CN104655279A - 包括分色光束组合器和分离器的光学吸收光谱法系统 - Google Patents

包括分色光束组合器和分离器的光学吸收光谱法系统 Download PDF

Info

Publication number
CN104655279A
CN104655279A CN201410660889.6A CN201410660889A CN104655279A CN 104655279 A CN104655279 A CN 104655279A CN 201410660889 A CN201410660889 A CN 201410660889A CN 104655279 A CN104655279 A CN 104655279A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
sample
wavelength
reflection
wave length
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410660889.6A
Other languages
English (en)
Inventor
M·博尔思
M·R·哈默
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agilent Technologies Inc
Original Assignee
Agilent Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agilent Technologies Inc filed Critical Agilent Technologies Inc
Publication of CN104655279A publication Critical patent/CN104655279A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J3/427—Dual wavelengths spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0237—Adjustable, e.g. focussing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
    • G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
    • G01N21/3151—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths using two sources of radiation of different wavelengths
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J2003/1866—Monochromator for three or more wavelengths
    • G01J2003/1876—Polychromator
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
    • G01N2021/3155—Measuring in two spectral ranges, e.g. UV and visible

Abstract

在此公开包括分色光束组合器和分离器的光学吸收光谱法系统。光学吸收光谱法系统(100，400)包括：第一和第二光源、分色光束组合器和波长选择模块。所述第一光源(111，411)发出具有第一波长范围内的第一波长的第一光(113，413)，所述第二光源(112，412)发出具有与所述第一波长范围不同的所述第二波长范围内的第二波长的第二光(114，414)。所述分色光束组合器(115，415)包括：预定第一反射/透射转变区域，所述分色光束组合器配置为透射所述第一光的第一部分，并且反射所述第二光的第二部分，以提供组合光(116，416a)。所述波长选择模块(120，420)配置为将入口小孔(121，421)处接收到的组合光进行色散，选择作为样本光(123，423)的色散光的样本波长范围，并且从出口小孔(122，422)输出具有所选择的样本波长范围的所述样本光，用于照射样本。

Description

包括分色光束组合器和分离器的光学吸收光谱法系统
技术领域
本申请涉及光学吸收光谱法系统。
背景技术
通常，传统光学吸收谱仪使用一个光源，其可以选自多个可能的光源当中并且纳入到光学吸收光谱法系统中，以执行特定样本的光谱化学分析。所选择的光源的类型和特性取决于要用于光谱化学分析的光的具体波长和/或波长范围。
当不同的实验需要不同的光波长和/或光波长范围时，光源必须在物理上以具有适当特性的另一光源替换。这种处理通常是低效且耗时的，在降低可靠性的同时增加了复杂度和成本。此外，当实验需要来自两个或更多个不同光源的光波长时，光源必须在测量处理期间改变，典型地导致非连续的结果，尤其是在各个光源的各波长范围之间的转变处。
发明内容
在代表性实施例中，一种光学吸收光谱法系统包括：第一光源，其配置为发出具有第一波长范围内的第一波长的第一光；第二光源，其配置为发出具有与所述第一波长范围不同的第二波长范围内的第二波长的第二光；分色光束组合器，其具有预定第一反射/透射转变区域。所述分色光束组合器配置为透射所述第一光的第一部分，并且反射所述第二光的第二部分，以提供组合光。所述光学吸收光谱法系统还包括：波长选择模块，其配置为：将入口小孔处接收到的组合光进行色散，选择作为样本光的色散光的样本波长范围，并且从出口小孔输出具有所选择的样本波长范围的样本光，用于照射样本。
在另一代表性实施例中，一种光学吸收光谱法系统包括波长选择模块、样本保持器和检测模块。所述波长选择模块配置为将入口小孔处接收到的组合光进行色散，选择作为样本光的色散光的样本波长范围，并且从出口小孔输出具有所选择的样本波长范围的所述样本光。所述样本保持器配置为含有当由来自所述波长选择模块的所述样本光照射时提供测量光的样本。所述检测模块配置为检测所述测量光。所述检测模块包括多个光电检测器，其配置为检测具有不同波长范围内的波长的对应光；以及分色光束分离器，其配置为将具有第一波长范围内的波长的测量光的部分透射到所述光电检测器中的一个，并且将具有第二波长范围内的波长的测量光的部分反射到所述光电检测器中的另一个，其中，所述第一和第二波长范围由所述分色光束分离器的预定第一反射/透射转变区域进行限定。所述光学吸收光谱法系统可以还包括光源模块，其具有多个光源，配置为发出具有不同波长范围内的波长的对应光；以及分色光束组合器，其配置为透射具有第三波长范围内的波长的所述对应光的部分，并且反射具有第四波长范围内的波长的所述对应光的部分，以提供组合光。所述第三和第四波长范围由所述分色光束组合器的预定第二反射/透射转变区域进行限定。
在另一代表性实施例中，一种光学吸收光谱法系统包括第一、第二和第三光源、第一和第二第一分色光束组合器以及波长选择模块。所述第一光源配置为发出具有第一波长范围内的第一波长的第一光。所述第二光源配置为发出具有与所述第一波长范围不同的第二波长范围内的第二波长的第二光。所述第三光源配置为发出具有与所述第一波长范围和所述第二波长范围不同的第三波长范围内的第三波长的第三光。所述第一分色光束组合器配置为透射所述第一光的部分，并且反射所述第二光的部分，以提供第一组合光。所述第二分色光束组合器配置为透射所述第一组合光的部分，并且反射所述第三光的部分，以提供第二组合光。所述波长选择模块配置为：将入口小孔处接收到的所述第二组合光进行色散，选择作为样本光的色散光的样本波长范围，并且从出口小孔输出具有所选择的样本波长范围的样本光，用于照射样本。
附图说明
当结合附图阅读时，说明性实施例根据以下具体实施方式得到最佳地理解。强调的是，各个特征并非一定按比例绘制。实际上，为了讨论的清楚性，尺寸可以任意增加或减少。只要可适用和可行，相同附图标记就指代相同的要素。
图1是根据代表性实施例的光学吸收光谱法系统的截面图。
图2是根据代表性实施例的图1的光学吸收光谱法系统的分色光束组合器的截面图。
图3是根据代表性实施例的图1的光学吸收光谱法系统的分色光束分离器的截面图。
图4是根据另一代表性实施例的光学吸收光谱法系统的截面图。
具体实施方式
在以下具体实施方式中，为了解释而非限制的目的，阐述公开具体细节的说明性实施例以提供对于根据本教导的实施例透彻理解。然而，对于已经受益于本公开的人明显的是，脱离在此所公开的具体细节的根据本教导的其它实施例仍然在所附权利要求的范围内。此外，可以省略公知的设备和方法的描述，以便不会使得示例实施例的描述模糊。这些方法和设备在本教导的范围内。
光学吸收光谱法系统例如可以用于样本的光谱化学分析。通常，根据各个实施例，光学吸收光谱法系统包括：多个光源，其具有不同的波长范围；光学组合器，其用于组合来自所述多个光源的光；以及谱仪(例如单色仪或多色仪)，其用于接收组合的光。谱仪配置为使得能够从组合的光的组合波长范围选择光的样本波长范围。具有所选择的样本波长范围的样本光照射样本，提供具有测量波长范围(其基本上与样本波长范围相同)的测量光。光学吸收光谱法系统还包括：光学分离器，其将测量光的测量波长范围划分到具有不同波长范围的分离部分。光的分离部分引导到配置为检测对应波长范围的一个或多个不同的光电检测器。光学吸收光谱法系统因此能够收集不同波长范围的光，覆盖比多个光源中任何一个发出的和/或光电检测器中任何一个在其自身上检测到的更宽的波长范围。
图1是根据代表性实施例的光学吸收光谱法系统的截面图。
参照图1，光学吸收光谱法系统100包括：光源模块110，其配置为从多个光源输出组合光116；谱仪的波长选择模块120，其配置为在入口狭缝或入口小孔121接收组合光116，并且在出口狭缝或出口小孔122输出具有所选择的样本波长范围的样本光123。波长选择模块120例如可以是单色仪或多色仪，尽管可以并入用于选择波长的其它装置而不脱离本教导的范围。样本光123照射样本单元或样本保持器140中的样本。样本保持器140可以配置为容纳各种类型的样本(例如固体、液体和/或气体样本)。在各种配置中，如果在无需样本保持器140的情况下样本另外可以正确地定位(例如在一些固体样本的情况下)，则可以省略样本保持器140。光学吸收光谱法系统100还包括：检测模块130，其配置为检测从样本发出的测量光143，以提供测量结果。测量光143必需包括更少的光被样本吸收的样本光123。测量结果可以转换为数字数据，并且提供给存储器和/或处理器(未示出)以分别用于存储和分析。
在所描述的实施例中，光源模块110包括第一光源111、第二光源112和分色光束组合器115。第一光源111配置为发出具有第一波长范围中的第一波长的第一光113，第二光源112配置为发出具有第二波长范围中的第二波长的第二光114，其中，第二波长范围与第一波长范围不同。分色光束组合器115经由第一光路从第一光源111接收第一光113，并且经由第二光路从第二光源112接收第二光114。分色光束组合器115配置为：将第一光113的至少一部分透射并且将第二光114的至少一部分反射到波长选择模块120的入口小孔121作为组合光116。
为了说明的目的，第二光源112相对于第一光源111而定位，使得第二光路基本上与第一光路垂直，分色光束组合器115以关于第一和第二光路基本上45度角而定向。当然，第一光源111(以及对应的第一光路)、第二光源112(以及对应的第二光路)和分色光束组合器115的相对定位可以变化，例如，以容纳不同的设置，调整焦点位置和/或提供尽可能多的来自第一和第二和第三光源111和112中每一个的光(或将每个波长范围尽可能多的传送到第一和第二光电检测器131和132中的每一个)，如本领域技术人员应理解的那样。
分色光束组合器115包括预定第一反射/透射转变区域，使得接收到的光依据光波长对于第一反射/透射转变区域的关系而由分色光束组合器115反射或透射。例如，第一反射/透射转变区域之上的光波长(即较长波长)可以占优地透射通过分色光束组合器115，而第一反射/透射转变区域之下的光波长(即较短波长)可以占优地由分色光束组合器115反射，以提供组合光116。贯穿该描述，占优表示大于光的各个部分的总量的50％。
在此情况下，分色光束组合器115透射具有第一反射/透射转变区域之上的波长的第一光113的第一部分(进入入口小孔121)，并且反射具有第一反射/透射转变区域之下的波长的第一光113的第二部分(远离入口小孔121)。同样地，分色光束组合器115透射具有第一反射/透射转变区域之上的波长的第二光114的第一部分(远离入口小孔121)，并且反射具有第一反射/透射转变区域之下的波长的第二光114的第二部分(进入入口小孔121)。相应地，组合光116包括第一光113的第一部分和第二光114的第二部分。当然，在各个实施例中，在不脱离本教导的范围的情况下，分色光束组合器115可以配置为：反射第一反射/透射转变区域之上的光波长，并且透射第一反射/透射转变区域之下的光波长。
在说明性的配置中，第一光源111可以是第一波长范围为近似190纳米(nm)至近似330nm(例如紫外光区域)的氘(D2)灯，第二光源112可以是第二波长范围为近似330nm至近似3300nm(例如可见光区域)的白炽灯，例如，产生近似190nm至近似3300nm的组合波长范围。在此情景下，分色光束组合器115的第一反射/透射转变区域例如可以设置在近似330nm处，在此情况下，基本上所有的第一光113将透射通过分色光束组合器115，并且基本上所有的第二光114将经分色光束组合器115反射而形成组合光116。
当然，在不脱离本教导的范围的情况下，第一和第二光源111和112可以实现为具有对应不同第一和第二波长范围的各种不同类型的光源。第一和第二波长范围可以相接或重叠，使得组合光116具有包括第一和第二波长范围中每一个的所有或部分的基本上连续的组合波长范围。在可替选的实施例中，光学吸收光谱法系统100可以包括多于两个的光源，如以下参照图4讨论的那样。
波长选择模块120配置为：使得在入口小孔121处接收到的组合光116色散，选择色散光的样本波长范围，并且从出口小孔122输出样本光123，用于照射样本保持器140中的样本。样本光123的样本波长处于所选择的样本波长范围中。例如，波长选择模块120可以是具有在空间上使得组合光116的波长分量(即，组合波长)色散为色散光的波长色散元件(例如光栅或棱镜)的单色仪。
波长选择模块120可以配置为：使得能够从色散光选择特定波长范围(即样本波长范围)，用于照射样本。例如，可以通过旋转波长选择模块120的光栅或棱镜来选择样本波长范围。例如，所选择的波长与光栅的角度的正弦成比例。样本波长范围的大小可以基于应用和/或设计具体要求而变化。例如，样本波长范围可以为近似1nm至近似2nm，尽管可以并入其它样本波长范围而不脱离本教导的范围。因此，出口小孔122处的样本光的样本波长范围(例如大约1-2nm)可以显著地窄于入口小孔121处的组合光的组合波长范围(例如大约190-3300nm)。这使得用户能够简单地通过在波长选择模块120处选择期望的色散波长而有选择地将具有各种目标样本波长范围的样本光应用于样本。
检测模块130响应于样本光123穿过样本而接收测量光143。在所描述的实施例中，检测模块130包括分色光束分离器135、第一光电检测器131和第二光电检测器132。分色光束分离器135配置为：从样本保持器140中的样本接收测量光143，并且基于测量波长的长度，将测量光143的部分(第三光133)透射到第一光电检测器131，而将测量光143的另一部分(第四光134)反射到第二光电检测器132。因此，第一光电检测器131接收并且检测第三光133，第二光电检测器132接收并且检测第四光134。第一和第二光电检测器131和132例如可以是光电二极管，尽管可以并入其它类型的光电检测器而不脱离本教导的范围。
通常，第一和第二光电检测器131和132将第三和第四光133和134转换为电信号，例如，其可以由模数转换器(ADC)(未示出)数字化，存储至存储器(未示出)，和/或由处理设备(未示出)处理并分析。例如，可以通过计算机处理器、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或其组合使用软件、固件、硬引线逻辑电路或其组合来实现处理设备。当使用处理器时，可以包括处理器存储器(例如非瞬时计算机可读介质)，用于存储允许其执行各种功能的可执行软件/固件和/或可执行代码。
分色光束分离器135包括预定第二反射/透射转变区域，使得接收到的测量光依据测量光波长对于第二反射/透射转变区域的关系而由分色光束分离器135反射或透射。例如，第二反射/透射转变区域之上的测量波长(即较长波长)可以占优地透射通过分色光束分离器135，而第二反射/透射转变区域之下的测量波长(即较短波长)可以占优地由分色光束分离器135反射。当然，在各个实施例中，在不脱离本教导的范围的情况下，分色光束分离器135可以配置为：反射第二反射/透射转变区域之上的测量波长，并透射第二反射/透射转变区域之下的测量波长。
分色光束分离器135的第二反射/透射转变区域可以不同于分色光束组合器115的第一反射/透射转变区域。例如，第二反射/透射转变区域可以设置为有效地将组合光116的组合波长范围划分到预定谱区域。例如，假设组合波长范围为近似190nm至近似3300nm，如在以上所讨论的示例中那样，则第二反射/透射转变区域可以设置为近似1100nm。在此情况下，测量光143的近红外(NIR)部分(例如近似1100nm至近似2500nm)可以通过分色光束分离器135作为第三光133透射到第一光电检测器131(例如，铟(In)/镓(Ga)砷(As)检测器)上，而测量光143的紫外可见(UV-Vis)部分(例如，近似190nm至近似1100nm)可以作为第四光134通过分色光束分离器135反射到第二光电检测器132(例如硅光电检测器)上。当然，在各个实施例中，分色光束分离器135可以配置为具有可用谱内任何地方的第二反射/透射转变区域，而不脱离本教导的范围。
依据第二反射/透射转变区域和测量光143的测量波长范围，所有测量光143可以透射到第一光电检测器131(例如，如果测量波长范围完全在第二反射/透射转变区域之上)，或可以反射到第二光电检测器132(例如，如果测量波长范围完全在第二反射/透射转变区域之下)。可替代地，如果测量波长范围跨域第二反射/透射转变区域延伸，则测量光143在第一和第二光电检测器131与132之间分离，如上所述。然而，根据各个实施例，由于第一和第二光源111和112、分色光束组合器115以及第一和第二光电检测器131和132全都随着波长平滑地(与急剧相反地)转变，因此在第一和第二光电检测器131与132的输出之间存在渐进(平滑)转变。因此，信号等级的任何差别由于转变处的重叠而从阶跃转换为缓慢斜坡。反之，使用可移动镜，例如，转变是急剧的，从来自一个光电检测器的100％改变到来自另一检测器的100％，使得信号等级的任何差异显现为阶跃。
图2是根据代表性实施例的图1所示的光学吸收光谱法系统100的分色光束组合器115的截面图。
参照图2，分色光束组合器115倾斜，使得其透射/反射的第一和第二光113和114的部分被引导进入或离开波长选择模块120的入口小孔121。更具体地，当分色光束组合器115接收到第一光113时，其将透射部分113T透射到入口小孔121中，并且将反射部分113R反射离开入口小孔121(意味着反射部分113R不进入入口小孔121)。当分色光束组合器115在与接收第一光113相同的时间接收第二光114时，其将反射部分114R反射进入入口小孔121并且将透射部分114T透射离开入口小孔121。透射部分113T和反射部分114R有效地组合以提供组合光116。
如上所述，由于分色光束组合器115可以配置为透射占优地具有分别在第一反射/透射转变区域之上的第一和第二波长的第一和第二光113和114的部分，因此第一光113的透射部分113T和第二光114的透射部分114T具有占优地处于第一反射/透射转变区域之上的第一波长范围中的波长。同样地，由于分色光束组合器115可以配置为反射占优地具有分别在第一反射/透射转变区域之下的第一和第二波长的第一和第二光113和114的部分，因此第一光113的反射部分113R和第二光114的反射部分114R具有占优地处于第一反射/透射转变区域之下的第二波长范围中的波长。
换句话，波长选择模块120通常接收第一光113的较长波长(例如在谱的可见区域中)和第二光114的较短波长(例如在谱的紫外区域中)。当然，在可替选的实施例中，分色光束组合器115可以配置为透射占优地具有第一反射/透射转变区域之下的波长的第一和第二光113和114的部分，并且反射占优地具有第一反射/透射转变区域之上的波长的第一和第二光113和114的部分，而在不脱离本教导的范围。
图3是根据代表性实施例的图1所示的光学吸收光谱法系统100的分色光束分离器135的截面图。
参照图3，分色光束分离器135倾斜使得其依据测量波长所透射/反射的测量光143的部分被引导在不同方向上。更具体地，当分色光束分离器135接收到测量光143时，其朝向第一光电检测器131对透射部分143T进行透射，并且朝向第二光电检测器132对反射部分143R进行反射。因此，透射部分143T有效地提供由第一光电检测器131所接收的第三光133，反射部分143R有效地提供由第二光电检测器132所接收的第四光134。
如上所述，由于分色光束分离器135可以配置为透射占优地具有第二反射/透射转变区域之上的测量波长的测量光143的部分并且反射占优地具有第二反射/透射转变区域之下的测量波长的测量光143的部分，因此透射部分143T具有占优地处于第二反射/透射转变区域之上的第一波长范围中的波长，反射部分143R具有占优地处于第二反射/透射转变区域之下的第二波长范围中的波长。
换句话，第一光电检测器131通常接收测量光143的较长波长，第二光电检测器132通常接收测量光143的较短波长。当然，在替选实施例中，在不脱离本教导的范围的情况下，分色光束分离器135可以配置为透射占优地具有第二反射/透射转变区域之下的波长的测量光143的部分，并且反射占优地具有第二反射/透射转变区域之上的波长的测量光143的部分。
如上所述，光学吸收光谱法系统的各个实施例可以包括多于两个的光源和/或多于两个的光电检测器。例如，图4是根据另一代表性实施例的光学吸收光谱法系统的截面图，其中并入了三个光源和三个光电检测器。
参照图4，光学吸收光谱法系统400包括：光源模块410，其配置为从多个光源输出第二组合光416b；谱仪的波长选择模块420，其配置为在入口狭缝或入口小孔421接收第二组合光416b，并且在出口狭缝或出口小孔122输出具有所选择的样本波长范围的样本光423。样本光423照射样本单元或样本保持器440中的样本，样本单元或样本保持器440可以配置为容纳各种类型的样本(例如固体、液体和/或气体样本)。光学吸收光谱法系统400还包括：检测模块430，其配置为检测从样本发出的测量光443，以提供测量结果。测量光443必需包括更少的光被样本吸收的样本光123。测量结果可以转换为数字数据，并且提供给存储器和/或处理器(未示出)，分别用于存储和分析，如上所述。
在所描述的实施例中，光源模块410包括三个光源和两个分色光束组合器。更具体地，光源模块410包括第一光源411、第二光源412、第三光源417、第一分色光束组合器415和第二分色光束组合器419。第一光源411配置为发出具有第一波长范围中的第一波长的第一光413，第二光源412配置为发出具有第二波长范围中的第二波长的第二光414，第三光源417配置为发出具有第三波长范围中的第三波长的第三光418，其中，第一、第二和第三波长范围彼此不同。
第一分色光束组合器415经由第一光路从第一光源411接收第一光413，并且经由第二光路从第二光源412接收第二光414。第一分色光束组合器415配置为将第一光413的至少一部分透射并且将第二光414至少一部分反射到第二分色光束组合器419作为第一组合光416a。相似地，第二分色光束组合器419经由第三光路从第一分色光束组合器415接收第一组合光416a，并且经由第四光路从第三光源417接收第三光418。第二分色光束组合器419配置为将第一组合光416a的至少一部分透射并且将第三光418的至少一部分反射到波长选择模块420的入口小孔421作为第二组合光416b。
为了说明的目的，第二光源412和第三光源417相对于第一光源411而定位，使得第二和第四光路基本上与第一和第三光路垂直。此外，第一分色光束组合器415和第二分色光束组合器419中的每一个以相对于第一至第四光路基本上45度角而定向。当然，第一、第二和第三光源411、412和417(以及对应的光路)与第一和第二分色光束组合器415和419的相对定位可以变化，例如，以容纳不同的设置，调整焦点位置和/或提供尽可能多的来自第一、第二和第三光源411、412和417中的每一个的光(或将每个波长范围尽可能多的传送到第一、第二和第三光电检测器431、432和437中的每一个)，如对于本领域技术人员显而易见的。
第一分色光束组合器415包括预定第一反射/透射转变区域，使得所接收到的光依据光波长对于第一反射/透射转变区域的关系而由第一分色光束组合器415反射或透射。同样地，第二分色光束组合器419包括预定第二反射/透射转变区域，使得所接收到的光依据光波长对于第二反射/透射转变区域的关系而由第二分色光束组合器419反射或透射。在各个实施例中，第二反射/透射转变区域可以与第一反射/透射转变区域不同。上面参照分色光束组合115的第一反射/透射转变区域讨论了反射/透射转变区域的功能，因此在此将不重复。
在说明性配置中，第一光源411、第二光源412和第三光源417可以实现为具有对应不同第一、第二和第三波长范围的各种不同类型的光源，而不脱离本教导的范围。第一、第二和第三波长范围可以相接或重叠，使得第二组合光116b具有包括第一、第二和第三波长范围中每一个的所有或部分的基本上连续的组合波长范围。
波长选择模块420配置为：使得在入口小孔421处所接收到的第二组合光416b色散，选择色散光的样本波长范围，并且从出口小孔422输出样本光423，用于照射样本保持器440中的样本。波长选择模块420的功能基本上与以上讨论的波长选择模块120的功能相同，因此在此不重复。
检测模块430响应于样本光423经过样本而接收测量光443。在所描述的实施例中，检测模块430包括第一分色光束分离器435、第二分色光束分离器439、第一光电检测器431、第二光电检测器432和第三光电检测器437。第一分色光束分离器435配置为：从样本保持器440中的样本接收测量光443，并且基于测量波长的长度，将测量光143的部分(第四光433a)透射到第二分色光束分离器439，而将测量光443的另一部分(第五光434)反射到第二光电检测器432。第二分色光束分离器439配置为：从第一分色光束分离器435接收第四光433a，并且基于第四光波长的长度，将第四光433a的部分(第六光433b)透射到第一光电检测器431，而将第四光433a的另一部分(第七光438)反射到第三光电检测器437。因此，第一光电检测器131接收并且检测第六光433b，第二光电检测器432接收并且检测第五光434，第三光电检测器437接收并且检测第七光438。第一、第二和第三光电检测器431、432和437例如可以是光电二极管，尽管可以并入其它类型的光电检测器，而不脱离本教导的范围。
通常，第一、第二和第三光电检测器431、432和437分别将第六、第五和第七光433b、434和438转换为电信号，例如，其可以由ADC(未示出)数字化，存储在存储器(未示出)中，和/或由处理设备(未示出)处理并分析，如上所述。第一分色光束分离器435包括预定第三反射/透射转变区域，使得所接收到的测量光423依据测量光波长对于第三反射/透射转变区域的关系而由第一分色光束分离器435反射或透射。同样地，第二分色光束分离器439包括预定第四反射/透射转变区域，使得所接收到的第四光433a依据第四光波长对于第四反射/透射转变区域的关系而由第二分色光束分离器439反射或透射，也如上所述。
第一分色光束分离器435的第三反射/透射转变区域可以不同于第二分色光束分离器439的第四反射/透射转变区域。此外，第三和第四反射/透射转变区域可以分别不同于第一和第二分色光束组合器415和419的第一和第二反射/透射转变区域。例如，第三和第四反射/透射转变区域中的每一个可以设置为有效地将第一组合光416a的组合波长范围划分到预定谱区域。当然，在各个实施例中，第一和第二分色光束分离器435和439可以配置为具有可用谱内的任何地方的第三和第四反射/透射转变区域，而不脱离本教导的范围。
根据各个实施例，分色光束组合器可以用于光学吸收光谱法系统，以组合来自两个或更多个分离光源的光，并且组合光进入谱仪的波长选择模块的入口小孔。分离光源具有不同的对应波长范围，使得组合光具有包括分离光源的两个波长范围的扩展波长范围。光束组合器可以设计为具有波长范围相接或部分地重叠的反射/透射转变区域。以此方式，可以从源光路消除用于对不同光源进行改变并且重新聚焦的移动部分，减少了复杂度和成本，并且改进了可靠性。
类似地，分色光束分离器可以用于光学吸收光谱法系统，以划分来自已经由来自波长选择模块的出口小孔的样本光(其具有所选择的波长范围)所照射的样本的测量光，提供分离的具有不同对应波长范围的光。分离的光被引导到两个或更多个光电检测器。例如，具有分色光束分离器的反射/透射转变区域之上的较大波长的分离光可以引导到第一光电检测器，而具有分色光束分离器的反射/透射转变区域之下的较小波长的分离光可以引导到第二光电检测器。以此方式，可以从光电检测器光路消除用于对不同光电检测器进行改变或重新配置的移动部分，进一步减少了复杂度和成本，并且改进了可靠性。
虽然在此公开了具体实施例，但许多变形是可能的，其仍在本发明的构思和范围内。在审阅这里的说明书、附图和权利要求之后，这些变形将变得清楚。因此，除了所附权利要求范围内之外，本发明不受限制。

Claims (10)

1.一种光学吸收光谱法系统(100，400)，包括：
第一光源(111，411)，其配置为发出具有第一波长范围内的第一波长的第一光(113，413)；
第二光源(112，412)，其配置为发出具有与所述第一波长范围不同的第二波长范围内的第二波长的第二光(114，414)；
分色光束组合器(115，415)，包括：预定第一反射/透射转变区域，所述分色光束组合器配置为透射所述第一光的第一部分，并且反射所述第二光的第二部分，以提供组合光(116，416a)；以及
波长选择模块(120，420)，其配置为将入口小孔(121，421)处接收到的所述组合光进行色散，选择作为样本光(123，423)的色散光的样本波长范围，并且从出口小孔(122，422)输出具有所选择的样本波长范围的样本光，用于照射样本。
2.如权利要求1所述的系统，其中，所述分色光束分离器包括预定第一反射/透射转变区域，以及
其中，基于所述第一波长和所述第二波长分别对于所述预定第一反射/透射转变区域的关系来确定所述第一光的所述第一部分和所述第二光的所述第二部分。
3.如权利要求2所述的系统，其中，所述第一光的所述第一部分具有在所述预定第一反射/透射转变区域之上的第一波长，所述第二光的所述第二部分具有在所述预定第一反射/透射转变区域之下的第二波长。
4.如权利要求2所述的系统，其中，所述第一光的所述第一部分具有在所述预定第一反射/透射转变区域之下的第一波长，所述第二光的所述第二部分具有在所述预定第一反射/透射转变区域之上的第二波长。
5.如权利要求2所述的系统，还包括：
样本保持器(140，440)，其配置为含有样本，样本在由来自所述波长选择模块(120，420)的样本光照射时提供测量光(143，443)；
分色光束分离器(135，435)，其配置为透射所述测量光的第一部分，并且反射从所述样本接收到的所述测量光的第二部分，所述测量光包括更少的光被样本吸收的样本光；
第一光电检测器(131，431)，其配置为接收并且检测所透射的测量光的第一部分；以及
第二光电检测器(132，432)，其配置为接收并且检测所反射的测量光的第二部分。
6.如权利要求5所述的系统，其中，所述分色光束分离器包括预定第二反射/透射转变区域，以及
其中，所述测量光的所述第一部分和所述测量光的所述第二部分基于所述测量光的波长对于所述预定第二反射/透射转变区域的关系而被确定。
7.如权利要求6所述的系统，其中，所述预定第二反射/透射转变区域不同于所述预定第一反射/透射转变区域。
8.如权利要求6所述的系统，其中，从所述波长选择模块的所述出口小孔发出的所述样本光的所述样本波长范围从所述预定第二反射/透射转变区域之下延伸到所述预定第二反射/透射转变区域之上。
9.一种光学吸收光谱法系统(100，400)，包括：
波长选择模块(120，420)，其配置为将入口小孔(120，420)处接收到的光进行色散，选择作为样本光(123，423)的色散光的样本波长范围，并且从出口小孔(122，422)输出具有所选择的样本波长范围的样本光；
样本保持器(140，440)，其配置为含有样本，样本在由来自所述波长选择模块的样本光照射时提供测量光(143，443)；以及
检测模块(130，430)，其配置为检测所述测量光，所述检测模块包括：多个光电检测器(131，132，431，432，437)，其配置为检测具有不同波长范围内的波长的对应光；以及分色光束分离器(135，435，439)，其配置为将具有第一波长范围内的波长的测量光的部分透射到所述多个光电检测器中的一个，并且将具有第二波长范围内的波长的测量光的部分反射到所述多个光电检测器中的另一个，第一和第二波长范围由所述分色光束分离器的预定第一反射/透射转变区域进行限定。
10.一种光学吸收光谱法系统(400)，包括：
第一光源(411)，其配置为发出具有第一波长范围内的第一波长的第一光(413)；
第二光源(412)，其配置为发出具有与所述第一波长范围不同的第二波长范围内的第二波长的第二光(414)；
第三光源(413)，其配置为发出具有与所述第一波长范围和所述第二波长范围不同的第三波长范围内的第三波长的第三光(418)；
第一分色光束组合器(415)，其配置为透射所述第一光的部分，并且反射所述第二光的部分，以提供第一组合光(416a)；
第二分色光束组合器(419)，其配置为透射所述第一组合光的部分，并且反射所述第三光的部分，以提供第二组合光(416b)；以及
波长选择模块(420)，其配置为将入口小孔(421)处接收到的所述第二组合光进行色散，选择作为样本光(423)的色散光的样本波长范围，并且从出口小孔(422)输出具有所选择的样本波长范围的样本光，用于照射样本。
CN201410660889.6A 2013-11-21 2014-11-19 包括分色光束组合器和分离器的光学吸收光谱法系统 Pending CN104655279A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/085,840 US9151672B2 (en) 2013-11-21 2013-11-21 Optical absorption spectrometry system including dichroic beam combiner and splitter
US14/085,840 2013-11-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104655279A true CN104655279A (zh) 2015-05-27

Family

ID=52118359

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410660889.6A Pending CN104655279A (zh) 2013-11-21 2014-11-19 包括分色光束组合器和分离器的光学吸收光谱法系统

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9151672B2 (zh)
JP (1) JP6549832B2 (zh)
CN (1) CN104655279A (zh)
GB (1) GB2521921B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107305184A (zh) * 2016-04-19 2017-10-31 卡斯卡德技术控股有限公司 激光检测系统和方法
CN108255008A (zh) * 2018-01-24 2018-07-06 杭州昌松光学有限公司 一种多波长复用投影仪rgb合色装置
CN113039415A (zh) * 2018-11-15 2021-06-25 ams传感器新加坡私人有限公司 使用具有多个光谱仪的系统进行测量
US11519855B2 (en) 2017-01-19 2022-12-06 Emerson Process Management Limited Close-coupled analyser

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9515738B2 (en) * 2013-12-17 2016-12-06 Hisense Broadband Multimedia Technologies Co., Ltd. Optical module
ES2569550A1 (es) * 2014-10-10 2016-05-11 Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) Espectrofotómetro
US10180393B2 (en) 2016-04-20 2019-01-15 Cascade Technologies Holdings Limited Sample cell
CN106226253A (zh) * 2016-07-29 2016-12-14 北京大学东莞光电研究院 一种快速确定植物吸收光谱的方法以及植物光照光谱区间
WO2019027814A1 (en) * 2017-08-01 2019-02-07 Zoetis Services Llc APPARATUS FOR ANALYZING A MEDIUM AND APPARATUS AND METHOD FOR IDENTIFYING CORRESPONDING EGGS
US20220187133A1 (en) * 2019-01-22 2022-06-16 Georgia Tech Research Corporation Microscale In-Situ Imaging Of Dynamic Temperature And Deformation Fields
CN113557415A (zh) 2019-02-06 2021-10-26 加州理工学院 紧凑型高光谱中红外光谱仪
JP7056627B2 (ja) * 2019-05-17 2022-04-19 横河電機株式会社 分光分析装置及び分光分析方法
KR102233677B1 (ko) * 2019-10-25 2021-03-30 한국표준과학연구원 멀티스케일 두께 측정 광학 장치
US11313722B2 (en) 2019-11-08 2022-04-26 California Institute Of Technology Infrared spectrometer having dielectric-polymer-based spectral filter
IL300158A (en) * 2020-08-03 2023-03-01 Siemens Healthcare Diagnostics Inc Absorption spectroscopy analyzer and method for use

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4707133A (en) * 1986-03-06 1987-11-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Apparatus for plasma diagnostics
CN1357104A (zh) * 1999-04-21 2002-07-03 克罗马根公司 用于高通量荧光探测的新型扫描光谱仪
US20040022164A1 (en) * 2002-07-26 2004-02-05 Sumito Nishioka Optical pickup
CN1896722A (zh) * 2005-10-21 2007-01-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种连续扫描荧光成像文检仪
CN201449370U (zh) * 2009-06-04 2010-05-05 南京大学 多波长核酸蛋白层析分离和检测装置
CN102246015A (zh) * 2008-10-14 2011-11-16 爱丁堡仪器有限公司 具有可变波长选择器以及可调干扰滤波器的单色光镜
CN103221802A (zh) * 2010-11-19 2013-07-24 株式会社日立高新技术 分光光度计
CN103282738A (zh) * 2010-11-30 2013-09-04 德累斯顿工业大学 用于对运动的固体的位置和形状进行非增量式测量的设备

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0325352A (ja) 1989-06-23 1991-02-04 Hitachi Ltd 火炎断層計測法
JPH0454437A (ja) 1990-06-22 1992-02-21 Hitachi Ltd 散乱性物体の光吸収測定方法およびその装置
JP3524347B2 (ja) * 1997-09-30 2004-05-10 株式会社日立製作所 吸光度測定方法、吸光度測定器および吸光度測定システム
WO2001001070A1 (fr) 1999-06-29 2001-01-04 Omron Corporation Dispositif a source lumineuse, spectroscope comportant le dispositif a source lumineuse et capteur d'epaisseur de couche
DE19948587A1 (de) 1999-10-08 2001-04-12 Dade Behring Marburg Gmbh Spektralphotometrische und nephelometrische Detektionseinheit
US7423751B2 (en) 2005-02-08 2008-09-09 Northrop Grumman Corporation Systems and methods for use in detecting harmful aerosol particles
JP2007212429A (ja) * 2006-01-13 2007-08-23 Chuo Denshi Keisoku Kk ヘッドライトの光軸調整方法におけるエルボー点検出方法
KR100962522B1 (ko) 2008-07-24 2010-06-14 한국표준과학연구원 3색 광원을 이용하는 멀티플렉스 ｃａｒｓ 분광장치
JP5532608B2 (ja) 2009-01-16 2014-06-25 横河電機株式会社 レーザガス分析方法
US8477304B2 (en) * 2009-07-08 2013-07-02 Battelle Memorial Institute System and method for high precision isotope ratio destructive analysis
KR20110111948A (ko) * 2010-04-06 2011-10-12 삼성전기주식회사 입자 측정장치
KR101799518B1 (ko) 2011-05-03 2017-11-21 삼성전자 주식회사 형광 검출 광학계 및 이를 포함하는 다채널 형광 검출 장치
US9279722B2 (en) 2012-04-30 2016-03-08 Agilent Technologies, Inc. Optical emission system including dichroic beam combiner

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4707133A (en) * 1986-03-06 1987-11-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Apparatus for plasma diagnostics
CN1357104A (zh) * 1999-04-21 2002-07-03 克罗马根公司 用于高通量荧光探测的新型扫描光谱仪
US20040022164A1 (en) * 2002-07-26 2004-02-05 Sumito Nishioka Optical pickup
CN1896722A (zh) * 2005-10-21 2007-01-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种连续扫描荧光成像文检仪
CN102246015A (zh) * 2008-10-14 2011-11-16 爱丁堡仪器有限公司 具有可变波长选择器以及可调干扰滤波器的单色光镜
CN201449370U (zh) * 2009-06-04 2010-05-05 南京大学 多波长核酸蛋白层析分离和检测装置
CN103221802A (zh) * 2010-11-19 2013-07-24 株式会社日立高新技术 分光光度计
CN103282738A (zh) * 2010-11-30 2013-09-04 德累斯顿工业大学 用于对运动的固体的位置和形状进行非增量式测量的设备

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107305184A (zh) * 2016-04-19 2017-10-31 卡斯卡德技术控股有限公司 激光检测系统和方法
CN107305184B (zh) * 2016-04-19 2022-03-15 卡斯卡德技术控股有限公司 激光检测系统和方法
US11519855B2 (en) 2017-01-19 2022-12-06 Emerson Process Management Limited Close-coupled analyser
CN108255008A (zh) * 2018-01-24 2018-07-06 杭州昌松光学有限公司 一种多波长复用投影仪rgb合色装置
CN113039415A (zh) * 2018-11-15 2021-06-25 ams传感器新加坡私人有限公司 使用具有多个光谱仪的系统进行测量

Also Published As

Publication number Publication date
GB2521921A (en) 2015-07-08
US20150138533A1 (en) 2015-05-21
US9151672B2 (en) 2015-10-06
GB2521921B (en) 2016-03-09
JP2015102545A (ja) 2015-06-04
JP6549832B2 (ja) 2019-07-24
GB201420096D0 (en) 2014-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104655279A (zh) 包括分色光束组合器和分离器的光学吸收光谱法系统
US10401221B2 (en) Optical emission system including dichroic beam combiner
US20130222789A1 (en) Spectrophotometer
US7787120B2 (en) Spectrophotometer and liquid chromatography system
US20150369665A1 (en) Multi backend ultra-broadband dispersive spectrometer
CN114729882A (zh) 分光分析装置以及分光分析方法
US10451479B2 (en) Multichannel ultra-sensitive optical spectroscopic detection
US20100014076A1 (en) Spectrometric apparatus for measuring shifted spectral distributions
US9995627B2 (en) Raster optic device for optical hyper spectral scanning
US20140071451A1 (en) System and method for optical measurement of a target at multiple positions
CN102753949B (zh) 分光光度计及其性能测定方法
US11340114B2 (en) Spectrum measurement system
JP6470625B2 (ja) 分光計測装置
US20090173891A1 (en) Fluorescence detection system
JP7241021B2 (ja) Ａｔｒ分光計及びサンプルの化学組成を分析する方法
US9658154B2 (en) Spectrometer and gas analyzer
KR100961138B1 (ko) 분광분석기
KR101317059B1 (ko) 멀티가스 분석용 자외선 측정장치
JP5929504B2 (ja) 分光測定器
US9551614B2 (en) Devices, methods, and systems for cavity-enhanced spectroscopy
WO2013185282A1 (zh) 生化检测系统及其光源模块
JP2013160651A (ja) ライン分光測定装置
KR20170002840A (ko) 다파장 측정 광 검출기
JP2023539429A (ja) 吸収分光分析器および使用方法
JP2017053715A (ja) 分析装置および分析方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20150527