CN117444515A - 一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构。该金属掩膜板焊接设备的夹紧结构包括承接板、四个夹紧组件、两个从动组件及四个加固组件，承接板包括固定板及安装板。本发明有效提高金属掩膜板焊接稳定性，并提高焊接效率和制程一致性，提高产线效率，提高了设备空间利用率，即使遇到断电、故障等突发状况也不会导致产品报废，相比传统伺服电机夹紧机构在保证产品质量的前提下经济性、可靠性、易操作性大大提升。

Description

一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构。

背景技术

在半导体器件制造过程中，金属掩膜板作为重要的制程工具，被广泛使用于氧化、光刻、蚀刻等制程中。而在现有技术中，框架夹紧通常使用伺服电机实现，采用伺服电机控制虽然精度得以实现但是实现过程过于复杂，涉及到电机选型、程序编写等一系列问题。框架与薄片焊接过程较长，而且正常生产时是连续不断的，焊接的过程中一旦遇到故障或者断电，框架夹紧机构失效，会导致框架回弹，进而影响成品焊接精度，导致整个框架报废，单片框架和薄片成本很高，产品报废会导致巨大损失。同时，传统伺服电机夹紧机构部件繁多，占用空间大，维护调试不便，且对于大尺寸的掩膜板，电机数量多、位置排布密、整体重量重，使得安装、调试变的更加困难，更需要专业人员重复性的进行调试、操作，故障停机后维护和复位所需时间长，元器件购买周期长，发生故障后严重影响产线产能。

发明内容

基于此，有必要提供一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，以解决背景技术中的至少一个技术问题。

一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，包括承接板、四个夹紧组件、两个从动组件及四个加固组件，承接板包括固定板及安装板，安装板由弹性材料制成，安装板顶面贯穿凹设有承接安装槽，承接安装槽内壁固定安装于固定板外壁，将固定板底面固定安装于外界焊接设备中，安装板周缘等距凹设有四个夹紧槽，且夹紧槽设置于侧壁中部，安装板顶面两侧侧壁的两端均贯穿凹设有加固槽，四个夹紧组件沿圆周方向等距间隔设置于安装板底面，且四个夹紧组件分别与四个夹紧槽相对设置，两个从动组件分别对称设置于固定板底面两侧，四个加固组件分别固定安装于两个从动组件顶部两端，且四个加固组件分别与四个加固槽相对设置。

作为本发明的进一步改进，安装板顶面放置有待焊接框架，待焊接框架两侧侧壁顶部分别等距凹设有三个预设槽，设置于待焊接框架侧壁中部地预设槽与夹紧槽相对设置，设置于待焊接框架侧壁两端地预设槽与两个加固槽相对设置，每个夹紧槽两侧侧壁分别设置有引导块，引导块由泡棉制成，引导块侧壁外端凹设有倾斜地引导面。

作为本发明的进一步改进，每个夹紧组件包括两个安装支架、标准气缸、调速阀及框架夹头，两个安装支架顶面分别固定安装于固定板底面，且两个安装支架分别位于夹紧槽两侧，标准气缸两侧分别固定安装于两个安装支架内侧侧壁，调速阀固定安装于标准气缸远离夹紧槽一端，用于调整气源压力来控制标准气缸输出力量，框架夹头内端底部固定安装于标准气缸的输出轴上，框架夹头顶部位于夹紧槽中。

作为本发明的进一步改进，调速阀底部凸设有进气口，进气口设置有双电控电磁阀，双电控电磁阀用于在断电情况下保持标准气缸压力不变，框架夹头采用赤铜皮、铝箔、赛钢等材料作为弹性接触体主体，并用泡棉对框架夹头顶部外壁进行包覆，用于增加待焊接框架与框架夹头之间的接触面积。

作为本发明的进一步改进，每个从动组件包括第一直尺条、两个轴承座、螺杆、第一齿轮及两个从动元件，第一直尺条一侧固定安装于框架夹头一侧侧壁，两个轴承座固定安装于固定板底面一侧，两个轴承座沿安装板宽度方向相对设置，且两个轴承座均位于两个加固槽之间设置，两个轴承座侧壁外端均贯穿凹设有第一转动孔，螺杆两端转动地安装于两个第一转动孔中，第一齿轮固定安装于螺杆中部，且第一齿轮与第一直尺条啮合连接，两个从动元件一侧侧壁底部均贯穿凹设有第一螺纹孔，且两个第一螺纹孔的螺纹方向相反，第一螺纹孔内螺纹槽为粗糙面，两个从动元件通过第一螺纹孔安装与螺杆两端。

作为本发明的进一步改进，第一直尺条顶面邻近固定板一端凹设有倾斜面，倾斜面抵持于安装板底面，第一直尺条顶面另一端邻近加固槽一侧角部处凹设有倾斜地导向面。

作为本发明的进一步改进，每个从动元件包括从动杆、第二直尺条及蜗杆，从动杆顶面中部贯穿凹设有滑移槽，滑移槽与第一螺纹孔相连通，第二直尺条滑动地安装于滑移槽中，蜗杆顶面与第二直尺条底部转动连接，蜗杆底端与螺杆一端啮合连接，第二直尺条顶部两侧分别凸设有滑动柱。

作为本发明的进一步改进，每个加固组件包括两个加固安装板、两个加固元件及加固夹头，两个加固安装板底面分别固定安装于从动杆顶面两侧，且两个加固安装板呈相对设置，两个加固元件分别安装于两个加固安装板外侧，加固夹头两侧分别安装于两个加固元件顶部。

作为本发明的进一步改进，每个加固安装板外侧侧壁底部邻近加固槽一端分别贯穿凹设有滑动槽，且滑动槽长度方向与从动杆长度方向相同，滑动柱滑动地位于滑动槽中，加固安装板外侧侧壁一端角部处凸设有第一转动轴，第一转动轴位于滑动槽正上方，加固安装板外侧侧壁中部远离滑动槽一端凸设有第二转动轴，加固安装板外侧侧壁中部凹设有弧形滑槽，弧形滑槽内滑动地设置有第三转动轴。

作为本发明的进一步改进，每个加固元件包括第一伸缩杆、第二伸缩杆、L形的从动加固条，第一伸缩杆底端转动地安装于第一转动轴中，第一伸缩杆顶端转动地安装于加固夹头中部，第二伸缩杆一端转动地安装于滑动柱中，第二伸缩杆另一端固定安装于第三转动轴中，从动加固条一端安装于第三转动轴中，从动加固条中部转动地安装于第二转动轴中，从动加固条顶端安装于加固夹头底部。

本发明的有益效果如下：

1.本发明在连续生产时，即使遇到断电、故障等情况，始终保持对待焊接框架的夹紧力恒定，不会存在夹紧力卸载、导致待焊接框架偏移情况，有效保护了焊接作业继续，极大程度避免了产品的报废。

2.本发明在采用标准气缸将待焊接框架夹紧时，夹紧机构原理简单，采用的标准气缸等标准件采购周期短、便于更换维护，不会影响产线产能，且操作便捷，无需电器编程，操作人员通过控制面板即可调节对框架夹紧力。

3.本发明与与传统伺服电机夹紧机构相比，采用本方案在达到同等效果的情况下成本降低，且节省了大量空间，提高了空间利用率，尤其是针对大尺寸的掩膜板，提高了设备整体的运行效率。

4.本发明运用从动组件与加固组件配合对待焊接框架进行进一步的夹紧和限位包覆，确保待焊接框架在焊接过程中不发生移动，并通过弹性物质的包覆防止外物撞击和震动的发生。有效地提高焊接质量和稳定性，确保焊接过程的准确性和安全性。

附图说明

图1为本发明一实施例的立体示意图。

图2为本发明另一实施例的立体示意图。

图3为本发明一实施例中夹紧组件、从动组件及加固组件的立体示意图。

图4为本发明一实施例中从动组件及加固组件的立体示意图。

图5为图1中A处放大图。

图中：

10、承接板；11、固定板；12、安装板；121、夹紧槽；122、加固槽；123、引导块；124、引导面；20、夹紧组件；21、安装支架；22、标准气缸；23、调速阀；231、进气口；24、框架夹头；30、从动组件；31、第一直尺条；311、倾斜面；312、导向面；32、轴承座；321、第一转动孔；33、螺杆；34、第一齿轮；35、从动元件；351、第一螺纹孔；352、第二直尺条；353、滑移槽；354、从动杆；356、滑动柱；40、加固组件；41、加固安装板；411、滑动槽；413、第一转动轴；414、第二转动轴；415、第三转动轴；416、弧形滑槽；42、加固元件；421、第一伸缩杆；422、第二伸缩杆；423、从动加固条；50、待焊接框架；51、预设槽。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图5，一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，包括承接板10、四个夹紧组件20、两个从动组件30及四个加固组件40，承接板10包括固定板11及安装板12，安装板12由弹性材料制成，安装板12顶面贯穿凹设有承接安装槽13，承接安装槽13内壁固定安装于固定板11外壁，将固定板11底面固定安装于外界焊接设备中，安装板12周缘等距凹设有四个夹紧槽121，且夹紧槽121设置于侧壁中部，安装板12顶面两侧侧壁的两端均贯穿凹设有加固槽122，四个夹紧组件20沿圆周方向等距间隔设置于安装板12底面，且四个夹紧组件20分别与四个夹紧槽121相对设置，两个从动组件30分别对称设置于固定板11底面两侧，四个加固组件40分别固定安装于两个从动组件30顶部两端，且四个加固组件40分别与四个加固槽122相对设置。

安装板12顶面放置有待焊接框架50，待焊接框架50两侧侧壁顶部分别等距凹设有三个预设槽51，设置于待焊接框架50侧壁中部地预设槽51与夹紧槽121相对设置，设置于待焊接框架50侧壁两端地预设槽51与两个加固槽122相对设置，每个夹紧槽121两侧侧壁分别设置有引导块123，引导块123由泡棉制成，引导块123侧壁外端凹设有倾斜地引导面124。

每个夹紧组件20包括两个安装支架21、标准气缸22、调速阀23及框架夹头24，两个安装支架21顶面分别固定安装于固定板11底面，且两个安装支架21分别位于夹紧槽121两侧，标准气缸22两侧分别固定安装于两个安装支架21内侧侧壁，调速阀23固定安装于标准气缸22远离夹紧槽121一端，用于调整气源压力来控制标准气缸22输出力量，框架夹头24内端底部固定安装于标准气缸22的输出轴上，框架夹头24顶部位于夹紧槽121中。

调速阀23底部凸设有进气口231，进气口231设置有双电控电磁阀，双电控电磁阀用于在断电情况下保持标准气缸22压力不变，框架夹头24采用赤铜皮、铝箔、赛钢等材料作为弹性接触体主体，并用泡棉对框架夹头24顶部外壁进行包覆，用于增加待焊接框架50与框架夹头24之间的接触面积。

每个从动组件30包括第一直尺条31、两个轴承座32、螺杆33、第一齿轮34及两个从动元件35，第一直尺条31一侧固定安装于框架夹头24一侧侧壁，两个轴承座32固定安装于固定板11底面一侧，两个轴承座32沿安装板12宽度方向相对设置，且两个轴承座32均位于两个加固槽122之间设置，两个轴承座32侧壁外端均贯穿凹设有第一转动孔321，螺杆33两端转动地安装于两个第一转动孔321中，第一齿轮34固定安装于螺杆33中部，且第一齿轮34与第一直尺条31啮合连接，两个从动元件35一侧侧壁底部均贯穿凹设有第一螺纹孔351，且两个第一螺纹孔351的螺纹方向相反，第一螺纹孔351内螺纹槽为粗糙面，两个从动元件35通过第一螺纹孔351安装与螺杆33两端。

第一直尺条31顶面邻近固定板11一端凹设有倾斜面311，倾斜面311抵持于安装板12底面，第一直尺条31顶面另一端邻近加固槽122一侧角部处凹设有倾斜地导向面312。

每个从动元件35包括从动杆354、第二直尺条352及蜗杆，从动杆354顶面中部贯穿凹设有滑移槽353，滑移槽353与第一螺纹孔351相连通，第二直尺条352滑动地安装于滑移槽353中，蜗杆顶面与第二直尺条352底部转动连接，蜗杆底端与螺杆33一端啮合连接，第二直尺条352顶部两侧分别凸设有滑动柱356。

每个加固组件40包括两个加固安装板41、两个加固元件42及加固夹头43，两个加固安装板41底面分别固定安装于从动杆354顶面两侧，且两个加固安装板41呈相对设置，两个加固元件42分别安装于两个加固安装板41外侧，加固夹头43两侧分别安装于两个加固元件42顶部。

每个加固安装板41外侧侧壁底部邻近加固槽122一端分别贯穿凹设有滑动槽411，且滑动槽411长度方向与从动杆354长度方向相同，滑动柱356滑动地位于滑动槽411中，加固安装板41外侧侧壁一端角部处凸设有第一转动轴413，第一转动轴413位于滑动槽411正上方，加固安装板41外侧侧壁中部远离滑动槽411一端凸设有第二转动轴414，加固安装板41外侧侧壁中部凹设有弧形滑槽416，弧形滑槽416内滑动地设置有第三转动轴415。

每个加固元件42包括第一伸缩杆421、第二伸缩杆422、L形的从动加固条423，第一伸缩杆421底端转动地安装于第一转动轴413中，第一伸缩杆421顶端转动地安装于加固夹头43中部，第二伸缩杆422一端转动地安装于滑动柱356中，第二伸缩杆422另一端固定安装于第三转动轴415中，从动加固条423一端安装于第三转动轴415中，从动加固条423中部转动地安装于第二转动轴414中，从动加固条423顶端安装于加固夹头43底部。

例如，在一实施例中：首先根据待焊接框架50的产品特性要求计算夹紧力，由于后续对待焊接框架50进行焊接时，需要将对应焊接的产品进行张紧，为保证对应焊接的产品在张紧后有足够的回弹空间需要对待焊接框架50上施加一个补偿力，其补偿力即为夹紧力。

在本实施例中，标准气缸22采用的是亚德客标准气缸，且气缸直径选用ø50，调速阀23可通过调整气源压力来控制待焊接框架50夹紧力。调速阀23的气源压力调节范围为2~8kgf。

气源压力转换为对待焊接框架50夹紧力的计算公式为：

；

式中：为调速阀23调整后的气源压力，/>为框架夹头24对待焊接框架50的夹紧力，r为标准气缸22的直径。

由上述计算公式可知气源压力调节范围为2~8kgf使得，夹紧力的调节范围相应为329.8~1399.2N。且由于气缸气源压力和框架夹紧力/>是线性关系，所以通过调速阀23控制可以直接调整框架夹紧力/>的大小。气源压力容许误差范围±0.1kgf，对应夹紧力容许误差范围±20N，经实际生产中试验得知，在此范围内焊接完毕后的待焊接框架50尺寸通过投影测量精度在±0.04mm，满足焊接精度需求。

而对比传动的伺服电机驱动的结构而言，本发明的结构更加紧凑，在焊接装置中所占用空间小，避免了与其他机构干涉，节省了空间，轻便简单。同时，对比伺服电机驱动的结构而言，在断电情况也能使用，框架夹紧力靠气缸中气体保持，不存在断电后框架夹紧力消失导致框架回退影响产品精度的情况。另外，本发明的调节夹紧力方便简单，只需在手动调节调速阀23压力即可，可以轻松应对不同型号产品，无需专业人员编程，调试程序。

根据上述公式计算出所需的气源压力后，将根据气源压力容许误差范围即±0.1kgf内在外置的控制面板中对调速阀23进行调节，使得其满足气源压力容许范围，外置的控制面板给双电控电磁阀信号，气源气体将由双电控电磁阀进入标准气缸22的；此时，将使得标准气缸22的输出轴回缩，带动框架夹头24运动。双电控电磁阀的设置，保证了即使在断电情况下，只要控制面板不给调速阀23信号，标准气缸22将始终带压，从而保证了框架夹头24始终将框架夹紧，即使断电情况下框架夹头24夹紧力也不会卸载，进而保证了待焊接框架50与对应焊接的产品之间的焊接质量和位置精度。

同时，上述的标准气缸22的输出轴回缩，带动框架夹头24运动将在10秒内完成，且由于框架夹头24采用赤铜皮、铝箔、赛钢等材料作为弹性接触体主体，并用泡棉对框架夹头24顶部外壁进行包覆，对待焊接框架50起到有效保护作用，不会夹伤其主体。待焊接完成后，通过控制面板给双电控电磁阀泄压信号，标准气缸22将进行泄压并回缩，标准气缸22带动框架夹头24运动，将待焊接框架50松开，随后将对待焊接框架50进行初步检查焊接后的外观质量与尺寸精度，并取下待焊接框架50，完成焊接作业。

例如，在一实施例中：当标准气缸22的输出轴回缩并带动框架夹头24沿夹紧槽121向内运动时，将使得第一直尺条31跟随向内侧运动，由于第一直尺条31顶面邻近固定板11一端凹设有倾斜面311，且安装板12由弹性材料制成，将使得安装板12邻近夹紧槽121部分跟随向上翘起，对待焊接框架50外壁进行限位包覆，同时第一直尺条31跟随向内侧运动时，将使得第一齿轮34旋转，进而使得螺杆33跟随旋转，由于第一螺纹孔351内螺纹槽为粗糙面，将使得两个从动元件35跟随螺杆33旋转移动，进入至加固槽122中，直至从动杆354内侧侧壁抵持于加固槽122内侧侧壁，此时，框架夹头24将沿夹紧槽121继续向内运动，使得驱动力大于第一螺纹孔351内螺纹槽摩擦力，且由于两个第一螺纹孔351的螺纹方向相反，将使得两个从动元件35相互靠近，且由于第一直尺条31顶面另一端邻近加固槽122一侧角部处凹设有倾斜地导向面312，在导向面312导向及两个从动元件35挤压作用下将使得两个加固槽122之间的安装板12进一步向上翘起对待焊接框架50外壁进行限位包覆，防止待焊接框架50在焊接过程中发生移动，且其弹性物质包覆还能防止焊接过程中外物撞击及震动的发生。

例如，在一实施例中：当两个从动元件35相互靠近时，将使得蜗杆旋转向下移动，进而使得第二直尺条352沿滑移槽353向下移动，进而使得滑动柱356沿滑动槽411跟随向下移动，推动第二伸缩杆422一端向下移动，进而使得第二伸缩杆422延伸，并使得第二伸缩杆422另一端带动第三转动轴415沿弧形滑槽416向下移动，从而使得L形的从动加固条423围绕第二转动轴414跟随向下旋转，进而带动加固夹头43向下并向固定板11中心移动，夹持进入待焊接框架50的预设槽51中，进一步对待焊接框架50进行锁定。

安装过程：将承接安装槽13内壁固定安装于固定板11外壁，四个夹紧组件20沿圆周方向等距间隔设置于安装板12底面，且四个夹紧组件20分别与四个夹紧槽121相对设置，两个从动组件30分别对称设置于固定板11底面两侧，四个加固组件40分别固定安装于两个从动组件30顶部两端，且四个加固组件40分别与四个加固槽122相对设置，将两个安装支架21顶面分别固定安装于固定板11底面，且两个安装支架21分别位于夹紧槽121两侧，标准气缸22两侧分别固定安装于两个安装支架21内侧侧壁，调速阀23固定安装于标准气缸22远离夹紧槽121一端，用于调整气源压力来控制标准气缸22输出力量，框架夹头24内端底部固定安装于标准气缸22的输出轴上，框架夹头24顶部位于夹紧槽121中，将第一直尺条31一侧固定安装于框架夹头24一侧侧壁，两个轴承座32固定安装于固定板11底面一侧，两个轴承座32沿安装板12长度方向相对设置，且两个轴承座32均位于两个加固槽122之间设置，两个轴承座32侧壁外端均贯穿凹设有第一转动孔321，螺杆33两端转动地安装于两个第一转动孔321中，第一齿轮34固定安装于螺杆33中部，且第一齿轮34与第一直尺条31啮合连接，两个加固安装板41底面分别固定安装于从动杆354顶面两侧，且两个加固安装板41呈相对设置，第一伸缩杆421底端转动地安装于第一转动轴413中，第一伸缩杆421顶端转动地安装于加固夹头43中部，第二伸缩杆422一端转动地安装于滑动柱356中，第二伸缩杆422另一端固定安装于第三转动轴415中，从动加固条423一端安装于第三转动轴415中，从动加固条423中部转动地安装于第二转动轴414中，从动加固条423顶端安装于加固夹头43底部。

本发明能够实现：

1.本发明在连续生产时，即使遇到断电、故障等情况，始终保持对待焊接框架50的夹紧力恒定，不会存在夹紧力卸载、导致待焊接框架50偏移情况，有效保护了焊接作业继续，极大程度避免了产品的报废。

2.本发明在采用标准气缸22将待焊接框架50夹紧时，夹紧机构原理简单，采用的标准气缸22等标准件采购周期短、便于更换维护，不会影响产线产能，且操作便捷，无需电器编程，操作人员通过控制面板即可调节对框架夹紧力。

3.本发明与与传统伺服电机夹紧机构相比，采用本方案在达到同等效果的情况下成本降低，且节省了大量空间，提高了空间利用率，尤其是针对大尺寸的掩膜板，提高了设备整体的运行效率。

4.本发明运用从动组件30与加固组件40配合对待焊接框架50进行进一步的夹紧和限位包覆，确保待焊接框架50在焊接过程中不发生移动，并通过弹性物质的包覆防止外物撞击和震动的发生。有效地提高焊接质量和稳定性，确保焊接过程的准确性和安全性。

以上所述实施方式仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：包括承接板（10）、四个夹紧组件（20）、两个从动组件（30）及四个加固组件（40），承接板（10）包括固定板（11）及安装板（12），安装板（12）由弹性材料制成，安装板（12）顶面贯穿凹设有承接安装槽（13），承接安装槽（13）内壁固定安装于固定板（11）外壁，将固定板（11）底面固定安装于外界焊接设备中，安装板（12）周缘等距凹设有四个夹紧槽（121），且夹紧槽（121）设置于侧壁中部，安装板（12）顶面两侧侧壁的两端均贯穿凹设有加固槽（122），四个夹紧组件（20）沿圆周方向等距间隔设置于安装板（12）底面，且四个夹紧组件（20）分别与四个夹紧槽（121）相对设置，两个从动组件（30）分别对称设置于固定板（11）底面两侧，四个加固组件（40）分别固定安装于两个从动组件（30）顶部两端，且四个加固组件（40）分别与四个加固槽（122）相对设置。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：安装板（12）顶面放置有待焊接框架（50），待焊接框架（50）两侧侧壁顶部分别等距凹设有三个预设槽（51），设置于待焊接框架（50）侧壁中部地预设槽（51）与夹紧槽（121）相对设置，设置于待焊接框架（50）侧壁两端地预设槽（51）与两个加固槽（122）相对设置，每个夹紧槽（121）两侧侧壁分别设置有引导块（123），引导块（123）由泡棉制成，引导块（123）侧壁外端凹设有倾斜地引导面（124）。

3.根据权利要求2所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：每个夹紧组件（20）包括两个安装支架（21）、标准气缸（22）、调速阀（23）及框架夹头（24），两个安装支架（21）顶面分别固定安装于固定板（11）底面，且两个安装支架（21）分别位于夹紧槽（121）两侧，标准气缸（22）两侧分别固定安装于两个安装支架（21）内侧侧壁，调速阀（23）固定安装于标准气缸（22）远离夹紧槽（121）一端，用于调整气源压力来控制标准气缸（22）输出力量，框架夹头（24）内端底部固定安装于标准气缸（22）的输出轴上，框架夹头（24）顶部位于夹紧槽（121）中。

4.根据权利要求3所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：调速阀（23）底部凸设有进气口（231），进气口（231）设置有双电控电磁阀，双电控电磁阀用于在断电情况下保持标准气缸（22）压力不变，框架夹头（24）采用赤铜皮、铝箔、赛钢等材料作为弹性接触体主体，并用泡棉对框架夹头（24）顶部外壁进行包覆，用于增加待焊接框架（50）与框架夹头（24）之间的接触面积。

5.根据权利要求4所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：每个从动组件（30）包括第一直尺条（31）、两个轴承座（32）、螺杆（33）、第一齿轮（34）及两个从动元件（35），第一直尺条（31）一侧固定安装于框架夹头（24）一侧侧壁，两个轴承座（32）固定安装于固定板（11）底面一侧，两个轴承座（32）沿安装板（12）宽度方向相对设置，且两个轴承座（32）均位于两个加固槽（122）之间设置，两个轴承座（32）侧壁外端均贯穿凹设有第一转动孔（321），螺杆（33）两端转动地安装于两个第一转动孔（321）中，第一齿轮（34）固定安装于螺杆（33）中部，且第一齿轮（34）与第一直尺条（31）啮合连接，两个从动元件（35）一侧侧壁底部均贯穿凹设有第一螺纹孔（351），且两个第一螺纹孔（351）的螺纹方向相反，第一螺纹孔（351）内螺纹槽为粗糙面，两个从动元件（35）通过第一螺纹孔（351）安装于螺杆（33）两端。

6.根据权利要求5所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：第一直尺条（31）顶面邻近固定板（11）一端凹设有倾斜面（311），倾斜面（311）抵持于安装板（12）底面，第一直尺条（31）顶面另一端邻近加固槽（122）一侧角部处凹设有倾斜地导向面（312）。

7.根据权利要求6所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：每个从动元件（35）包括从动杆（354）、第二直尺条（352）及蜗杆，从动杆（354）顶面中部贯穿凹设有滑移槽（353），滑移槽（353）与第一螺纹孔（351）相连通，第二直尺条（352）滑动地安装于滑移槽（353）中，蜗杆顶面与第二直尺条（352）底部转动连接，蜗杆底端与螺杆（33）一端啮合连接，第二直尺条（352）顶部两侧分别凸设有滑动柱（356）。

8.根据权利要求7所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：每个加固组件（40）包括两个加固安装板（41）、两个加固元件（42）及加固夹头（43），两个加固安装板（41）底面分别固定安装于从动杆（354）顶面两侧，且两个加固安装板（41）呈相对设置，两个加固元件（42）分别安装于两个加固安装板（41）外侧，加固夹头（43）两侧分别安装于两个加固元件（42）顶部。

9.根据权利要求8所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：每个加固安装板（41）外侧侧壁底部邻近加固槽（122）一端分别贯穿凹设有滑动槽（411），且滑动槽（411）长度方向与从动杆（354）长度方向相同，滑动柱（356）滑动地位于滑动槽（411）中，加固安装板（41）外侧侧壁一端角部处凸设有第一转动轴（413），第一转动轴（413）位于滑动槽（411）正上方，加固安装板（41）外侧侧壁中部远离滑动槽（411）一端凸设有第二转动轴（414），加固安装板（41）外侧侧壁中部凹设有弧形滑槽（416），弧形滑槽（416）内滑动地设置有第三转动轴（415）。

10.根据权利要求9所述的金属掩膜板焊接设备的夹紧结构，其特征在于：每个加固元件（42）包括第一伸缩杆（421）、第二伸缩杆（422）、L形的从动加固条（423），第一伸缩杆（421）底端转动地安装于第一转动轴（413）中，第一伸缩杆（421）顶端转动地安装于加固夹头（43）中部，第二伸缩杆（422）一端转动地安装于滑动柱（356）中，第二伸缩杆（422）另一端固定安装于第三转动轴（415）中，从动加固条（423）一端安装于第三转动轴（415）中，从动加固条（423）中部转动地安装于第二转动轴（414）中，从动加固条（423）顶端安装于加固夹头（43）底部。