CN104150953A - 生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法 - Google Patents

生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104150953A
CN104150953A CN201410374185.2A CN201410374185A CN104150953A CN 104150953 A CN104150953 A CN 104150953A CN 201410374185 A CN201410374185 A CN 201410374185A CN 104150953 A CN104150953 A CN 104150953A
Authority
CN
China
Prior art keywords
graphite jig
graphite
treatment method
kaolin
hours
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410374185.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104150953B (zh
Inventor
朱凤荣
朱冰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JINZHOU DARYE CARBON PRODUCTS Ltd Co
Original Assignee
JINZHOU DARYE CARBON PRODUCTS Ltd Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JINZHOU DARYE CARBON PRODUCTS Ltd Co filed Critical JINZHOU DARYE CARBON PRODUCTS Ltd Co
Priority to CN201410374185.2A priority Critical patent/CN104150953B/zh
Publication of CN104150953A publication Critical patent/CN104150953A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104150953B publication Critical patent/CN104150953B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

一种生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法，其步骤如下：按照重量百分比计将60%-80%磷酸二氢铝、13%-30%的高岭土和7%-15%的石墨粉充分混合，配制抗氧剂，待用；所述石墨粉的粒径300目以下、含碳量≥97%，所述煅烧高岭土的粒径为400目以下；将石墨模具放入压力容器中，抽真空至-1MPa以下，时间为0.5h-2h；将抗氧剂抽入压力容器内，加压至5MPa-10MPa，0.5h-4h后取出；将取出的石墨模具放入干燥炉内加热升温至500℃-900℃，进行高温干燥处理；48h后取出，进行精加工。其使用寿命长，可降低因停炉、装炉所造成的损失，减少操作工作的劳动强度，降低石英坩埚的生产成本。

Description

生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法
技术领域
本发明涉及一种生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法。
背景技术
石英坩埚可在1450℃以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。生产石英坩埚所用的石墨模具由于在非真空状态使用，石墨模具氧化极快，少则40-50炉石墨模具就出现破损后被淘汰，造成资源浪费。因频繁的更换石墨模具，造成停炉、装炉、烘炉带来不必要的经济损失，并且增加了操作工人的劳动强度，使石英坩埚生产成本大大增高。
发明内容
本发明要解决现有技术存在的上述问题，提供一种生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法，其使用寿命长，可降低因停炉、装炉所造成的损失，减少操作工作的劳动强度，降低石英坩埚的生产成本。
本发明的技术解决方案是：
一种生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法，其步骤如下：
1、按照重量百分比计将60%-80%磷酸二氢铝、13%-30%的高岭土和7%-15%的石墨粉充分混合，配制抗氧剂，待用；所述石墨粉的粒径300目以下、含碳量≥97%，所述煅烧高岭土的粒径为400目以下；
2、将石墨模具放入压力容器中，抽真空至-1MPa以下，时间为0.5h-2h；
3、将抗氧剂抽入压力容器内，加压至5 MPa -10MPa，0.5h-4h后取出；
4、将取出的石墨模具放入干燥炉内加热升温至500 ℃ -900℃，进行高温干燥处理；
5、48h后取出，进行精加工。
本发明的有益效果是：通过抽真空处理，把石墨模具的气孔中的气体排出，所采用的抗氧剂中的石墨粉可增加石墨模具密度，提高产品质量；高岭土起到粘结作用，磷酸二氢铝起到抗氧化作用；抗氧剂在加压后可充分浸入石墨模具内部。因此，经过抽真空、浸渍、高温干燥处理后，石墨模具使用寿命延长二倍以上，同时降低因停炉、装炉造成的经济损失，减少操作工人的劳动强度，降低石英坩埚生产成本，并且将会降低单晶硅生产成本，为太阳能发电做出贡献。
具体实施方式
实施例1
该生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法，其步骤如下：
1、按照重量百分比计将60公斤磷酸二氢铝、30公斤的高岭土和10公斤的石墨粉混合，配制抗氧剂，待用；所述石墨粉的粒径300目、含碳量97%，所述煅烧高岭土的粒径为400目；
2、将23寸石墨模具放入压力容器中，抽真空至-1MPa，时间为1h；
3、将抗氧剂抽入压力容器内，加压至8MPa，2小时后取出；
4、将取出的石墨模具放入干燥炉内加热升温至700℃，进行干燥处理；
5、48h后取出，进行精加工。
经实际使用，该石墨模具生产800只以上23寸石英坩埚，才出现氧化现象，石墨模具破损。
实施例2
该生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法，其步骤如下：
1、按照重量百分比计将80公斤磷酸二氢铝、13公斤的高岭土和7公斤的石墨粉混合，配制抗氧剂，待用；所述石墨粉的粒径350目、含碳量98%，所述煅烧高岭土的粒径为450目；
2、将22寸石墨模具放入压力容器中，抽真空至-0.8MPa，时间为2h；
3、将抗氧剂抽入压力容器内，加压至10MPa，3h后取出；
4、将取出的石墨模具放入干燥炉内加热升温至800℃，进行干燥处理；
5、48h后取出，进行精加工。
经实际使用，该石墨模具生产300只以上22寸石英坩埚，才出现氧化脱皮现象，石墨模具破损。
实施例3
该生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法，其步骤如下：
1、          配制抗氧剂
按照重量百分比计将70公斤磷酸二氢铝、20公斤的高岭土和10公斤的石墨粉混合，配制抗氧剂，待用；所述石墨粉的粒径为400目、含碳量99%，所述高岭土的粒径为500目；
2、将10英寸石墨模具放入压力容器中，抽真空至-0.5MPa，时间为30分钟；
3、将抗氧剂抽入压力容器内，加压至5MPa，1.5h后取出；
4、将取出的石墨模具放入干燥炉内加热升温至500℃，进行干燥处理；
5、48h后取出，进行精加工。
经实际使用，该石墨模具生产200只以上石英坩埚，才出现氧化现象，石墨模具破损。

Claims (1)

1.一种生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法，其特征是步骤如下：
（1）、按照重量百分比计将60%-80%磷酸二氢铝、13%-30%的高岭土和7%-15%的石墨粉充分混合，配制抗氧剂，待用；所述石墨粉的粒径300目以下、含碳量≥97%，所述煅烧高岭土的粒径为400目以下；
（2）、将石墨模具放入压力容器中，抽真空至-1MPa以下，时间为0.5h-2h；
（3）、将抗氧剂抽入压力容器内，加压至5 MPa -10MPa，0.5h-4h后取出；
（4）、将取出的石墨模具放入干燥炉内加热升温至500 ℃ -900℃，进行高温干燥处理；
（5）、48h后取出，进行精加工。
CN201410374185.2A 2014-08-01 2014-08-01 生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法 Active CN104150953B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410374185.2A CN104150953B (zh) 2014-08-01 2014-08-01 生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410374185.2A CN104150953B (zh) 2014-08-01 2014-08-01 生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104150953A true CN104150953A (zh) 2014-11-19
CN104150953B CN104150953B (zh) 2017-01-11

Family

ID=51876618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410374185.2A Active CN104150953B (zh) 2014-08-01 2014-08-01 生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104150953B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104529529A (zh) * 2014-12-02 2015-04-22 锦州大业炭素制品有限公司 生产四氯化锆所用的石墨发热体的抗氧化处理方法
CN106884165A (zh) * 2017-01-13 2017-06-23 清华大学 一种基于表面微结构改性提高材料抗氧化烧蚀性能的方法
CN111893458A (zh) * 2020-07-30 2020-11-06 山东国晶新材料有限公司 一种细颈坩埚的脱模方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1046517A (zh) * 1990-03-24 1990-10-31 广州师范学院 高温节能耐腐蚀陶瓷涂料
JP2001192284A (ja) * 2000-01-07 2001-07-17 Fuji Fainteekku Kk 黒鉛材料用酸化防止剤、黒鉛製品および該製品の処理方法
CN1718312A (zh) * 2005-08-02 2006-01-11 海南三箭科技开发有限公司 精密铸造用石英铸粉的制备方法
CN101265372A (zh) * 2008-04-26 2008-09-17 山西玺汇科技有限公司 一种不锈钢高温抗氧化涂料及其应用
CN102910909A (zh) * 2012-10-19 2013-02-06 辽宁辽洛科技发展有限公司 一种石墨碳套及其抗氧化浸渍处理方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1046517A (zh) * 1990-03-24 1990-10-31 广州师范学院 高温节能耐腐蚀陶瓷涂料
JP2001192284A (ja) * 2000-01-07 2001-07-17 Fuji Fainteekku Kk 黒鉛材料用酸化防止剤、黒鉛製品および該製品の処理方法
CN1718312A (zh) * 2005-08-02 2006-01-11 海南三箭科技开发有限公司 精密铸造用石英铸粉的制备方法
CN101265372A (zh) * 2008-04-26 2008-09-17 山西玺汇科技有限公司 一种不锈钢高温抗氧化涂料及其应用
CN102910909A (zh) * 2012-10-19 2013-02-06 辽宁辽洛科技发展有限公司 一种石墨碳套及其抗氧化浸渍处理方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
王志发等: "石墨坩埚浸渍法抗氧化试验研究", 《非金属矿》, vol. 27, no. 3, 31 May 2004 (2004-05-31), pages 3 - 5 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104529529A (zh) * 2014-12-02 2015-04-22 锦州大业炭素制品有限公司 生产四氯化锆所用的石墨发热体的抗氧化处理方法
CN106884165A (zh) * 2017-01-13 2017-06-23 清华大学 一种基于表面微结构改性提高材料抗氧化烧蚀性能的方法
CN106884165B (zh) * 2017-01-13 2019-03-22 清华大学 一种基于表面微结构改性提高材料抗氧化烧蚀性能的方法
CN111893458A (zh) * 2020-07-30 2020-11-06 山东国晶新材料有限公司 一种细颈坩埚的脱模方法
CN111893458B (zh) * 2020-07-30 2022-12-09 山东国晶新材料有限公司 一种细颈坩埚的脱模方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN104150953B (zh) 2017-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104150953A (zh) 生产石英坩埚所用的石墨模具的抗氧化处理方法
CN108346793B (zh) 一种具有多孔结构的纳米硅制备方法及应用
CN104973879B (zh) 一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法
CN111864210A (zh) 一种用于锂离子电池的涂炭铝箔及其制备方法
CN101862922A (zh) 一种二元合金密封焊料丝
CN103469135B (zh) 一种高铌TiAl系金属间化合物的制备方法
CN103938002B (zh) 一种铜铬锆合金铸棒降低偏析的真空熔炼工艺
CN102468092B (zh) 热阴极用热子的制备方法
CN106882950B (zh) 一种硅溶胶增强耐高温磷酸盐胶黏剂的方法
CN104889519A (zh) 一种高效、节能环保的金属陶瓷x射线管的制造方法
CN104233143B (zh) 一种ZrTiAlV合金板材电场辅助热处理方法
CN204470750U (zh) 制备金刚石-铜复合材料的活性钎焊装置
CN104561625A (zh) 一种微波烧结制备高抗电弧烧蚀的铜钨复合材料的方法
CN104690389A (zh) 一种活性钎焊装置及使用该装置制备金刚石-铜复合材料的钎焊方法
CN104716792A (zh) 一种电机转子制作工艺
CN104404505B (zh) Cu/Mo/Cu复合薄板的喷涂制备方法
CN105384457B (zh) 一种氧化铝陶瓷与金属钼的焊接方法
CN106733421B (zh) 一种浸渍装置及浸渍方法
CN202097495U (zh) 放热焊接导体保护装置
CN104357728A (zh) 一种抗氧化镁基复合材料及其粉末冶金制备方法
CN203395061U (zh) 离合器摩擦片
CN105886815A (zh) 利用真空烧结制备硅镁合金的方法
CN105014173A (zh) 一种可减少溶蚀的铝合金真空钎焊方法
CN108358641B (zh) 一种Al4SiC4陶瓷材料的制备方法
CN107739858B (zh) 一种镍锰中间合金在制备ErNiCr-3合金中的应用

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant