CN104502330B - 一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及激光诱导击穿光谱检测技术领域,提供一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,所述装置包括:液体样品喷流单元,用于提供液体样品的喷流;介质阻挡放电等离子体射流单元,用于使液体样品的喷流周围产生大气压介质阻挡放电等离子体;激光入射单元,用于照射液体样品的喷流,使液体样品的喷流周围产生激光等离子体;所述信号接收单元,用于采集激光等离子体以及与放电等离子体相互作用增强的发射光信号,并将发射光信号转换为电信号得到光谱数据;所述数据分析单元,用于对所述信号接收单元得到的光谱数据进行显示和分析处理。本发明具有更高的信背比,更好的稳定性,更高的信号强度,更低的检出限。
Description
技术领域
本发明涉及激光诱导击穿光谱检测技术领域,尤其涉及一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置。
背景技术
激光诱导击穿光谱(laser-induced breakdown spectroscopy,LIBS)是原子发射光谱的一种,它通过一束激光聚聚焦后烧蚀样品,产生等离子体,在等离子体冷却复合的过程中检测其发射光谱,从而进行样品成分检测分析。作为近年来新兴的光谱检测技术,与其它光谱技术相比,因其具有样品无需预处理、实时、快速、微损、全元素分析等无可比拟的优势,得到了广泛的关注。激光诱导击穿光谱技术可根据产生的等离子体发射光谱及其强度来进行定性或定量的成分分析。目前,激光诱导击穿光谱技术应用广泛,包括传统的化学成分分析、环境监测、生物技术、矿产资源勘探、药剂饮品生产检验、核工业、海洋科学等各种领域。
激光诱导击穿光谱在针对固体和气体样品检测领域中,得到了良好的发展和应用,并且已经转化成为了较为成熟的技术产品。但利用该技术进行液体样品旳成分分析时,遇到了极大的困难。由于激光烧蚀液体样品产生等离子体时,会在液体内部产生气泡并伴随非常大的温度及压强梯度等,这些因素导致激光烧蚀过程中的液滴飞溅,造成等离子体不稳定性。同时因为液体的流动性以及较高的透射和反射率对液体样品的烧蚀效率要低于固体样品。等离子体不稳定,导致光谱检测信号强度和稳定性恶化;等离子体寿命变短,导致光谱信号弱,检测限高。这使得激光诱导击穿光谱技术针对液体样品检测受到了很大的制约,限制了该技术在液体检测方面的进一步发展和更广泛的应用。
探索激光诱导击穿光谱技术在液体上的检测潜力,增强信号、降低激光诱导击穿光谱检出限、提高稳定性是激光诱导击穿光谱技术在液体检测应用研究的重要内容。目前,国外研究者提出了双脉冲激光诱导击穿光谱技术,即DP-LIBS技术,它是将两束激光以数纳秒至数十微秒的时间间隔相继作用到被检测物质的同一位置上,从而增强激光诱导击穿光谱信号,但该技术在提高检测效果的同时增加了检测系统复杂性,需要两台激光器及时序控制系统,操作过程较为复杂,增加了在实际应用中的成本和复杂性,限制了该技术在的发展和应用。
发明内容
本发明主要解决现有技术的激光诱导击穿光谱检测液体样品存在的技术问题,将大气压介质阻挡放电等离子体射流技术引入到激光诱导击穿光谱检测技术中来,提出一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,能够解决现有技术激光诱导击穿光谱检测液体样品存在的困难,并能够达到检测装置设备十分简单、操作简易,成本更低,具有更好的实用性的效果。
本发明提供了一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,所述装置包括:液体样品喷流单元、介质阻挡放电等离子体射流单元、激光入射单元、信号接收单元和数据分析单元,其中,
所述液体样品喷流单元,用于提供液体样品的喷流;
所述介质阻挡放电等离子体射流单元,用于使液体样品的喷流周围产生大气压介质阻挡放电等离子体;
所述激光入射单元,用于照射液体样品的喷流,使液体样品的喷流周围产生激光等离子体;
所述介质阻挡放电等离子体射流单元产生的大气压介质阻挡放电等离子体和所述激光入射单元产生的激光等离子体,能够在液体样品的喷流周围形成等离子体射流包裹液体样品的喷流的喷射结构;
所述信号接收单元,用于采集激光等离子体以及与放电等离子体相互作用增强的发射光信号,并将发射光信号转换为电信号得到光谱数据;
所述数据分析单元,用于对所述信号接收单元得到的光谱数据进行显示和分析处理。
进一步的,液体样品喷流单元包括蠕动泵、液体样品池和液体喷流管,所述蠕动泵的入水口与所述液体样品池相连通,所述蠕动泵的出水口与所述液体喷流管的一端口相连通,所述液体喷流管的另一端口与所述介质阻挡放电等离子体射流单元相连通。
进一步的,所述介质阻挡放电等离子体射流单元包括:高压气体源、石英玻璃管、交流电源、钨丝电极和环状电极,其中,
所述高压气体源与所述石英玻璃管相连通;
所述钨丝电极通过所述石英玻璃管上端的预留口插入所述石英玻璃管、所述石英玻璃管下端开口,所述钨丝电极与所述交流电源电连接;
所述环状电极套设在所述石英玻璃管上,并与所述交流电源电连接。
进一步的,所述介质阻挡放电等离子体射流单元包括:高压气体源、石英玻璃管、交流电源、两个针形电极、水管和毛细石英玻璃管,其中,
所述高压气体源与所述石英玻璃管相连通;
所述水管的一端与液体样品喷流单元相连通,另一端与所述毛细石英玻璃管相连通;
所述毛细石英玻璃管通过所述石英玻璃管上端的预留口插入所述石英玻璃管、所述石英玻璃管下端开口;
两个针形电极对称插入所述石英玻璃管,插入位置在所述石英玻璃管下端口与所述石英玻璃管下端口之间,并分别与所述交流电源电连接。
进一步的,所述介质阻挡放电等离子体射流单元包括:高压气体源、石英玻璃管、交流电源、环状电极、水管以及金属管电极,其中,
所述高压气体源与所述石英玻璃管相连通;
所述水管的一端与液体样品喷流单元相连通,另一端与所述金属管电极相连通;
所述金属管电极插入所述毛细石英玻璃管,金属管电极与所述交流电源电连接;
所述毛细玻璃管通过所述石英玻璃管上端的预留口插入所述石英玻璃管、所述石英玻璃管下端开口;
所述环状电极套设在所述石英玻璃管上,并与所述交流电源电连接。
进一步的,所述液体样品喷流单元提供液体样品的喷流的喷口位置在所述环状电极的上部或下部,或者在所述针形电极的上部。
进一步的,所述介质阻挡放电等离子体射流单元还包括电流探头和电压探头,所述电流探头和电压探头设置在所述交流电源与所述环状电极或所述针形电极之间,所述电流探头和电压探头连接示波器。
进一步的,所述激光入射单元包括激光器和第一凸透镜。
进一步的,所述信号接收单元包括光谱仪、光纤探头和第二凸透镜。
进一步的,所述高压气体源提供的气体包括氦气、氩气、氮气以及其混合气体。
本发明提供的一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,将大气压介质阻挡放电等离子体射流技术引入到激光诱导击穿光谱检测技术中来,在液体喷流周围形成等离子体外层-液相内层的结构。喷流结构避免了液体大量飞溅污染收集透镜;放电等离子体包裹液体喷流隔离了外界空气对击穿液体喷流时的影响,具有更好的稳定性;放电的等离子体环境,降低了激光等离子体连续辐射背景,提高了信背比;放电等离子体能够增强激光诱导等离子体密度,温度和寿命,能够获得更高的激光诱导击穿光谱信号强度;因而能够获得更低的检出限,进而提高液体样品激光诱导击穿光谱的灵敏度。该检测装置可适用于液态样品检测及海洋矿产资源的实时在线勘测领域,较之双脉冲-LIBS(DP-LIBS)和LIBS-激光诱导荧光(LIBS-LIF)组合检测系统,具有装备简单、易于操作,以及更低的成本,具有更好的实用性。使用本发明提供的装置对液体样品的进行等离子体光谱检测,既有传统激光诱导击穿光谱技术的各项优势,又拥有更高的信背比,更好的稳定性,更高的信号强度,更低的检出限。
附图说明
图1为本发明实施例提供的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置的结构示意图;
图2为本发明提供的装置检测溶解有Na、Li元素的液体样品时的增强效果比较图;
图3为本发明提供的装置检测溶解有Ca元素的液体样品时的增强效果比较图;
图4为本发明提供的装置检测溶解有Na元素的液体样品时的时间演化图;
图5示出本发明用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置第一种实施方式的一种变形结构;
图6示出本发明用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置第一种实施方式的另一种变形结构;
图中附图标记指代的技术特征为:
1、液体样品喷流单元;2、介质阻挡放电等离子体射流单元;3、激光入射单元;4、信号接收单元;5、数据分析单元;6、电流探头;7、电压探头;11、蠕动泵;12、液体样品池;13、液体喷流管;21、高压气体源;22、石英玻璃管;23、交流电源;24、钨丝电极;25、环状电极;26、针形电极;27、水管;28、毛细石英玻璃管;29、金属管电极;31、激光器;32、第一凸透镜;41、光谱仪;42、光纤探头;43、第二凸透镜;51、计算机。
具体实施方式
为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部内容。
实施例一
图1为本发明实施例提供的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置的结构示意图。如图1所示,本发明实施例提供的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置包括:液体样品喷流单元1、介质阻挡放电等离子体射流单元2、激光入射单元3、信号接收单元4和数据分析单元5,其中,
所述液体样品喷流单元1,用于提供液体样品的喷流;所述介质阻挡放电等离子体射流单元2,用于使液体样品的喷流周围产生大气压介质阻挡放电等离子体;所述激光入射单元3,用于照射液体样品的喷流,使液体样品的喷流周围产生激光等离子体;所述介质阻挡放电等离子体射流单元2产生的大气压介质阻挡放电等离子体和所述激光入射单元3产生的激光等离子体,能够在液体样品的喷流周围形成等离子体射流包裹液体样品的喷流的喷射结构;所述信号接收单元4,用于采集激光等离子体以及与放电等离子体相互作用增强的发射光信号,并将发射光信号转换为电信号得到光谱数据;所述数据分析单元5,用于对所述信号接收单元得到的光谱数据进行显示和分析处理。
其中,液体样品喷流单元1包括蠕动泵11、液体样品池12和液体喷流管13,所述蠕动泵11的入水口与所述液体样品池12相连通,所述蠕动泵11的出水口与所述液体喷流管13的一端口相连通,所述液体喷流管13的另一端口与所述介质阻挡放电等离子体射流单元2相连通。所述介质阻挡放电等离子体射流单元2包括:高压气体源21、石英玻璃管22、交流电源23、钨丝电极24和环状电极25,其中,所述高压气体源21与所述石英玻璃管22相连通;所述钨丝电极24通过所述石英玻璃管22上端的预留口插入所述石英玻璃管22、所述石英玻璃管22下端开口,所述钨丝电极24与所述交流电源23电连接;所述环状电极25套设在所述石英玻璃管22上,并与所述交流电源23电连接。所述液体样品喷流单元1提供液体样品的喷流的喷口位置在所述环状电极25的下部。具体的,所述液体样品喷流单元1中的液体喷流管13插入石英玻璃管22,插入位置在所述环状电极25的下部。所述介质阻挡放电等离子体射流单元2还包括电流探头6和电压探头7,所述电流探头6和电压探头7设置在所述交流电源23与所述环状电极25之间,所述电流探头6和电压探头7连接示波器。所述激光入射单元3包括激光器31和第一凸透镜32。所述信号接收单元4包括光谱仪41、光纤探头42和第二凸透镜43。所述数据分析单元5包括计算机51。所述高压气体源21提供的气体包括氦气、氩气、氮气以及其混合气体。
本发明的装置设置有产生等离子环境的介质阻挡放电等离子体射流单元2,并且将介质阻挡放电等离子体射流单元2与液体样品喷流单元1集成,液体喷流周围形成了等离子体环境的激光诱导击穿光谱信号增强单元,利用大气压介质阻挡放电形成等离子体射流包裹液体喷流,液体喷流和等离子体射流一起喷出,即液体喷流周围是等离子体环境。大气压介质阻挡放电等离子体射流技术引入到激光诱导击穿光谱检测技术中,使得液体喷流周围形成了等离子体外层-液相内层的结构环境。外层等离子体环境隔绝了外界大气的影响,能够降低液体溅射和波动,从而降低噪声,增强信号稳定性;放电的等离子体环境,降低了激光等离子体连续辐射背景,有利于原子发射光谱与连续背景光谱分离,提高信背比;激光等离子体与大气压介质阻挡放电产生的环境等离子体进一步相互作用,能够抑制激光诱导的等离子体羽的冷却速率,实现激光等离子体的再加热,从而增强激光诱导等离子体寿命,提高信号强度;在提高激光等离子体的寿命的同时,激光等离子体的密度、温度也得以提高导致谱线发射增强,进一步提高光谱信号强度,从而降低各类元素检测限。
在上述方案中,各部件的参数为:所述石英玻璃管22为内径6mm、外径8mm、长10cm,进气口2内径4mm外径6mm;高压气体源21提供的高压气体为纯氩气,氦气或者氮气,可调节气压和流速;交流电源23为电压1-30KV可调,频率10-100KHZ可调;电流探头6和电压探头7可测电流和电压可接示波器进行参数反馈;钨丝电极24的直径为1mm、长为5cm;液体喷流管13的内径为0.2mm、外径为0.5mm;蠕动泵11可调流速0-50mL/min;激光器31可为Nd:YAG调Q激光器,基频波长1064nnm、脉宽5ns、光束直径6mm,单脉冲激光能量10-300mJ连续可调。光谱仪41可用光纤光谱仪LIBS2500+(Ocean Optics Inc,US)检测系统,曝光时间1ms,最小延迟时间间隔0.42us,波长检测范围200nm至980nm,分辨率0.1nm。
本发明提供的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置在检测液体样品时,将适量的待测的液体样品(100mL左右)放入液体样品池12中。根据待测液体样品的粘度系数不同,打开蠕动泵11,调节流速,一般为10mL/min,使得液体样品循环,保证液体喷流距其喷口拥有3cm左右的连续稳定喷流。打开高压气体源21,调节气体流速(1-5slm);打开交流电源23调节电压(1kv-30kv),频率(20-100KHz),根据气体不同调试合适参数(比如Ar气流速为1slm,放电电压峰值17kv,频率70kHz)从而控制介质阻挡放电等离子体温度和密度参数,以及喷出玻璃管长度,使介质阻挡放电等离子体射流单元2开始工作;调节气体流速和放电参数使得等离子体射流包裹液体喷流一同喷出,即液体喷流周围环境为等离子体射环境。放电气体可以为氦气、氩气、氮气以及其混合气体或其他混合气体。激光诱导击穿液体喷流位置选择在石英玻璃管22下端口0.5-1cm处左右,也可在石英玻璃管内部,根据等离子体射流长度和包裹液体效果而定。产生的等离子体信号由第二凸透镜43收集,并经过光纤探头42进入光谱仪41进行信号采集数据,数据进入计算机51进行界面操作,数据分析等。
具体的,实验室采用了本发明的装置进行检测液体样品为溶解有Na、Li、Ca离子的溶液,在大气压条件下,进行了放电等离子体环境和空气环境对比测试。检测时,光谱仪41积分时间为1ms,设置的门延时时间为5us,记录了等离子体环境下和大气环境下,Na,Li,Ca元素的信号强度,图2为本发明提供的装置检测溶解有Na、Li元素的液体样品时的增强效果比较图,图3为本发明提供的装置检测溶解有Ca元素的液体样品时的增强效果比较图,如图2和图3所示,在等离子体环境下,原子谱线Na、Li和Ca离子谱线信号明显增强,进而证实本发明提供的装置对提高信号灵敏度有很好的作用。图4记录了溶解有Na元素的液体样品的信号强度在大气环境和等离子体环境随时间的演化图像,通过图4可以看出Na谱线在等离子体环境下,谱线发射寿命显著增强。
本领域技术人员能够知道本发明的激光入射单元3提供的激光脉冲信号也可以替换为非共振双脉冲、共振双脉冲或多脉冲。
本实施例提供的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,将大气压介质阻挡放电等离子体射流技术引入到激光诱导击穿光谱检测技术中来,在液体喷流周围形成等离子体外层液相内层的结构环境,外层等离子体环境隔绝了外界大气的影响,从而降低液体溅射和波动,信号稳定性得已增强。增强激光诱导等离子体存在时间,提高了寿命,有助于原子发射光谱与连续背景光谱分离,提高信背比。同时也提高了激光等离子体的密度、温度和寿命,增强原子谱线发射,提高激光诱导击穿光谱的信号强度,降低各类元素检测限。
实施例二
图5示出本发明用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置第一种实施方式的一种变形结构。与第一种实施方式的区别在于介质阻挡放电等离子体射流单元2的结构。
具体的,所述介质阻挡放电等离子体射流单元2包括:高压气体源21、石英玻璃管22、交流电源23、两个针形电极26、水管27和毛细石英玻璃管28,其中,
所述高压气体源21与所述石英玻璃管22相连通;
所述水管27的一端与液体样品喷流单元1相连通,另一端与所述毛细石英玻璃管28相连通;具体的,所述水管27的一端可以与蠕动泵11的出水口相连。
所述毛细石英玻璃管28通过所述石英玻璃管22上端的预留口插入所述石英玻璃管22、所述石英玻璃管22下端开口;
两个针形电极26对称插入所述石英玻璃管22,插入位置在所述石英玻璃管22下端口与所述石英玻璃管22下端口之间,并分别与所述交流电源23电连接。具体的,两个针形电极26插入在距离所述石英玻璃管22的下端口为10mm的位置上。所述液体样品喷流单元1提供液体样品的喷流的喷口位置在所述针形电极26的上部。
本实施例提供的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,简化了原放电等离子体射流和液体喷流的集成结构,易实现电极更换,可将放电模式由介质阻挡放电转换为弧光放电,从而使得放电等离子体具有更高的温度。
实施例三
图6示出本发明用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置第一种实施方式的另一种变形结构。与第一种实施方式的区别在于介质阻挡放电等离子体射流单元2的结构。
具体的,所述介质阻挡放电等离子体射流单元2包括:高压气体源21、石英玻璃管22、交流电源23、环状电极25、水管27以及金属管电极29,其中,
所述高压气体源21与所述石英玻璃管22相连通;
所述水管27的一端与液体样品喷流单元1相连通,另一端与所述金属管电极29相连通;具体的,所述水管27的一端可以与蠕动泵11的出水口相连。
所述金属管电极29插入所述毛细石英玻璃管28,金属管电极29与所述交流电源23电连接;
所述毛细玻璃管28通过所述石英玻璃管22上端的预留口插入所述石英玻璃管22、所述石英玻璃管22下端开口;
所述环状电极25套设在所述石英玻璃管22上,并与所述交流电源23电连接。
所述液体样品喷流单元1提供液体样品的喷流的喷口位置在所述环状电极25的上部。
本实施例提供的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,能够进一步简化原放电等离子体射流和液体喷流的集成结构,放电模式仍为介质阻挡放电,利用液体作为放电的一个电极,使得激光击穿液体烧蚀效率提高。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (7)
1.一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,所述激光诱导击穿光谱检测装置包括:液体样品喷流单元、介质阻挡放电等离子体射流单元、激光入射单元、信号接收单元和数据分析单元,其中,
所述液体样品喷流单元,用于提供液体样品的喷流;
所述介质阻挡放电等离子体射流单元,用于使液体样品的喷流周围产生大气压介质阻挡放电等离子体;
所述激光入射单元,用于照射液体样品的喷流,使液体样品的喷流周围产生激光等离子体;
所述介质阻挡放电等离子体射流单元产生的大气压介质阻挡放电等离子体和所述激光入射单元产生的激光等离子体,能够在液体样品的喷流周围形成等离子体射流包裹液体样品的喷流的喷射结构;
所述信号接收单元,用于采集激光等离子体以及与放电等离子体相互作用增强的发射光信号,并将发射光信号转换为电信号得到光谱数据;
所述数据分析单元,用于对所述信号接收单元得到的光谱数据进行显示和分析处理;
所述介质阻挡放电等离子体射流单元包括第一射流单元、第二射流单元或第三射流单元;
所述第一射流单元包括:高压气体源(21)、石英玻璃管(22)、交流电源(23)、钨丝电极(24)和环状电极(25),其中,所述高压气体源(21)与所述石英玻璃管(22)相连通;所述钨丝电极(24)通过所述石英玻璃管(22)上端的预留口插入所述石英玻璃管(22)、所述石英玻璃管(22)下端开口,所述钨丝电极(24)与所述交流电源(23)电连接;所述环状电极(25)套设在所述石英玻璃管(22)上,并与所述交流电源(23)电连接;
所述第二射流单元包括:高压气体源(21)、石英玻璃管(22)、交流电源(23)、两个针形电极(26)、水管(27)和毛细石英玻璃管(28),其中,所述高压气体源(21)与所述石英玻璃管(22)相连通;所述水管(27)的一端与液体样品喷流单元(1)相连通,另一端与所述毛细石英玻璃管(28)相连通;所述毛细石英玻璃管(28)通过所述石英玻璃管(22)上端的预留口插入所述石英玻璃管(22)、所述石英玻璃管(22)下端开口;两个针形电极(26)对称插入所述石英玻璃管(22),插入位置在所述石英玻璃管(22)下端口与毛细石英玻璃管(28)下端口之间,并分别与所述交流电源(23)电连接;
所述第三射流单元包括:高压气体源(21)、石英玻璃管(22)、交流电源(23)、环状电极(25)、水管(27)、毛细石英玻璃管(28)以及金属管电极(29),其中,所述高压气体源(21)与所述石英玻璃管(22)相连通;所述水管(27)的一端与液体样品喷流单元(1)相连通,另一端与所述金属管电极(29)相连通;所述金属管电极(29)插入所述毛细石英玻璃管(28),金属管电极(29)与所述交流电源(23)电连接;所述毛细石英玻璃管(28)通过所述石英玻璃管(22)上端的预留口插入所述石英玻璃管(22)、所述石英玻璃管(22)下端开口;所述环状电极(25)套设在所述石英玻璃管(22)上,并与所述交流电源(23)电连接。
2.根据权利要求1所述的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,液体样品喷流单元(1)包括蠕动泵(11)、液体样品池(12)和液体喷流管(13),所述蠕动泵(11)的入水口与所述液体样品池(12)相连通,所述蠕动泵(11)的出水口与所述液体喷流管(13)的一端口相连通,所述液体喷流管(13)的另一端口与所述介质阻挡放电等离子体射流单元(2)相连通。
3.根据权利要求1或2所述的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,所述液体样品喷流单元(1)提供液体样品的喷流的喷口位置在所述环状电极(25)的上部或下部,或者在所述针形电极(26)的上部。
4.根据权利要求1所述的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,所述介质阻挡放电等离子体射流单元(2)还包括电流探头(6)和电压探头(7),所述电流探头(6)和电压探头(7)设置在所述交流电源(23)与所述环状电极(25)或所述针形电极(26)之间,所述电流探头(6)和电压探头(7)连接示波器。
5.根据权利要求1所述的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,所述激光入射单元(3)包括激光器(31)和第一凸透镜(32)。
6.根据权利要求1所述的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,所述信号接收单元(4)包括光谱仪(41)、光纤探头(42)和第二凸透镜(43)。
7.根据权利要求1所述的用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,所述高压气体源(21)提供的气体包括氦气、氩气、氮气以及其混合气体。
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CN201410776178.5A CN104502330B (zh) | 2014-12-12 | 2014-12-12 | 一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置 |
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