CN104350558B - 金属化薄膜电容器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种金属化薄膜电容器，具有：第1电介质薄膜；第1金属蒸镀电极，其形成于第1电介质薄膜的第1面；第2电介质薄膜；和第2金属蒸镀电极，其形成于第2电介质薄膜的第1面，与第1电介质薄膜对置。进而，金属化薄膜电容器具有：低电阻部，其形成在第1金属蒸镀电极的第1端上和第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；和第1膜，其覆盖低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分。

Description

金属化薄膜电容器

技术领域

本技术领域涉及用于电子设备、电气设备、工业设备、汽车等的金属化薄膜电容器。特别地，涉及最适合混合动力汽车的电动机驱动用转换器电路的平滑用、滤波器用、缓冲用的金属化薄膜电容器。

背景技术

近年来，从环境保护的观点出发，为了节能化、高效率化，由转换器电路控制的电气设备的开发正在推进。在汽车业界中，通过电气电动机与发动机来行驶的混合动力车(以下称为HEV)正在被开发。涉及对地球环境良好的、节能化、高效率化的技术的开发很活跃。

这种HEV用的电气电动机的使用电压区域高，是几百伏。因此，作为被用于电气电动机的电容器，使用高耐电压且具有低损失的电气特性的金属化薄膜电容器。进而，从无需维护化的期望出发，也要使用寿命长的金属化薄膜电容器。

金属化薄膜电容器被大致分为：将金属箔用于电极的金属箔电极方式和将设置在电介质薄膜上的蒸镀金属用于电极的金属蒸镀电极方式。金属蒸镀电极方式的金属化薄膜电容器与金属箔电极方式相比，电极占用的体积小，能够实现小型轻量化。进而，在金属蒸镀电极方式中，由于金属蒸镀电极特有的自我恢复功能，对绝缘破坏的可靠性高。这里，自我恢复功能是指缺陷部周边的金属蒸镀电极蒸发/飞散而电容器的功能恢复的功能，一般被称为自愈性。

图7是现有的金属化薄膜电容器的剖视图。图8是被用于现有的金属化薄膜电容器的金属化薄膜的俯视图。通过在聚丙烯薄膜等电介质薄膜102a、102b的第1面蒸镀铝，从而形成金属蒸镀电极101a和金属蒸镀电极101b。但是，在电介质薄膜102a的一端的绝缘边缘103a未形成金属蒸镀电极101a。此外，在电介质薄膜102b的一端的绝缘边缘103b未形成金属蒸镀电极101b。在电介质薄膜102a的与绝缘边缘103a相反的一侧的端部，金属蒸镀电极101a与金属喷镀(metallikon)电极104a连接。在电介质薄膜102b的与绝缘边缘103b相反的一侧的端部，金属蒸镀电极101b与金属喷镀电极104b连接。通过该结构，各电极被引出到外部。金属喷镀电极104a、104b通过热喷锌来形成。

金属蒸镀电极101a在从形成电容的有效电极部的宽度W1的大致中央部向绝缘边缘103a的一侧，被狭缝105a分割为多个分割电极部106a。金属蒸镀电极101b在从形成电容的有效电极部的宽度W1的大致中央部向绝缘边缘103b的一侧，被狭缝105b分割为多个分割电极部106b。通过在形成金属蒸镀电极101a之前预先在电介质薄膜102a的狭缝105a的位置形成油层，从而形成不存在金属蒸镀电极101a的狭缝105a。通过在形成金属蒸镀电极101b之前预先在电介质薄膜102b的狭缝105b的位置形成油层，从而形成不存在金属蒸镀电极101b的狭缝105b。

分割电极部106a通过熔丝108a而与金属蒸镀电极101a的主电极部107a并联连接。分割电极部106b通过熔丝108b而与金属蒸镀电极101b的主电极部107b并联连接。主电极部107a从有效电极部的宽度W1的大致中央部起在绝缘边缘103a的相反侧位于接近金属喷镀电极104a的一侧。主电极部107b从有效电极部的宽度W1的大致中央部起在绝缘边缘103b的相反侧位于接近金属喷镀电极104b的一侧。

金属蒸镀电极101a在与金属喷镀电极104a接触的一侧的端部具有厚膜的低电阻部109a。金属蒸镀电极101b在与金属喷镀电极104b接触的一侧的端部具有厚膜的低电阻部109b。通过低电阻部109a，金属蒸镀电极101a与金属喷镀电极104a的连接电阻降低。通过低电阻部109b，金属蒸镀电极101b与金属喷镀电极104b的连接电阻降低。在形成金属蒸镀电极101a之后，通过仅在端部进一步蒸镀铝或锌而形成低电阻部109a。在形成金属蒸镀电极101b之后，通过仅在端部进一步蒸镀铝或锌而形成低电阻部109b。

另外，作为与本申请的发明相关的在先技术文献，例如已知专利文献1、专利文献2。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-102434号公报

专利文献2：日本特开平2-250306号公报

发明内容

金属化薄膜电容器具有：第1电介质薄膜；第1金属蒸镀电极，其形成于第1电介质薄膜的第1面；第2电介质薄膜；和第2金属蒸镀电极，其形成于第2电介质薄膜的第1面，与第1电介质薄膜对置。进而，金属化薄膜电容器具有：低电阻部，其形成在第1金属蒸镀电极的第1端上和第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；和第1膜，其覆盖低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分。进而，金属化薄膜电容器具有：第1金属喷镀电极，其与第1金属蒸镀电极的第1端连接；和第2金属喷镀电极，其与第2金属蒸镀电极的第1端连接。

附图说明

图1是本实施方式中的金属化薄膜电容器的剖视图。

图2是用于本实施方式中的金属化薄膜电容器的金属化薄膜的俯视图。

图3A是表示本实施方式中的金属化薄膜电容器的铝和氧化铝在深度方向上的浓度变化的曲线图。

图3B是表示本实施方式中的金属化薄膜电容器的锌在深度方向上的浓度变化的曲线图。

图4是本实施方式中的其他金属化薄膜电容器的剖视图。

图5是本实施方式中的其他金属化薄膜电容器的剖视图。

图6是本实施方式中的其他金属化薄膜电容器的剖视图。

图7是现有的金属化薄膜电容器的剖视图。

图8是用于现有的金属化薄膜电容器的金属化薄膜的俯视图。

具体实施方式

在HEV中装载金属化薄膜电容器的情况下，暴露在过于苛刻的环境的情况较多，需要防潮性等耐气候性的改善。

从图7所示的金属喷镀电极104a、104b与电介质薄膜102a、102b的边界部分的间隙，有时会向金属化薄膜电容器的内部浸入水分。因此，与金属喷镀电极104a、104b相接的低电阻部109a、109b容易受到浸入的水分的影响。在低电阻部109a、109b与浸入的水分接触而腐蚀的情况下，金属蒸镀电极101a、101b与金属喷镀电极104a、104b的接触性降低。其结果，金属化薄膜电容器的作为电容器的特性降低。因此，为了提高金属化薄膜电容器的可靠性，需要提高低电阻部109a、109b的防潮性。

图1是本实施方式中的金属化薄膜电容器的剖视图。图2是用于本实施方式中的金属化薄膜电容器的金属化薄膜的俯视图。

金属化薄膜电容器具有：第1电介质薄膜(电介质薄膜3a)、形成于第1电介质薄膜的第1面的第1金属蒸镀电极(金属蒸镀电极4a)、第2电介质薄膜(电介质薄膜3b)、和形成于第2电介质薄膜的第1面的第2金属蒸镀电极(金属蒸镀电极4b)。进而，金属化薄膜电容器具有低电阻部13a、13b和第1膜(膜14a、14b)，其中，低电阻部13a、13b形成于第1金属蒸镀电极的第1端上和第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者，第1膜(膜14a、14b)覆盖低电阻部13a、13b的至少一部分并以氧化铝为主要成分。第1电介质薄膜与第2金属蒸镀电极对置。

第1金属化薄膜1是P极用的金属化薄膜，第2金属化薄膜2是N极用的金属化薄膜。将第1金属化薄膜1以及第2金属化薄膜2作为一对来重叠，并将对其进行多圈卷绕而成的部件作为元件来形成金属化薄膜电容器。这里，第1金属化薄膜1与第2金属化薄膜2为了进行外部电极引出，相互在宽度方向(图1的横向)上错开1mm。

在聚丙烯薄膜等电介质薄膜3a的第1面上形成铝等的金属蒸镀电极4a。在电介质薄膜3a的一端，为了与第2金属化薄膜2绝缘而设置有未形成金属蒸镀电极4a的绝缘边缘5a。这里，绝缘边缘5a的宽度为2mm。使用厚度3.0μm的聚丙烯薄膜作为电介质薄膜3a。

通过金属蒸镀电极4a与金属喷镀电极6a连接，从而电极被引出到外部。金属喷镀电极6a通过例如热喷锌而形成在电介质薄膜3a与金属蒸镀电极4a的端面。

如图2所示，金属蒸镀电极4a通过纵狭缝7a以及横狭缝8a被区分为 主电极部9a和多个分割电极部10a。在形成金属蒸镀电极4a之前，通过预先在电介质薄膜3a的纵狭缝7a以及横狭缝8a的位置形成油层，从而形成不存在金属蒸镀电极4a的纵狭缝7a以及横狭缝8a。纵狭缝7a以及横狭缝8a被设置在从形成金属蒸镀电极4a的电容的有效电极部的宽度W1的大致中央部朝向绝缘边缘5a的一侧。

如图2所示，分割电极部10a经由熔丝11a而与主电极部9a电并联连接。相邻的分割电极部10a经由熔丝12a而相互电并联连接。主电极部9a在电介质薄膜3a的第1面，从有效电极部的宽度W1的大致中央部到金属喷镀电极6a而形成。分割电极部10a的宽度W2是有效电极部的宽度W1的约1/4。分割电极部10a在电介质薄膜3a的第1面，从有效电极部的宽度W1的大致中央部到绝缘边缘5a而形成。另外，在本实施方式中，从有效电极部的宽度W1的大致中央部到绝缘边缘5a，形成有2个分割电极部10a。但是并不仅限于此，也可以形成3个以上的分割电极部10a。

在使用时，在电介质薄膜3a的缺陷部分发生短路的情况下，由于短路的能量而缺陷部分周边的金属蒸镀电极4a蒸发/飞散，绝缘得到恢复(自愈性)。例如，存在电介质薄膜3a中发生微小的绝缘破坏，产生贯通孔，本来被电介质薄膜3a绝缘的金属蒸镀电极4a发生短路的情况。在该情况下，由于贯通孔周围的金属蒸镀电极4a因为短路的能量而蒸发，因此成为在贯通孔的周围不存在金属蒸镀电极4a的状态。其结果，短路被消除，金属蒸镀电极4a的绝缘性恢复。通过该自我恢复功能，即使第1金属化薄膜1、第2金属化薄膜2之间的一部分短路，金属化薄膜电容器的功能也会恢复。此外，在由于分割电极部10a的异常而导致大量的电流流入分割电极部10a的情况下，熔丝11a或者熔丝12a飞散。其结果，产生异常的部分的分割电极部10a的电连接被切断，金属化薄膜电容器的电流返回到正常的状态。

第2金属化薄膜2与第1金属化薄膜1同样地，在聚丙烯薄膜等的电介质薄膜3b的第1面形成有金属蒸镀电极4b。在电介质薄膜3b的一端设置有未形成金属蒸镀电极4b的绝缘边缘5b。这里，绝缘边缘5b的宽度为2mm。第2金属化薄膜2与金属喷镀电极6b连接。在第2金属化薄膜2与第1金属化薄膜1中，与金属喷镀电极连接的方向不同。也就是说，在 图1中，第1金属化薄膜1的左端与金属喷镀电极6a连接，第2金属化薄膜2的右端与金属喷镀电极6b连接。金属喷镀电极6b隔着第1金属化薄膜1以及第2金属化薄膜2而与金属喷镀电极6a对置配置。金属蒸镀电极4b被设置在从形成电容的有效电极部的宽度W1的大致中央部朝向绝缘边缘5b的一侧。在形成金属蒸镀电极4b之前，通过预先在电介质薄膜3b的纵狭缝7b以及横狭缝8b的位置形成油层，从而形成不存在金属蒸镀电极4b的纵狭缝7b以及横狭缝8b。通过纵狭缝7b以及横狭缝8b，被区分为主电极部9b与多个分割电极部10b。

如图2所示，分割电极部10b是与第1金属化薄膜1的分割电极部10a类似的结构。分割电极部10b经由熔丝11b而与主电极部9b并联连接。相邻的分割电极部10b经由熔丝12b而相互并联连接。由于第2金属化薄膜2具备分割电极部10b、熔丝11b、12b而带来的效果与第1金属化薄膜1是同样的。

低电阻部13a形成在与金属喷镀电极6a接触的金属蒸镀电极4a的端部上。低电阻部13b形成在与金属喷镀电极6b接触的金属蒸镀电极4b的端部上。因此，金属蒸镀电极4a的与金属喷镀电极6a接触的一侧变得比金属蒸镀电极4a的中央区域厚。金属蒸镀电极4b的与金属喷镀电极6b接触的一侧变得比金属蒸镀电极4b的中央区域厚。通过低电阻部13a、13b，金属蒸镀电极4a、4b与金属喷镀电极6a、6b的接触性提高，连接电阻降低。

另外，低电阻部13a、13b分别通过在金属蒸镀电极4a、4b上蒸镀锌而形成。由于后述的理由，低电阻部13a、13b优选由锌形成。但是，除了锌以外，也可以与金属蒸镀电极4a、4b同样使用铝形成。

低电阻部13a、13b分别由以氧化铝为主要成分的膜14a、14b(第1膜)覆盖。但是，膜14a、14b也可以在不损害其特性的程度上，包含氮等成分作为杂质。另外，所谓“主要成分”，表示构成膜14a、14b的成分中原子比率最大的成分。

也就是说，本实施方式的第1金属化薄膜1是电介质薄膜3a、金属蒸镀电极4a、低电阻部13a层叠而成的结构。并且，低电阻部13a由膜14a覆盖。此外，第2金属化薄膜2是电介质薄膜3b、金属蒸镀电极4b、低 电阻部13b层叠而成的结构。并且，低电阻部13b由膜14b覆盖。

在图1中，低电阻部13a、13b的上表面分别由膜14a、14b覆盖。但是，本实施方式并不仅限于此。例如，低电阻部13a、13b也可以分别由膜14a、14b完全覆盖。也就是说，除了图1所示的低电阻部13a、13b的上表面，侧部也可以分别由膜14a、14b覆盖。从可靠性的观点出发，更优选低电阻部13a、13b分别由膜14a、14b完全覆盖。

接下来，使用图3A，图3B来对第1金属化薄膜1的金属蒸镀电极4a、低电阻部13a、膜14a的组成进行详细说明。金属蒸镀电极4a由铝形成，低电阻部13a由锌形成，膜14a由氧化铝形成。

图3A是表示本实施方式中的金属化薄膜电容器的铝和氧化铝在深度方向上的浓度变化的曲线图。图3B是表示本实施方式中的金属化薄膜电容器的锌在深度方向上的浓度变化的曲线图。

图3A中的i～v曲线图表示铝和氧化铝在深度方向(从膜14a向金属蒸镀电极4a的方向)上的元素浓度的变化。元素浓度的变化是通过交替地反复执行X射线光电子能谱法(XPS)以及离子溅射，并对谱的变化进行跟踪，对各深度处的结合能的峰值位置以及强度进行测定来求出的。其中，i～v曲线图按照i、ii、iii、iv、v的顺序变深，i表示表层部，v表示最深部。此外，图3B中的i～v曲线图表示锌的深度方向上的元素浓度的变化，按照i、ii、iii、iv、v的顺序变深。图3B的i～v曲线图的深度是与图3A的i～v曲线图相同的深度。

图3A、图3B的i曲线图表示膜14a的表层的组成，在该位置，存在的氧化铝最多。另一方面，根据i曲线图可知，在膜14a的层还存在少量铝、锌。ii、iii曲线图表示低电阻部13a的组成。在该深度，锌的浓度大幅度提高。由于在iii曲线图，铝的浓度也与锌同样地变高，因此可知在低电阻部13a的层成为若干锌与铝混合的状态。iv、v曲线图表示金属蒸镀电极4a的组成。在金属蒸镀电极4a，锌的浓度减少，铝占据了几乎全部。

另外，在上述的说明中，对第1金属化薄膜1的金属蒸镀电极4a、低电阻部13a、膜14a进行了说明。但是，第2金属化薄膜2也只是与金属喷镀电极的连接方向不同于第1金属化薄膜1，可使用通过相同的制造方法而制成的金属化薄膜。因此，金属蒸镀电极4b、低电阻部13b、膜14b 也是与金属蒸镀电极4a、低电阻部13a、膜14a基本同样的结构。

接下来，对实施方式的金属化薄膜电容器的膜14a、14b的厚度进行各种变更，并使用(表1)来对膜14a、14b的厚度对金属化薄膜电容器的特性赋予的影响进行说明。

[表1]

(表1)表示准备氧化铝相对于铝的结合能的强度比(Al₂O₃/Al)变得比1小的深度分别为0nm、20nm、25nm、30nm、40nm的试料A、B、C、D、E，并对各试料的防潮试验前后的tanδ进行测量的结果。这里，tanδ是指介电损耗角正切，是在将理想的电容器的电流设为Ic且将能量损失设为Ir时由Ir/Ic表示的值。在本实施方式中，使用Agilent Technologies公司制的LCR测量仪(E4980A)，对频率为1kHz的tanδ进行测定。试料A未形成膜14a、14b，按照从试料A到试料E的顺序，膜14a、14b的厚度变厚。在表1中，表示试料A～试料D的防潮试验前后的tanδ。各试料的tanδ是以试料A的防潮试验前的tanδ为基准(1.00)的指标来表示的。另外，在防潮试验中，在85℃/85％r.h.的高温高湿度的条件下持续2000个小时施加500V的电压。

根据(表1)可知，设置了膜14a、14b的试料B～试料E的防潮试验后的tanδ变得比试料A小。由此可知，本实施方式的金属化薄膜电容器的防潮性优良，可靠性高。

但是，在强度比变得比1小的深度为30nm、40nm的膜14a、膜14b较厚的试料D、试料E中，初始(防潮试验前)的tanδ稍大，是1.20、1.50。这被推测为是由于作为绝缘体的氧化铝的膜14a、膜14b厚，因此由锌形成的低电阻部13a、13b与金属喷镀电极6a、6b的接触性降低而导致的。由此，优选按照氧化铝相对于铝的强度比变得比1小的深度大于0nm 且在25nm以下的方式形成膜14a、膜14b。

另外，虽然低电阻部13a、13b中也能够使用铝等金属，但优选使用锌。由于锌的熔点比较低，因此能够以对电介质薄膜3a、3b的热负荷小的状态形成在厚的金属蒸镀膜上。因此，可良好地形成低电阻部13a、13b以及金属蒸镀电极4a、4b。因此，若使用由锌形成的低电阻部13a、13b，则金属蒸镀电极4a、4b与金属喷镀电极6a、6b的接触性变良好。但是，锌蒸镀膜与铝等金属相比，在空气中容易生锈，长期的可靠性较差。

在本实施方式中，使用了锌的低电阻部13a、13b分别由以氧化铝为主要成分的膜14a、14b覆盖。通过该结构，由锌形成的低电阻部13a、13b的腐蚀被抑制。因此，能够长时间地维持基于锌的金属蒸镀电极4a、4b与金属喷镀电极6a、6b的优良的接触性。根据以上理由，本实施方式对于使用锌作为低电阻部13a、13b的金属化薄膜电容器而言特别有用。

如以上所说明的那样，本实施方式的金属化薄膜电容器能够抑制低电阻部13a、13b的腐蚀的进展，表现优良的可靠性。

也就是说，本实施方式的金属化薄膜电容器能够通过氧化铝的膜14a、14b来防止水分浸入到低电阻部13a、13b，从而能够抑制低电阻部13a、13b的腐蚀的进展。因此，低电阻部13a、13b能够确保金属蒸镀电极4a、4b与金属喷镀电极6a、6b的良好的接触性。其结果，金属化薄膜电容器的电容特性的降低被抑制，可靠性提高。

接下来，使用图4来对本实施方式的另一金属化薄膜电容器的结构进行说明。另外，对于与图1实质上相同的结构，省略其说明。图4是本实施方式中的另一金属化薄膜电容器的剖视图。

图4所示的金属化薄膜电容器在图1所示的金属化薄膜电容器的膜14a上形成了第2膜15a，在膜14b上形成了第2膜15b。

在图4中，第2膜15a、15b分别完全覆盖膜14a、14b的上部。但是，也可以是第2膜15a、15b分别覆盖膜14a、14b的一部分的结构。

第2膜15a、15b以氧化镁为主要成分。但是，第2膜15a、15b在不损害其特性的程度上也可以包含氮等成分作为杂质。此外，所谓“主要成分”表示构成第2膜15a、15b的成分中原子比率最大的成分。

通过进一步地用第2膜15a、15b分别覆盖膜14a、14b，从而低电阻部13a、13b的腐蚀被抑制，能够更长时间地维持金属蒸镀电极4a、4b与金属喷镀电极6a、6b的优良的接触性。

另外，在由氧化镁形成的第2膜15a、15b的内部也可以存在未氧化状态的镁。若根据表示金属相对于水的热力学稳定性的普尔贝(Pourbaix)索引，则相对于水的反应的容易程度为Mg＞Be＞Ti＞Al＞Mn＞……，镁相对于水的反应性比铝高。因此，镁在将进入到金属化薄膜电容器的内部的水分除去的性质方面优良。因此，通过设置第2膜15a、15b，更能够抑制进入到内部的水分与低电阻部13a、13b的接触。因此，能够抑制低电阻部13a、13b的腐蚀的进展，得到优良的可靠性。

另外，在图4所示的金属化薄膜电容器中膜14a、14b的两者分别由第2膜15a、15b覆盖。但是，并不仅限于此，也可以膜14a、14b的任意一方由以氧化镁为主要成分的第2膜覆盖。

另外，在本实施方式中，将以氧化镁为主要成分的膜作为第2膜15a、15b而使用。但是并不仅限于此，也可以将由相对于水的反应性比铝更高的物质构成的膜作为第2膜15a、15b来使用。也就是说，可以将以氧化铍或者氧化钛为主要成分的膜作为第2膜15a、15b来使用。

此外，如图5所示，也可以在电介质薄膜3a的第1面形成金属蒸镀电极4a、低电阻部13a、膜14a，在作为电介质薄膜3a的第1面的背面的第2面形成金属蒸镀电极4b、低电阻部13b、膜14b。

此外，如图6所示，也可以在图5所示的金属化薄膜电容器的膜14a上形成第2膜15a，在膜14b上形成第2膜15b。

另外，本发明并不仅限于上述的实施方式，能够在发明的范围内进行各种变更来实施。例如，在图1、图4～图6中，低电阻部13a、13b的两方分别由膜14a、14b覆盖。但是并不仅限于该结构，低电阻部13a、13b的任意一方由以氧化铝为主要成分的膜覆盖都具有一定的效果。此外，即使不是低电阻部13a、13b的上部整面，而是上部的一部分分别由膜14a、14b覆盖，也具有一定的效果。进而，也可以仅形成低电阻部13a、13b的任意一方。

此外，在本实施方式中，使用聚丙烯薄膜作为电介质薄膜3a、3b。但是，除此以外，也可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、 聚苯硫醚、聚苯乙烯等。此外，在本实施方式中，使铝蒸镀来形成金属蒸镀电极4a、4b。但是，除此以外，也可以使锌、铝和镁的合金等蒸镀来形成。特别是在使用铝和镁的合金来作为金属蒸镀电极4a、4b的情况下，镁与作为电介质薄膜3a、3b的聚丙烯薄膜中的水分反应而形成氧化膜。因此，除了防潮性提高的效果之外，还能够提高金属化薄膜电容器整体的防潮性。

此外，在本实施方式中，使用卷绕型的金属化薄膜电容器进行了说明。但是本发明并不仅限于此，也能够用于层叠型的金属化薄膜电容器。

产业上的可利用性

基于本实施方式的金属化薄膜电容器具有优良的可靠性。因此，被用于设置在电子设备、电气设备、工业设备、汽车等的电容器，特别是对于要求高防潮性的汽车用领域的电容器有用。

符号说明

1 第1金属化薄膜

2 第2金属化薄膜

3a、3b 电介质薄膜

4a、4b 金属蒸镀电极

5a、5b 绝缘边缘

6a、6b 金属喷镀电极

7a、7b 纵狭缝

8a、8b 横狭缝

9a、9b 主电极部

10a、10b 分割电极部

11a、11b 熔丝

12a、12b 熔丝

13a、13b 低电阻部

14a、14b 膜

15a、15b 第2膜

Claims (10)

1.一种金属化薄膜电容器，具有：

第1电介质薄膜；

第1金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的第1面；

第2电介质薄膜；

第2金属蒸镀电极，其形成于所述第2电介质薄膜的第1面，与所述第1电介质薄膜对置；

低电阻部，其形成在所述第1金属蒸镀电极的第1端上和所述第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；

第1金属喷镀电极，其与所述第1金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第2金属喷镀电极，其与所述第2金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第1膜，其覆盖所述低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分；和

第2膜，其覆盖所述第1膜的至少一部分，由相对于水的反应性比铝高的物质构成。

2.一种金属化薄膜电容器，具有：

第1电介质薄膜；

第1金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的第1面；

第2电介质薄膜；

第2金属蒸镀电极，其形成于所述第2电介质薄膜的第1面，与所述第1电介质薄膜对置；

低电阻部，其形成在所述第1金属蒸镀电极的第1端上和所述第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；

第1金属喷镀电极，其与所述第1金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第2金属喷镀电极，其与所述第2金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第1膜，其覆盖所述低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分；和

第2膜，其覆盖所述第1膜的至少一部分，以氧化镁为主要成分。

3.一种金属化薄膜电容器，具有：

第1电介质薄膜；

第1金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的第1面；

第2电介质薄膜；

第2金属蒸镀电极，其形成于所述第2电介质薄膜的第1面，与所述第1电介质薄膜对置；

低电阻部，其形成在所述第1金属蒸镀电极的第1端上和所述第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；

第1金属喷镀电极，其与所述第1金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第2金属喷镀电极，其与所述第2金属蒸镀电极的所述第1端连接；和

第1膜，其覆盖所述低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分，

所述第1膜含有铝，

所述第1膜的氧化铝相对于所述铝的结合能的强度比变得比1小的深度大于0nm且在25nm以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的金属化薄膜电容器，其特征在于，

所述第1金属蒸镀电极和所述第2金属蒸镀电极之中的至少一者由铝与镁的合金形成。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的金属化薄膜电容器，其特征在于，

所述低电阻部由锌形成。

6.一种金属化薄膜电容器，具有：

第1电介质薄膜；

第1金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的第1面；

第2金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的所述第1面的背面侧的第2面；

低电阻部，其形成在所述第1金属蒸镀电极的第1端上和所述第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；

第1金属喷镀电极，其与所述第1金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第2金属喷镀电极，其与所述第2金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第1膜，其覆盖所述低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分；和

第2膜，其覆盖所述第1膜的至少一部分，由相对于水的反应性比铝高的物质构成。

7.一种金属化薄膜电容器，具有：

第1电介质薄膜；

第1金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的第1面；

第2金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的所述第1面的背面侧的第2面；

低电阻部，其形成在所述第1金属蒸镀电极的第1端上和所述第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；

第1金属喷镀电极，其与所述第1金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第2金属喷镀电极，其与所述第2金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第1膜，其覆盖所述低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分；和

第2膜，其覆盖所述第1膜的至少一部分，以氧化镁为主要成分。

8.一种金属化薄膜电容器，具有：

第1电介质薄膜；

第1金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的第1面；

第2金属蒸镀电极，其形成于所述第1电介质薄膜的所述第1面的背面侧的第2面；

低电阻部，其形成在所述第1金属蒸镀电极的第1端上和所述第2金属蒸镀电极的第1端上之中的至少一者；

第1金属喷镀电极，其与所述第1金属蒸镀电极的所述第1端连接；

第2金属喷镀电极，其与所述第2金属蒸镀电极的所述第1端连接；和

第1膜，其覆盖所述低电阻部的至少一部分，以氧化铝为主要成分，

所述第1膜含有铝，

所述第1膜的氧化铝相对于所述铝的结合能的强度比变得比1小的深度大于0nm且在25nm以下。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的金属化薄膜电容器，其特征在于，

所述第1金属蒸镀电极和所述第2金属蒸镀电极之中的至少一者由铝与镁的合金形成。

10.根据权利要求6至8中任一项所述的金属化薄膜电容器，其特征在于，

所述低电阻部由锌形成。