.根据权利要求8所述的移动式密封装置，其特征在于：所述驱动件与外滑动板通过调节块和连接块相连，所述调节块固定于外滑动板上，所述连接块分别与调节块以及驱动件相连。
10.根据权利要求1至3任一项所述的移动式密封装置，其特征在于：所述驱动件具有检测上下移动行程的限位传感器。
CN201510052520.1A 2015-02-02 2015-02-02 移动式密封装置 Active CN104658949B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510052520.1A CN104658949B (zh) 2015-02-02 2015-02-02 移动式密封装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510052520.1A CN104658949B (zh) 2015-02-02 2015-02-02 移动式密封装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104658949A true CN104658949A (zh) 2015-05-27
CN104658949B CN104658949B (zh) 2017-10-17

Family

ID=53249920

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510052520.1A Active CN104658949B (zh) 2015-02-02 2015-02-02 移动式密封装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104658949B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113843114A (zh) * 2021-09-22 2021-12-28 深圳市华笙光电子有限公司 一种led封装点胶机构

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070286711A1 (en) * 2006-06-12 2007-12-13 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Carrier unit of substrate transfer apparatus
CN102248409A (zh) * 2011-07-19 2011-11-23 威海利奥泰儆自动化设备有限公司 一种可调间隙式快速滚轮导轨
CN102315145A (zh) * 2011-09-23 2012-01-11 北京七星华创电子股份有限公司 反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室
CN103021910A (zh) * 2012-11-30 2013-04-03 北京七星华创电子股份有限公司 可移动式密封装置
CN204481003U (zh) * 2015-02-02 2015-07-15 北京七星华创电子股份有限公司 用于晶圆工艺腔室的移动式密封装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070286711A1 (en) * 2006-06-12 2007-12-13 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Carrier unit of substrate transfer apparatus
CN102248409A (zh) * 2011-07-19 2011-11-23 威海利奥泰儆自动化设备有限公司 一种可调间隙式快速滚轮导轨
CN102315145A (zh) * 2011-09-23 2012-01-11 北京七星华创电子股份有限公司 反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室
CN103021910A (zh) * 2012-11-30 2013-04-03 北京七星华创电子股份有限公司 可移动式密封装置
CN204481003U (zh) * 2015-02-02 2015-07-15 北京七星华创电子股份有限公司 用于晶圆工艺腔室的移动式密封装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113843114A (zh) * 2021-09-22 2021-12-28 深圳市华笙光电子有限公司 一种led封装点胶机构

Also Published As

Publication number Publication date
CN104658949B (zh) 2017-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN205684404U (zh) 一种磷铜球生产用高效清洗装置
CN103559999B (zh) 一种变压器铁心自动垫片机器人装置
CN204481003U (zh) 用于晶圆工艺腔室的移动式密封装置
CN207710826U (zh) 一种具有风琴罩的直线滑台
CN104658949A (zh) 移动式密封装置
CN106975806B (zh) 电火花成形机自动升降油槽装置
CN202590003U (zh) 胶塞清洗灭菌干燥一体机进料门开启装置
CN204819554U (zh) 一种轨道式机械手
CN208520792U (zh) 一种扫描电子显微镜样品夹持装置
CN204248161U (zh) 一种暖风电机刷架工件的加工系统
CN103021910B (zh) 可移动式密封装置
CN104816765A (zh) 适用于倾斜光滑壁面的爬壁机器人的负压吸附足
CN202733371U (zh) 一种用于检测闸门漏水装置的升降装置
CN203013681U (zh) 可移动式密封装置
CN205328152U (zh) 一种太阳能电池片加工设备上的转移装置
CN204566162U (zh) 一种竖直行程可调的凸轮机械手
CN204641936U (zh) 适用于倾斜光滑壁面的爬壁机器人的负压吸附足
CN204400821U (zh) 玻纤拉丝机
CN202011631U (zh) 玻璃周转装置
CN204831191U (zh) 空调外机检测装置
CN114924049B (zh) 一种可升降式户外水质监测设备
CN219442567U (zh) 擦拭装置
CN104655366A (zh) 车用冷凝器气密性水检机的出料机械手机构
CN213423054U (zh) 一种大型轴承套圈立式磁粉探伤装置
CN204675727U (zh) 一种注塑机模具吊装设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 100015 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District

Patentee after: North China Science and technology group Limited by Share Ltd.

Address before: 100016 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District

Patentee before: BEIJING SEVENSTAR ELECTRONICS Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address