CN104227031A - 主轴装置 - Google Patents

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松永茂
棚瀬良太
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Abstract

本发明提供一种主轴装置，主轴装置(1)具备：衰减附加轴承(50)，被供给流体从而抑制主轴(20)的振动；流体供给装置(60)，向衰减附加轴承(50)供给流体，能够调整流体的流量Q；振动检测传感器(70)，检测主轴(20)的振动；以及控制装置(80)，根据振动检测传感器(70)检测到的振动的大小，来调整流体供给装置(60)供给的流体的流量Q。

Description

主轴装置
2013年6月10日提交的日本专利申请2013-121926作为整体被包含于此作为参考，包括其说明书、附图和摘要。
技术领域
本发明涉及在工作机械中使用的主轴装置。
背景技术
例如在日本特开2000-280102号公报中公开了一种被驱动而旋转的主轴的缓冲装置。主轴的缓冲装置在主轴的外周面与对主轴进行支承的支承体的内周面之间形成有缓冲凹槽部。通过向该缓冲凹槽部供给液体而产生衰减阻力，并根据主轴的转速进行液体的压力的可变控制，从而抑制主轴的振动。
在日本特开2011-235404号公报中公开了一种根据主轴的径向的振动方向来发挥衰减性能由此抑制主轴的振动的工作机械的主轴装置。该主轴装置中，向主轴的外周面与对主轴进行支承的外壳的径向间隙排出油的油排出开口部沿着周向形成3处以上。根据由位移传感器检测的主轴的径向的振动方向来变更向各个油排出开口部供给的油的压力等，由此抑制主轴的振动。
然而，上述的主轴装置无论振动的大小如何，都始终供给流体。流体向进行旋转驱动的主轴的周围供给，因此流体反复剪切而发热。由此，在主轴及外壳产生热位移，因此会对加工精度造成影响。而且，由于流体的阻力而驱动主轴旋转的动力的损失增大。
发明内容
本发明的第一目的在于提供一种主轴装置，其通过控制向进行旋转驱动的主轴供给的流体的流量，能够抑制流体的发热及驱动主轴旋转的动力的损失并抑制主轴的振动。
本发明的一方案的主轴装置包括：主轴，对工具进行保持，被驱动而旋转；滚动轴承，将主轴支承为能够旋转；衰减附加轴承，相比滚动轴承设置在工具侧，被供给流体从而抑制主轴的振动；流体供给装置，向衰减附加轴承供给流体，能够调整流体的流量；振动检测传感器，检测主轴的振动；以及控制装置，根据振动检测传感器检测到的振动的大小，来调整流体供给装置供给的流体的流量。
根据上述方案的主轴装置，控制装置根据振动检测传感器检测到的振动的大小来调整流体供给装置供给的流体的流量，由此能够对抑制振动的衰减附加轴承的衰减效果进行控制。即，以在主轴发生颤振等大的振动的情况下增大流体的流量、在振动小的情况下减小流体的流量的方式进行控制，来抑制主轴的振动。因此，与无论振动的大小如何都供给流体的情况相比，能够抑制流体的发热及动力的损失，并且控制装置能够抑制主轴的振动。
在本发明的一方案的主轴装置中，可以是，控制装置在通过流体供给装置以第一流量供给流体的情况下，振动的大小成为第一阈值以上时，将流体的流量变更为大于第一流量的第二流量。
根据上述方案的主轴装置，控制装置基于设定的阈值，通过流体供给装置来调整流体的流量。由此，能够抑制流体的发热及动力的损失，并且控制装置能够更适当地抑制主轴的振动。
在本发明的一方案的主轴装置中，可以是，控制装置在将流体的流量从第一流量变更为第二流量后经过了第一设定时间之后，将流体的流量变更为小于第二流量且大于第一流量的第三流量。
根据上述方案的主轴装置，在控制装置通过流体供给装置将流体的流量从第二流量变更为第三流量时，衰减附加轴承的衰减效果下降。由此，流体的流量为第三流量的情况下与流体的流量为第二流量的情况下相比，振动的大小增大，因此振动容易由振动检测传感器检测。而且，在流体的流量为第三流量的情况下，与流体的流量为衰减效果比第三流量低的第一流量的情况下相比，振动的大小得到抑制。因此，控制装置能够抑制振动并确认振动的发生状况，因此能够根据振动的发生状况及大小适当地调整流体的流量。
在本发明的一方案的主轴装置中，可以是，控制装置在将流体的流量从第二流量变更为第三流量之后，在通过流体供给装置以第三流量供给流体的情况下，振动的大小成为设定为第一阈值以下的第二阈值以上时，将流体的流量变更为第二流量。
根据上述方案的主轴装置，控制装置通过将流体的流量设为第三流量，在抑制振动并确认了振动的发生状况时，在振动大于设定的阈值的情况下，以增大流量的方式进行控制。由此，控制装置能够更适当地调整流体的流量。
在本发明的一方案的主轴装置中，可以是，控制装置在将流体的流量从第二流量变更为第三流量后经过了第二设定时间时，在振动的大小小于设定为第一阈值以下的第二阈值、且为设定成小于第二阈值的第三阈值以上的情况下，将流体的流量维持为第三流量。
根据上述方案的主轴装置，控制装置在将流体的流量变更为能够抑制振动并确认振动的发生状况的第三流量后经过了第二设定时间时，在振动的大小处于设定的阈值的范围内的情况下，以维持为适当的流量的方式进行控制。由此，控制装置能够更适当地调整流体的流量。
在本发明的一方案的主轴装置中，可以是，控制装置在将流体的流量从第二流量变更为第三流量后经过了第二设定时间时，在振动的大小小于设定为第一阈值以下的第二阈值、且小于设定成小于第二阈值的第三阈值的情况下，将流体的流量变更为第一流量。
根据上述方案的主轴装置，控制装置在将流体的流量变更为能够抑制振动并确认振动的发生状况的第三流量后经过了第二设定时间时，在振动的大小小于设定的阈值的情况下，以更少的流量进行控制。因此，控制装置能够更适当地调整流体的流量。
附图说明
参照附图，根据下述的实施例的说明，本发明的前述以及更多的特征和优点会更清楚，附图中，相同的标号表示相同的部件，其中，
图1是本发明的一实施方式的主轴装置的轴向的剖视图；
图2是图1所示的衰减附加轴承的放大轴向剖视图；
图3是利用图1所示的控制装置执行的控制程序的流程图，图3的实线所示的箭头表示一实施方式的流程图，虚线所示的箭头表示在本发明的一实施方式的变形例的流程图中与一实施方式的流程图不同的部分；
图4A是表示图3的流程图的动作的时间图，表示主轴的振动的大小；
图4B是表示图3的流程图的动作的时间图，表示流体的流量；
图5A是表示本发明的一实施方式的变形例的图3的流程图的动作的时间图，表示主轴的振动的大小；
图5B是表示本发明的一实施方式的变形例的图3的流程图的动作的时间图，表示流体的流量。
具体实施方式
以下，关于本发明的主轴装置1的一实施方式，参照附图进行说明。关于主轴装置1的结构，参照图1进行说明。如图1所示，主轴装置1具备外壳10、主轴20、电动机30、多个滚动轴承41～44、衰减附加轴承50、流体供给装置60、振动检测传感器70及控制装置80。
外壳10形成为中空筒状，在其中保持主轴20。主轴20对工具21进行保持，被驱动而旋转。具体而言，主轴20在前端侧(图1的左侧)对工具21进行保持，由电动机30驱动而旋转。电动机30配置在外壳10的筒内，具备固定于外壳10的定子31及固定于主轴20的转子32。
滚动轴承41～44将主轴20支承为相对于外壳10能够旋转。滚动轴承41～43使用例如球轴承，配置在比电动机30靠工具21侧。另一方面，滚动轴承44使用例如滚子轴承，配置在比电动机30靠工具21的相反侧(后端侧)。即，滚动轴承41～43与44分别以将电动机30夹于轴向中央的方式配置。
衰减附加轴承50设置在比滚动轴承41～44靠工具21侧，被供给流体从而抑制主轴20的振动。如图2所示，衰减附加轴承50具备衰减附加部51、流体供给路52、泄放部53、空气供给环状槽54及空气供给路55。需要说明的是，在图2中，实线所示的箭头表示流体的流动方向，点划线所示的箭头表示空气的流动方向。
衰减附加部51由衰减附加轴承50的内周面与主轴20的外周面之间的周向的环状间隙形成。通过向衰减附加部51供给流体，能发挥对主轴20的振动进行抑制的衰减效果。衰减效果根据向衰减附加部51供给的流体的流量Q而变化。具体而言，当流体的流量Q增大时，衰减效果变大，当流量Q减小时，衰减效果变小。表示衰减效果的大小的衰减系数根据间隙的大小等流路的阻力、粘性等流体的特性及流体的流量等而决定。流体在本实施方式中为例如油。
流体供给路52的一端与流体供给装置60连接。从流体供给装置60供给的流体经由流体供给路52从导出口52a向衰减附加部51导出。导出口52a沿着衰减附加轴承50的内周面的周向配置1个以上。
泄放部53通过沿着衰减附加轴承50的内周面的周向呈环状设置的凹部而形成，具备在比流体供给路52的导出口52a靠工具21侧配置的环状槽53a及在比导出口52a靠工具21的相反侧配置的环状槽53b。流体从衰减附加部51由环状槽53a、53b向泄放部53导入，经由泄放部53向预先积存流体的未图示的罐导出流体。
空气供给环状槽54通过沿着衰减附加轴承50的内周面的周向呈环状设置的凹部形成，包括在比环状槽53a靠工具21侧配置的空气环状槽54a及在比环状槽53b靠工具21的相反侧配置的空气环状槽54b。
空气供给环状槽54将从未图示的空气泵经由空气供给路55供给的空气向衰减附加部51导出。导出的空气构成防止流体从衰减附加部51向工具21侧或轴承41～44侧排出的空气密封。
流体供给装置60向衰减附加轴承50供给流体，能够调整流体的流量Q。流体供给装置60包含具有流量检测传感器及滑阀(均未图示)的流量控制部以及泵部而构成。流体供给装置60驱动泵部而从罐将流体向流体供给装置60导入。并且，流体供给装置60基于由流量检测传感器检测的信号，通过泵部的转速、滑阀的位置或将它们组合，以成为设定的流量的方式调整流体的流量Q，并经由流体供给路52向衰减附加轴承50供给流体。
振动检测传感器70检测主轴20的振动。如图1所示，振动检测传感器70配置在外壳10的工具21侧，检测经由各轴承41～44、50及外壳10传递的主轴20的振动。在本实施方式中，振动检测传感器70检测主轴20的周向的振动。振动检测传感器70是检测例如振动的加速度的加速度传感器。
控制装置80根据振动检测传感器70检测到的振动的大小，调整流体供给装置60供给的流体的流量Q。控制装置80具备执行运算处理的CPU部、保存程序等的ROM或RAM等存储部、用于交换信息的输入输出部。
控制装置80与流体供给装置60及振动检测传感器70电连接。通过流体供给装置60具备的流量检测传感器检测到的流体的流量Q作为检测信号向控制装置80发送。而且，由振动检测传感器70检测到的主轴20的振动作为检测信号向控制装置80发送。
控制装置80使用FFT对从振动检测传感器70发送的检测信号进行频率解析，算出各频率的振动的大小X。控制装置80基于算出的振动的大小X来设定流体的流量Q的值，并将该值向流体供给装置60发送。
关于上述的主轴装置1的工序，按照图3所示的流程图进行说明。主轴装置1进行金属的切削加工等作业，从控制装置80将流体的流量Q设定为第一流量Q1的状态进行说明。第一流量Q1是作业者基于加工条件等而预先设定的流体的流量Q，设定为0m3/s以上。在本实施方式中，为例如0m3/s。
控制装置80判定振动的大小X是否为第一阈值Th1以上(步骤S102)。第一阈值Th1是在振动成长而发生振动的大小X变大的颤振的情况下，为了在振动的大小X变大之前抑制振动而设定的振动的大小X的阈值。
在振动的大小X小于第一阈值Th1的情况下，控制装置80在步骤S102中判定为“否”，以通过流体供给装置60将流量Q维持成第一流量Q1的方式进行控制。另一方面，控制装置80在振动的大小X成为第一阈值Th1以上的情况下，在步骤S102中判定为“是”，以通过流体供给装置60将流量Q变更为第二流量Q2的方式进行控制(步骤S104)。第二流量Q2是在流量Q为第一流量Q1的情况下，使衰减附加轴承50发挥对于振动的大小X成为第一阈值Th1那样的振动例如将振动的大小X抑制成5％以下的衰减效果的流量。第二流量Q2为例如2×10-4m3/s。
控制装置80从将流量Q变更为第二流量Q2后开始时间T的计测，判定是否经过了第一设定时间T1(步骤S106)。第一设定时间T1是作业者基于加工条件等而预先设定的时间，在本实施方式中，为例如3秒。
在时间T未经过第一设定时间T1的情况下，控制装置80在步骤S106中判定为“否”，将流量Q维持成第二流量Q2。另一方面，在时间T经过了第一设定时间T1的情况下，控制装置80在步骤S106中判定为“是”，以通过流体供给装置60将流量Q变更为第三流量Q3的方式进行控制。第三流量Q3是在流量Q为第一流量Q1的情况下，使衰减附加轴承50发挥对于振动的大小X成为第一阈值Th1那样的振动例如将振动的大小X抑制成大约50％的衰减效果的流量。第三流量Q3为例如1×10-4m3/s。
控制装置80在将流量Q变更为第三流量Q3后开始时间T的计测，判定是否经过了第二设定时间T2(步骤S110)。第二设定时间T2是作业者基于加工条件等而预先设定的时间，在本实施方式中，为例如3秒。
在时间T未经过第二设定时间T2的情况下，控制装置80在步骤S110中判定为“否”，判定振动的大小X是否为第二阈值Th2以上(步骤S112)。第二阈值Th2设定为如下的振动的大小X的阈值，该振动的大小X的阈值设定为例如与在流量Q为第一流量Q1的情况下振动的大小X成为第一阈值Th1那样的振动被以第三流量Q3使衰减附加轴承50发挥的衰减效果抑制时的振动的大小X大致相同的振动的大小。即，在本实施方式中，在第一流量Q1的情况下为第一阈值Th1的振动的大小X的振动在第三流量Q3的情况下由衰减附加轴承50抑制至第一阈值Th1的大约50％，因此第二阈值Th2设定为第一阈值Th1的大约50％的振动的大小。
在振动的大小X小于第二阈值Th2的情况下，控制装置80在步骤S112中判定为“否”，以通过流体供给装置60将流量Q维持成第三流量Q3的方式进行控制。另一方面，控制装置80在通过流体供给装置60将流体以第三流量Q3供给的情况下，在振动的大小X成为第二阈值Th2以上时，在步骤S112中判定为“是”，以通过流体供给装置60将流量Q变更为第二流量Q2的方式进行控制(步骤S104)。然后，控制装置80执行步骤S104～S110的流程图。
另一方面，在时间T成为了第二设定时间T2以上的情况下，控制装置80在步骤S110中判定为“是”，在步骤S114中，判定振动的大小X是否为第二阈值Th2以上。在振动的大小X成为第二阈值Th2以上的情况下，控制装置80在步骤S114中判定为“是”，以通过流体供给装置60将流量Q变更为第二流量Q2的方式进行控制(步骤S104)。然后，控制装置80执行步骤S104～S110的流程图。
另一方面，在振动的大小X小于第二阈值Th2的情况下，控制装置80在步骤S114中判定为“否”，判定振动的大小X是否小于第三阈值Th3(步骤S116)。第三阈值Th3设定为例如第二阈值Th2的大约50％的振动的大小X。在本实施方式中，第二阈值Th2为第一阈值Th1的大约50％，因此第三阈值Th3设定为第一阈值Th1的大约25％的振动的大小。
在振动的大小X为第三阈值Th3以上的情况下，控制装置80在步骤S116中判定为“否”。此时的振动的大小X为第三阈值Th3以上且小于第二阈值Th2。这种情况下，控制装置80以通过流体供给装置60将流量Q维持成第三流量Q3的方式进行控制，开始时间T的计测(步骤S110)。然后，控制装置80执行步骤S110～步骤S116的流程图。
另一方面，在振动的大小X小于第三阈值Th3的情况下，控制装置80在步骤S116中判定为“是”，以通过流体供给装置60将流量Q变更为第一流量Q1的方式进行控制(步骤S118)。然后，控制装置80返回步骤S102，继续上述的流程图的执行。
接下来，关于按照上述的流程图的主轴装置1的动作，使用图4A及图4B所示的时间图进行说明。主轴装置1进行金属的切削加工等作业，从控制装置80将流体的流量Q设定为第一流量Q1的状态起进行说明。图4A所示的时间图表示各频率的振动的大小X中的最大的振动的大小X。图4B所示的时间图表示流体的流量Q。
在图4A所示的时间图中，在时刻t1之前的时间，在主轴20未发生颤振那样的大的振动。需要说明的是，在时刻t1之前的时间发生的振动通过滚动轴承41～44的衰减效果得到抑制。
然后，在加工中发生振动V1而振动的大小X成为了第一阈值Th1时(时刻t1；步骤S102)，控制装置80通过流体供给装置60将流体的流量Q设为第二流量Q2(步骤S104)。当向衰减附加轴承50供给的流体的流量Q成为第二流量Q2时，衰减效果增大，振动V1的振动的大小X被抑制成第一阈值Th1的5％以下。
并且，控制装置80在时间T经过了第一设定时间T1之后(时刻t2；步骤S106)，以通过流体供给装置60将流量Q变更为第三流量Q3的方式进行控制(步骤S108)。此时，尽管衰减附加轴承50的衰减效果减小，但振动的大小X的行为没有变化，因此能够判断为振动V1已经收敛。
此外，控制装置80在振动的大小X未成为第二阈值Th2以上而时间T经过了第二设定时间T2之后(时刻t3；步骤S110、S112)，对振动的大小X的大小进行判定(步骤S114、步骤S116)。此时，振动的大小X小于第三阈值Th3，因此控制装置80以通过流体供给装置60使流量Q成为第一流量Q1的方式进行控制(步骤S114～步骤S118)。
然后，在发生振动V2而振动的大小X成为第一阈值Th1时(时刻t4；步骤S102)，控制装置80通过流体供给装置60将流量Q变更为第二流量Q2(步骤S104)。由此，衰减附加轴承50的衰减效果变大，因此振动V2得到抑制。并且，控制装置80在时间T经过了第一设定时间T1之后(步骤S106)，通过流体供给装置60将流量Q变更为第三流量Q3(时刻t5；步骤S108)。此时，衰减效果减小，由此振动的大小X增大，因此能够判断为振动V2未收敛或发生其他的振动V3。
并且，在时间T经过第二设定时间T2之前，振动V2(或振动V3)变大，振动的大小X成为第二阈值Th2以上时(时刻t6；步骤S110～S112)，控制装置80通过流体供给装置60将流量Q设为第二流量Q2(步骤S104)。由此，衰减效果增大，因此振动V2(或振动V3)得到抑制。
而且，时间T经过第一设定时间T1(步骤S106)，控制装置80将流量Q变更为第三流量Q3(时刻t7；步骤S108)。此时，尽管衰减附加轴承50的衰减效果减小，但振动的大小X的行为没有变化，因此能够判断为振动V2(或振动V3)已经收敛。然后，控制装置80开始时间T的计测(步骤S110)。
并且，在时间T经过第二设定时间T2之前发生振动V4，经过了第二设定时间T2时(时刻t8；步骤S110)，振动V4的振动的大小X成为第二阈值Th2与第三阈值Th3之间。由此，控制装置80在步骤S114及S116中判定为“否”，将流量Q维持成第三流量Q3。此时，由于流量Q没有变化，因此衰减效果不变化。由此，振动V4的振动的大小X的行为没有变化。然后，控制装置80开始时间T的计测(步骤S110)。
并且，在时间T经过第二设定时间T2之前，振动V4的收敛开始，经过了第二设定时间T2时(时刻t9；步骤S110)，振动V4的振动的大小X小于第三阈值Th3，因此控制装置80将流量Q变更为第一流量Q1(步骤S116～S118)。
此时，由于流量Q减小而衰减效果减小，因此振动V4的振动的大小X增大。然而，由于振动的大小X小于第一阈值Th1，因此控制装置80将流量Q维持成第一流量Q1(步骤S102)。并且，振动V4就这样地收敛，因此控制装置80将流量Q维持成第一流量Q1(步骤S102)。
根据本实施方式，控制装置80根据振动检测传感器70检测到的振动的大小来调整流体供给装置60供给的流体的流量Q，由此能够对抑制振动的衰减附加轴承50的衰减效果进行控制。即，以在主轴20发生颤振等大的振动的情况下增大流体的流量Q、在振动小的情况下减小流体的流量Q的方式进行控制，来抑制主轴20的振动。因此，与无论振动的大小如何都供给流体的情况相比，能够抑制流体的发热及动力的损失，并且控制装置80能够抑制主轴20的振动。
控制装置80基于设定的阈值，通过流体供给装置60来调整流体的流量Q。由此，能够抑制流体的发热及动力的损失，并且控制装置80能够更适当地抑制主轴20的振动。
控制装置80在通过流体供给装置60将流体的流量Q从第二流量Q2变更为第三流量Q3时，衰减附加轴承50的衰减效果下降。由此，在流体的流量Q为第三流量Q3的情况下，与流体的流量Q为第二流量Q2的情况下相比，振动的大小X增大，因此振动容易通过振动检测传感器70检测。在流体的流量Q为第三流量Q3的情况下，与流体的流量Q为衰减效果比第三流量Q3低的第一流量Q1的情况下相比，振动的大小X得到抑制。因此，控制装置80能够抑制振动并能够确认振动的发生状况，因此能够根据振动的发生状况及振动的大小X而适当地调整流体的流量Q。
控制装置80通过将流体的流量Q设为第三流量Q3，抑制振动并确认了振动的发生状况时，在振动的大小X大于设定的阈值的情况下，以增大流量Q的方式进行控制。由此，控制装置80能够更适当地调整流体的流量Q。
控制装置80在将流体的流量Q变更为能够抑制振动并确认振动的发生状况的第三流量Q3后经过了第二设定时间T2时，在振动的大小X处于设定的阈值的范围内的情况下，以维持成适当的流量Q的方式进行控制。由此，控制装置80能够更适当地调整流体的流量Q。
控制装置80在将流体的流量Q变更为能够抑制振动并确认振动的发生状况的第三流量Q3后经过了第二设定时间T2时，在振动的大小X小于设定的阈值的情况下，以更少的流量Q进行控制。因此，控制装置80能够更适当地调整流体的流量Q。
接下来，说明本发明的本实施方式的第一变形例。在本实施方式中，在对流体的流量Q以从第二流量Q2至第三流量Q3(时刻t2、t5、t7)或者从第三流量Q3至第一流量Q1(时刻t3、t9)那样减小流量Q的方式进行变更的情况下，如图5B的点划线所示，以最短时间来变更流量Q。也可以将其取代，如图5B的实线所示那样使流量Q逐渐减小。这种情况下，衰减附加轴承50的衰减效果逐渐减小，因此在图5A的时刻t5～t6的期间及t9以后，如点划线所示的本实施方式那样在短时间内振动的大小X不变化，如实线所示那样振动的大小X逐渐变化。
进而，对本发明的本实施方式中的第二变形例进行说明。在本实施方式中，在图3所示的控制程序的流程图中，控制装置80在步骤S116中判定为“否”的情况下，控制装置80进入步骤S110，开始时间T的计测，判定是否经过了第二设定时间T2。也可以将其取代，控制装置80在步骤S116中判定为“否”的情况下，如图3的虚线所示，控制装置80进入步骤S114，不计测时间T，而判定振动的大小X的大小。
这种情况下，如图5A所示，在经过时刻t8而振动的大小X小于第三阈值Th3时(时刻t10)，如图5B的虚线所示，控制装置80也可以将流量Q从第三流量Q3变更为第一流量Q1(时刻t10；步骤S114～S118)。并且，由于流量Q减小而衰减附加轴承50的衰减效果变小，因此在图5A的时刻t10～t9的期间如虚线所示，振动的大小X发生变化。
进而，说明本发明的一实施方式的另一变形例。在本实施方式中，流体供给装置60基于通过流体供给装置60具备的流量检测传感器所检测的信号进行流体的流量Q的调整，但也可以基于通过对流体的压力进行检测的压力检测传感器所检测的信号进行流量Q的调整。具体而言，将压力检测传感器设于流体供给装置60，基于压力检测传感器检测的信号，流体供给装置60进行流量Q的调整。
另外，在本实施方式中，基于振动检测传感器70检测到的振动，控制装置80算出振动的大小X，但也可以在工具21附近配置检测与主轴20的振动相当的加工的声音的扩音器，基于扩音器检测到的声音，控制装置80算出振动的大小X。
另外，在本实施方式中，将第一阈值Th1和第二阈值Th2设为不同的阈值，但也可以将第一阈值Th1和第二阈值Th2设为相同的阈值。

Claims (7)

1.一种主轴装置，包括：
主轴，对工具进行保持，被驱动而旋转；
滚动轴承，将所述主轴支承为能够旋转；
衰减附加轴承，相比所述滚动轴承设置在所述工具侧，被供给流体从而抑制所述主轴的振动；
流体供给装置，向所述衰减附加轴承供给所述流体，能够调整所述流体的流量；
振动检测传感器，检测所述主轴的振动；以及
控制装置，根据所述振动检测传感器检测到的所述振动的大小，来调整所述流体供给装置供给的所述流体的流量。
2.根据权利要求1所述的主轴装置，其中，
所述控制装置在通过所述流体供给装置以第一流量供给所述流体的情况下，所述振动的大小成为第一阈值以上时，将所述流体的流量变更为大于所述第一流量的第二流量。
3.根据权利要求2所述的主轴装置，其中，
所述控制装置在将所述流体的流量从所述第一流量变更为所述第二流量后经过了第一设定时间之后，将所述流体的流量变更为小于所述第二流量且大于所述第一流量的第三流量。
4.根据权利要求3所述的主轴装置，其中，
所述控制装置在将所述流体的流量从所述第二流量变更为所述第三流量之后，在通过所述流体供给装置以所述第三流量供给所述流体的情况下，所述振动的大小成为设定为所述第一阈值以下的第二阈值以上时，将所述流体的流量变更为所述第二流量。
5.根据权利要求3所述的主轴装置，其中，
所述控制装置在将所述流体的流量从所述第二流量变更为所述第三流量后经过了第二设定时间时，在所述振动的大小小于设定为所述第一阈值以下的第二阈值、且为设定成小于所述第二阈值的第三阈值以上的情况下，将所述流体的流量维持为所述第三流量。
6.根据权利要求4所述的主轴装置，其中，
所述控制装置在将所述流体的流量从所述第二流量变更为所述第三流量后经过了第二设定时间时，在所述振动的大小小于设定为所述第一阈值以下的第二阈值、且为设定成小于所述第二阈值的第三阈值以上的情况下，将所述流体的流量维持为所述第三流量。
7.根据权利要求3～6中任一项所述的主轴装置，其中，
所述控制装置在将所述流体的流量从所述第二流量变更为所述第三流量后经过了第二设定时间时，在所述振动的大小小于设定为所述第一阈值以下的第二阈值、且小于设定成小于所述第二阈值的第三阈值的情况下，将所述流体的流量变更为所述第一流量。
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