DE112013002736T5

DE112013002736T5 - Metall-Kunststoff-Kondensator

Info

Publication number: DE112013002736T5
Application number: DE112013002736.4T
Authority: DE
Inventors: c/o Panasonic Corporation Takeoka Hiroki; c/o Panasonic Corporation Nakatsubo Kazuhiro; c/o Panasonic Corporation Kubota Hiroshi
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2012-06-01
Filing date: 2013-05-23
Publication date: 2015-03-05
Anticipated expiration: 2033-05-24
Also published as: CN104350558A; DE112013002736B4; JPWO2013179612A1; US9640324B2; US20150138691A1; JP6167306B2; WO2013179612A1; CN104350558B

Abstract

Ein Metall-Kunststoff-Kondensator umfasst Folgendes einen ersten dielektrischen Film; eine erste Metallabscheidungselektrode, die auf einer ersten Fläche des ersten dielektrischen Films bereitgestellt ist; einen zweiten dielektrischen Film; und eine zweite Metallabscheidungselektrode, die auf einer ersten Fläche des zweiten dielektrischen Films bereitgestellt ist und die dem ersten dielektrischen Film gegenüberliegt. Der Metall-Kunststoff-Kondensator umfasst ferner Folgendes: einen niedrigen Widerstand, der über mindestens einem von einem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode und einem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode bereitgestellt ist; und einen ersten Film, der mindestens einen Abschnitt des niedrigen Widerstands bedeckt und der hauptsächlich Aluminiumoxid umfasst.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Das vorliegende technische Gebiet betrifft Metall-Kunststoff-Kondensatoren, die in elektronischen Geräten, elektrischen Geräten, Industrieausrüstung, Fahrzeugen und dergleichen verwendet werden. Insbesondere betrifft das vorliegende technische Gebiet Metall-Kunststoff-Kondensatoren, die sich am meisten zum Glätten, Filtern und Snubbing von Motorantriebswechselrichterschaltungen für Hybridfahrzeuge eignen.
ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
In den letzten Jahren wurden im Hinblick auf den Umweltschutz Entwicklungen an elektrischen Geräten vorgenommen, die durch Wechselrichterschaltungen gesteuert werden, um Energie zu sparen und den Wirkungsgrad zu erhöhen. In der Automobilindustrie wurden Hybrid-Elektrofahrzeuge (in der Folge als ”HEV” für Hybrid Electric Vehicle bezeichnet) entwickelt, die durch Elektromotoren und einen Motor angetrieben werden. Es wurden in zunehmendem Maße verschiedene Techniken erdacht, um den Anforderungen der globalen Umweltbelange, von Energieeinsparungen und der Verbesserung des Wirkungsgrads zu genügen.
Die Elektromotoren, die in solchen HEVs verwendet werden, weisen Betriebsspannungen mit einer Höhe von mehreren hundert Volt auf. Die Elektromotoren verwenden daher Metall-Kunststoff-Kondensatoren mit elektrischen Fähigkeiten, um hohen Spannungen zu widerstehen und Verluste zu verringern. Ferner werden Metall-Kunststoff-Kondensatoren mit langer Lebensdauer verwendet, um den Anforderungen an die Wartungsfreiheit zu genügen.
Metall-Kunststoff-Kondensatoren lassen sich hauptsächlich in den Typ Metallfolienelektrode und den Typ Metallabscheidungselektrode einstufen. Beim Typ Metallfolienelektrode dienen Metallfolien als Elektroden. Beim Typ Metallabscheidungselektrode dient mit Dampfabscheidung auf einem dielektrischen Film abgeschiedenes Metall als Elektroden. Metall-Kunststoff-Kondensatoren des Typs Metallabscheidungselektrode weisen Elektroden auf, deren Abmessungen im Vergleich zu Abmessungen von Elektroden in den Metallfolienkondensatoren kleiner sind, und sind somit in der Lage, das Gewicht und die Größe zu verringern. Der Typ Metallabscheidungselektrode bietet auch Selbstheilungseigenschaften, die für Metallabscheidungselektroden einzigartig sind, um Isolationsdurchschlag auf zuverlässige Weise zu verhindern. Die allgemein als Selbstheilungseigenschaften bezeichneten Eigenschaften sind Eigenschaften, die darauf beruhen, dass eine Metallabscheidungselektrode in der Nähe eines Defekts verdampft und dispergiert wird, um die Kondensatoreigenschaften wiederherzustellen.
7 ist eine Ansicht eines Querschnitts eines solchen herkömmlichen Metall-Kunststoff-Kondensators. 8 zeigt Draufsichten eines metallisierten Films im herkömmlichen Metall-Kunststoff-Kondensator. Aluminium wird mit Dampfabscheidung auf ersten Flächen von dielektrischen Filmen 102a und 102b, wie beispielsweise Polypropylen-Filmen, abgeschieden, um die Metallabscheidungselektroden 101a beziehungsweise 102b zu bilden. Die Metallabscheidungselektrode 101a ist indes nicht am Isolationsrand 103a an einem Ende des dielektrischen Films 102a bereitgestellt. Ebenso ist die Metallabscheidungselektrode 101b nicht am Isolationsrand 103b an einem Ende des dielektrischen Films 102b bereitgestellt. Das andere Ende des dielektrischen Films 102a, das den Isolationsrand 103a nicht aufweist, ist mit der Metallabscheidungselektrode 101a und einer Metallikon-Elektrode 104a verbunden. Das andere Ende des dielektrischen Films 102b, das den Isolationsrand 103b nicht aufweist, ist mit der Metallabscheidungselektrode 101b und einer Metallikon-Elektrode 104b verbunden. Die vorhergehend beschriebene Struktur ermöglicht es den Elektroden, sich nach außen zu erstrecken. Die Metallikon-Elektroden 104a und 104b werden durch Spritzverzinkung gebildet.
Die Metallabscheidungselektrode 101a ist teilweise in mehrere geteilte Elektroden 106a geteilt, die durch Schlitze 105a geteilt sind. Die geteilten Elektroden 106a sind von einem wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 eines wirksamen Elektrodenteils, der eine Kapazität aufweist, in Richtung des Isolationsrands 103a bereitgestellt. Die Metallabscheidungselektrode 101b ist teilweise in mehrere geteilte Elektroden 106b geteilt, die durch Schlitze 105b geteilt sind. Die geteilten Elektroden 106b sind vom wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des wirksamen Elektrodenteils, der eine Kapazität aufweist, in Richtung des Isolationsrands 103b bereitgestellt. Vor dem Bilden der Metallabscheidungselektrode 101a wird zuvor eine Ölschicht an Positionen gebildet, die Schlitzen 105a auf dem dielektrischen Film 102a entsprechen, derart, dass die Metallabscheidungselektrode 101a nicht auf den Schlitzen 105a gebildet wird. Vor dem Bilden der Metallabscheidungselektrode 101b wird zuvor eine Ölschicht an Positionen gebildet, die Schlitzen 105b auf dem dielektrischen Film 102b entsprechen, derart, dass die Metallabscheidungselektrode 101b nicht auf den Schlitzen 105b gebildet wird.
Jede der geteilten Elektroden 106a ist parallel mit der Hauptelektrode 107a in der Metallabscheidungselektrode 101a durch die Sicherung 108a verbunden. Jede der geteilten Elektroden 106b ist parallel mit der Hauptelektrode 107b in der Metallabscheidungselektrode 101b durch die Sicherung 108b verbunden. Die Hauptelektrode 107a ist in der Nähe der Metallikon-Elektrode 104a und weit von dem Isolationsrand 103a in Bezug zu dem wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des wirksamen Elektrodenteils positioniert. Die Hauptelektrode 107b ist in der Nähe der Metallikon-Elektrode 104b und weit von dem Isolationsrand 103b in Bezug zu dem wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des wirksamen Elektrodenteils positioniert.
Die Metallabscheidungselektrode 101a weist einen dicken niedrigen Widerstand 109a an dem Ende auf, das mit der Metallikon-Elektrode 104a in Kontakt steht. Die Metallabscheidungselektrode 101b weist einen dicken niedrigen Widerstand 109b an dem Ende auf, das mit der Metallikon-Elektrode 104b in Kontakt steht. Der niedrige Widerstand 109a verringert den Verbindungswiderstand zwischen der Metallabscheidungselektrode 101a und der Metallikon-Elektrode 104a. Der niedrige Widerstand 109b verringert den Verbindungswiderstand zwischen der Metallabscheidungselektrode 101b und der Metallikon-Elektrode 104b. Der niedrige Widerstand 109a wird durch Dampfabscheidung von zum Beispiel Aluminium oder Zink lediglich am Ende der Metallabscheidungselektrode 101a nach dem Bilden der Metallabscheidungselektrode 101a gebildet. Der niedrige Widerstand 109b wird durch Dampfabscheidung von zum Beispiel Aluminium oder Zink lediglich am Ende der Metallabscheidungselektrode 101b nach dem Bilden der Metallabscheidungselektrode 101b gebildet.
Es sei erwähnt, dass die Schriften zum Stand der Technik zum Beispiel die in der Folge aufgelistete Patentliteratur 1 und 2 sind.
ENTGEGENHALTUNGSLISTE
PATENTLITERATUR

PTL 1: Ungeprüfte japanische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer H9-102434
PTL 2: Ungeprüfte japanische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer H2-250306

KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Ein Metall-Kunststoff-Kondensator umfasst Folgendes einen ersten dielektrischen Film; eine erste Metallabscheidungselektrode, die auf einer ersten Fläche des ersten dielektrischen Films bereitgestellt ist; einen zweiten dielektrischen Film; eine zweite Metallabscheidungselektrode, die auf einer ersten Fläche des zweiten dielektrischen Films bereitgestellt ist und die dem ersten dielektrischen Film gegenüberliegt. Der Metall-Kunststoff-Kondensator umfasst ferner Folgendes einen niedrigen Widerstand, der über mindestens einem von einem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode und einem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode bereitgestellt ist; eine erste Metallikon-Elektrode, die mit dem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode verbunden ist. Der Metall-Kunststoff-Kondensator umfasst ferner Folgendes eine zweite Metallikon-Elektrode, die mit dem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode verbunden ist; und einen ersten Film, der mindestens einen Abschnitt des niedrigen Widerstands bedeckt, wobei der erste Film hauptsächlich Aluminiumoxid umfasst.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Ansicht eines Querschnitts eines Metall-Kunststoff-Kondensators gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
2 zeigt Draufsichten von metallisierten Filmen in dem Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
3A ist ein Graph, der Konzentrationsänderungen von Aluminium und Aluminiumoxid in dem Metall-Kunststoff-Kondensator in einer Tiefenrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt.
3B ist ein Graph, der Konzentrationsänderungen von Zink in dem Metall-Kunststoff-Kondensator in einer Tiefenrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt.
4 ist eine Ansicht eines Querschnitts eines anderen Metall-Kunststoff-Kondensators gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
5 ist eine Ansicht eines Querschnitts von noch einem anderen Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
6 ist eine Ansicht eines Querschnitts von noch einem anderen Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
7 ist eine Ansicht eines Querschnitts eines herkömmlichen Metall-Kunststoff-Kondensators.
8 zeigt Draufsichten von metallisierten Filmen in dem herkömmlichen Metall-Kunststoff-Kondensator.
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORM
Metall-Kunststoff-Kondensatoren, die in HEVs verwendet werden, sind häufig rauen Umgebungen ausgesetzt und es ist somit erforderlich, ihre Witterungsbeständigkeit, wie beispielsweise ihre Feuchtigkeitsbeständigkeit, zu verbessern.
Es besteht die Möglichkeit, dass Wasser in einen Metall-Kunststoff-Kondensator durch eine Lücke an der Grenze zwischen der Metallikon-Elektrode 104a und dem dielektrischen Film 102a oder zwischen der Metallikon-Elektrode 104b und dem dielektrischen Film 102b eintritt, die in 7 veranschaulicht sind. Aus diesem Grund ist es wahrscheinlich, dass der niedrige Widerstand 109a in Kontakt mit der Metallikon-Elektrode 104a und der niedrige Widerstand 109b in Kontakt mit der Metallikon-Elektrode 104b dadurch beeinträchtigt werden, dass sie Wasser ausgesetzt sind. Wenn der niedrige Widerstand 109a oder 109b Wasser ausgesetzt wird und sich zersetzt, nehmen die Kontakteigenschaften zwischen der Abscheidungselektrode 101a und der Metallikon-Elektrode 104a oder zwischen der Metallabscheidungselektrode 101b und der Metallikon-Elektrode 104b ab. Folglich verschlechtern sich die Kondensatoreigenschaften des Metall-Kunststoff-Kondensators. Aus diesem Grund ist es zur Verbesserung der Zuverlässigkeit des Metall-Kunststoff-Kondensators erforderlich, die Feuchtigkeitsbeständigkeit der niedrigen Widerstände 109a und 109b zu erhöhen.
1 ist eine Ansicht eines Querschnitts eines Metall-Kunststoff-Kondensators gemäß der vorliegenden Ausführungsform. 2 zeigt Draufsichten von metallisierten Filmen in dem Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
Der Metall-Kunststoff-Kondensator umfasst Folgendes einen ersten dielektrischen Film (dielektrischer Film 3a); eine erste Metallabscheidungselektrode (Metallabscheidungselektrode 4a), die an einer ersten Fläche des ersten dielektrischen Films bereitgestellt ist; einen zweiten dielektrischen Film (dielektrischer Film 3b); und eine zweite Metallabscheidungselektrode (Metallabscheidungselektrode 4b), die auf einer ersten Fläche des zweiten dielektrischen Films bereitgestellt ist. Ferner umfasst der Metall-Kunststoff-Kondensator mindestens eines von Folgendem einen niedrigen Widerstand 13a auf einem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode; und einen niedrigen Widerstand 13b auf einem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode. Der Metall-Kunststoff-Kondensator umfasst auch mindestens eines von ersten Filmen (Filme 14a und 14b), die jeweils hauptsächlich Aluminiumoxid umfassen. Der erste Film (Film 14a) bedeckt zumindest einen Abschnitt des niedrigen Widerstands 13a. Der erste Film (Film 14b) bedeckt zumindest einen Abschnitt des niedrigen Widerstands 13b. Der erste dielektrische Film liegt der zweiten Metallabscheidungselektrode gegenüber.
Der erste metallisierte Film 1 dient als ein P-Pol, während der zweite metallisierte Film 2 als ein N-Pol dient. Der erste metallisierte Film 1 und der zweite metallisierte Film 2 sind in einem Paar aufeinander geschichtet und mehrere Male zusammengewickelt, um ein Element zu bilden, das als der Metall-Kunststoff-Kondensator dient. In diesem Beispiel sind der erste metallisierte Film 1 und der zweite metallisierte Film 2 um 1 mm in einer Breitenrichtung voneinander (horizontale Richtung in 1) versetzt, um die Elektroden nach außen zu verlängern.
Die Metallabscheidungselektrode 4a, die Aluminium oder dergleichen umfasst, ist auf der ersten Fläche des dielektrischen Films 3a, wie beispielsweise einem Polypropylenfilm, bereitgestellt. Der dielektrische Film 3a weist ein Ende mit Isolationsrand 5a auf. Die Metallabscheidungselektrode 4a ist nicht am Isolationsrand 5a bereitgestellt, um von dem zweiten metallisierten Film 2 isoliert zu werden. Der Isolationsrand 5a weist eine Breite von 2 mm auf. Der dielektrische Film 3a ist ein Polypropylenfilm, der eine Dicke von 3.0 um aufweist.
Die Metallabscheidungselektrode 4a ist mit der Metallikon-Elektrode 6a verbunden, derart, dass sich der Elektrodenteil nach außen erstreckt. Die Metallikon-Elektrode 6a ist zum Beispiel durch Spritzverzinkung auf der Endfläche des dielektrischen Films 3a und auf der Endfläche der Metallabscheidungselektrode 4a gebildet.
Wie in 2 veranschaulicht, ist die Metallabscheidungselektrode 4a durch vertikale Schlitze 7a und horizontale Schlitze 8a in die Hauptelektrode 9a und mehrere geteilte Elektroden 10a geteilt. Vor dem Bilden der Metallabscheidungselektrode 4a wird zuvor eine Ölschicht an Positionen gebildet, die vertikalen Schlitzen 7a und horizontalen Schlitzen 8a auf dem dielektrischen Film 3a entsprechen, derart, dass die Metallabscheidungselektrode 4a nicht auf vertikalen Schlitzen 7a und horizontalen Schlitzen 8a gebildet wird. Vertikale Schlitze 7a und horizontale Schlitze 8a sind von dem wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des wirksamen Elektrodenteils, der eine Kapazität aufweist, in der Metallabscheidungselektrode 4a in Richtung des Isolationsrandes 5a bereitgestellt.
Wie in 2 veranschaulicht, ist jede der geteilten Elektroden 10a durch die Sicherung 11a elektrisch parallel mit der Hauptelektrode 9a verbunden. Benachbarte geteilte Elektroden 10a sind durch die Sicherung 12a elektrisch miteinander verbunden. Die Hauptelektrode 9a ist auf der ersten Fläche des dielektrischen Films 3a vom wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des wirksamen Elektrodenteils zur Metallikon-Elektrode 6a bereitgestellt. Jede der geteilten Elektroden 10a weist eine Breite W2 auf, die ungefähr einem Viertel der Breite W1 des wirksamen Elektrodenbereichs entspricht. Die geteilten Elektroden 10a sind auf der ersten Fläche des dielektrischen Films 3a vom wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des wirksamen Elektrodenteils zum Isolationsrand 5a bereitgestellt. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind zwei geteilte Elektroden 10a in der Richtung von dem wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des effektiven Elektrodenteils zum Isolationsrand 5a bereitgestellt. Die vorliegende Ausführungsform ist indes nicht auf diese Struktur beschränkt und es können drei oder mehr geteilte Elektroden 10a in der vorhergehend genannten Richtung vorhanden sein.
Wenn bei der Verwendung bei einem Defekt in dem dielektrischen Film 3a ein Kurzschluss auftritt, bewirkt die Energie des Kurzschlusses, dass die Metallabscheidungselektrode 4a um den Defekt herum verdampft und dispergiert, wodurch die Isolationseigenschaften wiederhergestellt werden (Selbstheilungseigenschaften). Zum Beispiel besteht eine Situation, in der ein leichter Isolationsdurchschlag in dem dielektrischen Film 3a auftritt und dadurch ein Durchgangsloch gebildet wird, um einen Kurzschluss an der Metallabscheidungselektrode 4a zu verursachen, die durch den dielektrischen Film 3a isoliert wurde. In diesem Fall verdampft die Metallabscheidungselektrode 4a um das Durchgangsloch herum aufgrund von Energie des Kurzschlusses und es bleibt keine Metallabscheidungselektrode 4a um das Durchgangsloch herum übrig. Folglich verschwindet der Kurzschluss und die Isolationseigenschaften der Metallabscheidungselektrode 4a werden wiederhergestellt. Die Selbstheilungseigenschaften stellen Eigenschaften des Metall-Kunststoff-Kondensators sogar dann wieder her, wenn der Kurzschluss in einem Abschnitt zwischen dem ersten metallisierten Film 1 und dem zweiten metallisierten Film 2 auftritt. Ferner wird, wenn aufgrund eines Problems bei der geteilten Elektrode 10a eine große Menge Strom in die geteilte Elektrode 10a fließt, eine Sicherung 11a oder Sicherung 12a dispergiert. Folglich ist der problembehaftete Abschnitt der geteilten Elektrode 10a elektrisch getrennt und der Strom des Metall-Kunststoff-Kondensators kehrt in einen Normalzustand zurück.
Wie der erste metallisierte Film 1 weist auch der zweite metallisierte Film 2 die Metallabscheidungselektrode 4b auf, die auf der ersten Fläche des dielektrischen Films 3b, wie beispielsweise einem Polypropylenfilm, bereitgestellt wird. Der dielektrische Film 3b weist ein Ende mit Isolationsrand 5b auf. Die Metallabscheidungselektrode 4b ist nicht am Isolationsrand 5b bereitgestellt. Der Isolationsrand 5b weist eine Breite von 2 mm auf. Der zweite metallisierte Film 2 ist mit der Metallikon-Elektrode 6b verbunden. Der zweite metallisierte Film 2 und der erste metallisierte Film 1 sind mit entsprechenden Metallikon-Elektroden in verschiedenen Richtungen verbunden. Genauer gesagt, ist unter Bezugnahme auf 1 das linke Ende des ersten metallisierten Films 1 mit der Metallikon-Elektrode 6a verbunden, während das rechte Ende des zweiten metallisierten Films 2 mit der Metallikon-Elektrode 6b verbunden ist. Die Metallikon-Elektrode 6b liegt der Metallikon-Elektrode 6a gegenüber. Der erste metallisierte Film 1 und der zweite metallisierte Film 2 befinden sich zwischen der Metallikon-Elektrode 6a und der Metallikon-Elektrode 6b. Die Metallabscheidungselektrode 4b ist teilweise vom wesentlichen Mittelpunkt der Breite W1 des wirksamen Elektrodenteils, der eine Kapazität aufweist, in Richtung des Isolationsrands 5b bereitgestellt. Vor dem Bilden der Metallabscheidungselektrode 4b wird zuvor eine Ölschicht an Positionen gebildet, die vertikalen Schlitzen 7b und horizontalen Schlitzen 8b auf dem dielektrischen Film 3b entsprechen, derart, dass die Metallabscheidungselektrode 4b nicht auf vertikalen Schlitzen 7b und horizontalen Schlitzen 8b gebildet wird. Die vertikalen Schlitze 7b und horizontalen Schlitze 8b unterteilen die Hauptelektrode 9b und die geteilten Elektroden 10b voneinander.
Wie in 2 veranschaulicht, ist die Struktur der geteilten Elektroden 10b ähnlich wie die Struktur der geteilten Elektroden 10a des ersten metallisierten Films 1. Jede der geteilten Elektroden 10b ist durch die Sicherung 11b parallel mit der Hauptelektrode 9b verbunden. Benachbarte geteilte Elektroden 10b sind durch die Sicherung 12b parallel miteinander verbunden. Die Bereitstellung von geteilten Elektroden 10b und Sicherungen 11b und 12b in dem zweiten metallisierten Film 2 erzeugt dieselben Wirkungen wie diejenigen des ersten metallisierten Films 1.
Der niedrige Widerstand 13a ist am Ende der Metallabscheidungselektrode 4a in Kontakt mit der Metallikon-Elektrode 6a bereitgestellt. Der niedrige Widerstand 13b ist am Ende der Metallabscheidungselektrode 4b in Kontakt mit der Metallikon-Elektrode 6b bereitgestellt. Aus diesem Grund ist die Region, wo die Metallabscheidungselektrode 4a mit der Metallikon-Elektrode 6a in Kontakt steht, dicker als die mittlere Region der Metallabscheidungselektrode 4a. Desgleichen ist die Region, wo die Metallabscheidungselektrode 4b mit der Metallikon-Elektrode 6b in Kontakt steht, dicker als die mittlere Region der Metallabscheidungselektrode 4b. Der niedrige Widerstand 13a erhöht die Kontakteigenschaften zwischen der Metallabscheidungselektrode 4a und der Metallikon-Elektrode 6a und der niedrige Widerstand 13b erhöht die Kontakteigenschaften zwischen der Metallabscheidungselektrode 4b und der Metallikon-Elektrode 6b. Infolgedessen wird der Verbindungswiderstand verringert.
Es sei erwähnt, dass die niedrigen Widerstände 13a und 13b durch Abscheiden von Zink auf den Metallabscheidungselektroden 4a beziehungsweise 4b gebildet werden. Es ist aus dem in der Folge beschriebenen Grund zu bevorzugen, die niedrigen Widerstände 13a und 13b aus Zink zu bilden. Es ist indes auch möglich, auf dieselbe Weise wie für die Metallabscheidungselektroden 4a und 4b kein Zink sondern Aluminium für die niedrigen Widerstände 13a und 13b zu verwenden.
Die niedrigen Widerstände 13a und 13b sind durch die Filme 14a beziehungsweise 14b (erste Filme) bedeckt, die hauptsächlich Aluminiumoxid umfassen. Die Filme 14a und 14b können indes als Fremdstoff Bestandteile, wie beispielsweise Stickstoff, umfassen, solange die Merkmale der Filme 14a und 14b dadurch nicht verschlechtert werden. Es sei erwähnt, dass der Ausdruck ”umfasst hauptsächlich” bedeutet, dass ein Bestandteil enthalten ist, das das größte Atomverhältnis unter den Bestandteilen in dem Film 14a oder 14b aufweist.
Kurzum, der erste metallisierte Film 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist eine Struktur auf, in der der dielektrische Film 3a, die Metallabscheidungselektrode 4a und der niedrige Widerstand 13a gestapelt sind. Der niedrige Widerstand 13a ist durch den Film 14a bedeckt. Der zweite metallisierte Film 2 weist eine Struktur auf, in der der dielektrische Film 3b, die Metallabscheidungselektrode 4b und der niedrige Widerstand 13b gestapelt sind. Der niedrige Widerstand 13b ist durch den Film 14b bedeckt.
Mit Bezug auf 1 sind die oberen Flächen der niedrigen Widerstände 13a und 13b durch Filme 14a beziehungsweise 14b bedeckt. Die vorliegende Erfindung ist indes nicht auf die vorhergehend beschriebene Struktur beschränkt. Zum Beispiel ist es auch möglich, dass die niedrigen Widerstände 13a und 13b vollständig durch die Filme 14a beziehungsweise 14b bedeckt sind. Mit anderen Worten, nicht nur die oberen Flächen sondern auch die Seitenflächen der niedrigen Widerstände 13a und 13b, die in 1 veranschaulicht sind, können durch Filme 14a beziehungsweise 14b bedeckt sein. Im Hinblick auf die Zuverlässigkeit ist es zu bevorzugen, dass die niedrigen Widerstände 13a und 13b vollständig durch die Filme 14a und 14b bedeckt sind.
Als Nächstes wird unter Bezugnahme auf 3A und 3B die Zusammensetzung in jedem von der Metallabscheidungselektrode 4a, dem niedrigen Widerstand 13a und dem Film 14a in dem ersten metallisierten Film 1 mit mehr Details beschrieben. Die Metallabscheidungselektrode 4a umfasst Aluminium, der niedrige Widerstand 13a umfasst Zink und der Film 14a umfasst Aluminiumoxid.
3A ist ein Graph, der Konzentrationsänderungen von Aluminium und Aluminiumoxid in dem Metall-Kunststoff-Kondensator in einer Tiefenrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. 3B ist ein Graph, der Konzentrationsänderungen von Zink in dem Metall-Kunststoff-Kondensator in einer Tiefenrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt.
In 3A stellen die Kurven i bis v Änderungen der Elementkonzentration von Aluminium und Aluminiumoxid in einer Tiefenrichtung (Richtung vom Film 14a zur Metallabscheidungselektrode 4a) dar. Die Änderungen der Elementkonzentration werden durch abwechselndes Wiederholen von XPS (X-ray Photoemission Spectroscopy – Röntgenphotoemissionsspektroskopie) und von Ionensputtern ermittelt, wodurch Änderungen eines Spektrums verfolgt werden und eine Spitzenposition und eine Stärke von Bindungsenergie bei jeder Tiefe gemessen werden. Es sei erwähnt, dass die Kurven i bis v an entsprechenden Tiefen gemessen werden, die in einer Reihenfolge von i, ii, iii, iv und v schrittweise tiefer sind. Die Kurve i wird an einem oberen Schichtabschnitt gemessen und die Kurve v wird am tiefsten Abschnitt gemessen. In 3B stellen die Kurven i bis v hingegen Änderungen bei der Elementkonzentration von Zink in der Tiefenrichtung dar und werden an entsprechenden Tiefen gemessen, die in einer Reihenfolge von i, ii, iii, iv und v schrittweise tiefer sind. Die Tiefen, die den Kurven i bis v in 3B entsprechen, sind dieselben wie die Tiefen, die den Kurven i bis v in 3A entsprechen.
Die Kurve i in jeder von den 3A und 3B stellt Bestandteile in der oberen Schicht des Films 14a dar. Die Kurve i zeigt, dass die obere Schicht Aluminiumoxid als Bestandteil mit der größten Menge enthält. Die Kurve zeigt indes auch, dass auch eine geringe Menge an Aluminium und Zink in der Schicht des Films 14a enthalten ist. Die Kurven ii und iii stellen Anteile im niedrigen Widerstand 13a dar. Bei diesen Tiefen ist die Konzentration von Zink erheblich hoch. Gemäß der Kurve iii ist nicht nur die Konzentration von Zink sondern auch die Konzentration von Aluminium hoch. Aus diesem Grund sind Zink und Aluminium in der Schicht des niedrigen Widerstands 13a leicht gemischt. Die Kurven iv und v stellen Anteile in der Metallabscheidungselektrode 4a dar. In der Metallabscheidungselektrode 4a ist die Konzentration von Zink vermindert und Aluminium nimmt den größten Anteil ein.
Es sei erwähnt, dass sich die vorhergehende Beschreibung auf die Metallabscheidungselektrode 4a, den niedrigen Widerstand 13a und den Film 14a in dem ersten metallisierten Film 1 bezieht. Der zweite metallisierte Film 2 ist auch im Wesentlichen mit demselben Verfahren hergestellt wie das Verfahren zum Herstellen des ersten metallisierten Films 1, obgleich die Richtung, die mit der Metallikon-Elektrode verbunden ist, unterschiedlich ist. Aus diesem Grund weisen die Metallabscheidungselektrode 4b, der niedrige Widerstand 13b und der Film 14b im Wesentlichen dieselben Strukturen auf wie diejenigen der Metallabscheidungselektrode 4a, des niedrigen Widerstands 13a beziehungsweise des Films 14a.

Als Nächstes wird unter Bezugnahme auf Tabelle 1 eine Beschreibung dafür geliefert, wie die Eigenschaften des Metall-Kunststoff-Kondensators durch Schwankungen bei einer Dicke von jedem der Filme 14a und 14b im Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform beeinflusst werden. [Tabelle 1]

	Probe A	Probe B	Probe C	Probe D	Probe E
Tiefe (nm), bei der das Intensitätsverhältnis von Al₂O₃/Al kleiner als 1 ist.	0	20	25	30	40
tanδ vor Feuchtigkeitsbeständigkeitstest	1.00 (Bezug)	1.00	1.05	1.20	1.50
tanδ nach Feuchtigkeitsbeständigkeitstest	1.20	1.10	1.07	1.05	1.03

Tabelle 1 zeigt Ergebnisse des Vorbereitens der Proben A, B, C, D und E und des Messens von tanδ vor und nach einem Feuchtigkeitsbeständigkeitstest auf jeder der Proben. Eine Tiefe, die ein Intensitätsverhältnis (Al₂O₃/Al) von Bindungsenergie von Aluminiumoxid zu Aluminium bewirkt, das kleiner als 1 ist, beträgt 0 nm für die Probe A, 20 nm für die Probe B, 25 nm für die Probe C, 30 nm für die Probe D und 40 nm für die Probe E. Hier stellt tanδ den dielektrischen Verlustfaktor dar. tanδ ist ein Wert, der durch Ir/Ic ausgedrückt ist, wo Ic ein idealer Kondensatorstrom ist und Ir der Energieverlust ist. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird ein von Agilent Technologies hergestellter LCR-Messer (E4980A) verwendet, um tanδ bei einer Frequenz von 1 kHz zu messen. Die Probe A weist die Filme 14a und 14b nicht auf. Zum Bilden einer Reihenfolge von der Probe A bis zur Probe E wird jeder der Filme 14a und 14b schrittweise dicker. Tabelle 1 zeigt den tanδ vor und nach einem Feuchtigkeitsbeständigkeitstest auf jeder der Proben A bis D. Tanδ von jeder Probe wird durch einen Index in Bezug zu (1.00) ausgedrückt, das der tanδ der Probe A vor dem Feuchtigkeitsbeständigkeitstest ist. Es sei erwähnt, dass in den Feuchtigkeitsbeständigkeitstests eine Spannung von 500 V während 2000 Stunden unter Bedingungen mit einer hohen Temperatur von 85°C und einer hohen relativen Feuchtigkeit von 85% angelegt wird.
In Tabelle 1 ist ersichtlich, dass nach dem Feuchtigkeitsbeständigkeitstest der tanδ der Proben B bis E, die jeweils Filme 14a und 14b aufweisen, kleiner ist als der tanδ der Probe A. Daraus ist ersichtlich, dass der Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine hohe Feuchtigkeitsbeständigkeit und eine hohe Zuverlässigkeit aufweist.
Für die Proben D und E, die jeweils relativ dicke Filme 14a und 14b aufweisen, betragen die anfänglichen tanδ (vor den Feuchtigkeitsbeständigkeitstests) bei Tiefen von 30 nm beziehungsweise 40 nm, bei denen ein Intensitätsverhältnis kleiner als 1 ist, indes 1.20 beziehungsweise 1.50, was etwas höher ist. Aufgrund der vorhergehend beschriebenen Ergebnisse wird vermutet, dass, da die Filme 14a und 14b, die jeweils Aluminiumoxid umfassen, das ein Isolator ist, dick sind, die Kontakteigenschaften zwischen dem niedrigen Widerstand 13a, der Zink umfasst, und der Metallikon-Elektrode 6a und zwischen dem niedrigen Widerstand 13b, der Zink umfasst, und der Metallikon-Elektrode 6b verringert sind. Aus diesem Grund wird es bevorzugt, dass jeder der Filme 14a und 14b derart gebildet wird, dass eine Tiefe, bei der ein Intensitätsverhältnis von Aluminiumoxid zu Aluminium kleiner als 1 ist, größer als 0 nm ist und höchstens 25 nm beträgt.
Es sei erwähnt, dass jeder von den niedrigen Widerständen 13a und 13b ein Metall, wie beispielsweise Aluminium, umfassen kann, aber vorzugsweise Zink umfasst. Da Zink einen relativ niedrigen Schmelzpunkt aufweist, kann Zink auf einem dicken Metallabscheidungsfilm mit niedriger thermischer Belastung auf den dielektrischen Filmen 3a und 3b gebildet werden. Daher werden die niedrigen Widerstände 13a und 13b und zuverlässige Metallabscheidungselektroden 4a und 4b auf gewünschte Art und Weise gebildet. Daher ergibt die Bereitstellung von niedrigen Widerständen 13a und 13b, die jeweils Zink umfassen, wünschenswerte Kontakteigenschaften zwischen der Metallabscheidungselektrode 4a und der Metallikon-Elektrode 6a und zwischen der Metallabscheidungselektrode 4b und der Metallikon-Elektrode 6b. Ein Zinkabscheidungsfilm läuft indes im Vergleich zu einem Metall, wie beispielsweise Aluminium, an der Luft leicht an. Aus diesem Grund weist Zink eine geringere langfristige Zuverlässigkeit auf.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die niedrigen Widerstände 13a und 13b, die Zink umfassen, durch die Schichten 14a beziehungsweise 14b bedeckt, von denen jede hauptsächlich Aluminiumoxid umfasst. Diese Struktur hemmt die Korrosion der niedrigen Widerstände 13a und 13b, die Zink umfassen. Aus diesem Grund ist es möglich, erwünschte Kontakteigenschaften zwischen der Metallabscheidungselektrode 4a, die Zink umfasst, und der Metallikon-Elektrode 6a, und zwischen der Metallabscheidungselektrode 4b, die Zink umfasst, und der Metallikon-Elektrode 6b über lange Zeit aufrecht zu erhalten. Aus dem vorhergehend genannten Grund ist die vorliegende Ausführungsform insbesondere für Metall-Kunststoff-Kondensatoren nützlich, die Zink in den niedrigen Widerständen 13a und 13b aufweisen.
Wie vorhergehend beschrieben, ist der Metall-Kunststoffkondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform in der Lage, das Fortschreiten von Korrosion bei den niedrigen Widerständen 13a und 13b zu hemmen und bietet dadurch ein hohes Maß an Zuverlässigkeit.
Mit anderen Worten sind die Filme 14a und 14b, die Aluminiumoxid umfassen, in dem Metall-Kunststoffkondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform in der Lage, zu verhindern, dass Wasser in die niedrigen Widerstände 13a beziehungsweise 13b eindringt. Folglich kann das Fortschreiten der Korrosion der niedrigen Widerstände 13a und 13b gehemmt werden. Aus diesem Grund kann der niedrige Widerstand 13a wünschenswerte Kontakteigenschaften zwischen der Metallabscheidungselektrode 4a und der Metallikon-Elektrode 6a bewahren und der niedrige Widerstand 13b kann wünschenswerte Kontakteigenschaften zwischen der Metallabscheidungselektrode 4b und der Metallikon-Elektrode 6b bewahren. Folglich wird die Verschlechterung von Kondensatoreigenschaften des Metall-Kunststoff-Kondensators gehemmt und die Zuverlässigkeit des Metall-Kunststoff-Kondensators wird erhöht.
Als Nächstes wird unter Bezugnahme auf 4 eine Struktur eines anderen Metall-Kunststoff-Kondensators gemäß der vorliegenden Ausführungsform beschrieben. Es sei erwähnt, dass die strukturellen Elemente in 4, die im Wesentlichen mit den strukturellen Elementen in 1 identisch sind, in der Folge nicht erneut erklärt werden. 4 ist eine Ansicht eines Querschnitts des anderen Metall-Kunststoffkondensators gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
Der Metall-Kunststoff-Kondensator, der in 4 veranschaulicht ist, unterscheidet sich darin von dem Metall-Kunststoff-Kondensator, der in 1 veranschaulicht ist, dass der zweite Film 15a auf dem Film 14a bereitgestellt ist und der zweiten Film 15b auf dem Film 14b bereitgestellt ist.
In 4 bedeckt der zweite Film 15a die obere Fläche des Films 14a vollständig und der zweite Film 15b bedeckt die obere Fläche des Films 14b vollständig. Es ist indes auch möglich, dass der zweite Film 15a einen Abschnitt des Films 14a bedeckt und der zweite Film 15b einen Abschnitt des Films 14b bedeckt.
Die zweiten Filme 15a und 15b umfassen hauptsächlich Magnesiumoxid. Die zweiten Filme 15a und 15b können indes als Fremdstoff Bestandteile, wie beispielsweise Stickstoff, umfassen, solange die Merkmale der zweiten Filme 15a und 15b dadurch nicht verschlechtert werden. Es sei erwähnt, dass der Ausdruck ”umfasst hauptsächlich” bedeutet, dass ein Bestandteil enthalten ist, der das größte Atomverhältnis unter den Bestandteilen in dem zweiten Film 15a oder 15b aufweist.
Dadurch, dass die Filme 14a und 14b durch zweite Filme 15a beziehungsweise 15b bedeckt sind, ist es möglich, die Korrosion der niedrigen Widerstände 13a beziehungsweise 13b zu hemmen und während eines langen Zeitraums hohe wünschenswerte Kontakteigenschaften zwischen der Metallabscheidungselektrode 4a und der Metallikon-Elektrode 6a und zwischen der Metallabscheidungselektrode 4b und der Metallikon-Elektrode 6b zu bewahren.
Es sei erwähnt, dass Magnesium, das nicht oxidiert ist, in jedem von den zweiten Filmen 15a und 15b enthalten sein kann, die Magnesiumoxid umfassen. Gemäß dem Pourbaix-Index, der die thermodynamische Stabilität von Metall gegenüber Wasser angibt, lässt sich die Wahrscheinlichkeit, dass Metalle mit Wasser reagieren, mit einer Reihenfolge Mg > Be > Ti > Al > Mn > ... darstellen, was bedeutet, dass die Reaktivität von Magnesium mit Wasser höher ist als die Reaktivität von Aluminium. Magnesium weist die höchst wünschenswerte Eigenschaft auf, dass es Wasser beseitigt, das in den Innenraum des Metall-Kunststoffkondensators eintritt. Aus diesem Grund kann die Bereitstellung der zweiten Filme 15a und 15b das Ausgesetztsein der niedrigen Widerstände 13a und 13b gegenüber eindringendem Wasser weiter vermindern. Folglich ist es möglich, das Fortschreiten der Korrosion der niedrigen Widerstände 13a und 13b zu hemmen, wodurch eine hohe Zuverlässigkeit geboten wird.
Es sei erwähnt, dass im Metall-Kunststoff-Kondensator in 4 beide der Filme 14a und 14b durch die zweiten Filme 15a beziehungsweise 15b bedeckt sind. Die vorliegende Erfindung ist indes nicht auf diese Struktur beschränkt. Es ist auch möglich, dass entweder der Film 14a oder der Film 14b durch einen zweiten Film bedeckt ist, der hauptsächlich Magnesiumoxid umfasst.
Obgleich in der vorliegenden Ausführungsform Filme, die hauptsächlich Magnesiumoxid umfassen, als zweite Filme 15a und 15b verwendet werden, ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Struktur beschränkt. Es ist auch möglich, als zweite Filme 15a und 15b Filme zu verwenden, die jeweils eine Substanz umfassen, deren Reaktivität mit Wasser höher ist als die Reaktivität von Aluminium mit Wasser. Zum Beispiel können als die Filme 15a und 15b Filme verwendet werden, die hauptsächlich Berylliumoxid oder Titanoxid umfassen.
Ferner ist es, wie in 5 veranschaulicht, auch möglich, dass die Metallabscheidungselektrode 4a, der niedrige Widerstand 13a und der Film 14a auf der ersten Fläche des dielektrischen Films 3a bereitgestellt werden und die Metallabscheidungselektrode 4b, der niedrige Widerstand 13b und der Film 14b auf einer zweiten Fläche des dielektrischen Films 3a bereitgestellt werden, die eine Fläche auf der Rückseite der ersten Fläche ist.
Darüber hinaus ist es, wie in 6 veranschaulicht, ferner möglich, dass der zweite Film 15a auf dem Film 14a in dem Metall-Kunststoff-Kondensator bereitgestellt wird, der in 5 veranschaulicht ist, und dass der zweite Film 15b auf dem Film 14b in dem Metall-Kunststoff-Kondensator bereitgestellt ist, der in 5 veranschaulicht ist.
Es sei erwähnt, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die vorhergehend beschriebene Ausführungsform beschränkt ist. Verschiedene Abwandlungen der vorliegenden Ausführungsform sind innerhalb des Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung möglich. Zum Beispiel sind in 1 und 4 bis 6 beide niedrigen Widerstände 13a und 13b durch die Filme 14a beziehungsweise 14b bedeckt. Die vorliegende Erfindung ist indes nicht auf diese Strukturen beschränkt. Bestimmte Effekte können sogar erzeugt werden, wenn der niedrige Widerstand 13a oder der niedrige Widerstand 13b durch einen Film bedeckt ist, der hauptsächlich Aluminiumoxid umfasst. Ferner können gewisse Effekte sogar erzeugt werden, wenn nicht die gesamte obere Fläche sondern nur ein Abschnitt der oberen Fläche von jedem der niedrigen Widerstände 13a und 13b durch einen entsprechenden der Filme 14a und 14b bedeckt ist. Es ist ferner möglich, lediglich einen der niedrigen Widerstände 13a und 13b bereitzustellen.
Es sei erwähnt, dass in der vorliegenden Ausführungsform die dielektrischen Filme 3a und 3b Polypropylenfilme sind. Die dielektrischen Filme 3a und 3b sind nicht auf Polypropylenfilme beschränkt sondern können Polyethylenterephthalatfilme, Polyethylennaphthalatfilme, Polyphenylsulfidfilme, Polystyrolfilme oder dergleichen sein. Es sei erwähnt, dass in der vorliegenden Ausführungsform Aluminium mit Dampfabscheidung abgeschieden wird, um die Metallabscheidungselektroden 4a und 4b zu bilden. Die Metallabscheidungselektroden 4a und 4b können indes nicht nur auf die vorhergehende Art und Weise sondern auch durch Dampfabscheidung von Zink, einer Legierung von Aluminium und Magnesium oder dergleichen gebildet werden. Insbesondere reagiert, wenn eine Legierung von Aluminium und Magnesium als die Metallabscheidungselektroden 4a und 4b verwendet wird, Magnesium mit Wasser in Polypropylenfilmen, die als dielektrische Filme 3a und 3b dienen, wodurch entsprechende Oxidfilme gebildet werden. Aus diesem Grund ist es auch möglich, die Feuchtigkeitsbeständigkeit nicht nur für die Filme sondern auch für den gesamten Metall-Kunststoff-Kondensator zu verbessern.
Es sei erwähnt, dass in der vorliegenden Ausführungsform die Beschreibung als ein Beispiel für einen Metall-Kunststoff-Kondensator vorgenommen wurde, in dem Filme zusammen gewickelt sind. Die vorliegende Erfindung ist indes nicht darauf beschränkt. Die vorliegende Erfindung kann auf einen Metall-Kunststoff-Kondensator angewandt werden, in dem Filme zusammen gestapelt sind.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Der Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist eine hohe Zuverlässigkeit auf. Der Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird aus diesem Grund in elektronischen Geräten, elektrischen Geräten, Industrieausrüstung, Fahrzeugen und dergleichen verwendet. Insbesondere eignet sich der Metall-Kunststoff-Kondensator gemäß der vorliegenden Ausführungsform als ein Kondensator auf dem Gebiet der Fahrzeuge, in dem eine hohe Feuchtigkeitsbeständigkeit erforderlich ist.
Bezugszeichenliste

1: erster metallisierter Film
2: zweiter metallisierter Film
3a, 3b: dielektrischer Film
4a, 4b: Metallabscheidungselektrode
5a, 5b: Isolationsrand
6a, 6b: Metallikon-Elektrode
7a, 7b: vertikaler Schlitz
8a, 8b: horizontaler Schlitz
9a, 9b: Hauptelektrode
10a, 10b: geteilte Elektrode
11a, 11b: Sicherung
12a, 12b: Sicherung
13a, 13b: niedriger Widerstand
14a, 14b: Film
15a, 15b: zweiter Film

Claims

Metall-Kunststoff-Kondensator, der Folgendes umfasst: einen ersten dielektrischen Film; eine erste Metallabscheidungselektrode, die auf einer ersten Fläche des ersten dielektrischen Films bereitgestellt ist; einen zweiten dielektrischen Film; eine zweite Metallabscheidungselektrode, die auf einer ersten Fläche des zweiten dielektrischen Films bereitgestellt ist und die dem ersten dielektrischen Film gegenüberliegt; einen niedrigen Widerstand, der auf mindestens einem von einem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode und einem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode bereitgestellt ist; eine erste Metallikon-Elektrode, die mit dem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode verbunden ist; eine zweite Metallikon-Elektrode, die mit dem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode verbunden ist; und einen ersten Film, der mindestens einen Abschnitt des niedrigen Widerstands bedeckt und hauptsächlich Aluminiumoxid umfasst.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 1, der ferner Folgendes umfasst: einen zweiten Film, der eine Substanz umfasst, die Reaktivität mit Wasser aufweist, wobei die Reaktivität höher ist als die Reaktivität von Aluminium mit Wasser, wobei der zweite Film zumindest einen Abschnitt des ersten Films bedeckt.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 1, der ferner Folgendes umfasst: einen zweiten Film, der hauptsächlich Magnesiumoxid umfasst, wobei der zweite Film zumindest einen Abschnitt des ersten Films bedeckt.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 1, wobei der erste Film ferner Aluminium umfasst, und eine Tiefe, bei der ein Intensitätsverhältnis von Bindungsenergie des Aluminiumoxids mit dem Aluminium in dem ersten Film kleiner als 1 ist, größer als 0 nm ist und höchstens 25 nm beträgt.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 1, wobei mindestens eine von der ersten Metallabscheidungselektrode und der zweiten Metallabscheidungselektrode eine Legierung von Aluminium und Magnesium umfasst.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 1, wobei der niedrige Widerstand Zink umfasst.
Metall-Kunststoff-Kondensator, der Folgendes umfasst: einen ersten dielektrischen Film; eine erste Metallabscheidungselektrode, die auf einer ersten Fläche des ersten dielektrischen Films bereitgestellt ist; eine zweite Metallabscheidungselektrode, die auf einer zweiten Fläche des ersten dielektrischen Films bereitgestellt ist, wobei die zweite Fläche sich auf einer Rückseite der ersten Fläche befindet; einen niedrigen Widerstand, der auf mindestens einem von einem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode und einem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode bereitgestellt ist; eine erste Metallikon-Elektrode, die mit dem ersten Ende der ersten Metallabscheidungselektrode verbunden ist; eine zweite Metallikon-Elektrode, die mit dem ersten Ende der zweiten Metallabscheidungselektrode verbunden ist; und einen ersten Film, der mindestens einen Abschnitt des niedrigen Widerstands bedeckt und hauptsächlich Aluminiumoxid umfasst.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 7, der ferner Folgendes umfasst: einen zweiten Film, der eine Substanz umfasst, die Reaktivität mit Wasser aufweist, wobei die Reaktivität höher ist als die Reaktivität von Aluminium mit Wasser, wobei der zweite Film zumindest einen Abschnitt des ersten Films bedeckt.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 7, der ferner Folgendes umfasst einen zweiten Film, der hauptsächlich Magnesiumoxid umfasst, wobei der zweite Film zumindest einen Abschnitt des ersten Films bedeckt.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 7, wobei der erste Film ferner Aluminium umfasst, und eine Tiefe, bei der ein Intensitätsverhältnis von Bindungsenergie des Aluminiumoxids mit dem Aluminium in dem ersten Film kleiner als 1 ist, größer als 0 nm ist und höchstens 25 nm beträgt.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 7, wobei mindestens eine von der ersten Metallabscheidungselektrode und der zweiten Metallabscheidungselektrode eine Legierung von Aluminium und Magnesium umfasst.
Metall-Kunststoff-Kondensator nach Anspruch 7, wobei der niedrige Widerstand Zink umfasst.