CN208520792U - 一种扫描电子显微镜样品夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扫描电子显微镜样品夹持装置，包括机台、旋转装置、旋转接头、转台和夹持装置；所述转台通过轴承固定安装在机台上；所述旋转装置与所述转台相互啮合；所述夹持装置位于转台上方。本实用新型扫描电子显微镜样品夹持装置，通过弹簧回弹力和真空的吸力，很好的保证了载物台不会在无人为的状态的下随意移动，继而方便对载物台上的物质各个方位进行观测，当要对不同方位进行观测进行观测时通过摆动摇柄来带动蜗杆转动来实现整个转台转动来完成，设计合理，操作方便。

Description

一种扫描电子显微镜样品夹持装置

技术领域

本实用新型属于显微镜样品夹持装置技术领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜样品夹持装置。

背景技术

透射电子显微镜镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成，其技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，而且分辨率为 0 .2nm，也就是说透射电子显微镜是在光学显微镜的基础上放大了 1000 倍。因此而被广泛利用。但是现有的扫描电子显微镜样品夹持装置

多与显微镜机体呈固定状态，不方便对载物台上的物质各个方位进行观测，同时对物质夹装

时，通过载玻片对物质进行抵压，但是仍不能对物质很好的固定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扫描电子显微镜样品夹持装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扫描电子显微镜样品夹持装置，包括机台、旋转装置、旋转接头、转台和夹持装置；所述转台通过轴承固定安装在机台上；所述旋转装置与所述转台相互啮合；所述夹持装置位于转台上方；所述转台包括工作台和法兰；所工作台与所述法兰之间通过螺栓连接；所述工作台一端设有轮齿另一端设有沉槽；

所述沉槽上设有两个密封槽。

优选的，所述法兰上设有 4 个吸盘；所述法兰上设有“T”形滑槽。

优选的，所述工作台设有气流管道。

优选的，所述夹持装置包括支撑板、滑轴、弹性元件和夹紧块；所述滑轴和夹紧块固定连接；所述滑轴通过直线轴承固定安装在支撑板上；所述弹性元件位于夹紧块和支撑板

之间，且套接在滑轴上。

优选的，所述旋转装置包括摇柄、轴承Ⅱ和蜗杆组成；所述蜗杆通过轴承Ⅱ固定安装在机台内侧；所述摇柄和蜗杆固定连接。

优选的，所述夹紧块上设有橡胶层。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：该扫描电子显微镜样品夹持装置，通过弹簧回弹力和真空的吸力，很好的保证了载物台不会在无人为的状态的下随意移动，继而方便对载物台上的物质各个方位进行观测，当要对不同方位进行观测进行观测时通过摆动摇柄来带动蜗杆转动来实现整个转台转动来完成，设计合理，操作方便。

附图说明

图 1 为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实

施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获

得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅附图 1 所示：一种扫描电子显微镜样品夹持装置，包括机台 1、旋转装置2、

旋转接头 3、转台 4 和夹持装置 5；所述转台 3 通过轴承固定安装在机台 1上；所述旋转装置 2 与所述转台 4 相互啮合；所述夹持装置 5 位于转台 4 上方。

其中转台 4 包括工作台 41 和法兰 42，工作台 41 呈工字形，且一端设有涡轮，通过蜗轮蜗杆的原理来带动转台 4 旋转，保证可以从不同角度进行检测；另一端设沉槽43，沉槽 43 主要用于抽真空时气体通过沉槽 43 流动，而沉槽 43 两侧设置密封槽 44用于保证整个装置工作时气密性良好；并且工作台上设有中空气流管 45。而法兰 42 上设有吸盘和“T”形滑槽 46；装个装置通抽真空来使的吸盘 47 能牢牢件芯片吸住不发生相对移动，而“T”形滑槽 46 则可以很好的保证夹持装置 5 做直线运动。

进一步地，夹持装置 5 包括支撑板 51、滑轴 52、弹性元件 53 和夹紧块 54；所述滑轴 52 和夹紧块 54 固定连接；所述滑轴 52 通过直线轴承固定安装在支撑板 51上；所述弹性元件 53 位于夹紧块 54 和支撑板 51 之间，且套接在滑轴 52 上；所述夹紧块 54 上设有橡胶层。

进一步地，旋转装置 2 包括摇柄（图中未示出）、轴承Ⅱ21 和蜗杆 22 组成；所述蜗杆 22 通过轴承Ⅱ21 固定安装在机台 1 内侧；所述摇柄和蜗杆 22 固定连接。

本实用新型工作如下，将电子芯片放置在法兰 42 上启动抽真空，通过吸盘将电子芯片固定，之后在通过夹持装置 5 进一步将 X 轴方向和 Y 轴方向固定，之后进行检测，检测过程中通过旋转装置 2 进行不同方位的调整。本实用新型中的法兰 42 增设一个光源孔，用来增加光线，提高检测精度。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、

替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种扫描电子显微镜样品夹持装置，其特征在于：包括机台、旋转装置、旋转接头、转台和夹持装置；所述转台通过轴承固定安装在机台上；所述旋转装置与所述转台相互啮合；

所述夹持装置位于转台上方；所述转台包括工作台和法兰；所工作台与所述法兰之间通过螺栓连接；所述工作台一端设有轮齿另一端设有沉槽；所述沉槽上设有两个密封槽。

2.根据权利要求 1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置，其特征在于所述法兰上设有 4个吸盘；所述法兰上设有“T”形滑槽。

3.根据权利要求1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置，其特征在于所述工作台设有气流管道。

4.根据权利要求 1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置，其特征在于所述夹持装置包括支撑板、滑轴、弹性元件和夹紧块；所述滑轴和夹紧块固定连接；所述滑轴通过直线轴承固定安装在支撑板上；所述弹性元件位于夹紧块和支撑板之间，且套接在滑轴上。

5.根据权利要求 1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置，其特征在于所述旋转装置包括摇柄、轴承Ⅱ和蜗杆组成；所述蜗杆通过轴承Ⅱ固定安装在机台内侧；所述摇柄和蜗杆固定连接。

6.根据权利要求 4 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置，其特征在于所述夹紧块上设有橡胶层。