CN104285101B - 蓄热式废气净化装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的蓄热式废气净化装置具有：燃烧室，其用于对废气中所含的成分进行燃烧分解；多个蓄热室，该多个蓄热室的一端分别与燃烧室相连通，该多个蓄热室分别具备蓄热体；供给口，其设于多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于向蓄热室供给废气；排出口，其设于多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于排出处理完的废气；排气管路，其连接于排出口，用于向外部排出处理完的废气；多个旁路通路，其将燃烧室和排气管路连接起来，这些多个旁路通路分别在各蓄热室的上方侧的位置连接于燃烧室，并且分别具有开闭阀；以及控制部，其在蓄热室的温度为预定值以上的情况下，对多个旁路通路中的一个或多个开闭阀进行打开操作，以将燃烧室内的废气的一部分排到旁路通路中。

Description

蓄热式废气净化装置
技术领域
本发明涉及一种蓄热式废气净化装置，特别是涉及一种使用蓄热体进行废气的净化处理的蓄热式废气净化装置。
背景技术
以往，为了对含有自粘结业(层压包装、粘合带等)的设施、印刷业(照相凹版印刷、胶版印刷)的设施、涂装设施、化学工厂、电子/陶瓷业的设施、工厂用清洗设施等产生的挥发性有机化合物(VOC：Volatile Organic Compounds)等可燃性有害成分的废气进行净化处理，使用有例如像专利文献1所述那样的废气净化装置。
废气净化装置例如包括设有安装有供气阀的供气口、安装有排气阀的排气口、以及蓄热体的多个蓄热室，还包括与蓄热室的上方相连通的燃烧室。在该废气处理装置中，利用蓄热室的供气阀、排气阀切换废气的供给、排出来进行运转，从而进行废气的净化处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004－77017号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在以往的废气净化装置中，存在若废气净化装置内的温度变为高温则损坏装置的情况，因此，有时需要在运转过程中自装置排出多余热量。另外，在处理含有硅的废气的情况下，在排出多余热量时，存在：硅沙粉偏向堆积在多个蓄热室中的任意一个蓄热室的问题。另外，还存在如下问题： 硅沙粉的偏向堆积导致蓄热室的蓄热量不均匀，因此废气还没有充分地升温就被导向燃烧室。
因此，本发明是为了解决以往技术的问题而完成的，其目的在于提供一种蓄热式废气净化装置，该蓄热式废气净化装置能够防止装置的损坏，并且能够可靠地防止硅沙粉偏向堆积等。
用于解决问题的方案
为了达到上述的目的，本发明提供一种蓄热式废气净化装置，其特征在于，该蓄热式废气净化装置包括：燃烧室，其用于对废气中所含的成分进行燃烧分解；多个蓄热室，该多个蓄热室的一端分别与上述燃烧室相连通，该多个蓄热室分别具备蓄热体；供给部，其设于多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于向蓄热室供给废气；排出部，其设于多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于排出处理完的废气；排气通路，其连接于排出部，用于向外部排出上述处理完的废气；多个旁路通路，其将燃烧室和排气通路连接起来，这些多个旁路通路分别在各蓄热室的上方侧的位置连接于燃烧室，并且分别具有开闭阀；以及旁路通路用控制部，其在蓄热室的温度为预定值以上的情况下，对多个旁路通路中的一个或多个开闭阀进行打开操作，以将燃烧室内的废气的一部分排到旁路通路中。
在这样构成的本发明中，即使在因废气的浓度较高等原因导致燃烧室的温度变为高温的情况下，也利用旁路通路用控制部对多个旁路通路中的一个或多个开闭阀进行打开操作，向旁路通路排出燃烧室内的废气的一部分。其结果，利用本发明，能够防止燃烧室的损坏。而且，多个旁路通路分别在各蓄热室的上方侧位置连接于燃烧室且分别具有开闭阀，因此能够使流入各蓄热体的废气的流量相同，能够防止二氧化硅的偏向堆积。
优选的是，在本发明中，多个旁路通路分别连接于燃烧室的上部。
在这样构成的本发明中，多个旁路通路连接于燃烧室的上部，因此能够在不逆着废气的流动的前提下向旁路通路顺利地排出燃烧室内的废气。
优选的是，本发明还具有搅拌装置，该搅拌装置设于燃烧室的内部的、 第1蓄热室的上部侧的空间与同第1蓄热室相邻的第2蓄热室的上部侧的空间之间的空间，用于对燃烧室内的废气进行搅拌。
在这样构成的本发明中，在相邻的蓄热室的上部侧的空间之间的空间设有用于搅拌燃烧室内的废气的搅拌装置，因此能够延长被处理废气在燃烧室内的滞留时间，由此，能够进一步提高废气成分的分解效率。
优选的是，本发明还具有：供给通路，其连接于供给部；鼓风机，其设于供给通路，用于向供给部供给废气；返回通路，其将排气通路和供给通路的比鼓风机靠上游侧的部分连接起来，用于使排气通路中的处理完的废气返回至供给通路；以及流量调整机构，其用于对流向该返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
在这样构成的本发明中，能够抑制在供给部和排出部的开闭阀的开闭动作时在装置内产生的静压变动。其结果，利用本发明，能够防止伴随静压变动而自处理对象设施流向本装置的被处理废气的流入风量増大，而且，能够防止自排气通路排出的排出风量増大。
优选的是，在本发明中，流量调整机构是三通阀，该三通阀设于排气通路的与返回通路相连接的部分，该三通阀对自排气通路流向返回通路的处理完的废气的流量进行调整，从而对流过返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
优选的是，在本发明中，流量调整机构是调整阀，该调整阀设于排气通路的、比与返回通路相连接的部分靠下游侧的位置，该调整阀对流向排气通路的、比与返回配管相连接的部分靠下游侧的处理完的废气的流量进行调整，从而对流过返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
优选的是，在本发明中，流量调整机构是调整阀，该调整阀设于返回通路中，用于对通过返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
优选的是，本发明还具有：流量检测部，其用于对利用鼓风机而供给至供给部的废气的流量进行检测；以及流量调整机构用控制部，其根据该流量检测部的检测结果对流量调整机构进行控制，而对流向返回通路的处理完的 废气的流量进行调整。
在这样构成的本发明中，能够抑制在供给部和排出部的开闭阀的开闭动作时在装置内产生的静压变动。其结果，利用本发明，能够防止伴随静压变动而自处理对象设施流向本装置的被处理废气的流入风量増大，而且，能够防止自排气通路排出的排出风量増大。
优选的是，本发明还具有：压力检测部，其用于对供给通路的比与返回通路相连接的连接部靠下游侧且比上述鼓风机靠上游侧的供给通路中的压力进行检测；以及流量调整机构用控制部，其根据该压力检测部的检测结果对流量调整机构进行控制，从而对流向返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
在这样构成的本发明中，能够抑制在供给部和排出部的开闭阀的开闭动作时在装置内产生的静压变动。其结果，利用本发明，能够防止伴随静压变动而自处理对象设施流向本装置的被处理废气的流入风量増大，而且，能够防止自排气通路排出的排出风量増大。
优选的是，本发明还具有：流量检测部，其用于对利用鼓风机供给至供给部的废气的流量进行检测；压力检测部，其用于对供给通路的比与返回通路相连接的部分靠下游侧且比上述鼓风机靠上游侧的供给通路中的压力进行检测；以及流量调整机构用控制部，其根据这些流量检测部和压力检测部的各自的检测结果对流量调整机构进行控制，从而对流向返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
在这样地构成的本发明中，能够抑制在供给部和排出部的开闭阀的开闭动作时在装置内产生的静压变动。其结果，利用本发明，能够防止伴随静压变动而自处理对象设施流向本装置的被处理废气的流入风量増大，而且，能够防止自排气通路排出的排出风量増大。
优选的是，在本发明中，上述供给部的开闭阀和上述排出部的开闭阀分别具有：流通口形成构件，其形成有被供给的废气的流通口；阀芯，其能够向靠近该流通口形成构件的方向和远离该流通口形成构件的方向移动，当其 抵接于上述流通口形成构件时关闭上述流通口，并且当其离开上述流通口形成构件时打开上述流通口；以及气缸，其用于驱动上述阀芯而使该阀芯向上述抵接和离开的方向移动，上述蓄热式废气净化装置还具有共用的消声箱，其以排出上述开闭阀的各自的气缸的驱动空气的排气配管汇合于该共用的消声箱的方式设置，该消声箱配置于隔音装置内。
在这样构成的本发明中，能够以更高的效率消除开闭阀的气缸的排气声。另外，气缸的消声箱配置在隔音装置内，因此能够对来自气缸的排气配管的排气声进行双重消声。而且，消声箱供所有气缸的排气配管共用，因此无需对每个开闭阀即每个气缸都设置消声箱，因此能够简化构造。
优选的是，在本发明中，隔音装置以包围鼓风机的方式设置。
在这样构成的本发明中，使用鼓风机的隔音装置作为用于驱动开闭阀的气缸的隔音装置，因此无需设置气缸专用的隔音装置。
本发明的第2技术方案提供一种蓄热式废气净化装置，其特征在于，该蓄热式废气净化装置包括：燃烧室，其用于对废气中所含的成分进行燃烧分解；多个蓄热室，该多个蓄热室的一端分别与燃烧室相连通，该多个蓄热室分别具备蓄热体；供给部，其设于多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于向蓄热室供给废气；排出部，其设于多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于排出处理完的废气；排气通路，其连接于排出部，用于向外部排出处理完的废气；以及搅拌装置，其设于燃烧室的内部的、第1蓄热室的上部侧的空间与同第1蓄热室相邻的第2蓄热室的上部侧的空间之间的空间，用于对燃烧室内的废气进行搅拌。
发明的效果
采用本发明的蓄热式废气净化装置，能够防止装置的损坏，并且能够可靠地防止硅沙粉偏向堆积等。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的蓄热式废气净化装置的概略图。
图2是表示图1的蓄热式废气净化装置的比较例的蓄热式废气净化装置的概略图。
图3是表示图1的蓄热式废气净化装置的变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。
图4是表示图1的蓄热式废气净化装置的另一变形例的3塔式蓄热式废气净化装置的概略图。
图5是表示图4所示的蓄热式废气净化装置的废气净化的各工序的图。
图6是表示图1的蓄热式废气净化装置的还具有搅拌装置的变形例的蓄热式废气处理的概略图。图6的(a)是表示双塔式蓄热式废气净化装置的概略图。图6的(b)是表示3塔式蓄热式废气净化装置的概略图。
图7是用于说明设于图6的蓄热式废气净化装置的搅拌装置的构造、以及用于与其进行比较的比较例的搅拌装置的图。图7的(a)是沿着图6和图8中的A1－A1、A2－A2、A3－A3观察到的剖视图。图7的(b)是沿着图7的(a)中的A4－A4观察到的剖视图。图7的(c)是表示搅拌装置的比较例的图，其是自与图7的(a)相同的方向观察到的剖视图。图7的(d)是沿着图7的(c)中的A5－A5观察到的剖视图。
图8是表示图6的蓄热式废气净化装置的变形例的概略图。图8的(a)是表示双塔式蓄热式废气净化装置的概略图。图8的(b)是表示3塔式蓄热式废气净化装置的概略图。
图9的(a)是表示图1的蓄热式废气净化装置的另一变形例的概略图。图9的(b)是表示图9的(a)的变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。
图10的(a)是表示图1的蓄热式废气净化装置的另一变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。图10的(b)是表示图10的(a)的变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。
图11的(a)是表示图1的蓄热式废气净化装置的另一变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。图11的(b)是表示图11的(a)的变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。
图12的(a)是表示图1的蓄热式废气净化装置的另一变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。图12的(b)是表示图12的(a)的蓄热式废气净化装置的变形例的蓄热式废气净化装置的概略图。
图13的(a)是表示设于图12的蓄热式废气净化装置的开闭阀的排气消声构造的图。图13的(b)是表示设于蓄热式废气净化装置的供给口和排出口的开闭阀的排气消声构造的另一例的概略图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的一实施方式的蓄热式废气净化装置进行说明。本发明的实施方式的蓄热式废气净化装置1适于对挥发性有机化合物等的可燃烧及可氧化的成分等进行处理。另外，该蓄热式废气净化装置1适于对含有大量的硅的废气进行处理。
如图1所示，蓄热式废气净化装置1包括：燃烧室10，其设有燃烧器9；以及一对蓄热室11、12，它们的一端(上端)分别与燃烧室10相结合并连通。此外，在图1中，箭头表示废气的流动。
另外，蓄热式废气净化装置1包括供给口20、21，它们设于一对蓄热室11、12各自的另一端(下端)，具有开闭阀14、15，并且用于供给被处理气体。另外还包括排出口23、24，它们设于一对蓄热室11、12各自的另一端(下端)，具有开闭阀17、18，并且用于将处理完的废气排出。
另外，蓄热式废气净化装置1包括蓄热体26、27，它们分别设于多个蓄热室11、12各自的一端(上端)与另一端(下端)之间。蓄热体26、27是通过将具有多个通孔的陶瓷构件以相邻的方式排列起来而成的。
另外，蓄热式废气净化装置1包括连接于排出口23、24的排气管路30。排气管路30是用于将处理完的废气自蓄热式废气净化装置1排出而导向预定的场所的通路。
蓄热式废气净化装置1包括连接于供给口20、21的供给管路29。供给管路29是用于将被处理气体供给至蓄热式废气净化装置1内的供给通路。在该供给管路29设有鼓风机8。鼓风机8用于将被处理气体导向供给口20、21，并且将该废气导向蓄热室11、12及燃烧室10。同时，鼓风机8用于将处理完的废气经由排出口23、24、排气管路30导向预定的排出场所。
蓄热式废气净化装置1包括连接于燃烧室10多个的旁路通路31、32。多个旁路通路31、32分别将燃烧室10和排气管路30连通。另外，多个旁路通路31、32分别在各蓄热室11、12的上方侧的位置连接于燃烧室10。同时，多个旁路通路31、32分别具有开闭阀34、35。另外，多个旁路通路31、32分别连接于燃烧室10的上部(顶板部)。
此外，在此，旁路通路31、32连接于顶板部，但并不限于此。即，也可以使旁路通路分别在各蓄热室11、12的上方侧的位置连接于燃烧室10的侧板部。但是，从气体流动的观点考虑，连接于顶板部的做法更有利(能够在不逆着气体的流动的前提下排出气体)。另外，从气体流动的观点考虑，将旁路通路设于从上方观察蓄热室11、12时位于蓄热室11、12的中心附近的位置的做法更有利(能够在不逆着气体的流动的前提下排出气体)。
蓄热式废气净化装置1包括控制部40、以及设于各蓄热室11、12的上端侧的温度检测器37、38。温度检测器37用于检测蓄热室11的上部侧的温度。温度检测器38用于检测蓄热室12的上部侧的温度。控制部40能够根据来自温度检测器37、38的温度信息来控制开闭阀34、35而排出多余热量。开闭阀34、35及旁路通路31、32能够排出多余热量，从而能够防止燃烧室10的温度急速上升而导致燃烧室损坏。另外，控制部40也对开闭阀14、15、17、18进行开闭控制。
上述蓄热式废气净化装置1能够防止硅沙粉的偏向堆积并且能够排出多余热量，使用图2所示的比较例的蓄热式废气净化装置301对该方面进行说明。
如图2所示，比较例的蓄热式废气净化装置301是除了不具备旁路通路31 和开闭阀34之外、具有与图1的蓄热式废气净化装置1相同的结构的装置。即，装置301包括位于蓄热室12的上方侧且具备开闭阀35的旁路通路32。
针对图2的装置301，当燃烧室10内成为高温时，打开开闭阀35而自旁路通路32排出多余热量。在此，自燃烧室10流入配置在设有旁路通路32一侧的蓄热室12的气体的流量小于自燃烧室10流入蓄热室11的气体的流量。流向蓄热室12的气体的流量的下降意味着经过蓄热体27的气体的流速下降。在废气含有硅(气体)的情况下，经过的气体的流速的下降成为二氧化硅容易堆积于蓄热室12的原因。由此，与蓄热室11相比，硅沙粉偏向蓄热室12堆积。
而且，还存在于蓄热室11、12切换供气侧和排气侧之后、蓄热室12的蓄热体27的蓄热量下降这样的问题。由于成为供气侧的蓄热室12的蓄热量不充分，所以流入的废气中的硅容易附着于蓄热体27。如上所述，还有可能导致硅容易以焦油状的具有粘性的状态附着于蓄热室12的蓄热体27，从而蓄热体27的通气用的通孔被堵塞。还会导致通孔被堵住的蓄热体27的蓄热功能下降，从而不能充分地进行废气的热量回收这样的问题。进而，硅容易附着，成为恶性循环。根据蓄热室11、12供气侧和排气侧的切换控制的方法，也可能导致蓄热室11、12之间产生温度差，从而导致燃烧室10内的温度也变得不均匀。
即，能够想到进行如下控制：检测蓄热室11、12各自的温度，并根据该平均值来切换开闭阀14、15、17、18。另外，也可以进行如下控制：根据该平均值来对旁路通路32切换开闭阀35。但是，根据上述的理由，即使蓄热室12的温度下降，但只要蓄热室11的温度较高，也被视为运作正常而继续进行控制。由此，存在蓄热室11与蓄热室12之间的温度差变大这样的问题。而且，导致燃烧室10内的温度不均匀。
与该图2的装置301相比，使用图1说明的蓄热式废气净化装置1具有与各蓄热室11、12对应地设置的旁路通路31、32，因此能够使分别流入蓄热体26、27的气体的流量相同。因而，在装置1中能够防止在装置301中发生那样的二氧化硅的偏向堆积。另外，能够防止伴随二氧化硅的偏向堆积的各种问题 (“蓄热体的通孔的堵塞”、“热量回收不充分”、“蓄热室11、12之间的温度差变大”、“燃烧室10内的温度不均匀”等)的发生。另外，伴随与此，还存在能够延长蓄热体的使用寿命这样的优点、由于燃烧室的温度均匀化而能够提高废气成分的分解效率这样的优点。
另外，在装置1中，也可以利用控制部40进行PID控制。例如P值为0％～50％，I值为0sec～200sec，D值为0sec～100sec。通过进行PID控制能够实现高效的运转。另外，通过防止二氧化硅偏向堆积，结果能够实现较高的VOC的分解效率。
供给口20、21的开闭阀14、15及排出口23、24的开闭阀17、18是所谓的提升型调节阀(poppet damper)(提升阀)，它们用于切换气体的流向。开闭阀14、15、17、18分别具有阀芯14a、15a、17a、18a和缸体14b、15b、17b、18b。阀芯14a、15a、17a、18a能够在铅垂方向上移动。即，阀芯14a、15a、17a、18a安装在缸体14b、15b、17b、18b的杆14c、15c、17c、18c的前端，它们能够根据杆14c、15c、17c、18c的伸缩而移动。
通过每经过预定的时间切换上述那样的开闭阀14、15、17、18，能够切换蓄热室11、12的供气侧(供给被处理气体的一侧)和排气侧(排出处理完的气体的一侧)来进行运转。此外，切换开闭阀的时机是根据例如出入口温度(利用设于供给管路29的温度检测器47和设于排气管路30的温度检测器48测量被供给的气体和被排出的气体的温度而得到的温度)来确定的。
接着，对上述蓄热式废气净化装置1的废气净化方法进行说明。图1中的箭头表示经由呈打开状态的供给用开闭阀14流入的被处理气体和在该装置1的作用下处理完的废气的流动。首先，如图1所示，将蓄热室11作为供给侧，将蓄热室12作为排出侧。被处理废气经过供给口20到达蓄热室11。
接着，废气在经过蓄热室11侧的蓄热体26时，通过与该蓄热体26进行热交换而被加热。另一方面，蓄热体26散热、冷却。在燃烧室10内，对被蓄热体26加热并到达燃烧室10的废气中所含的成分进行燃烧分解。
接着，燃烧后的处理完的废气经过蓄热室12的蓄热体27。此时，处理完 的废气通过与蓄热体27进行热交换而被冷却。另一方面，蓄热体27蓄热。被冷却的处理完的废气经过排出口24而到达排气管路30。
此外，在图1中，为了对旁路通路31、32的功能进行说明，而使开闭阀34、35呈打开状态，并且标记有表示处理完的气体流动的箭头，但是开闭阀34、35基本上呈关闭状态。即，气体未流入旁路通路31、32内。然后，在因供给至装置1的废气的浓度较高等原因而导致装置1内部成为高温的情况下，根据需要而自旁路通路31、32排出多余热量。
当持续该运转时，一蓄热室11的蓄热体26散热、冷却，另一蓄热室12的蓄热体27蓄热、加热。因此，经过一定时间之后，关闭蓄热室11的供给口20的开闭阀14，打开排出口23的开闭阀17。同时，打开蓄热室12的供给口21的开闭阀15，关闭排出口24的开闭阀18。通过该动作，气体的流向反转，而切换成蓄热室11为排出侧、蓄热室12为供给侧。
由此，接下来被处理的废气能够通过与已充分蓄热的蓄热体27的热交换而被加热。加热后的废气在燃烧室10中进行处理，通过与蓄热体26的热交换被冷却而排出。经过一定时间之后，打开蓄热室11的供给口20的开闭阀14，关闭排出口23的开闭阀17。同时，关闭蓄热室12的供给口21的开闭阀15，打开排出口24的开闭阀18。通过该动作，如图1所示，气体的流向反转，而切换成蓄热室11为供给侧、蓄热室12为排出侧。
通过每隔一定时间重复以上的动作来持续运转，实现利用排热进行的、高效的燃烧处理。
而且，在利用蓄热式废气净化装置1的废气净化方法中，在利用温度检测器37、38测得的温度过高的情况(高于预定的温度的情况)下，切换开闭阀34和/或开闭阀35，自旁路通路31、32中选择所期望的旁路通路，根据情况也可能自两旁路通路排出多余热量。由此，能够防止二氧化硅的偏向堆积，另外，能够防止利用图2进行说明的、伴随二氧化硅的偏向堆积的各种问题(“蓄热体的通孔的堵塞”、“热量回收不充分”、“蓄热室11、12之间的温度差变大”、“燃烧室10内的温度不均匀”等)的发生。另外，通过防止二氧化硅 偏向堆积，结果实现较高的VOC的分解效率。
此外，在装置1中，燃烧器9设于燃烧室10的顶板部，但是即使做成燃烧器9设于燃烧室10的侧板部、即例如做成图3所示的蓄热式废气净化装置41也能够获得同样的效果。此外，装置41与装置1相比，除了燃烧器9的安装位置之外，是相同的结构(对相同的结构标注相同的附图标记)，因此省略详细的说明。
接着，使用图4和图5对作为上述的蓄热式废气净化装置1的变形例的蓄热式废气净化装置51进行说明。与蓄热式废气净化装置1为所谓的双塔式相比，蓄热式废气净化装置51为具有三个蓄热室和三个蓄热体的所谓的3塔式，除此以外，具备与蓄热式废气净化装置1大致相同的结构。对具备相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。
如图4所示，蓄热式废气净化装置51包括：燃烧室10，其设有燃烧器9；以及多个蓄热室11、12、13，它们的一端(上端)分别与燃烧室10相结合并连通。
蓄热式废气净化装置51与蓄热式废气净化装置1同样地包括供给口20、21、22，它们分别具有开闭阀14、15、16。另外，蓄热式废气净化装置51包括排出口23、24、25，它们分别具有开闭阀17、18、19。此外，开闭阀16、19也具有与其他开闭阀14、15、17、18相同的结构。
蓄热式废气净化装置51具有蓄热体26、27、28，它们分别设于多个蓄热室11、12、13。此外，蓄热体28也具有与蓄热体26、27相同的结构。
蓄热式废气净化装置51包括供给管路29、排气管路30以及鼓风机8。蓄热式废气净化装置51具有作为循环配管的净化用配管53，其将蓄热室11、12、13的另一端侧与供给管路29之间连接起来，而使蓄热室11、12、13的另一端侧的气体与流入鼓风机8之前的气体汇合。即，作为循环配管的净化用配管53在鼓风机8的上游侧位置连接于供给管路29。净化用配管53作为将蓄热室11、12、13的另一端侧的气体引入鼓风机8的上游侧而使该气体暂且返回至供给管路29的返回配管发挥作用。
在净化用配管53设有净化用的第1～第3开闭阀54、55、56、以及调整阀57。第1开闭阀54用于打开、关闭自蓄热室11的另一端侧朝向供给管路29的流动。第2开闭阀55用于打开、关闭自蓄热室12的另一端侧朝向供给管路29的流动。第3开闭阀56用于打开、关闭自蓄热室13的另一端侧朝向供给管路29的流动。调整阀57设于净化用配管53，其用于调整自蓄热室11、12、13的另一端侧汇合至供给管路29的气体的流量。
另外，蓄热式废气净化装置51包括连接于燃烧室10的多个旁路通路31、32、33。多个旁路通路31、32、33分别将燃烧室10与排气管路30之间连通。另外，多个旁路通路31、32、33分别在各蓄热室11、12、13的上方侧的位置连接于燃烧室10。同时，多个旁路通路31、32、33分别具有开闭阀34、35、36。而且，多个旁路通路31、32、33分别连接于燃烧室10的上部(顶板部)。此外，在此，旁路通路31、32、33连接于顶板部，但并不限于此。
另外，蓄热式废气净化装置51包括控制部40、以及设于各蓄热室11、12、13的上端部的温度检测器37、38、39。温度检测器39用于检测蓄热室13的上部侧的温度。控制部40能够根据来自温度检测器37、38、39的温度信息来控制开闭阀34、35、36而排出多余热量。利用开闭阀34、35、36及旁路通路31、32、33排出多余热量，由此，能够防止因燃烧室10的温度急速上升而导致燃烧室损坏。另外，控制部40也进行开闭阀14～19的开闭控制。
上述那样构成的蓄热式废气净化装置51与蓄热式废气净化装置1相同，以与各塔中的每一个(各蓄热室中的每一个)相对应的方式在每个塔的上方侧的位置设有旁路通路，因此防止硅沙粉的偏向堆积，并且排出多余热量。而且，实现能够防止伴随二氧化硅偏向堆积的各种问题的发生等、与蓄热式废气净化装置1相同的效果。
接着，对上述的3塔式废气净化装置51的废气净化方法进行说明。图5中的箭头表示被处理气体和处理完的气体的流动。首先，在图5的(a)中，将蓄热室11作为供给侧，将蓄热室13作为排出侧。在蓄热室12中进行净化。被处理废气经过供给口20到达蓄热室11。
接着，废气在经过蓄热室11的蓄热体26时，通过与该蓄热体26的热交换而被加热。另一方面，蓄热体26散热、冷却。在燃烧室10内，对被蓄热体26加热并到达燃烧室10的废气中所含的成分进行燃烧分解。
接着，燃烧后的处理完的废气经过蓄热室13的蓄热体28。此时，处理完的气体通过与蓄热体28进行热交换而被冷却。另一方面，蓄热体28蓄热。被冷却的处理完的气体经过排出口25而到达排气管路30。
此外，在图5中，为了对旁路通路31、32、33的功能进行说明，而使开闭阀34、35、36呈打开状态，并且标记有表示处理完的气体流动的箭头，但是开闭阀34、35、36基本上呈关闭状态。然后，根据需要而自旁路通路31、32、33排出多余热量。
另外，此时，净化用的第2开闭阀55呈打开状态，第1开闭阀54和第3开闭阀56呈关闭状态。由此，能够将少量的在燃烧室中被净化的处理完的气体(干净空气)供给至蓄热室12，并且能够使滞留在蓄热室12内部的未处理气体自蓄热室12的另一端侧经由净化用配管53而返回至供给管路29。此外，调整调整阀5以使被导向该蓄热室12内的干净空气的流量和自蓄热室12返回至供给管路29的未处理气体的流量为适当的量(少量)。3塔式装置51能够对供给侧和排出侧的蓄热室以外的剩余的蓄热室进行净化，因此能够防止未处理气体向排气管路30中排出，从而能够确保稳定的性能。
当持续该运转时，蓄热室11的蓄热体26散热、冷却，蓄热室13的蓄热体28蓄热、加热。由此，经过一定时间之后，打开蓄热室12的排出口24的开闭阀18(第1阀操作)。另外，关闭蓄热室13的排出口25的开闭阀19(第2阀操作)。另外，打开蓄热室13的供给口22的开闭阀16(第3阀操作)。而且，关闭蓄热室11的供给口20的开闭阀14(第4阀操作)。此外，通过该第1阀操作～第4阀操作，自图5的(a)所示的运转状态切换至图5的(b)所示的运转状态。在图5的(b)中，蓄热室13为供给侧，蓄热室12为排出侧。在蓄热室11中进行净化。另外，通过以例如2秒左右的间隔按顺序进行第1阀操作～第4阀操作，能够防止未处理气体混入排气管路30侧(后述的情况也相同。)。
当开闭阀被切换成图5的(b)所示的状态时，与此同时净化用的开闭阀也被切换。第1开闭阀54被打开，第2开闭阀55和第3开闭阀56被关闭。由此，能够将少量的在燃烧室中被净化的处理完的气体(干净空气)供给至蓄热室11，并且能够使滞留在蓄热室11内部的未处理气体自蓄热室11的另一端侧经由净化用配管53返回至供给管路29。
由此，如图5的(b)所示，接下来被处理的废气能够通过与已充分蓄热的蓄热体28的热交换而被加热。加热后的废气在燃烧室10中进行处理，通过与蓄热体27的热交换而被冷却之后排出。经过一定时间之后，打开蓄热室11的排出口23的开闭阀17(第1阀操作)。另外，关闭蓄热室12的排出口24的开闭阀18(第2阀操作)。另外，打开蓄热室12的供给口21的开闭阀15(第3阀操作)。而且，关闭蓄热室13的供给口22的开闭阀16(第4阀操作)。此外，通过该第1阀操作～第4阀操作，自图5的(b)所示的运转状态切换至图5的(c)所示的运转状态。在图5的(c)中，蓄热室12为供给侧，蓄热室11为排出侧。在蓄热室13中进行净化。
当开闭阀被切换成图5的(c)所示的状态时，与此同时净化用的开闭阀也被切换。第3开闭阀56被打开，第1开闭阀54和第2开闭阀55被关闭。由此，能够将少量的在燃烧室中被净化的处理完的气体(干净空气)供给至蓄热室13，并且能够使滞留在蓄热室13内部的未处理气体自蓄热室13的另一端侧经由净化用配管53返回至供给管路29。
由此，如图5的(c)所示，接下来被处理的废气能够通过与已充分蓄热的蓄热体27的热交换而被加热。加热后的废气在燃烧室10中进行处理，通过与蓄热体26的热交换而被冷却之后排出。经过一定时间之后，打开蓄热室13的排出口25的开闭阀19(第1阀操作)。另外，关闭蓄热室11的排出口23的开闭阀17(第2阀操作)。另外，打开蓄热室11的供给口20的开闭阀14(第4阀操作)。而且，关闭蓄热室12的供给口21的开闭阀15(第3阀操作)。此外，通过该第1阀操作～第4阀操作，自图5的(c)所示的运转状态切换至图5的(a)所示的运转状态。在图5的(a)中，蓄热室11为供给侧，蓄热室13为 排出侧。在蓄热室12进行净化。当开闭阀被切换成图5的(a)所示的状态时，与此同时净化用的开闭阀也如上述那样被切换。
通过每隔一定时间重复以上的动作来持续运转，实现利用排热进行的、高效的燃烧处理。
而且，在蓄热式废气净化装置51的废气净化方法中，也在利用温度检测器37、38、39测得的温度过高的情况(高于预定的温度的情况)下，切换开闭阀34、35、36中的一个或多个阀的状态，自旁路通路31、32、33中选择所期望的旁路通路，根据情况也可能自两旁路通路排出多余热量。由此，能够防止二氧化硅的偏向堆积，另外，能够防止利用图2进行说明的、伴随二氧化硅的偏向堆积的各种问题的发生。另外，通过防止二氧化硅偏向堆积，结果实现较高的VOC的分解效率。
接着，使用图6～图7对作为上述的蓄热式废气净化装置1等的变形例的蓄热式废气净化装置61、71进行说明。即，也可以在上述的蓄热式废气净化装置1等的燃烧室中设置搅拌板。图6的(a)所示的蓄热式废气净化装置61与蓄热式废气净化装置1相比，除了设有作为搅拌装置的搅拌板62之外，具备与蓄热式废气净化装置1大致相同的结构。图6的(b)所示的蓄热式废气净化装置71与蓄热式废气净化装置51相比，除了设有搅拌板72以外，具备与蓄热式废气净化装置51相同的结构。对具备相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。
在构成图6的(a)所示的装置61的燃烧室10的内部的、一蓄热室11的上部侧的空间与同该一蓄热室11相邻的蓄热室12的上部侧的空间之间的空间设有搅拌板62。如图6的(a)、图7的(a)及图7的(b)所示，该搅拌板62被支承构件63支承，该支承构件63固定于形成该空间的箱体64的上部和下部。在此，燃烧室10及多个蓄热室11、12形成在同一箱体内，该箱体是“形成空间的箱体64”。
另一方面，在构成图6的(b)所示的装置71的燃烧室10的内部的、一蓄热室11的上部侧的空间与同该一蓄热室11相邻的蓄热室12的上部侧的空间 之间的空间设有搅拌板72。另外，在图6的(b)所示的装置71中，在燃烧室10的内部的、一蓄热室12的上部侧的空间与同该一蓄热室12相邻的蓄热室13的上部侧的空间之间的空间也设有搅拌板72。如图6的(b)、图7的(a)及图7的(b)所示，该搅拌板72被支承构件73支承，该支承构件73固定于形成该空间的箱体74的上部和下部。在此，燃烧室10及多个蓄热室11、12、13形成在同一箱体内，该箱体是“形成空间的箱体74”。通过将图7的(b)所示的上下两片搅拌板之间的角度α做成10度～90度左右，能够发挥优选的搅拌性能。
图6和图7所示的搅拌板62、72能够确保处理气体在燃烧室10内的滞留时间较长。通过延长处理气体在燃烧室10内的滞留时间，能够提高废气成分的分解效率。此外，构成蓄热式废气净化装置61、71的搅拌板并不限于图7的(a)和图7的(b)等所示的、上述的搅拌板62、72，也可以使用例如图7的(c)和图7的(d)所示的搅拌板66。
图7的(c)和图7的(d)所示的搅拌板66是通过将4片成一组的搅拌板固定并分配在一蓄热室的上部的空间与同该一蓄热室相邻的蓄热室的上部的空间之间的空间而成的。它们被支承构件67以悬臂状态支承于形成该空间的顶板部68a、底板部68b以及一对侧板68c、68d。图7的(c)和图7的(d)所示的搅拌板66也能够确保处理气体在燃烧室10内的滞留时间较长。
此外，从延长滞留时间的观点、安装搅拌板的安全性的观点来看，上述图7的(a)和图7的(b)所示的搅拌板62、72比图7的(c)和图7的(d)所示的搅拌板66有利。即，即使在如图7的(a)和图7的(c)所示那样截面较为细长的情况下，也能够适当地配置搅拌板，从而能够缩小间隙，提高搅拌效果。例如在高度方向上的尺寸较大的情况下，只需增加高度方向上的数量即可，在横向上的尺寸较大的情况下，只需增加横向上的数量即可。另外，与悬臂支承相比，能够更加牢固地保持搅拌板62、72。
上述那样的、图6和图7所示的蓄热式废气净化装置61、71具有与蓄热式废气净化装置1、51所说明的效果相同的效果。即，实现防止硅沙粉的偏向 堆积并且排出多余热量等。另外，消除伴随硅沙粉的偏向堆积的各种问题。
此外，图6～图7的搅拌板62、72所带来的效果在不具有旁路通路31、32等的情况下也有效。在此，作为上述的蓄热式废气净化装置61、71的变形例，使用图8对不具有旁路通路的情况的例子进行说明。即，图8的(a)所示的蓄热式废气净化装置81与图6的(a)所示的装置61相比，除了不具有旁路通路31、32之外，具备与蓄热式废气净化装置61相同的结构。另外，图8的(b)所示的蓄热式废气净化装置91与图6的(b)所示的装置71相比，除了不具有旁路通路31、32、33之外，具备与蓄热式废气净化装置71相同的结构。对具备相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。
在图8所示的蓄热式废气净化装置81、91中，也能够利用搅拌板62、72确保处理气体在燃烧室10内的滞留时间。另外，从延长滞留时间的观点、安装搅拌板的安全性的观点来看也是有利的。上述那样的蓄热式废气净化装置81、91能够实现提高安装搅拌板的安全性并且提高废气成分的分解效率。
接着，使用图9的(a)、图10的(a)及图11的(a)对上述的蓄热式废气净化装置1的变形例(抑制静压变动的变形例)的蓄热式废气净化装置101、111、121进行说明。蓄热式废气净化装置101、111、121除了具备以下说明的、用于抑制静压变动的结构之外，具备与蓄热式废气净化装置1相同的结构。对具备相同的结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。
如图9的(a)所示，蓄热式废气净化装置101包括：燃烧室10、蓄热室11、12、开闭阀14、15、17、18、供给口20、21、排出口23、24、蓄热体26、27、供给管路29、排气管路30、鼓风机8、旁路通路31、32、开闭阀34、35等(图10的(a)和图11的(a)所说明的装置111、121也相同。)。虽然省略图示，但是在燃烧室10以与上述相同的方式设有燃烧器9，在装置101等中还设有温度检测器37、38等。另外，如上所述，鼓风机8设于供给管路29，用于将被处理气体导向供给口20、21。
蓄热式废气净化装置101具有将排气管路30和供给管路29之间连接起来的返回配管102。返回配管102使排气管路30中的处理完的气体与流入鼓风机8之前的气体相汇合。另外，装置101具有三通阀103，其设于排气管路30的朝向返回配管102的分支部分(返回配管所连接的部分)30a。
三通阀(three way valve)103是调整阀，该调整阀调整叶片的开度来调整自排气管路30的与返回配管102相连接的部分30a流向排出侧的气体的流量，从而调整经过返回配管102的气体的流量。
另外，蓄热式废气净化装置101包括流量检测部104和压力检测部105。流量检测部104用于检测被鼓风机8送入而被导向供给口20、21的气体的流量。压力检测部105用于对供给管路29中的、来自返回配管102的气体汇合进来之后且流入鼓风机8之前的压力进行检测。蓄热式废气净化装置101的控制部40根据流量检测部104和压力检测部105的检测结果来控制调整阀(三通阀103)的开度。此外，控制部40还具有与蓄热式废气净化装置1所说明的功能相同的功能。
流量检测部104例如为孔板流量计，也可以设有差压传感器104a等。压力检测部105例如为差压传感器。在该情况下，设于鼓风机8的电动机8a的变频器8b与差压传感器104a及压力检测部(105)之间借助控制部(控制器)40电连接。同样，例如在三通阀103设有定位器103a，定位器103a电连接于控制部40。根据由差压传感器(压力检测部105)测得的压力和差压传感器104a的差压，借助控制部40来调整三通阀103的开度。
上述那样构成的蓄热式废气净化装置101能够抑制设于供给口20、21、排出口23、24的开闭阀14、15、17、18开闭动作时的静压变动。详细地对该方面进行说明。如上所述，当切换蓄热室的供气侧、排气侧时，切换开闭阀14、15、17、18，虽只有一瞬间，但在该一瞬间出现供给口侧的开闭阀与排出口侧的开闭阀同时打开的状态。同时，有可能导致装置101内的压力损失下降，从而发生装置101内的静压变动。在本装置101中，由于具有返回配管102和三通阀103，所以能够抑制该静压变动。此外，虽然也能想到通过鼓风机8的风量调整来抑制静压变动，但是在本装置101中，实现通过调整阀(三通阀103)的调整来抑制静压变动。
具体地讲，当利用压力检测部105检测到的压力变小时，三通阀103以通向返回配管102侧的开度变大的方式进行调整。另外，当利用流量检测部104检测到的流量变大时，三通阀103以通向返回配管102侧的开度变大的方式进行调整。在此，也可以仅根据压力检测部105或流量检测部104的检测结果中的任一检测结果来进行调整。此外，三通阀103在切换开闭阀14、15、17、18时也可以按照预先设定的时机、开度来进行调整。
此外，流量检测部104、压力检测部105的设置位置、即为了调整开度而设置的检测位置并不限于此。例如也可以使流量检测部104对自排出口23、24排出之后、且排气管路30的、通向返回配管102的分支部分30a之前的部分的流量进行检测。另外，例如也可以使压力检测部105检测供给管路29内的、来自返回配管102的气体汇合进来之前(上游侧)的压力。
另外，返回配管102不仅具有如上述那样抑制静压变动的功能，还能够降低预热运转时的燃料成本。即，在蓄热式废气净化装置中，有时进行升温运转、待机运转。此时，吸入大气而使燃烧室、蓄热室进行预热。此时，通过利用返回配管102进行循环，能够降低燃料成本。
如上所述，利用蓄热式废气净化装置101，能够抑制切换供给侧和排出侧的开闭阀时的静压变动。由此，能够防止伴随静压变动的、自处理对象设施流入装置101的流入风量増大的情况，也能够防止自排气管路30排出的排出风量増大的情况。后述的蓄热式废气净化装置111、121也具有与蓄热式废气净化装置101相同的效果，但是蓄热式废气净化装置101以最简单的结构来实现该效果。
接着，使用图10的(a)对蓄热式废气净化装置111进行说明。如图10的(a)所示，蓄热式废气净化装置111具有将排气管路30和供给管路29之间连接起来的返回配管102。
另外，蓄热式废气净化装置111具有调整阀113，该调整阀113设于排气管路30中且比与返回配管102相连接的部分30a靠排出侧(下游侧、即排气管路30的排出侧)的位置。
调整阀113通过对自排气管路30的与返回配管102相连接的部分30a流向排出侧的气体的流量进行调整，对通过返回配管102的气体的流量进行调整。而且，蓄热式废气净化装置111具有设于返回配管102中的调整阀114。调整阀114用于调整通过返回配管102的气体的流量。蓄热式废气净化装置111能够利用该调整阀113、114有效地抑制静压变动。
另外，蓄热式废气净化装置111与蓄热式废气净化装置101同样地具有流量检测部104和压力检测部105。蓄热式废气净化装置111的控制部40的功能具有与蓄热式废气净化装置101的情况大致相同的功能。例如在调整阀113、114设有定位器113a、114a。定位器113a、114a与控制部40电连接，而对开度进行调整。
上述那样构成的蓄热式废气净化装置111与蓄热式废气净化装置101同样地能够抑制设于供给口20、21、排出口23、24的开闭阀14、15、17、18的开闭动作时的静压变动。即，当利用压力检测部105检测到的压力变小时，调整阀113、114以通向返回配管102侧的流量变大的方式来调整开度。另外，当利用流量检测部104检测到的流量变大时，调整阀113、114以通向返回配管102侧的流量变大的方式来调整开度。
如上所述，利用蓄热式废气净化装置111，能够抑制切换供给侧和排出侧的开闭阀时的静压变动。后述的装置121也具有与装置111相同的效果，但是蓄热式废气净化装置111能够更有效地抑制静压变动。
接着，使用图11的(a)对蓄热式废气净化装置121进行说明。如图11的(a)所示，蓄热式废气净化装置121具有将排气管路30和供给管路29之间连接起来的返回配管102。
另外，装置121具有设于返回配管102中的调整阀123。调整阀123用于对通过返回配管102的气体的流量进行调整。装置121能够利用该调整阀123来抑制静压变动。
另外，蓄热式废气净化装置121与蓄热式废气净化装置101同样地具有流量检测部104和压力检测部105。蓄热式废气净化装置121的控制部40的功能 具有与蓄热式废气净化装置101的情况大致相同的功能。例如在调整阀123设有定位器123a。定位器123a与控制部40电连接，而对开度进行调整。
上述那样构成的蓄热式废气净化装置121与蓄热式废气净化装置101同样地能够抑制设于供给口20、21、排出口23、24的开闭阀14、15、17、18的开闭动作时的静压变动。即，当利用压力检测部105检测到的压力变小时，调整阀123以通向返回配管102侧的流量变大的方式来调整开度。另外，当利用流量检测部104检测到的流量变大时，调整阀123以通向返回配管102侧的流量变大的方式来调整开度。
如上所述，利用蓄热式废气净化装置121，能够抑制切换供给侧和排出侧的开闭阀时的静压变动。此外，蓄热式废气净化装置121虽然以简单的结构具有一定的效果，但是当装置内部的压力损失下降时，有可能废气不能被充分地吸引到鼓风机8的吸引侧而自排气管路30排向外部。与此相对，在蓄热式废气净化装置101、111中能够更有效地抑制静压变动。而且，蓄热式废气净化装置101以最简单的结构来实现该效果。
上述的蓄热式废气净化装置101、111、121具有与装置1、51等所说明的效果相同的效果。即，实现防止硅沙粉的偏向堆积并且排出多余热量等。另外，消除伴随硅沙粉的偏向堆积的各种问题。
此外，因具备图9～图11中的返回配管102及调整阀(三通阀103、调整阀113、调整阀123等)而产生的效果在不具有旁路通路31、32等的情况下也有效。在此，作为上述的蓄热式废气净化装置101、111、121的变形例，使用图9的(b)、图10的(b)、图11的(b)对不具有旁路通路的情况的例子进行说明。即，图9的(b)所示的蓄热式废气净化装置131与图9的(a)所示的装置101相比，除了不具有旁路通路之外，具备与装置101相同的结构。另外，图10的(b)所示的蓄热式废气净化装置141与图10的(a)所示的装置111相比，除了不具有旁路通路之外，具备与装置111相同的结构。而且，图11的(b)所示的蓄热式废气净化装置151与图11的(a)所示的装置121相比，除了不具有旁路通路之外，具备与装置121相同的结构。对具备相同结构的 部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。
图9的(b)、图10的(b)及图11的(b)所示的蓄热式废气净化装置131、141、151能够抑制设于供给口20、21、排出口23、24的开闭阀14、15、17、18的开闭动作时的静压变动。由此，能够防止伴随静压变动而自处理对象设施流入装置101的流入风量増大的情况，也能够防止自排气管路30排出的排出风量増大的情况。
接着，使用图12和图13对上述的蓄热式废气净化装置1的变形例(具有消声效果的变形例)的蓄热式废气净化装置171进行说明。蓄热式废气净化装置171除了具备以下所说明的、为了具有消声效果的结构之外，具备与蓄热式废气净化装置1大致相同的结构。对具备相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。
如图12的(a)所示，蓄热式废气净化装置171包括：燃烧室10、蓄热室11、12、开闭阀14、15、17、18、供给口20、21、排出口23、24、蓄热体26、27、供给管路29、排气管路30、鼓风机8、旁路通路31、32、开闭阀34、35等。虽然省略图示，但是在燃烧室10以与上述相同的方式设有燃烧器9，在装置171还设有温度检测器37、38等。如上所述，鼓风机8设于供给管路29，用于将被处理气体导向供给口20、21。
如图13的(a)所示，装置171的供给口20、21的开闭阀14、15及排出口23、24的开闭阀17、18具有流通口形成构件172、阀芯173、以及气缸174。开闭阀14、15、17、18是所谓的提升型调节阀(提升阀)。另外，使用该图13来说明的构造是开闭阀14、15、17、18的更具体的构造的一例。
流通口形成构件172同时是蓄热室11、12的底部。另外，在流通口形成构件172设有流通口172a。阀芯173安装于气缸174的杆179的前端，且能够根据杆179的伸缩来向靠近流通口形成构件172的方向和远离流通口形成构件172的方向移动。另外，通过使阀芯173抵接于流通口形成构件172，来关闭流通口172a，并且通过使阀芯173离开流通口形成构件172来打开流通口172a。气缸174具有电磁阀174a，其用于驱动阀芯173而使该阀芯173向抵接 和远离的方向移动。
用于排出各气缸174的驱动空气的排气配管175汇合起来并汇合至共用的消声箱176。例如在消声箱176的外表面设有消声材料176a。但不限于此，也可以在消声箱176的内表面设置消声材料。消声箱176主体例如由钢板等形成为筒状或箱状。消声材料176a例如可以使用玻璃棉、岩棉、橡胶等。
消声箱176配置在鼓风机8用的隔音装置177内。隔音装置177以包围鼓风机8的方式设置，在内表面设有隔音材料177a。但不限于此，也可以在隔音装置177的外表面设置隔音材料。隔音装置例如也可以做成为通过组合钢板制的板而成的板构造。隔音材料177a例如可以使用玻璃棉、岩棉、橡胶等。
上述那样构成的蓄热式废气净化装置171实现以更高的效率消除开闭阀的气缸174的排气声。即，通过将与气缸174的排气配管175相连接的消声箱176设置在隔音装置177内，能够对气缸174的排气声(来自排气配管175的排气声)进行双重消声。另外，消声箱176供所有排气配管175共用，无需对每个开闭阀(每个气缸)都设置消声箱，因此实现结构的简化。另外，隔音装置177为鼓风机8用的隔音装置，因此作为气缸专用的装置，只需消声箱176即可，也无需另外设置气缸专用隔音装置。
此外，使用蓄热式废气净化装置171来说明的、代表性的结构(消声箱176、隔音装置177等)不仅可以应用于装置1，也可以应用于装置41、51、61、71、81、91、101、111、121、131、141、151中。另外，能够应用于这些蓄热式废气净化装置中的开闭阀的排气的消声构造并不限于使用图13的(a)来说明的、代表性的结构(消声箱176、隔音装置177等)，也可以采用如图13的(b)所示的构造。
在图13的(b)所示的消声装置181中，用于排出各气缸174的驱动空气的排气配管185连接于设于箱体186内的排出口185a。该箱体186是为了保持气缸174、将杆179包围起来而设置的。例如在该箱体186的外表面设有消声材料186a。消声材料186a与消声材料176a是相同材质。在图13的(b)中，对具备与图13的(a)等相同的结构的部分标注相同的附图标记并省略详细 的说明。
图13的(b)所示的消声装置181能够利用箱体186外表面的消声材料186a来消除开闭阀的气缸的排气声。但是，上述的图13的(a)所示的构造为由消声箱176和隔音装置177构成的双重构造，因此与该图13的(b)所示的构造相比，实现以更高效率进行消声。
上述的蓄热式废气净化装置171具有与装置1、51等所说明的效果相同的效果。即，实现防止硅沙粉的偏向堆积并且排出多余热量等。另外，消除伴随硅沙粉的偏向堆积的各种问题。
另外，设置图12的(a)中的消声箱176、隔音装置177等所带来的效果在不具有旁路通路31、32等的情况下也有效。在此，作为上述的蓄热式废气净化装置171的变形例，使用图12的(b)对不具有旁路通路的情况的例子进行说明。即，图12的(b)所示的蓄热式废气净化装置191与图12的(a)所示的装置171相比，除了不具有旁路通路之外，具备与装置171相同的结构。对具备同样的结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。图12的(b)所示的蓄热式废气净化装置191实现以更高的效率消除开闭阀的气缸174的排气声。
附图标记说明
1、41、51、61、71、81、91、101、111、121、131、141、151、171、191 蓄热式废气净化装置；
8 鼓风机；
9 燃烧器；
10 燃烧室；
11、12、13 蓄热室；
14、15、16、17、18、19 开闭阀；
26、27、28 蓄热体；
20、21、22 供给口(供给部)；
23、24、25 排出口(排出部)；
29 供给管路(供给通路)；
30 排气管路(排气通路)；
31、32、33 旁路通路；
34、35、36 开闭阀；
37、38、39 温度检测器；
40 控制部(旁路通路用控制部；流量调整机构用控制部)；
62、66、72、73 搅拌板(搅拌装置)；
102 返回配管(返回通路)；
103 三通阀(流量调整机构)；
104 流量检测部；
105 压力检测部；
113 调整阀(流量调整机构)；
123 调整阀(流量调整机构)；
172 流通口形成构件；
173 阀芯；
174 气缸；
175 排气配管；
176 消声箱；
177 隔音装置。

Claims (12)

1.一种蓄热式废气净化装置，其特征在于，
该蓄热式废气净化装置包括：
燃烧室，其用于对废气中所含的成分进行燃烧分解；
多个蓄热室，该多个蓄热室的一端分别与上述燃烧室相连通，该多个蓄热室分别具备蓄热体；
供给部，其设于上述多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于向上述蓄热室供给废气；
排出部，其设于上述多个蓄热室的各自的另一端，具有开闭阀，并且用于排出处理完的废气；
排气通路，其连接于上述排出部，用于向外部排出上述处理完的废气；
多个旁路通路，其将上述燃烧室和上述排气通路连接起来，这些多个旁路通路分别在各蓄热室的上方侧的位置连接于上述燃烧室，并且分别具有开闭阀；以及
旁路通路用控制部，其在上述蓄热室的温度为预定值以上的情况下，对上述多个旁路通路中的一个或多个开闭阀进行打开操作，以将上述燃烧室内的废气的一部分排到上述旁路通路中。
2.根据权利要求1所述的蓄热式废气净化装置，其中，
上述多个旁路通路分别连接于上述燃烧室的上部。
3.根据权利要求1所述的蓄热式废气净化装置，其中，
该蓄热式废气净化装置还具有搅拌装置，该搅拌装置设于上述燃烧室的内部的、第1蓄热室的上部侧的空间与同上述第1蓄热室相邻的第2蓄热室的上部侧的空间之间的空间，用于对上述燃烧室内的废气进行搅拌。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的蓄热式废气净化装置，其中，
该蓄热式废气净化装置还具有：
供给通路，其连接于上述供给部；
鼓风机，其设于上述供给通路，用于向上述供给部供给废气；
返回通路，其将上述排气通路和上述供给通路的比上述鼓风机靠上游侧的部分连接起来，用于使上述排气通路中的处理完的废气返回至上述供给通路；以及
流量调整机构，其用于对流向该返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
5.根据权利要求4所述的蓄热式废气净化装置，其中，
上述流量调整机构是三通阀，该三通阀设于上述排气通路的与上述返回通路相连接的部分，该三通阀对自上述排气通路流向上述返回通路的处理完的废气的流量进行调整，从而对流过上述返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
6.根据权利要求4所述的蓄热式废气净化装置，其中，
上述流量调整机构是调整阀，该调整阀设于上述排气通路的、比与上述返回通路相连接的部分靠下游侧的位置，该调整阀对流向上述排气通路的、比与上述返回配管相连接的部分靠下游侧的处理完的废气的流量进行调整，从而对流过上述返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
7.根据权利要求4所述的蓄热式废气净化装置，其中，
上述流量调整机构是调整阀，该调整阀设于上述返回通路中，用于对通过上述返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
8.根据权利要求4所述的蓄热式废气净化装置，其中，
该蓄热式废气净化装置还具有：
流量检测部，其用于对利用上述鼓风机而供给至上述供给部的废气的流量进行检测；以及
流量调整机构用控制部，其根据该流量检测部的检测结果对上述流量调整机构进行控制，而对流向上述返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
9.根据权利要求4所述的蓄热式废气净化装置，其中，
该蓄热式废气净化装置还具有：
压力检测部，其用于对上述供给通路的比与上述返回通路相连接的连接部靠下游侧且比上述鼓风机靠上游侧的上述供给通路中的压力进行检测；以及
流量调整机构用控制部，其根据该压力检测部的检测结果对上述流量调整机构进行控制，从而对流向上述返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
10.根据权利要求4所述的蓄热式废气净化装置，其中，
该蓄热式废气净化装置还具有：
流量检测部，其用于对利用上述鼓风机供给至上述供给部的废气的流量进行检测；
压力检测部，其用于对上述供给通路的比与上述返回通路相连接的部分靠下游侧且比上述鼓风机靠上游侧的上述供给通路中的压力进行检测；以及
流量调整机构用控制部，其根据这些流量检测部和压力检测部的各自的检测结果对上述流量调整机构进行控制，从而对流向上述返回通路的处理完的废气的流量进行调整。
11.根据权利要求4所述的蓄热式废气净化装置，其中，
上述供给部的开闭阀和上述排出部的开闭阀分别具有：
流通口形成构件，其形成有被供给的废气的流通口；
阀芯，其能够向靠近该流通口形成构件的方向和远离该流通口形成构件的方向移动，当其抵接于上述流通口形成构件时关闭上述流通口，并且当其离开上述流通口形成构件时打开上述流通口；以及
气缸，其用于驱动上述阀芯而使该阀芯向上述抵接和离开的方向移动，
上述蓄热式废气净化装置还具有共用的消声箱，其以排出上述开闭阀的各自的气缸的驱动空气的排气配管汇合于该共用的消声箱的方式设置，
该消声箱配置于隔音装置内。
12.根据权利要求11所述的蓄热式废气净化装置，其中，
上述隔音装置以包围上述鼓风机的方式设置。
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