CN104359597A - 一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤及其制备方法，该石墨烯电子皮肤包括两层柔性衬底和覆盖在其内表面的石墨烯薄膜。当三维柔性衬底受到挤压、拉伸等外界作用力时，上下两层石墨烯层的接触面积将发生变化，从而直接导致两层间的接触电阻发生变化，通过读取电压或者电流信号，就可反映电子皮肤在外力下的形态变化。本发明提供的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤是透明的，具有超轻超薄，节能等优点，本发明所述的石墨烯绿色无毒，可以兼容人体，在皮肤上使用更为健康。
Description
技术领域
本发明属于传感器领域，涉及一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤及其制备方法。
背景技术
电子皮肤是一种可以像人类皮肤一样感知外部压力和传导触觉信号的传感器件。电子皮肤在多个方面具有很好的应用前景。电子皮肤可以用于改进目前没有感知力的假肢。电子皮肤应用于机器人，使机器人产生触觉，可以像衣服一样覆盖于表面，能够让机器人感知到物体的方位、形状、硬度等信息。自“Sensitive Skin Workshop”确定了全球电子皮肤发展框架至今，10余年的迅速发展，电子皮肤已成为柔性电子学发展与应用的集大成者。尤其，美国伊利诺伊大学罗杰斯教授(John A Rogers)通过金属基的微电路设计，综合集成柔性显示、柔性传感、柔性发光以及无线传感等多功能于电子皮肤。目前，电子皮肤面临诸多的挑战：现有的电子皮肤对应变的灵敏度和信号强度普遍较低，金、银等重金属对人体存在毒性，同时制作工艺复杂，很难形成成熟的应用。
石墨烯是一种新型的二维晶体材料，单层碳原子按照正六角型呈蜂巢状排布。2004年，Andre Geim和Konstantin Novoselov首次在实验中由机械剥离石墨获得单层石墨烯，而获得2010年诺贝尔物理学奖。由于石墨烯低维量子特性和独特sp2杂化形成的大π键，其自由电子气表现为二维无质量狄拉克费米子气，因而表现出诸多优异的性质。石墨烯具有超高的机械强度，在电子皮肤中表现为很好的柔性。单层石墨烯具有超高的导电性、透光性和超大的比表面积，因而石墨烯的电子皮肤将更为节能，同时透明、超轻超薄。更重要的是，石墨烯绿色无毒，可以兼容人体，在皮肤上使用更为健康。
在电子皮肤的应用中，石墨烯电子皮肤的结构设计将大大提升其可靠性及其对应力应变探测的灵敏度。针对不同的应用场合，对电子皮肤的应变强度、压力范围、弯曲角度等探测的阈值范围和灵敏度都有不同的要求，因而必须通过结构设计来加以实现。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤及其制备方法。该电子皮肤对挤压、拉伸、弯曲等应变有优良的探测特性。
本发明的目的之一是提供一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤；本发明的目的之二是提供一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤的制备方法。
本发明的目的之一是通过以下技术方案来实现的：
本发明提供的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，该石墨烯电子皮肤包括两层柔性衬底和覆盖在其内表面的石墨烯薄膜。
进一步，所述石墨烯电子皮肤上下两层均为三维柔性衬底，且其内表面覆盖有三维共形的石墨烯薄膜。
进一步，所述石墨烯电子皮肤的上层为三维柔性衬底，且其内表面覆盖有三维共形的石墨烯薄膜，下层为二维柔性衬底，且其内表面覆盖有石墨烯薄膜。
进一步，所述柔性衬底的材料包括：聚氨酯(PU)、聚氨酯丙烯酸酯(PUA)、有机玻璃(PMMA)、硅橡胶(PDMS)、UV固化胶。
进一步，所述石墨烯薄膜为单原子层石墨烯、双原子层石墨烯或多原子层石墨烯。
进一步，所述三维柔性衬底的表面三维结构包括：微孔结构、柱状结构、曲面突起结构、锥状结构、栅条结构及其任意曲面结构。
本发明的目的之二是通过以下技术方案来实现的：
本发明提供的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤的制备方法，该方法包括以下步骤：
S1：通过化学气相沉积方法制备石墨烯薄膜；
S2：通过湿法刻蚀去除S1步骤中的金属衬底，再通过复形转移的方法将石墨烯薄膜转移至三维柔性衬底或者二维平面衬底表面制成膜片；
S3：制作金属电极，并将其通过引线接出；
S4：将上下两片石墨烯柔性基片相向贴合，并完成器件封装。
进一步，所述化学气相沉积方法为Au、Ag、Cu、Ni、Pd、Ru等金属催化的化学气相沉积方法。
进一步，所述三维柔性衬底的制作通过热固化或者紫外固化的方法应用压印设备进行。
进一步，所述金属电极的制作方法包括：丝网印刷、喷墨打印、金属光刻。
本发明的有益效果在于：本发明提供的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤对挤压、拉伸、弯曲等应变有优良的探测特性，该皮肤是透明的，具有超轻超薄，节能等优点，本发明所述的石墨烯绿色无毒，可以兼容人体，在皮肤上使用更为健康。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步的详细描述，其中：
图1为三维共形石墨烯电子皮肤结构示意图；
图2为三维共形石墨烯电子皮肤另一种结构示意图；
图3为柔性衬底表面的三维结构示意图；
图4为石墨烯电子皮肤在周期性挤压外力作用下的测试结果；
其中，1为具有三维表面结构的柔性基片机体；2为共形石墨烯；3为石墨烯薄膜；4为具有平面柔性基片机体；5为电流计；6为金属引线；7为内表面；11为具有柔性基片机体；12为微孔结构；13为柱状结构；14为曲面凸起结构；15为锥形结构；16为栅条结构；17为曲面栅条结构；18为任意表面三维结构。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明的优选实施例进行详细的描述。
本发明提供了一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，该石墨烯电子皮肤包括两层柔性衬底和覆盖在其内表面的石墨烯薄膜。
该电子皮肤主要分为两类：一类如图1所示，电子皮肤上下两层均为三维柔性衬底且其内表面覆盖有三维共形的石墨烯薄膜；另一类如图2所示，电子皮肤的上层为三维柔性衬底，且其内表面覆盖有三维共形的石墨烯薄膜，下层为二维柔性衬底，且其内表面覆盖有石墨烯薄膜。
基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤工作原理为：三维柔性衬底受到挤压、拉伸等外界作用力时，上下两层石墨烯层的接触面积将发生变化，从而直接导致两层间的接触电阻发生变化，通过读取电压或者电流信号，就可反映电子皮肤在外力下的形态变化。
图3为柔性衬底表面的三维结构，包括：微孔结构、柱状结构、曲面突起结构、锥状结构、栅条结构及其任意曲面结构。柔性衬底材料包括：聚氨酯(PU)、聚氨酯丙烯酸酯(PUA)、有机玻璃(PMMA)、硅橡胶(PDMS)、UV固化胶。
本发明所述的石墨烯薄膜为单原子层、双原子层或多原子层石墨烯中的一种。
基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤的制作方法，包括如下步骤：
S1：通过化学气相沉积方法制备石墨烯薄膜；
S2：通过湿法刻蚀去除S1步骤中的金属衬底，再通过复形转移的方法将石墨烯薄膜转移至三维柔性衬底或者二维平面衬底表面制成膜片；
S3：制作金属电极，并将其通过引线接出；
S4：将上下两片石墨烯柔性基片相向贴合，并完成器件封装。
其中，化学气相沉积方法为Au、Ag、Cu、Ni、Pd、Ru等金属催化的化学气相沉积方法；三维柔性衬底的制作通过热固化或者紫外固化的方法应用压印设备进行；金属电极通过丝网印刷、喷墨打印、金属光刻等方法进行制作。
实施例1：
(1)通过甲烷作为碳源气体，氢气作为载流气体，选择Cu箔作为生长衬底，在高温管式炉中生长石墨烯薄膜。生长温度为1000℃，气压维持在1×103Pa左右，生长时间为20分钟，生长单层石墨烯薄膜。
(2)通过模压设备制作有表面三维结构的柔性PDMS基底，其表面结构为曲面凸起阵列结构，结构尺寸在100微米左右，并将生长有石墨烯的铜箔与柔性PDMS衬底压合在一起，通过FeCl3溶液刻蚀去除Cu箔，石墨烯转移至三维柔性PDMS表面；最后将其放置于80℃热板上烘烤20分钟，去除水汽并使石墨烯紧密贴合于PDMS表面。
(3)通过银浆通过印刷的方式将制作电极，并绑定银线作为引线引出。
(4)将上下两片石墨烯/PDMS柔性薄膜按照图1的方式上下贴合，在外围用OCA胶粘合封装。
本实施例制作的电子皮肤可探测横向形变，并反应横向方向的应力。
实施例2：
(1)通过甲烷作为碳源气体，氢气作为载流气体，选择Ni箔作为生长衬底，在高温管式炉中生长石墨烯薄膜。生长温度为950℃，气压维持在1×103Pa左右，生长时间为30分钟，生长多层碳原子的石墨烯薄膜。
(2)在有平整表面的PET薄膜表面转移石墨烯的具体方法为：在石墨烯/Ni基片表面贴合热释放胶带，在放置于Ni刻蚀溶液中去除Ni箔，石墨烯转移至热释放胶带表面，然后将其贴合于PET表面，在110℃加热5分钟，热释放胶带脱离，石墨烯转移至PET薄膜表面上。
(3)对于三维表面结构的PDMS基底的制作与石墨烯的转移步骤为：通过模压设备制作有表面三维结构的柔性PDMS基底，其表面结构为曲面凸起阵列结构，结构尺寸在100微米左右，并将生长有石墨烯的铜箔与柔性PDMS衬底压合在一起，通过FeCl3溶液刻蚀去除Cu箔，石墨烯转移至三维柔性PDMS表面；最后将其放置于80℃热板上烘烤20分钟，去除水汽并使石墨烯紧密贴合于PDMS表面。
(4)通过银浆通过印刷的方式将制作电极，并绑定银线作为引线引出。
(5)将石墨烯/PDMS柔性薄膜和石墨烯/PET薄膜按照图2的方式上下贴合，在外围用OCA胶粘合封装。
本实施例制作的石墨烯电子皮肤的测试结果如图4所示，可以探测挤压形变。
最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。
Claims (10)
1.一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，其特征在于：该石墨烯电子皮肤包括两层柔性衬底和覆盖在其内表面的石墨烯薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，其特征在于：所述两层柔性衬底均为三维柔性衬底，且其内表面覆盖有三维共形的石墨烯薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，其特征在于：所述石墨烯电子皮肤的上层为三维柔性衬底，且其内表面覆盖有三维共形的石墨烯薄膜，下层为二维柔性衬底，且其内表面覆盖有石墨烯薄膜。
4.根据权利要求1所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，其特征在于：所述柔性衬底的材料为聚氨酯、聚氨酯丙烯酸酯、有机玻璃、硅橡胶、UV固化胶。
5.根据权利要求1所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，其特征在于：所述石墨烯薄膜为单原子层石墨烯、双原子层石墨烯或多原子层石墨烯。
6.根据权利要求2或3所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤，其特征在于：所述三维柔性衬底的表面三维结构包括：微孔结构、柱状结构、曲面突起结构、锥状结构、栅条结构。
7.一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
S1：通过化学气相沉积方法制备石墨烯薄膜；
S2：通过湿法刻蚀去除S1步骤中的金属衬底，再通过复形转移的方法将石墨烯薄膜转移至三维柔性衬底或者二维平面衬底表面制成膜片；
S3：制作金属电极，并将其通过引线接出；
S4：将上下两片石墨烯柔性基片相向贴合，并完成器件封装。
8.根据权利要求7所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤的制备方法，其特征在于：所述化学气相沉积方法为Au、Ag、Cu、Ni、Pd、Ru金属催化的化学气相沉积方法。
9.根据权利要求7所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤的制备方法，其特征在于：所述三维柔性衬底通过热固化或者紫外固化的方法应用压印设备制作。
10.根据权利要求7所述的一种基于三维柔性衬底石墨烯的电子皮肤的制备方法，其特征在于：所述金属电极的制作方法包括丝网印刷、喷墨打印、金属光刻。
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104359597A (zh) |
Cited By (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105092118A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-11-25 | 东南大学 | 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN105136375A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 宁波绿凯节能科技有限公司 | 一种具有高灵敏度柔性压力传感器的制备方法 |
| CN105698978A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-22 | 电子科技大学 | 一种pmma膜制备方法及pmma膜电阻式柔性压力传感器 |
| CN105758562A (zh) * | 2016-03-29 | 2016-07-13 | 电子科技大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN106017751A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-10-12 | 东南大学 | 一种高灵敏度压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN106092390A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-11-09 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN106092386A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-09 | 国网山西省电力公司忻州供电公司 | 柔性压力传感器 |
| CN106153178A (zh) * | 2015-03-17 | 2016-11-23 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 柔性导电振膜、柔性振动传感器及其制备方法和应用 |
| CN106370324A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-02-01 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 基于共形石墨烯的电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN106531733A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-03-22 | 清华大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN106768520A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压力传感器及其制备方法 |
| CN106932128A (zh) * | 2017-04-21 | 2017-07-07 | 清华大学深圳研究生院 | 用于压阻式压力传感器的压力敏感层及压阻式压力传感器 |
| CN107290084A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-10-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种压力传感器及其制作方法、电子器件 |
| CN107359235A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-11-17 | 中北大学 | 一种石墨烯压力传感器 |
| CN107764466A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-03-06 | 清华大学 | 一种基于石墨烯的压阻式真空计及其制作方法 |
| CN108007633A (zh) * | 2017-11-13 | 2018-05-08 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种微气囊式柔性三维力传感器 |
| CN108260235A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-07-06 | 北京吉泰亿阳科技有限公司 | 一种三维异形电加热膜及其制备方法 |
| WO2018133532A1 (zh) * | 2017-01-22 | 2018-07-26 | 深圳市前海未来无限投资管理有限公司 | 电子皮肤基底及其制备方法和电子皮肤 |
| CN108515694A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-09-11 | 西安交通大学 | 一种基于3d打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法 |
| CN108917995A (zh) * | 2018-05-15 | 2018-11-30 | 浙江工业大学 | 一种柔性压阻传感器 |
| CN109363800A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-02-22 | 深圳大学 | 一种基于三维微结构的石墨烯纳米电子皮肤及其制备方法 |
| CN109540345A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-03-29 | 北京科技大学 | 一种拉伸非灵敏型自驱动压力传感器制备方法 |
| CN110057476A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-07-26 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种多信号响应柔性电子皮肤及其制备方法 |
| CN110136889A (zh) * | 2019-05-23 | 2019-08-16 | 北京印刷学院 | 一种三维可拉伸导体的制备方法 |
| CN110146202A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-20 | 广东工业大学 | 一种压阻式薄膜压力传感器及其制作方法 |
| CN110231110A (zh) * | 2019-06-20 | 2019-09-13 | 上海交通大学 | 一种高灵敏度电子皮肤及其制备方法 |
| CN110285898A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-09-27 | 清华大学 | 基于碳黑无尘纸的柔性压力传感装置及其制造方法 |
| CN110686809A (zh) * | 2019-10-10 | 2020-01-14 | 南京大学 | 一种基于双层石墨烯的压强传感器及制备方法 |
| CN110793681A (zh) * | 2019-09-27 | 2020-02-14 | 北京石墨烯技术研究院有限公司 | 石墨烯压力传感器材料及其制备方法以及压力传感器 |
| CN112151955A (zh) * | 2020-09-18 | 2020-12-29 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种柔性频率可重构天线及其制备方法、应用 |
| CN112325762A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-02-05 | 兰州大学 | 石墨烯多功能薄膜传感器及其制备方法 |
| CN113237579A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-08-10 | 南京邮电大学 | 一种基于石墨烯阵列的柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN113623158A (zh) * | 2020-05-07 | 2021-11-09 | 福建师范大学 | 压力调制致动器及其制作方法 |
| CN114459336A (zh) * | 2022-03-04 | 2022-05-10 | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 | 石墨烯应变传感器及石墨烯应变传感器的制备方法 |
| CN115014592A (zh) * | 2021-03-05 | 2022-09-06 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种柔性双功能电子皮肤及其制备方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4856993A (en) * | 1985-03-29 | 1989-08-15 | Tekscan, Inc. | Pressure and contact sensor system for measuring dental occlusion |
| US6032542A (en) * | 1997-07-07 | 2000-03-07 | Tekscan, Inc. | Prepressured force/pressure sensor and method for the fabrication thereof |
| CN102496421A (zh) * | 2011-12-12 | 2012-06-13 | 兰州大学 | 大面积柔性导电薄膜的制备方法 |
| CN102506693A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-06-20 | 南京航空航天大学 | 一种石墨烯应变测量和运动传感装置及其制法 |
| CN102539035A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-04 | 江苏物联网研究发展中心 | 一种点阵型柔性压力分布传感器及其制备方法 |
| CN103083007A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-05-08 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 压阻式电子皮肤及其制备方法 |
-
2014
- 2014-11-13 CN CN201410653119.9A patent/CN104359597A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4856993A (en) * | 1985-03-29 | 1989-08-15 | Tekscan, Inc. | Pressure and contact sensor system for measuring dental occlusion |
| US6032542A (en) * | 1997-07-07 | 2000-03-07 | Tekscan, Inc. | Prepressured force/pressure sensor and method for the fabrication thereof |
| CN102506693A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-06-20 | 南京航空航天大学 | 一种石墨烯应变测量和运动传感装置及其制法 |
| CN102496421A (zh) * | 2011-12-12 | 2012-06-13 | 兰州大学 | 大面积柔性导电薄膜的制备方法 |
| CN102539035A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-04 | 江苏物联网研究发展中心 | 一种点阵型柔性压力分布传感器及其制备方法 |
| CN103083007A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-05-08 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 压阻式电子皮肤及其制备方法 |
Cited By (52)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106153178A (zh) * | 2015-03-17 | 2016-11-23 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 柔性导电振膜、柔性振动传感器及其制备方法和应用 |
| JP2018512075A (ja) * | 2015-03-17 | 2018-05-10 | 中国科学院蘇州納米技術与納米倣生研究所Ｓｕｚｈｏｕ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｏｆ Ｎａｎｏ−Ｔｅｃｈ Ａｎｄ Ｎａｎｏ−Ｂｉｏｎｉｃｓ（Ｓｉｎａｎｏ），Ｃｈｉｎｅｓｅ Ａｃａｄｅｍｙ Ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ | フレキシブル導電振動膜、フレキシブル振動センサ及びその製造方法と応用 |
| CN105136375A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 宁波绿凯节能科技有限公司 | 一种具有高灵敏度柔性压力传感器的制备方法 |
| CN105092118A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-11-25 | 东南大学 | 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN105698978A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-22 | 电子科技大学 | 一种pmma膜制备方法及pmma膜电阻式柔性压力传感器 |
| CN105758562B (zh) * | 2016-03-29 | 2018-10-16 | 电子科技大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN105758562A (zh) * | 2016-03-29 | 2016-07-13 | 电子科技大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN106017751A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-10-12 | 东南大学 | 一种高灵敏度压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN106017751B (zh) * | 2016-05-25 | 2018-08-10 | 东南大学 | 一种高灵敏度压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN106092390A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-11-09 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN106092386B (zh) * | 2016-07-28 | 2019-02-22 | 国网山西省电力公司忻州供电公司 | 柔性压力传感器 |
| CN106092386A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-09 | 国网山西省电力公司忻州供电公司 | 柔性压力传感器 |
| CN106370324A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-02-01 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 基于共形石墨烯的电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN106531733A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-03-22 | 清华大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN106768520A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压力传感器及其制备方法 |
| WO2018133532A1 (zh) * | 2017-01-22 | 2018-07-26 | 深圳市前海未来无限投资管理有限公司 | 电子皮肤基底及其制备方法和电子皮肤 |
| CN106932128A (zh) * | 2017-04-21 | 2017-07-07 | 清华大学深圳研究生院 | 用于压阻式压力传感器的压力敏感层及压阻式压力传感器 |
| US10921200B2 (en) | 2017-06-28 | 2021-02-16 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Pressure sensor, manufacturing method thereof, and electronic device |
| CN107290084A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-10-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种压力传感器及其制作方法、电子器件 |
| CN107290084B (zh) * | 2017-06-28 | 2019-08-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种压力传感器及其制作方法、电子器件 |
| CN107359235A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-11-17 | 中北大学 | 一种石墨烯压力传感器 |
| CN107359235B (zh) * | 2017-08-14 | 2023-10-03 | 中北大学 | 一种石墨烯压力传感器 |
| CN108007633A (zh) * | 2017-11-13 | 2018-05-08 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种微气囊式柔性三维力传感器 |
| CN107764466A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-03-06 | 清华大学 | 一种基于石墨烯的压阻式真空计及其制作方法 |
| CN108260235B (zh) * | 2018-01-18 | 2022-04-05 | 北京吉泰亿阳科技有限公司 | 一种三维异形电加热膜及其制备方法 |
| CN108260235A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-07-06 | 北京吉泰亿阳科技有限公司 | 一种三维异形电加热膜及其制备方法 |
| CN108515694A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-09-11 | 西安交通大学 | 一种基于3d打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法 |
| CN108515694B (zh) * | 2018-04-18 | 2020-07-24 | 西安交通大学 | 一种基于3d打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法 |
| CN108917995A (zh) * | 2018-05-15 | 2018-11-30 | 浙江工业大学 | 一种柔性压阻传感器 |
| CN109363800A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-02-22 | 深圳大学 | 一种基于三维微结构的石墨烯纳米电子皮肤及其制备方法 |
| CN109540345A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-03-29 | 北京科技大学 | 一种拉伸非灵敏型自驱动压力传感器制备方法 |
| CN110136889A (zh) * | 2019-05-23 | 2019-08-16 | 北京印刷学院 | 一种三维可拉伸导体的制备方法 |
| CN110057476A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-07-26 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种多信号响应柔性电子皮肤及其制备方法 |
| CN110057476B (zh) * | 2019-05-28 | 2020-12-22 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种多信号响应柔性电子皮肤及其制备方法 |
| CN110146202A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-20 | 广东工业大学 | 一种压阻式薄膜压力传感器及其制作方法 |
| CN110231110A (zh) * | 2019-06-20 | 2019-09-13 | 上海交通大学 | 一种高灵敏度电子皮肤及其制备方法 |
| CN110231110B (zh) * | 2019-06-20 | 2024-06-07 | 上海交通大学 | 一种高灵敏度电子皮肤及其制备方法 |
| CN110285898A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-09-27 | 清华大学 | 基于碳黑无尘纸的柔性压力传感装置及其制造方法 |
| CN110285898B (zh) * | 2019-08-06 | 2020-04-24 | 清华大学 | 基于碳黑无尘纸的柔性压力传感装置及其制造方法 |
| CN110793681B (zh) * | 2019-09-27 | 2020-12-29 | 北京石墨烯技术研究院有限公司 | 石墨烯压力传感器材料及其制备方法以及压力传感器 |
| CN110793681A (zh) * | 2019-09-27 | 2020-02-14 | 北京石墨烯技术研究院有限公司 | 石墨烯压力传感器材料及其制备方法以及压力传感器 |
| CN110686809A (zh) * | 2019-10-10 | 2020-01-14 | 南京大学 | 一种基于双层石墨烯的压强传感器及制备方法 |
| CN113623158A (zh) * | 2020-05-07 | 2021-11-09 | 福建师范大学 | 压力调制致动器及其制作方法 |
| CN112325762A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-02-05 | 兰州大学 | 石墨烯多功能薄膜传感器及其制备方法 |
| CN112325762B (zh) * | 2020-09-14 | 2021-10-01 | 兰州大学 | 石墨烯多功能薄膜传感器及其制备方法 |
| CN112151955A (zh) * | 2020-09-18 | 2020-12-29 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种柔性频率可重构天线及其制备方法、应用 |
| CN112151955B (zh) * | 2020-09-18 | 2022-05-17 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种柔性频率可重构天线及其制备方法、应用 |
| CN115014592A (zh) * | 2021-03-05 | 2022-09-06 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种柔性双功能电子皮肤及其制备方法 |
| CN115014592B (zh) * | 2021-03-05 | 2024-05-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种柔性双功能电子皮肤及其制备方法 |
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| CN114459336A (zh) * | 2022-03-04 | 2022-05-10 | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 | 石墨烯应变传感器及石墨烯应变传感器的制备方法 |
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