CN104289819A - 一种掩模板的夹持装置及其组件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩模板的夹持装置，驱动模块、运行导轨、夹持装置基座，夹持模块、驱动模块以及运行导轨直接或间接固定于夹持装置基座上，夹持模块直接或间接与驱动模块连接，驱动模块可以驱动夹持模块在运行导轨上运行，从而实现对夹持模块夹持的掩模板施加张力或释放张力的动作；本发明还公开了一种掩模板的夹持装置组件，包括基座、至少四组安装座以及至少四个上述所述的掩模板的夹持装置，安装座对称的固定于基座上，夹持装置直接或间接的固定于安装座的确定位置。本发明提供的用于OLED掩模板的夹持装置及其组件，在掩模板组装或制作掩模板开口工序中对掩模板施加均匀可控的张力从而提高掩模组件质量。

Description

一种掩模板的夹持装置及其组件

技术领域

本发明属于平面显示行业，涉及OLED显示屏产业，尤其涉及一种OLED 掩模板的夹持装置及其组件。

背景技术

OLED是下一代的显示技术，与目前使用的LCD显示技术相比，具有可视角大、色彩艳丽、功耗低等优点，会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。OLED显示屏制作过程中，有一道有机发光体蒸镀工艺，需要用到高精度的OLED蒸镀用掩模组件，掩模组件的质量对显示屏的质量、成品率有极大影响，是制约OLED显示屏发展的关键因素。

OLED蒸镀用掩模组件包括掩模板和掩模框两部分，掩模板上具有精密图形，精密图形为蒸镀图形转印的基准，通过绷网机构将带有精密图形的掩模板进行绷网，使掩模板具有一定的张力，通过激光焊接将具有一定张力的掩模板固定于掩模框（简称为掩模组装），通常掩模板开口制作工序也需要对掩模板基材进行绷网，所以绷网工序对掩模组件的精度影响很大，通常会因绷网装置提供绷网拉力不均导致掩模板变形或掩模组件精度不高。

在将掩模板组装到掩模框工序以及制作掩模板开口工序中需要通过绷网步骤对掩模板施加张力，为保证对掩模板所施加的张力均匀可控且不会使掩模板变形，本发明提供一种对掩模板施加张力的夹持装置及其组件。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种在掩模板组装或制作掩模板开口的工序中对掩模板施加均匀可控的张力的夹持装置及其组件。

本发明提供一种掩模板的夹持装置，包括夹持模块、驱动模块、运行导轨以及夹持装置基座，所述夹持模块、所述驱动模块以及所述运行导轨直接或间接固定于所述夹持装置基座上，所述夹持模块直接或间接与所述驱动模块连接，所述驱动模块可以驱动所述夹持模块在所述运行导轨上运行，从而实现对所述夹持模块夹持的所述掩模板施加张力或释放张力的动作。

进一步地，所述夹持装置还包括受力感应模块，所述夹持模块通过所述受力感应模块间接地与所述驱动模块连接，驱动模块可以是气缸或电机。

受力感应模块的一端通过浮动接头与夹持模块连接，受力感应模块的另一端与驱动模块连接。夹持模块还包括受力感应模块安装板，浮动接头固定于受力感应模块安装板。

优选地，受力感应模块为感应拉力的传感器，驱动模块为电机。

进一步地，所述夹持装置还包括夹持模块安装板，所述夹持模块包括杠杆压板、上夹板、下夹板、下夹板支座、杠杆支座、曲面顶块、曲面顶块控制机构、滚动机构以及夹持模块滑块，所述夹持模块固定于所述夹持模块安装板上，所述夹持模块滑块固定于夹持模块安装板的下侧，所述上夹板固定于所述杠杆压板头部，所述滚动机构固定于所述杠杆压板尾部，所述滚动机构可以沿所述曲面顶块的曲面滚动，所述下夹板固定于所述下夹板支座上，所述杠杆压板通过铰链销安装于所述杠杆支座，所述下夹板支座、所述杠杆支座、所述曲面顶块控制机构依次固定于所述夹持模块安装板上，所述曲面顶块控制机构可以控制所述曲面顶块在所述夹持模块安装板上一定的行程内运动，所述杠杆压板通过所述曲面顶块的运动以及所述杠杆支座的支撑作用控制固定于其头部所述上夹板的高度，实现所述上夹板与所述下夹板夹紧或释放所述掩模板的边缘的动作。

进一步地，所述夹持装置还包括限位机构，所述限位机构包括限位挡板、限位块以及限位连接机构。

进一步地，所述限位连接机构包括两个连接板和一个连接底板，所述两个连接板分别与所述受力感应模块和所述驱动模块连接，所述连接底板下侧固定有底板滑块，所述底板滑块可以在所述运行导轨上滑行，所述连接底板上侧安装有限位轨道。

进一步地，所述限位块的下侧固定于所述限位轨道上，所述限位挡板固定于所述夹持装置基座上，所述限位连接机构通过所述底板滑块可以相对于所述限位挡板滑行，当所述限位块滑动到所述限位挡板所在的位置时可以感应到信号，并将感应到的所述信号传递给控制单元。

本发明还提供了一种掩模板的夹持装置组件，包括基座、至少四组安装座以及至少四个上述所述的掩模板的夹持装置，所述安装座对称的固定于所述基座上，所述夹持装置直接或间接的固定于所述安装座的确定位置。

进一步地，所述夹持装置基座的下侧面安装有运行滑块，所述安装座上设有安装轨道，所述夹持装置通过所述运行滑块对称的安装于所述安装座的所述安装轨道上。

进一步地，所述夹持装置基座上设置有至少一个螺纹通孔，与所述螺纹通孔匹配的设置有螺栓，通过旋转所述螺栓可以实现螺栓与所述安装座的上表面顶紧，从而实现每一个所述夹持装置固定在所述安装轨道上的确定位置。

进一步地，所述基座上对称的固定有四组所述安装座，每组所述安装座对称的安装有至少两个所述夹持装置。

进一步地，所述安装座为四个长条状的所述安装座，四组所述长条状的安装座组成两组对边。

所述安装轨道上的所述夹持装置组件处于同一个水平面。

所述安装座设有镂空结构，以减轻安装座的重量同时节省材料。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

 

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1所示为本发明掩模板夹持装置的整体结构图；

图2所示为本发明夹持模块结构示意图；

图3所示为限位机构和受力感应模块结构示意图；

图4所示为本发明夹持装置组件的平面结构示意图；

图5所示为本发明夹持装置组件的立体结构示意图；

图6所示为图5中50部分放大结构示意图；

图7所示为本发明一种夹持装置组件的立体结构示意图；

图8所示为本发明的夹持装置组件对掩模板进行绷网的示意图；

图9所示为掩模板载台的立体结构示意图；

图10所示为掩模框载的结构示意图；

图11所示为掩模框载台装载掩模框的一种实施例示意图；

图12所示为图11中110部分放大结构示意图；

图13所示为掩模板载台与掩模框载台配合的示意图，

图14所示为掩模掩模框载台内遮挡布工作方式一种实施例示意图。

 

图1中, 1代表夹持装置整体，10为夹持模块，11为传感器，1102为浮动接头，1101为传感器的安装板，12为限位机构，121、123为连接板，122为连接底板，13为电机，14为运行导轨，15为夹持装置基座，16为夹持模块安装板；

图2中，101为杠杆压板，102为上夹板，103为下夹板，104为支座，1041为下夹板支座，1042为杠杆支座，105为滚轮，106为曲面顶块，107为曲面顶块滑块，108为曲面顶块轨道，1031为限位板，109为曲面顶块控制机构，160为夹持模块滑块；

图3中， 124为限位挡板，125为限位块，126为限位轨道，127为底板滑块；

图4中，2代表夹持组件整体，41为基座，42为安装座，43为安装轨道，44为镂空结构，45为垫片，46为凹陷结构，461为安置掩模板载台底板的凹槽；

图5中， 50为待放大观测部分；

图6中，61为螺栓，62为螺纹通孔； 

图7中，71为掩模板载台，72为掩模框载台；

图8中，80为掩模板；

图9中，711为掩模板的支撑板，712为驱动掩模板载台的电机，713为驱动丝杠，714为掩模板载台底板，715为掩模板支撑板712的导向装置；

图10~图12中，111为掩模框，721为构成掩模框载台72的基架，7211为构成基架721的底板，7212为构成基架721的侧板，722为构成掩模框载台72的调平机构，7221为构成调平机构722的电动执行器，7222为构成调平机构722的调平板，7223为调平导向装置，723为构成掩模框载台72的掩模框承载板，724为构成掩模框载台72的定位机构，7241为构成定位机构724的顶紧气缸，7242为构成定位机构724的定位块，725为构成掩模框载台72的顶起机构，7251为构成顶起机构725的升降驱动装置，7252为构成顶起机构725的顶板，7253为顶起导向装置；

图13中，716为设置在掩模掩模板载台71上的遮挡布，7161为设置在遮挡布716一端的电机，7162为设置在遮挡布716另一端的扭簧，7163为支撑遮挡布716的支撑轴。 

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语 “固定”、“连接”应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；“固定”可以是一体成型的固定，也可以是通过连接机构固定。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的发明构思如下，如技术背景所述，通常掩模板开口制作工序和掩模组装工序都需要绷网，通常绷网装置提供的绷网拉力不均导致掩模板变形或掩模组件精度不高。本发明提供的用于OLED掩模板的夹持装置及其组件，在掩模板组装及制作掩模板开口过程的绷网工序中可以保证对掩模板所施加的张力均匀可控且不会使掩模板变形，满足掩模组件高精度的要求，从而提高掩模组件的质量。

下面将参照附图来描述本发明的用于OLED掩模板的夹持装置及其组件。

根据本发明的实施例，本发明提供了一种用于OLED掩模板的夹持装置，如图1~图2所示，包括夹持模块10、驱动模块13、运行导轨14以及夹持装置基座15，夹持模块10、驱动模块13以及运行导轨14直接或间接固定于夹持装置基座15上，夹持模块10直接或间接与驱动模块13连接，驱动模块13可以驱动夹持模块10在运行导轨14上运行，从而实现对夹持模块10夹持的掩模板施加张力或释放张力的动作。

在本发明的实施例中，夹持装置1还包括受力感应模块11，夹持模块10通过受力感应模块11间接地与驱动模块13连接。

驱动模块13可以是气缸或电机。

优选地，驱动模块13为电机，受力感应模块11为感应拉力的传感器。

在本发明的实施例中，如图3所示，夹持装置1还包括夹持模块安装板16，夹持模块10包括杠杆压板101、上夹板102、下夹板103、下夹板支座1041、杠杆支座1042、曲面顶块106、曲面顶块控制机构109、滚动机构105以及夹持模块滑块160，夹持模块10固定于夹持模块安装板16上，夹持模块滑块160固定于夹持模块安装板16的下侧，夹持模块10通过夹持模块滑块160可以在运行导轨14上滑动，上夹板1021固定于杠杆压板101头部，滚动机构105固定于杠杆压板101尾部，滚动机构105可以沿曲面顶块106的曲面滚动，下夹板1022固定于下夹板支座1041上，杠杆压板101通过铰链销1011安装于杠杆支座1042，下夹板支座1041、杠杆支座1042、曲面顶块控制机构109依次固定于夹持模块安装板16上，曲面顶块控制机构109可以控制曲面顶块106在夹持模块安装板16上一定的行程内运动，杠杆压板101通过曲面顶块106的运动以及杠杆支座1042的支撑作用控制固定于其头部上夹板102的高度，实现上夹板102与下夹板103夹紧或释放掩模板的边缘的动作。

如图2所示，在下夹板103上还安装有限位板1031，限位板1031可以使掩模板的边缘不会超过限位板1031。

夹持模块10上还设有复位机构，如图2所示，复位机构包括弹性复位部件、复位固定装置（1011、1012），弹性复位部件的两端分别与复位固定装置1011（固定于上夹板101上）和复位固定装置1012（固定于夹持模块安装板16上）连接，弹性复位部件可以是拉伸弹簧或其他具有弹性的复位功能的装置。当上夹板101处于释放掩模板边缘的状态时，通过复位机构使上夹板101复位（即处于认为设定的固定状态），避免因曲面顶块106滑动以及上夹板101的重力作用使上夹板101与曲面顶块106产生相对运动，因而避免产生不必要的磨损。

曲面顶块控制机构109可以是气动组件或是电机。

根据本发明的一些实施例，如图1、图3所示，夹持装置1还包括限位机构12，限位机构12包括限位挡板124、限位块125以及限位连接机构。

根据本发明的一些实施例，如图1、图3所示，限位连接机构包括两个连接板121、123和一个连接底板122，两个连接板121、123分别与传感器11和电机13连接，图1和图3中连接板121与传感器连接，连接板123与电机连接，连接底板122下侧固定有底板滑块127，底板滑块127可以在运行导轨14上滑行，连接底板122上侧面安装有限位轨道126。

根据本发明的一些实施例，如图1、图3所示，限位块125的下侧固定于限位轨道126上，限位挡板124固定于夹持装置基座15上，限位连接机构通过底板滑块127可以相对于限位挡板124滑行，当限位块125滑动到限位挡板124所在的位置时可以感应到信号，并将感应到的信号传递给控制单元（电机13与限位块125均与控制单元连接）。

如图1、图3所示，限位机构12的限位挡板124可以通过其上长条状的沉头孔和螺钉配合固定于夹持装置基座15上。

限位机构12通过限位挡板124以及限位块125的设定将夹持模块10在运行导轨14上的行程限定在一定的行程范围内滑行，从而避免因夹持模块超过行程使夹持装10置对掩模板施加的张力过大导致掩模板的破损，或因夹持块10向离离电机13的方向运动的距离过大导致夹持模块10触碰到掩模板致使掩模板卷曲甚至变形。当限位块125滑动到限位挡板124所在的位置时，会产生感应信号，并将感应信号传递给与限位块125连接的控制单元，控制单元接收的信号会控制电机停止相应的动作继续进行。

如图1所示，传感器11的一端通过浮动接头1102与夹持模块10连接，传感器11的另一端通过连接板121与限位机构12连接，限位机构的另一端通过连接板123与电机13连接。

如图1、图2所示，夹持模块10还包括传感器安装板1101，浮动接头1102安装于传感器安装板1101上。

本发明还提供了一种掩模板的夹持装置组件，包括基座、至少四组安装座以及至上述所述的掩模板的夹持装置1，如图4、图5所示，安装座42对称的固定于基座41上，夹持装置直1接或间接的固定于安装座42的确定位置。

在本发明的实施例中，夹持装置基座15的下侧面安装有运行滑块16，安装座42上设有安装轨道43，夹持装置1通过运行滑块16对称的安装于安装座的安装轨道43上。

在本发明的实施例中，如图5~图6所示，图6所示为图5中50部分放大结构示意图，夹持装置基座15上设置有至少一个螺纹通孔62，与螺纹通孔62匹配的设置有螺栓61，通过旋转螺栓61可以实现螺栓61与安装座42的上表面顶紧，从而实现每一个夹持装置1固定在安装轨道43上的确定位置，在实际应用中夹持装置1通过运行滑块16可以沿安装轨道滑行到一定的位置将夹持装置固定。

如图4~图5所示，由于夹持装置组件具有较高精度要求，其要求机台具有较高稳定性，本发明中基座41、安装座42的材料为花岗岩。

由于通过旋转螺栓61实现螺栓61与安装座42的上表面顶紧，所以对安装座42的上表面会产生一定的力，为了避免对安装座42产生破坏在安装座42上螺栓顶紧固定的位置安装有垫片45，如图4、图5所示，垫片45为长条，垫片选择硬质材料，如金属或金属合金，优选地，底片45为钢。

根据本发明的一些实施例，如图4~图5所示，夹持装置组件包括四组长条安装座42，四组长条安装42座组成两组对边。

如图4和图5中所示，夹持装置组件2包括四组长条安装座42，一组对边的两组安装座中的每组安装座42上安装有2个夹持装置1，另一种对边的两组安装座中的每组安装座42上安装有3个夹持装置1。

如图7所示，夹持装置组件2包括四组长条安装座42，一组对边的两组安装座中的每组安装座42上安装有3个夹持装置1，另一种对边的两组安装座中的每组安装座42上安装有4个夹持装置1。

在另一具体的实施例中（无视图），四组长条安装42座组成的两组对边中，一组对边的两组安装座中的每组安装座42上安装有7个夹持装置1，另一种对边的两组安装座中的每组安装座42上安装有8个夹持装置1。

在实际应用中，绷夹持装置组件2的每组安装座包含夹持装置1的数量一般为1～10个，具体数量根据金属掩模板的尺寸确定，在金属掩模板尺寸比较大时，每组安装座42包含夹持装置1的数量可以超过10个。 

在一些实施例中考虑到安装的稳定性，每个安装座42上至少设置有2条安装轨道43，图4、图5中所示每个安装座42上即有2条安装轨道43。

为了减轻安装座的重量以及减轻对基台41的压力，安装座设有镂空结构44。

基于将掩模板在一个水平面上进行绷网，安装轨道43上的所有的夹持装置1需要处于同一个水平面，以保证夹持装置组件在夹持掩模板时保证掩模板能够平整的进行绷网。

如图7所示，为本发明一种夹持装置组件的立体结构示意图，在基座41上夹持装置组件2围成的中间区域安装有掩模板载台71和掩模框载台72。图4中，凹陷结构46用于安置掩模框载台72和掩模板载台71。 

图9所示为掩模板载台立体结构示意图，掩模板载台71包括掩模板支撑板711，驱动掩模板载台的电机712，驱动丝网713，掩模板载台底板714，掩模板载台导向装置715，掩模板载台71通过掩模板载台底板714安置于图4中所示的凹槽46上。掩模板支撑板711通过驱动掩模板的电机712驱动与掩模板支撑板711连接的驱动丝杠713实现沿竖直方向运动，在电机712驱动过程中导向装置715起到导向的作用，使驱动丝杠713沿确定的方向运动。在掩模板的支撑板711的上表面为玻璃平板，玻璃平板下部设置有光源（图中未示出），电机712通过驱动丝杠713驱动掩模板的支撑板711在垂直方向上运动。作为一种比较好的实施方式，掩模板的支撑板711的上表面的玻璃平板为毛玻璃，设置在其下方的光源为均匀设置的灯带，从而比较好的保证从掩模板的支撑板711上方发射的光线均匀一致。

图8所示为通过夹持装置组件（夹持装置组件也即绷网组件）对掩模板80进行绷网的结构示意图，当掩模板支撑板711通过驱动掩模板载台的电机712驱动上升到一定的高度，使掩模板80的边缘处于夹持装置组件中夹持模块10的上夹板102与下夹板103之间的位置，通过驱动模块13驱动控制使夹持模10通过夹持模块滑块160沿运行导轨14滑动到可以夹持到掩模板80边缘的位置（此位置不会使夹持模块碰触到掩模板80使掩模板卷曲甚至变形），再通过曲面顶块控制机构109驱动控制曲面顶块106沿曲面顶块轨道108背离曲面顶块驱动机构109的方向滑行，通过滚动机构105沿曲面顶块滑动以及杠杆支座1042的支撑作用下，杠杆压板101头部高度下降使上夹板102与下夹板103接触夹紧掩模板80的边缘，再通过驱动模块13对夹持模块的驱动控制使夹持模块10在运行导轨14沿背离掩模板80的方向运行，使掩模板80具有一定的张力，通过受力感应模块11将感应的拉力信号直接或间接传送到用户显示界面，操作人员通过显示的数据来控制驱动模块13的运行。当完成绷网步骤后通过驱动模块13的驱动使夹持模块10向掩模板80方向运行，使夹持模块10对掩模板80所施加的张力变小甚至消除，再通过曲面顶块驱动机构驱动曲面顶块使杠杆压板101上的上夹板102与下夹板分离，从而完成整个绷网操作步骤。在绷网操作中夹持装置组件中所有的夹持装置同时工作。

图10、图11、图12所示为掩模框载台一种实施例示意图，本实施例中，基架721、调平机构722以及掩模框承载板723构成掩模框载台72的基本结构（掩模框载台可仅由此三部分构成）。在掩模框载台的另一些实施例中，掩模框载台72还可以包括定位机构724和顶起机构725，图11所示为掩模框载台通过顶起机构装载掩模框的一种实施例示意图，图12为图11中110部分放大示意图。以下是结合图11、图12、图13，对掩模框载台结构的详细描述。

基架721由底板7211及设置在底板7211上的侧板7212构成，其用于安装调平机构722；调平机构722由4个垂直设置在所述基架底板7211上的电动执行器7221及设置在每个电动执行器7221上方的调平板7222构成；掩模框承载板723设置在调平机构722的调平板7222上方，通过配合调节调平机构722的电动执行器7221可以调整设置在调平板7222上方掩模框承载板723的水平位置，掩模框承载板723用于直接承载掩模框。在本发明一些实施例中，构成调平机构722的电动执行器7221通过浮动接头（图中未示出）与调平板7222连接，电动执行器7221为调平机构722提供动力，调平板7222作为调平机构722的外接口；每个电动执行器7221两侧还均设置有一个调平导向装置7223，通过电动执行器7221两侧调平导向装置7223的配合作用，可以有效的控制调平机构722上调平板7222的运动方向。

为了便于掩模框111装载在掩模框载台72上，掩模框载台72设置有顶起机构725，顶起机构725由4个垂直设置在基架721上的升降驱动装置7251与2个水平设置在升降驱动装置7251上方的顶板7252构成，顶板7252通过升降驱动装置7251的运动完成上升或下降动作，掩模框承载板723上设置有与顶起机构725相配合的通孔结构，掩模框承载板723上表面设置有与顶起机构725的顶板7252相适应的凹陷结构，使得顶板7252下降到最低点时，顶板7252的上表面不高于掩模框承载板723的上表面。另外，构成顶起机构725的顶板7252需要在垂直方向上进行运动，即升降驱动装置7251只能驱动顶板7252在垂直方向上运动，为了使顶起机构725能够按预设路径运动，顶起机构725的每一个升降驱动装置7251侧边配套设置有顶起导向装置7253，顶起机构725的升降驱动装置7251的上端通过浮动接头（图中未示出）与顶板7252连接。

掩模框载台72还包括定位机构724，定位机构由气缸组件7241及定位块7242构成，定位机构724设置在掩模框承载板723或顶起机构725的顶板7251上，掩模框111通过定位机构724放置在掩模框承载板723上的确定位置，从而保证掩模板组件组装过程的稳定性。如图10所示，掩模框承载板的723的两相邻边各设置有两个气缸组件7241，在没有设置气缸组件7241另两相邻边均设置有定位块7242，本实施例中，定位块7242为长条状结构，设置在掩模框承载板723或顶起机构725的顶板7252上。掩模框111置于掩模框承载板723上后，定位机构724的气缸组件7241对掩模框111提供一定的压力，使得掩模框111顶紧定位机构725的定位块7252，从而达到定位机构725对掩模框111固定，使得掩模框111放置在掩模框承载板723上的确定位置。

在本发明中，顶起机构725的顶板7252通过升降驱动装置7251的运动做上升或下降动作，从而实现置于顶板7252上方的掩模框111装载到载台的掩模框承载板723上。考虑到顶起机构725的作用本质，作为本发明的另一些实施例，本发明中顶起机构725可以包括超过4个升降驱动装置7251或超过2个水平设置在升降驱动装置7251上方的顶板7252，升降驱动装置7251可以采用气缸或电缸驱动。在本发明的另一些实施例中，由于掩模框111的尺寸较大，调平机构43采用的电动执行器的数量亦可以超过4个。

顶起机构725的升降驱动装置7251与顶板7252之间、调平机构722的电动执行器7221与调平板7222之间均采用浮动接头，活动结构的接头有利于机械调节过程。

为了更好的理解本发明中掩模框载台72的工作方式，以下对掩模框载台的工作方法作详细的描述。

掩模框载台的调整方法，其包括以下步骤：

a、掩模框装载步骤，如图11中所示，顶起机构725的升降驱动装置7251驱动顶板7252上升，到达合适位置后，将掩模框111放置在顶板7252上方，升降驱动装置7251驱动顶板7252下降，使得掩模框111由所述掩模框承载板723支撑；

b、掩模框定位步骤，通过调整定位机构724，即通过气缸7241的动作，使得掩模框111顶紧在定位机构724的定位块7242上，从而到达硬质掩模框111定位在掩模框承载板723上的确定位置；

c、掩模框调平步骤，通过配合调节调平结构722的电动执行器7221，使得掩模框111处于一定的高度位置，并且掩模框111的上表面具有较好的平整度。

图13所示为掩模板载台与掩模框载台配合的示意图，掩模板载台71设置在掩模框载台72的内部，在掩模板载台71的上方还设置有活动的遮挡布726，遮挡布726通过设置在其两端的电机或扭簧实现遮挡或暴露掩模板载台71。遮挡布726工作方式的一种实施例示意图如图14所示，遮挡布726的两端分别间接通过绳索或直接与设置在两端的电机7261和扭簧7262连接，工作时，掩模板载台71的掩模支撑板711在支撑板驱动装置的驱动下下降到一定高度位置，电机7161驱动绳使得遮挡布716覆盖在掩模支撑板711的上方，如此设计使得在对金属掩模板片材进行切割时可以有效的保护掩模支撑板711；不需要遮挡布716遮挡时，释放电机7161，扭簧7162在自身的作用下使得遮挡布716弹回。如图14所示，掩模板载台上还设置有用于支撑遮挡布716的支撑轴7163，支撑轴7163对绳以及遮挡布起到支撑的作用。

本发明提供的用于OLED掩模板的夹持装置及其组件，在掩模板组装或制作掩模板开口的工序中对掩模板施加均匀可控的张力能够满足掩模板组装和掩模板开口高精度的要求，从而提高掩模组件的质量。同时本发明提供的掩模板夹持装置及其组件可以实现自动对掩模板绷网的动作，提高了生产效率。

尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种掩模板的夹持装置，包括夹持模块、驱动模块、运行导轨以及夹持装置基座，其特征在于：

所述夹持模块、所述驱动模块以及所述运行导轨直接或间接固定于所述夹持装置基座上，所述夹持模块直接或间接与所述驱动模块连接，所述驱动模块可以驱动所述夹持模块在所述运行导轨上运行，从而实现对所述夹持模块夹持的所述掩模板施加张力或释放张力的动作。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述夹持装置还包括受力感应模块，所述夹持模块通过所述受力感应模块间接地与所述驱动模块连接。

3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于：所述驱动模块为电机，所述受力感应模块为感应拉力的传感器。

4.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于：所述夹持装置还包括夹持模块安装板，所述夹持模块包括杠杆压板、上夹板、下夹板、下夹板支座、杠杆支座、曲面顶块、曲面顶块控制机构、滚动机构以及夹持模块滑块，所述夹持模块固定于所述夹持模块安装板上，所述上夹板固定于所述杠杆压板头部，所述滚动机构固定于所述杠杆压板尾部，所述滚动机构可以沿所述曲面顶块的曲面滚动，所述下夹板固定于所述下夹板支座上，所述杠杆压板通过铰链销安装于所述杠杆支座，所述下夹板支座、所述杠杆支座、所述曲面顶块控制机构依次固定于所述夹持模块安装板上，所述曲面顶块控制机构可以控制所述曲面顶块在所述夹持模块安装板上一定的行程内运动，所述杠杆压板通过所述曲面顶块的运动以及所述杠杆支座的支撑作用控制固定于其头部所述上夹板的高度，实现所述上夹板与所述下夹板夹紧或释放所述掩模板的边缘的动作。

5.根据权利要求1~4任意一项权利要求所述的夹持装置，其特征在于：所述夹持装置还包括限位机构，所述限位机构包括限位挡板、限位块以及限位连接机构。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于：所述限位连接机构包括两个连接板和一个连接底板，所述两个连接板分别与所述受力感应模块和所述驱动模块连接，所述连接底板下侧固定有底板滑块，所述底板滑块可以在所述运行导轨上滑行，所述连接底板上侧安装有限位轨道。

7.根据权利要求6所述的夹持装置，其特征在于：所述限位块的下侧固定于所述限位轨道上，所述限位挡板固定于所述夹持装置基座上，所述限位连接机构通过所述底板滑块可以相对于所述限位挡板滑行，当所述限位块滑动到所述限位挡板所在的位置时可以感应到信号，并将感应到的所述信号传递给控制单元。

8.一种掩模板的夹持装置组件，包括基座、至少四组安装座以及至少四个如权利要求1~7所述的掩模板的夹持装置，其特征在于：

所述安装座对称的固定于所述基座上，所述夹持装置直接或间接的固定于所述安装座的确定位置。

9.根据权利要求8所述的夹持装置组件，其特征在于：所述夹持装置基座的下侧面安装有运行滑块，所述安装座上设有安装轨道，所述夹持装置通过所述运行滑块对称的安装于所述安装座的所述安装轨道上。

10.根据权利要求9所述的夹持装置组件，其特征在于：所述夹持装置基座上设置有至少一个螺纹通孔，与所述螺纹通孔匹配的设置有螺栓，通过旋转所述螺栓可以实现螺栓与所述安装座的上表面顶紧，从而实现每一个所述夹持装置固定在所述安装轨道上的确定位置。